JP2019120607A - 膜厚計測装置、膜厚計測方法、膜厚計測プログラム、及び膜厚計測プログラムを記録する記録媒体 - Google Patents
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Abstract
Description
[膜厚計測装置の構成]
[解析部による膜厚の解析原理]
[膜厚計測装置の動作]
Claims (18)
- 基板上に第1の膜と第2の膜とが交互に複数積層された計測対象物について、前記第1の膜の膜厚及び前記第2の膜の膜厚を計測する膜厚計測装置であって、
前記計測対象物に対して計測光を出力する光出力部と、
前記計測対象物からの被検出光を分光検出する分光検出部と、
前記分光検出部による検出結果から得られる前記計測対象物の波長毎の実測反射率を理論反射率と比較し、前記第1の膜の膜厚及び前記第2の膜の膜厚を解析する解析部と、を備え、
前記解析部は、
第1の波長範囲における前記計測対象物の波長毎の実測反射率と理論反射率との比較結果を用いて前記第1の膜の膜厚及び前記第2の膜の膜厚の最適解の候補を求め、
前記第1の波長範囲とは異なる第2の波長範囲における前記計測対象物の波長毎の実測反射率と理論反射率との比較結果を用いて前記最適解の候補の中から前記第1の膜の膜厚及び前記第2の膜の膜厚の最適解を決定する膜厚計測装置。 - 前記解析部における前記実測反射率と前記理論反射率との比較は、前記第1の膜の膜厚及び前記第2の膜の膜厚が各層で同一であると仮定した超格子モデルに基づいて行われる請求項1記載の膜厚計測装置。
- 前記解析部で用いられる前記第2の波長範囲は、前記第1の波長範囲よりも短波長側の範囲を含む請求項1又は2記載の膜厚計測装置。
- 前記解析部で用いられる前記第2の波長範囲は、紫外域を含む請求項1〜3のいずれか一項記載の膜厚計測装置。
- 前記解析部で用いられる前記第2の波長範囲は、200nm〜300nmの範囲を含む請求項1〜4のいずれか一項記載の膜厚計測装置。
- 前記解析部で用いられる前記第1の波長範囲は、300nm〜800nmの範囲を含む請求項1〜5のいずれか一項記載の膜厚計測装置。
- 前記被検出光は、前記計測対象物を透過した前記計測光の透過光又は前記計測対象物で反射した前記計測光の反射光である請求項1〜6のいずれか一項記載の膜厚計測装置。
- 前記第1の膜は、シリコン酸化膜であり、前記第2の膜は、シリコン窒化膜である請求項1〜7のいずれか一項記載の膜厚計測装置。
- 基板上に第1の膜と第2の膜とが交互に複数積層された計測対象物について、前記第1の膜の膜厚及び前記第2の膜の膜厚を計測する膜厚計測方法であって、
前記計測対象物に対して計測光を出力する光出力ステップと、
前記計測対象物からの被検出光を分光検出する分光検出ステップと、
分光検出結果から得られる前記計測対象物の波長毎の実測反射率を理論反射率と比較し、前記第1の膜の膜厚及び前記第2の膜の膜厚を解析する解析ステップと、を備え、
前記解析ステップは、第1の波長範囲における前記計測対象物の波長毎の実測反射率と理論反射率との比較結果を用いて前記第1の膜の膜厚及び前記第2の膜の膜厚の最適解の候補を求める候補決定ステップと、
前記第1の波長範囲とは異なる第2の波長範囲における前記計測対象物の波長毎の実測反射率と理論反射率との比較結果を用いて前記最適解の候補の中から前記第1の膜の膜厚及び前記第2の膜の膜厚の最適解を決定する最適解決定ステップと、を有する膜厚計測方法。 - 前記解析ステップにおける前記実測反射率と前記理論反射率との比較は、前記第1の膜の膜厚及び前記第2の膜の膜厚が各層で同一であると仮定した超格子モデルに基づいて行う請求項9記載の膜厚計測方法。
- 前記解析ステップで用いられる前記第2の波長範囲は、前記第1の波長範囲よりも短波長側の範囲を含む請求項9又は10記載の膜厚計測方法。
- 前記解析ステップで用いられる前記第2の波長範囲は、紫外域を含む請求項9〜11のいずれか一項記載の膜厚計測方法。
- 前記解析ステップで用いられる前記第2の波長範囲は、200nm〜300nmの範囲を含む請求項9〜12のいずれか一項記載の膜厚計測方法。
- 前記解析ステップで用いられる前記第1の波長範囲は、300nm〜800nmの範囲を含む請求項9〜12のいずれか一項記載の膜厚計測方法。
- 前記被検出光として、前記計測対象物を透過した前記計測光の透過光又は前記計測対象物で反射した前記計測光の反射光を用いる請求項9〜14のいずれか一項記載の膜厚計測方法。
- 前記第1の膜は、シリコン酸化膜であり、前記第2の膜は、シリコン窒化膜である請求項9〜15のいずれか一項記載の膜厚計測方法。
- 基板上に第1の膜と第2の膜とが交互に複数積層された計測対象物について、前記第1の膜の膜厚及び前記第2の膜の膜厚を計測する膜厚計測プログラムであって、
コンピュータを、
分光検出部による検出結果から得られる前記計測対象物の波長毎の実測反射率を理論反射率と比較し、前記第1の膜の膜厚及び前記第2の膜の膜厚を解析する解析部として機能させ、
前記解析部により、
第1の波長範囲における前記計測対象物の波長毎の実測反射率と理論反射率との比較結果を用いて前記第1の膜の膜厚及び前記第2の膜の膜厚の最適解の候補を求める処理と、
前記第1の波長範囲とは異なる第2の波長範囲における前記計測対象物の波長毎の実測反射率と理論反射率との比較結果を用いて前記最適解の候補の中から前記第1の膜の膜厚及び前記第2の膜の膜厚の最適解を決定する処理とを実行させる膜厚計測プログラム。 - 請求項17に記載の膜厚計測プログラムを記録するコンピュータ読取可能な記録媒体。
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20220101070A (ko) | 2019-11-26 | 2022-07-19 | 하마마츠 포토닉스 가부시키가이샤 | 광학 유닛 및 막두께 계측 장치 |
KR20230138464A (ko) | 2021-02-09 | 2023-10-05 | 하마마츠 포토닉스 가부시키가이샤 | 막 두께 측정 장치 및 막 두께 측정 방법 |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN113376098A (zh) * | 2021-06-17 | 2021-09-10 | 陕西师范大学 | 一种原位监测半导体材料成膜和结晶的监测装置及使用方法 |
CN116766042B (zh) * | 2023-08-22 | 2023-10-13 | 北京特思迪半导体设备有限公司 | 用于晶圆薄膜磨削的厚度在线检测方法及设备 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0791921A (ja) * | 1993-09-20 | 1995-04-07 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 膜厚測定方法 |
JPH11160028A (ja) * | 1997-11-27 | 1999-06-18 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 膜厚測定装置および膜厚測定方法 |
JP2014055780A (ja) * | 2012-09-11 | 2014-03-27 | Otsuka Denshi Co Ltd | 膜厚測定方法及び膜厚測定装置 |
Family Cites Families (32)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS4834847B1 (ja) * | 1968-08-14 | 1973-10-24 | ||
JPS5117039B1 (ja) * | 1970-07-16 | 1976-05-29 | ||
US3751643A (en) | 1972-05-23 | 1973-08-07 | Ibm | System for performing spectral analyses under computer control |
JPH0731050B2 (ja) | 1988-12-29 | 1995-04-10 | オリンパス光学工業株式会社 | 光学式膜厚測定装置 |
US5486701A (en) | 1992-06-16 | 1996-01-23 | Prometrix Corporation | Method and apparatus for measuring reflectance in two wavelength bands to enable determination of thin film thickness |
JP3624476B2 (ja) | 1995-07-17 | 2005-03-02 | セイコーエプソン株式会社 | 半導体レーザ装置の製造方法 |
JP2000046525A (ja) | 1998-07-24 | 2000-02-18 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 膜厚測定装置 |
US6204922B1 (en) * | 1998-12-11 | 2001-03-20 | Filmetrics, Inc. | Rapid and accurate thin film measurement of individual layers in a multi-layered or patterned sample |
JP4252154B2 (ja) * | 1999-04-23 | 2009-04-08 | 日立ツール株式会社 | 多層膜被覆部材 |
JP2004119452A (ja) | 2002-09-24 | 2004-04-15 | Toshiba Corp | 薄膜測定方法とその装置 |
JP4144389B2 (ja) | 2003-03-14 | 2008-09-03 | オムロン株式会社 | 光学式膜計測装置 |
JP4100330B2 (ja) | 2003-11-10 | 2008-06-11 | オムロン株式会社 | 薄膜測定方法及び薄膜測定装置 |
JP5117039B2 (ja) | 2006-12-01 | 2013-01-09 | 芝浦メカトロニクス株式会社 | 膜厚測定方法及び膜厚測定装置 |
JP4834847B2 (ja) | 2007-10-05 | 2011-12-14 | 大塚電子株式会社 | 多層膜解析装置および多層膜解析方法 |
JP5309359B2 (ja) * | 2008-06-20 | 2013-10-09 | 大塚電子株式会社 | 膜厚測定装置および膜厚測定方法 |
CN101363768B (zh) | 2008-09-28 | 2010-06-09 | 厦门大学 | 一种单层光学薄膜光学常数和厚度的检测方法 |
JP5410806B2 (ja) | 2009-03-27 | 2014-02-05 | 浜松ホトニクス株式会社 | 膜厚測定装置及び測定方法 |
US8334986B2 (en) * | 2010-02-25 | 2012-12-18 | Corning Incorporated | Methods and apparatus for the measurement of film thickness |
WO2012140693A1 (ja) * | 2011-04-12 | 2012-10-18 | 株式会社ニレコ | 膜厚測定装置及び膜厚測定方法 |
JP2013032981A (ja) | 2011-08-02 | 2013-02-14 | Otsuka Denshi Co Ltd | 膜厚測定装置 |
JP5660026B2 (ja) | 2011-12-28 | 2015-01-28 | 信越半導体株式会社 | 膜厚分布測定方法 |
KR101388424B1 (ko) * | 2012-07-24 | 2014-04-23 | 에스엔유 프리시젼 주식회사 | 디지털 광학 기술을 이용한 두께 측정 장치 및 방법 |
US9984745B2 (en) * | 2013-11-15 | 2018-05-29 | National Institute Of Advanced Industrial Science And Technology | Spin electronic memory, information recording method and information reproducing method |
US9778194B2 (en) * | 2014-07-16 | 2017-10-03 | Purdue Research Foundation | In-situ combined sensing of uniaxial nanomechanical and micromechanical stress with simultaneous measurement of surface temperature profiles by raman shift in nanoscale and microscale structures |
CN105606566A (zh) | 2014-11-20 | 2016-05-25 | 中国建筑材料科学研究总院 | 一种透明介质膜层折射率及厚度在线测量方法 |
JP6462393B2 (ja) * | 2015-02-10 | 2019-01-30 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | 半導体装置の製造方法および半導体装置 |
US9702689B2 (en) | 2015-06-18 | 2017-07-11 | Xerox Corporation | Use of a full width array imaging sensor to measure real time film thicknesses on film manufacturing equipment |
EP3124912B1 (en) | 2015-07-30 | 2019-01-16 | Unity Semiconductor GmbH | Method and assembly for determining the thickness of a layer in a stack of layers |
CN107504907A (zh) | 2016-06-14 | 2017-12-22 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 超薄薄膜厚度和光学常数的测量装置和测量方法 |
CN106595501A (zh) | 2016-11-25 | 2017-04-26 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 测量光学薄膜厚度或均匀性的方法 |
JP6285597B1 (ja) * | 2017-06-05 | 2018-02-28 | 大塚電子株式会社 | 光学測定装置および光学測定方法 |
CN107641800A (zh) * | 2017-09-13 | 2018-01-30 | 中山大学 | 氧化锌mocvd设备间歇式喷淋工艺调整薄膜生长均匀性的方法 |
-
2018
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- 2018-10-01 KR KR1020207016847A patent/KR102631337B1/ko active IP Right Grant
- 2018-10-01 DE DE112018006794.7T patent/DE112018006794T5/de active Pending
- 2018-10-19 TW TW107136885A patent/TWI766116B/zh active
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0791921A (ja) * | 1993-09-20 | 1995-04-07 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 膜厚測定方法 |
JPH11160028A (ja) * | 1997-11-27 | 1999-06-18 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 膜厚測定装置および膜厚測定方法 |
JP2014055780A (ja) * | 2012-09-11 | 2014-03-27 | Otsuka Denshi Co Ltd | 膜厚測定方法及び膜厚測定装置 |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20220101070A (ko) | 2019-11-26 | 2022-07-19 | 하마마츠 포토닉스 가부시키가이샤 | 광학 유닛 및 막두께 계측 장치 |
CN114787580A (zh) * | 2019-11-26 | 2022-07-22 | 浜松光子学株式会社 | 光学单元及膜厚测量装置 |
US11988497B2 (en) | 2019-11-26 | 2024-05-21 | Hamamatsu Photonics K.K. | Optical unit and film thickness measurement device |
CN114787580B (zh) * | 2019-11-26 | 2024-06-04 | 浜松光子学株式会社 | 光学单元及膜厚测量装置 |
KR20230138464A (ko) | 2021-02-09 | 2023-10-05 | 하마마츠 포토닉스 가부시키가이샤 | 막 두께 측정 장치 및 막 두께 측정 방법 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
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