JP2019119483A - 扉装置及びグローブボックス - Google Patents

Abstract

【課題】開閉され易く、チャンバーの内部を安定的に密閉可能である他、装備のメンテナンスが容易になる扉装置及びグローブボックスを提供する。【解決手段】本発明に係る扉装置は、内部空間を有し、片面に開口部が形成されたチャンバーに配設される扉装置であって、前記開口部を覆うカバーユニットと、前記カバーユニット又は前記チャンバーに配設される第１の磁性ユニットと、前記第１の磁性ユニットと向かい合うように前記チャンバー又は前記カバーユニットに配設され、極性が変更可能であり、前記第１の磁性ユニットと分離自在に結合される第２の磁性ユニットと、を備える。また、本発明に係るグローブボックスは、内部空間を有し、片面に開口部が形成されるチャンバーと、前記チャンバーの内部に不活性ガスを供給するように配設されるガス供給器と、磁気力により前記開口部を開閉するように配設される扉と、を備える。【選択図】図３

Description

本発明は、扉装置及びグローブボックスに係り、更に詳しくは、開閉され易く、且つ、チャンバーの内部を安定的に密閉することのできる扉装置及びグローブボックスに関する。

一般に、グローブボックス（Ｇｌｏｖｅ Ｂｏｘ）は、内部に空間を有し、片面に開口部が形成される。また、グローブボックスには開口部の形状に倣って形成される扉が配設されて開口部を開閉することができる。例えば、グローブボックスの内部がＮ_２ガスにより満たされる場合、グローブボックス内に外部の空気が流入したり、グローブボックスの内部のＮ_２ガスが外部に流出したりすることを防ぐために、扉でグローブボックスの内部を密閉することができる。

従来は、クランプユニットを用いて扉をボックスに圧着していた。つまり、扉をグローブボックスの開口部の上に位置させ、複数のクランプユニットで扉をボックス側に付勢していた。このため、ボックスの開口部が扉により覆われ、ボックスと扉との間の隙間が無くなってボックスの内部が密閉されていた。

しかしながら、扉をボックスに圧着して隙間を無くすためには約１００個のクランプユニットが必要であり、たとえ小さな扉を圧着するとしても約４０〜５０個のクランプユニットが必要である。したがって、複数のクランプユニットのうちの少なくとも一部が正常に作動しない場合、扉とボックスとの間に隙間が生じる虞がある。なお、扉を開閉するために複数のクランプユニットを全て作動させることを余儀なくされるが故に、扉の開閉に長い時間がかかる虞がある。また、扉を開閉する度にクランプユニットが扉に衝撃を与えるが故に、扉が破損され易い。

韓国公開特許第２０１１−０１２７５８６号公報

本発明の目的は、開閉され易く、且つ、チャンバーの内部を安定的に密閉することのできる扉装置及びグローブボックスを提供することである。

また、本発明の他の目的は、装備のメンテナンスが容易になる扉装置及びグローブボックスを提供することである。

上記の目的を達成するために案出された本発明に係る扉装置は、内部空間を有し、片面に開口部が形成されたチャンバーに配設される扉装置であって、前記開口部を覆うカバーユニットと、前記カバーユニット又は前記チャンバーに配設される第１の磁性ユニットと、前記第１の磁性ユニットと向かい合うように前記チャンバー又は前記カバーユニットに配設され、極性が変更可能であり、前記第１の磁性ユニットと分離自在に結合される第２の磁性ユニットと、を備えることを特徴とする。

好ましくは、前記第１の磁性ユニットは固定され、前記第２の磁性ユニットは極性の位置が変更可能である。

また、好ましくは、前記第２の磁性ユニットは、前記チャンバー又は前記カバーユニットに配設される支持部材及び前記支持部材の内部に回転自在に配設される磁石部材を備える。

更に、好ましくは、前記第２の磁性ユニットは、電磁石及び前記電磁石に電流を供給する電源供給器を備える。

更にまた、好ましくは、前記扉装置は、前記カバーユニットの位置を感知する位置感知ユニットと、前記位置感知ユニットと連結され、前記電源供給器の作動を制御する制御ユニットと、を更に備える。

更にまた、好ましくは、前記第１の磁性ユニットは、金属部材及び磁石のうちの少なくともいずれか一方を備える。

更にまた、好ましくは、前記扉装置は、前記第１の磁性ユニットと前記第２の磁性ユニットとの間の衝撃を低減させるように前記第１の磁性ユニット及び前記第２の磁性ユニットのうちの少なくともいずれか一方に配設される緩衝ユニットを更に備える。

更にまた、好ましくは、前記チャンバーは、前記開口部の周縁を取り囲む第１の鍔部及び前記第１の鍔部の周縁を取り囲む第２の鍔部を備え、前記カバーユニットは、前記開口部を覆う第１のカバー及び前記第１のカバーに連結されて前記第１のカバーと前記第１の鍔部との間の隙間を覆い、前記第２の鍔部と接触可能な第２のカバーを備える。

更にまた、好ましくは、前記扉装置は、前記チャンバーと前記カバーユニットとの間の隙間を遮断するように前記カバーユニットに配設され、前記チャンバーと接触可能な封止ユニットを更に備える。

更にまた、好ましくは、前記封止ユニットは、前記第１のカバーに配設される第１の封止部材及び前記第２のカバーに配設される第２の封止部材のうちの少なくともいずれか一方を備える。

上記の目的を達成するために案出された本発明に係るグローブボックスは、内部空間を有し、片面に開口部が形成されるチャンバーと、前記チャンバーの内部に不活性ガスを供給するように配設されるガス供給器と、磁気力により前記開口部を開閉するように配設される扉と、を備えることを特徴とする。

好ましくは、前記扉は、前記開口部を覆うカバーユニットと、前記カバーユニット又は前記チャンバーに配設される第１の磁性ユニットと、前記第１の磁性ユニットと向かい合うように前記チャンバー又は前記カバーユニットに配設され、前記第１の磁性ユニットと向かい合う部分の極性が変更可能な第２の磁性ユニットと、を備える。

また、好ましくは、前記第１の磁性ユニット及び前記第２の磁性ユニットは複数配備されて、前記開口部の周縁に沿って配置される。

更に、好ましくは、前記扉は、前記チャンバーと接触可能なように前記カバーユニットに配設され、前記開口部の周縁に沿って形成されて前記第１の磁性ユニット及び前記第２の磁性ユニットの周縁の内側及び外側のうちの少なくともいずれか一方の位置に配置される封止ユニットを更に備える。

更にまた、好ましくは、前記封止ユニットは、少なくとも一部が前記カバーユニットの外側に突出され、前記扉は、前記封止ユニットを前記チャンバーに密着するように配設される付勢ユニットを更に備える。

更にまた、好ましくは、前記付勢ユニットは、前記カバーユニットに配設される第１の磁性体及び前記チャンバーに配設される第２の磁性体を備え、前記封止ユニットは、前記第１の磁性体と前記第２の磁性体との間に介装される。

更にまた、好ましくは、前記グローブボックスは、前記チャンバーの内部の酸素濃度を測定するように配設される酸素測定器と、前記酸素測定器の測定結果に基づいて前記第２の磁性ユニットの極性が変更可能な制御器と、を更に備える。

更にまた、好ましくは、前記グローブボックスは、前記チャンバーの内部に酸素含有ガスを供給するように配設される酸素供給器を更に備える。

更にまた、好ましくは、前記グローブボックスは、前記チャンバーに出入り口が配備され、前記出入り口を開閉するように配設されるゲートと、前記出入り口を介して基板を搬送するように前記チャンバーの内部に配設される搬送器と、を更に備える。

本発明の実施の形態によれば、チャンバー又はチャンバーの開口部を開閉するカバーユニットに極性の方向が変更可能な磁性ユニットが配備される。このため、磁性ユニットの極性を変更してチャンバーにカバーユニットを取り付けたり、チャンバーからカバーユニットを取り外したりできる。したがって、磁性ユニットの作動を制御して速やかに且つ手軽にボックスの開口部を開閉することができる。

また、チャンバー及びカバーユニットが磁性ユニットの磁気力により互いに密着されてチャンバーとカバーユニットとの間の隙間を遮断することができる。このため、チャンバーの内部のガスが外部に流出したり、チャンバーの外部のガスがチャンバーの内部に流入したりすることを抑制又は防止することができる。

更に、クランプユニットを使用するときよりもカバーユニットに加えられる衝撃を低減させることができる。したがって、カバーユニットの寿命を向上させることができ、装備のメンテナンスが容易になる。

図１は、本発明の実施の形態に係るグローブボックスの外形を概念的に示す斜視図である。 図２（ａ）及び図２（ｂ）は、本発明の実施の形態に係るグローブボックスの外形を概念的に示す断面図である。 図３（ａ）及び図３（ｂ）は、本発明の実施の形態に係る第１の磁性ユニット及び第２の磁性ユニットの作動構造を示す図である。 図４（ａ）から図４（ｃ）は、本発明の実施の形態に係る扉装置の構造を示す図である。 図５（ａ）及び図５（ｂ）は、本発明の実施の形態に係る付勢ユニットの作動構造を示す図である。 図６は、本発明の他の実施の形態に係る扉装置の構造を示す図である。 図７は、本発明の実施の形態に係るグローブボックスの構造を示す図である。 図８は、本発明の実施の形態に係るグローブボックスの構造を示す平面図である。

以下、添付図面に基づいて本発明の実施の形態に係る扉装置及びグローブボックスについて詳細に説明する。しかしながら、本発明は以下に開示される実施の形態に何ら限定されるものではなく、異なる様々な形態に具体化され、単にこれらの実施の形態は本発明の開示を完全たるものにし、通常の知識を有する者に発明の範囲を完全に知らせるために提供されるものである。本発明の実施の形態に係る扉装置及びグローブボックスについて説明するに当たって、同じ構成要素に対しては同じ参照符号を附し、本発明の実施の形態に係る扉装置及びグローブボックスについて詳細に説明するために図面は誇張されていてもよく、図中、同じ参照符号は、同じ構成要素を示す。

図１は、本発明の実施の形態に係るグローブボックスの外形を概念的に示す斜視図である。以下では、本発明の実施の形態に係るグローブボックスについて説明する。

図１を参照すると、グローブボックス１０００は、チャンバー２００と、ガス供給器と、扉とを備える。また、グローブボックス１０００は、ガス排出器と、酸素測定器と、制御器と、搬送器とを更に備えていてもよい。

チャンバー２００は、矩形筒状に形成されていてもよく、内部に空間を有している。チャンバー２００の片面（例えば、上面）の少なくとも一部は、開放されて開口部が形成されていてもよい。開口部は、チャンバー２００の平面形状に倣って矩形状に形成されていてもよい。

また、チャンバー２００は、開口部の周縁を取り囲む第１の鍔部２１０及び第１の鍔部２１０の外周縁を取り囲む第２の鍔部２２０を備えていてもよい。第１の鍔部２１０及び第２の鍔部２２０の上下方向の位置は、互いに異なっていてもよく、第１の鍔部２１０及び第２の鍔部２２０の上下方向の位置の違いにより段差が形成されていてもよい。例えば、第１の鍔部２１０が第２の鍔部２２０よりも高い個所に位置していてもよい。つまり、第１の鍔部２１０及び第２の鍔部２２０は、高さが互いに異なる面であってもよい。逆に、第２の鍔部２２０が第１の鍔部２１０よりも高い個所に位置していてもよい。

チャンバー２００の側面には、基板が出入り可能な複数の出入り口が形成されていてもよい。つまり、開口部が形成された面とは異なる面に出入り口が形成されていてもよい。チャンバー２００は、出入り口を介して基板を処理する他の装置と内部が連通されていてもよい。このとき、複数のゲートが出入り口に配備されて、各々の出入り口を開閉してもよい。例えば、ゲートは、ゲート弁であってもよい。したがって、ゲートの作動を制御して、チャンバー２００の内部と他の装置の内部とを連通したり遮断したりできる。しかしながら、チャンバー２００の構造及び形状はこれに何等限定されるものではなく、種々に変更可能である。

扉は、チャンバー２００の開口部を開閉する役割を果たす。扉は、磁気力によりチャンバー２００の開口部を開閉するものであってもよい。このため、扉は、チャンバー２００の内部のガスが外部に流出したり、外部のガスがチャンバー２００の内部に流入したりすることを抑制又は防止することができる。

図２は、本発明の実施の形態に係るグローブボックスの外形を概念的に示す断面図であり、図３は、本発明の実施の形態に係る第１の磁性ユニット及び第２の磁性ユニットの作動構造を示す図である。以下では、本発明の実施の形態に係る扉装置の構造について詳細に説明する。

図２及び図３を参照すると、扉装置１００は、内部空間を有し、片面に開口部が形成されたチャンバー２００に配設される扉装置である。扉装置１００は、カバーユニット１１０と、第１の磁性ユニット１２０と、第２の磁性ユニット１５０とを備える。また、扉装置１００は、ヒンジユニット１３０と、封止ユニット１４０と、位置感知ユニット１７０と、緩衝ユニット（図示せず）とを更に備えていてもよい。このとき、扉装置１００は、本発明の実施の形態に係るグローブボックス１０００に配備される扉であってもよい。

カバーユニット１１０は、チャンバー２００の開口部を開閉する役割を果たす。カバーユニット１１０は、チャンバー２００の開口部を覆う第１のカバー１１１と、該第１のカバー１１１に連結されて第１のカバー１１１と第１の鍔部２１０との間の隙間を覆い、第２の鍔部２２０と接触可能な第２のカバー１１２とを備えていてもよい。

第１のカバー１１１は、チャンバー２００の開口部を覆う役割を果たす。第１のカバー１１１は、チャンバー２００の開口部の形状に倣って矩形のプレート状に形成されていてもよい。第１のカバー１１１の面積は、開口部の面積よりも大きく形成されていてもよい。このため、第１のカバー１１１を開口部の上に位置させると、第１のカバー１１１がチャンバー２００の開口部を覆って開口部が閉鎖される。しかしながら、第１のカバー１１１の形状は、これに何等限定されるものではなく、種々に変更可能である。

第２のカバー１１２は、第１のカバー１１１と第１の鍔部２１０との間の隙間を覆う役割を果たす。第２のカバー１１２は、第１のカバー１１１又は第１の鍔部２１０の周縁の形状に倣って矩形のリング状に形成されていてもよく、第１のカバー１１１の下部に連結されていてもよい。つまり、第２のカバー１１２は、第１のカバー１１１に連結されて下側に突出するものであってもよく、開口部の周縁を取り囲むものであってもよい。

また、第２のカバー１１２の上下方向の長さは、第１の鍔部２１０の上下方向の長さ以上であってもよく、第２のカバー１１２の下面は、第２の鍔部２２０の上面と接触していてもよい。したがって、第２のカバー１１２を第２の鍔部２２０の上に載置すれば、第１のカバー１１１がチャンバー２００の開口部を覆うことができ、第１のカバー１１１と第１の鍔部２１０との間の隙間は第２のカバー１１２が覆うことができる。しかしながら、第２のカバー１１２の構造及び形状は、これに何等限定されるものではなく、種々に変更可能である。

このとき、カバーユニット１１０に取っ手（図示せず）が配備されていてもよい。例えば、取っ手は、第１のカバー１１１の上面と、第２のカバー１１２の上面及び第２のカバー１１２の側面のうちの少なくともいずれか一つに配設されていてもよい。その場合、作業者が取っ手を用いてカバーユニット１１０を開閉することができる。

更に、カバーユニット１１０には、静電気除去部材（図示せず）が配備されていてもよい。静電気除去部材は、伝導性繊維により形成される電線であってもよく、一方の端が第１のカバー１１１、第２のカバー１１２及び取っ手のうちの少なくともいずれか一つと連結され、他方の端が接地されていてもよい。これによると、作業者がカバーユニット１１０を開閉するときに静電気が発生することを防ぐことができる。しかしながら、カバーユニット１１０の構造及び形状は、これに何等限定されるものではなく、種々に変更可能である。

ヒンジユニット１３０は、図２に示すように、カバーユニット１１０をチャンバー２００に回動自在に連結する役割を果たす。ヒンジユニット１３０は、プレート１３１と、カバーユニット１１０及びプレート１３１の一方の側を回転自在に連結する第１のヒンジ１３２と、チャンバー２００及びプレート１３１の他方の側を回転自在に連結する第２のヒンジ１３３とを備えていてもよい。

プレート１３１は、矩形の板状に形成されてもよく、上側及び下側に突出部が形成されていてもよい。プレート１３１は、一つ又は複数配備されていてもよい。プレート１３１は、第１のカバー１１１の延長方向又は延長方向と交差する方向に延設されてもよく、複数が並べて配置されていてもよい。しかしながら、プレート１３１の構造及び形状はこれに何等限定されるものではなく、種々に変更可能である。

第１のヒンジ１３２は、プレート１３１に回転自在に連結され、且つ、第２のカバー１１２に固定されていてもよい。例えば、第１のヒンジ１３２は、プレート１３１の上側の突出部を回転自在に貫通する回転軸を備えていてもよい。回転軸は、第２のカバー１１２の側面に取りつけられていてもよい。これにより、カバーユニット１１０は、第１のヒンジ１３２を中心として上下方向に回動することができる。このため、カバーユニット１１０を上側に回動させると、チャンバー２００の開口部が開放され、カバーユニット１１０を下側に回動させると、チャンバー２００の開口部がカバーユニット１１０により覆われて閉鎖される。しかしながら、第１のヒンジ１３２の構造は、これに何等限定されるものではなく、種々に変更可能である。

第２のヒンジ１３３は、プレート１３１に回転自在に連結され、且つ、チャンバー２００に固定されていてもよい。例えば、第２のヒンジ１３３は、プレート１３１の下側の突出部を回転自在に貫通する回転軸を備えていてもよい。回転軸は、チャンバー２００の側面に取り付けられていてもよい。これにより、プレート１３１は、第２のヒンジ１３３を中心として上下方向に回動することができる。このため、プレート１３１を回動させると、カバーユニット１１０も共に回動させることができる。しかしながら、第２のヒンジ１３３の構造は、これに何等限定されるものではなく、種々に変更可能である。

このように、カバーユニット１１０及びチャンバー２００は、二重のヒンジ構造を有するヒンジユニット１３０により連結されていてもよい。これにより、カバーユニット１１０は、ヒンジユニット１３０によって二重に回動することができるので、カバーユニット１１０を開閉するときにチャンバー２００の鍔部と干渉が生じることを抑制又は防止することができる。このため、カバーユニット１１０が開閉され易く、カバーユニット１１０及びチャンバー２００の鍔部が衝突して損傷されることを抑制又は防止することができる。しかしながら、ヒンジユニット１３０の構造は、これに何等限定されるものではなく、種々に変更可能である。

第１の磁性ユニット１２０は、カバーユニット１１０又はチャンバー２００に配設されていてもよい。例えば、第１の磁性ユニット１２０は、第１のカバー１１１の下面に配設されていてもよい。第１の磁性ユニット１２０は、鉄成分を含有する金属部材及び磁石（又は、永久磁石）のうちの少なくともいずれか一方を備えていてもよい。このため、第１の磁性ユニット１２０は、第２の磁性ユニット１５０と磁気力により結合されたり分離されたりする。

また、第１の磁性ユニット１２０は、開口部の周縁の形状に倣って矩形のリング状に形成されていてもよく、複数のプレート状に形成されて開口部の周縁に沿って配置されていてもよい。第１の磁性ユニット１２０が磁石である場合、第１の磁性ユニット１２０の極性の位置、すなわち、Ｎ極及びＳ極の位置は固定される。しかしながら、第１の磁性ユニット１２０の構造、形状及び配設位置は、これに何等限定されるものではなく、種々に変更可能である。

第２の磁性ユニット１５０は、チャンバー２００又はカバーユニット１１０に配設されて第１の磁性ユニット１２０と向かい合うように配置されていてもよい。すなわち、第１の磁性ユニット１２０がカバーユニット１１０に配設されると、第２の磁性ユニット１５０はチャンバー２００に配設され、第１の磁性ユニット１２０がチャンバー２００に配設されると、第２の磁性ユニット１５０はカバーユニット１１０に配設されていてもよい。例えば、第２の磁性ユニット１５０は、第１の鍔部２１０の上面に配設されて第１の磁性ユニット１２０と向かい合うように配置されていてもよく、磁気力により第１の磁性ユニット１２０と分離自在に結合されていてもよい。

また、第２の磁性ユニット１５０は、チャンバー２００又はカバーユニット１１０に配設される支持部材１５１及び支持部材１５１の内部に回転自在に配設される磁石部材１５２を備えていてもよい。第２の磁性ユニット１５０は、Ｎ極及びＳ極の位置を変更することができる。したがって、第２の磁性ユニット１５０の極性の位置を変更して第２の磁性ユニット１５０を第１の磁性ユニット１２０に結合させたり、第２の磁性ユニット１５０から第１の磁性ユニット１２０を分離させたりすることができる。

このとき、第１の磁性ユニット１２０及び第２の磁性ユニット１５０は、複数配備されて開口部の周縁に沿って配置されていてもよい。第１の磁性ユニット１２０及び第２の磁性ユニット１５０の長さよりもチャンバー２００の周縁の長さの方が更に大きい場合、第１の磁性ユニット１２０及び第２の磁性ユニット１５０を複数備えていてもよい。第１の磁性ユニット１２０及び第２の磁性ユニット１５０の引力により、第１の磁性ユニット１２０（又は、第２の磁性ユニット１５０）同士が互いに離隔されていても、カバーユニット１１０及びチャンバー２００が密着されて遮断される。第１の磁性ユニット１２０（又は、第２の磁性ユニット１５０）の間には、ヒンジユニット１３０などの他の部材が介装されていてもよい。

更に、第１の磁性ユニット１２０及び第２の磁性ユニット１５０は、開口部の角部には配設されなくてもよい。すなわち、第１の磁性ユニット１２０及び第２の磁性ユニット１５０は、延長方向が折れ曲がる個所に配設されなくてもよい。このため、第２の磁性ユニット１５０に配備される磁石部材１５１が一方向にのみ延設可能であるため、磁石部材１５１を回転させて極性の位置を変更することが容易になる。しかしながら、本発明はこれに何等限定されるものではなく、第１の磁性ユニット１２０及び第２の磁性ユニット１５０は一つずつ配備されて開口部の周縁に沿って形成されていてもよい。

支持部材１５１は、磁石部材１５２を支持する役割を果たす。例えば、支持部材１５１は、第１の鍔部２１０の上面に配設されていてもよい。支持部材１５１の内部は中空状に形成されていてもよく、磁石部材１５２が支持部材１５１の内部に嵌入して回転するものであってもよい。支持部材１５１は、一つ又は複数配備されて開口部の周縁に沿って配置される。

磁石部材１５１と第１の磁性ユニット１２０の極性が異なって引力が及ぼされる場合、支持部材１５１の上面は第１の磁性ユニット１２０の下面と接触し、磁気力により結合される。しかしながら、支持部材１５１の構造、形状及び配設位置は、これに何等限定されるものではなく、種々に変更可能である。

磁石部材１５２は、磁気力を有する永久磁石であってもよい。磁石部材１５２は、円形の棒状に形成されていてもよく、支持部材１５１の内部に配設されて回転するものであってもよい。すなわち、磁石部材１５２は、回転によりＮ極及びＳ極の位置が変わってもよい。磁石部材１５２は、複数配備されて開口部の周縁を取り囲むように配置されていてもよい。しかしながら、磁石部材１５２の構造及び形状は、これに何等限定されるものではなく、種々に変更可能である。

また、磁石部材１５２を回転させるように磁石部材１５２にレバー（図示せず）が配設されていてもよい。レバーは棒状に形成されていてもよく、磁石部材１５２と共に回転するものであってもよい。レバーは、磁石部材１５２の延長方向と交差する方向に延設され、一方の端が磁石部材１５２に連結され、他方の端がカバーユニット１１０を貫通していてもよい。このとき、カバーユニット１１０にはレバーが貫通可能な貫通口（図示せず）が形成されていてもよい。貫通口は、レバーが上下方向に回動可能な経路を形成する。したがって、作業者によりレバーの他方の端が一方の端を中心として上下に回動させられると、磁石部材１５２が回転可能になり、磁石部材１５２が回転しながら極性の位置が変わる。このため、カバーユニット１１０とチャンバー２００が、結合されたり分離されたりする。

或いは、磁石部材１５２が駆動器（図示せず）と連結されていてもよい。駆動器は、モーターやロータリーシリンダーであってもよい。駆動器は、チャンバー２００やカバーユニット１１０に配設されていてもよい。駆動器は、磁石部材１５２の回転中心軸と連結されていてもよい。このため、駆動器の作動により、磁石部材１５２を、中心軸を基準として回転させることができる。これにより、磁石部材１５２のＳ極及びＮ極の位置が変更可能になる。このとき、駆動器は、一つ又は複数配備されて、複数の第２の磁性ユニット１５０に配備される磁石部材１５２のうちの少なくともいずれか一つと連結されていてもよい。制御器５００は、駆動器の作動を制御してチャンバーの開口部２００を選択的に開閉してもよい。しかしながら、磁石部材１５２を回転させる方法は、これに何等限定されるものではなく、種々に変更可能である。

例えば、第１の磁性ユニット１２０が金属部材である場合、磁石部材１５２は、８０〜１２０°の角度で回転してもよい。例えば、磁石部材１５２のＮ極及びＳ極が水平を保つ場合、磁石部材１５２は、第１の磁性ユニット１２０と結合されていてもよい。このとき、チャンバー２００の内部の圧力が外部の圧力よりも高いため、磁石部材１５２を回転させると、第１の磁性ユニット１２０と磁石部材１５２との間の結合力が弱くなり、チャンバー２００の内部の圧力によってカバーユニット１１０が上側に移動することとなる。したがって、磁石部材１５２を回転させてチャンバー２００の開口部を開放することができる。

或いは、第１の磁性ユニット１２０が永久磁石である場合、第１の磁性ユニット１２０が固定されて第１の磁性ユニット１２０の極性の位置は変わらない。第２の磁性ユニット１５０は、１８０°以上の角度で回転可能である。したがって、第２の磁性ユニット１５０を回転させて第２の磁性ユニットの上面の極性を第１の磁性ユニット１２０の下面の極性と異ならせると、第１の磁性ユニット１２０と第２の磁性ユニット１５０の磁気力により、第１の磁性ユニット１２０は、第２の磁性ユニット１５０にくっつく。このため、カバーユニット１１０がチャンバー２００の開口部を覆うこととなり、チャンバー２００の内部を密閉することができる。

逆に、第２の磁性ユニット１５０を回転させて第１の磁性ユニット１２０及び第２の磁性ユニット１５０の向かい合う部分の極性を同じにすると、第１の磁性ユニット１２０と第２の磁性ユニット１５０が互いに反発することとなる。このため、カバーユニット１１０が上側に移動することとなり、チャンバー２００の開口部を開放することができる。したがって、第２の磁性ユニット１５０を回転させてチャンバー２００の開口部を開閉することができる。

緩衝ユニット（図示せず）は、第１の磁性ユニット１２０と第２の磁性ユニット１５０との間の衝撃を低減させるように第１の磁性ユニット１２０及び第２の磁性ユニット１５０のうちの少なくともいずれか一方に配設されていてもよい。緩衝ユニットは、第１の磁性ユニット１２０よりも下側に更に突出していてもよく、第２の磁性ユニット１５０よりも上側に更に突出していてもよい。緩衝ユニットは、第１の磁性ユニット１２０又は第２の磁性ユニット１５０の周縁を取り囲むように形成されていてもよい。例えば、緩衝ユニットが第１の磁性ユニット１２０の周縁を取り囲む場合、緩衝ユニットは第１の磁性ユニット１２０よりも下側に更に突出していてもよく、弾性力を有して収縮されたり伸張されたりする。

このため、第１の磁性ユニット１２０及び第２の磁性ユニット１５０の向かい合う部分の極性が互いに異なって互いに引き合う場合、まず、緩衝ユニットが第１の鍔部２１０の上面又は第２の磁性ユニット１５０の上面に接触されて圧縮された後に、第１の磁性ユニット１２０と第２の磁性ユニット１５０とが互いに接触可能になる。したがって、緩衝ユニットが圧縮されることにより、第１の磁性ユニット１２０と第２の磁性ユニット１５０が接触して衝撃が生じることを抑制又は防止することができる。しかしながら、緩衝ユニットの構造、形状及び配設位置は、これに何等限定されるものではなく、種々に変更可能である。

図４は、本発明の実施の形態に係る扉装置の構造を示す図であり、図５は、本発明の実施の形態に係る付勢ユニットの作動構造を示す図である。以下では、本発明の実施の形態に係る封止ユニット及び付勢ユニットについて説明する。

図４を参照すると、封止ユニット１４０は、チャンバー２００とカバーユニット１１０との間の隙間を遮断する役割を果たす。封止ユニット１４０は、開口部の周縁に沿って形成されて第１の磁性ユニット１２０及び第２の磁性ユニット１５０の周縁の内側及び外側のうちの少なくともいずれか一方に配置されていてもよい。

また、封止ユニット１４０は、カバーユニット１１０に配設されて、少なくとも一部がカバーユニット１１０の外側に突出していてもよい。このとき、封止ユニット１４０は、弾性力を有して伸張したり収縮したりする。したがって、カバーユニット１１０を閉じるとき、封止ユニット１４０がカバーユニット１１０よりも先にチャンバー２００と接触し、封止ユニット１４０が収縮しながらカバーユニット１１０がチャンバー２００と接触する。したがって、封止ユニット１４０は、カバーユニット１１０とチャンバー２００との間の衝撃を低減させ、カバーユニット１１０とチャンバー２００との間を効率よく遮断することができる。封止ユニット１４０は、第１のカバー１１１に配設される第１の封止部材１４１及び第２のカバー１１２に配設される第２の封止部材１４２のうちの少なくともいずれか一方を備えていてもよい。

図４（ａ）に示すように、第１の封止部材１４１のみ配備される場合、第１の封止部材１４１は、第１のカバー１１１の第１の鍔部２１０と向かい合う個所に配設されていてもよく、第１の鍔部２１０の上面と接触していてもよい。例えば、第１の封止部材１４１の下部には、第１のカバー１１１の少なくとも一部が嵌入可能な溝が形成されていてもよく、第１の封止部材１４１は、第１のカバー１１１に形成された溝に嵌設されていてもよい。第１の封止部材１４１は、Ｏリングの役割を果たしてもよく、第１のカバー１１１と第１の鍔部２１０との間の隙間を遮断するものであってもよい。

また、第１の封止部材１４１は、第１のカバー１１１の下面よりも下側に突出していてもよく、弾性力を有していてもよい。このとき、第１のカバー１１１の下部に第１の磁性ユニット１２０が配設される場合、第１の封止部材１４１は、第１の磁性ユニット１２０の下面よりも下側に突出していてもよい。このため、第１のカバー１１１を第１の鍔部２１０に密着させれば、第１の封止部材１４１は、第１のカバー１１１と第１の鍔部２１０との間において圧縮可能になる。したがって、第１のカバー１１１は、第１の鍔部２１０に接触可能になる。或いは、第１の磁性ユニット１２０は、第１の鍔部２１０に配設された第２の磁性ユニット１５０と接触可能になる。第１の封止部材１４１は、第１のカバー１１１と第１の鍔部２１０との間の全ての隙間を遮断し、チャンバー２００の内部が密閉可能になる。しかしながら、第１の封止部材１４１の構造及び位置は、これに何等限定されるものではなく、種々に変更可能である。

図４（ｂ）に示すように、第２の封止部材１４２のみ配備される場合、第２の封止部材１４２は、第２のカバー１１２の第２の鍔部２２０と向かい合う個所に配設されていてもよく、第２の鍔部２２０の上面と接触するものであってもよい。例えば、第２の封止部材１４２の下部には、第２のカバー１１２の少なくとも一部が嵌入可能な溝が形成されていてもよく、第２の封止部材１４２は、第２のカバー１１２に形成された溝に嵌設されていてもよい。第２の封止部材１４２は、Ｏリングの役割を果たしてもよく、第２のカバー１１２と第２の鍔部２２０との間の隙間を遮断するものであってもよい。

また、第２の封止部材１４２は、第２のカバー１１２の下面よりも下側に突出していてもよく、弾性力を有していてもよい。このため、第２のカバー１１２を第２の鍔部２２０に密着させれば、第２の封止部材１４２は、第２のカバー１１２と第２の鍔部２２０との間において圧縮可能になる。したがって、第２のカバー１１２が第２の鍔部２２０に接触可能になり、第２の封止部材１４２が第２のカバー１１２と第２の鍔部２２０との間の全ての隙間を遮断し、チャンバー２００の内部が密閉可能になる。しかしながら、第２の封止部材１４２の構造及び位置は、これに何等限定されるものではなく、種々に変更可能である。

図４（ｃ）に示すように、第１の封止部材１４１及び第２の封止部材１４２が両方とも配備されていてもよい。このため、第１のカバー１１１と第１の鍔部２１０との間の隙間が第１の封止部材１４１により１次的に遮断され、第２のカバー１１２と第２の鍔部２２０との間の隙間が第２の封止部材１４２により２次的に遮断可能である。すなわち、チャンバー２００の内部が二重に密閉されて外部のガスがチャンバー２００の内部に流入したり、チャンバー２００の内部のガスが外部に流出したりすることを効率よく防ぐことができる。しかしながら、カバーユニット１１０の構造及び構成要素もまた、これに何等限定されるものではなく、種々に組み合わせ可能である。

付勢ユニット１９０は、図５に示すように、封止ユニット１４０を付勢してチャンバー２００に密着させる役割を果たす。付勢ユニット１９０は、カバーユニット１１０に配設される第１の磁性体１９１及びチャンバー２００に配設される第２の磁性体１９２を備えていてもよい。

第１の磁性体１９１は、カバーユニット１１０に配設されていてもよい。例えば、第１の磁性体１９１は、カバーユニット１１０の第１の封止部材１４１が嵌入可能な溝内に配設されていてもよい。第１の磁性体１９１は、磁気力を有する磁石や電磁石であってもよい。或いは、第２の磁性体１９２が磁気力を有する材質により製作される場合、第１の磁性体１９１は、磁石がくっつく性質を有する金属により製作されていてもよい。

第２の磁性体１９２は、チャンバー２００に配設されていてもよい。第２の磁性体１９２は、封止ユニット１４０と向かい合うように配置されていてもよい。この場合、カバーユニット１１０が閉じられると、第１の磁性体１９１と第２の磁性体１９２との間に封止ユニット１４０が介装されることとなる。すなわち、第１の磁性体１９１と封止ユニット１４０と第２の磁性体１９２とは、上下方向に同一線上に位置していてもよい。第２の磁性体１９２は、磁気力を有する磁石や電磁石であってもよい。或いは、第１の磁性体１９１が磁気力を有する材質により製作される場合、第２の磁性体１９２は、磁石がくっつく性質を有する金属により製作されていてもよい。

カバーユニット１１０が閉じられて第１の磁性体１９１と第２の磁性体１９２とが近接すれば、第１の磁性体１９１及び第２の磁性体１９２が磁気力により互いに引き合わされる。このため、封止ユニット１４０が第１の磁性体１９１と第２の磁性体１９２との間において圧着可能であり、カバーユニット１１０がチャンバー２００に安定的に閉じられる。なお、封止ユニット１４０が圧着されながら、第１の磁性ユニット１２０及び第２の磁性ユニット１５０が互いに安定的にくっつく。

このとき、第１の磁性体１９１と第２の磁性体１９２とが離隔されているため、第１の磁性ユニット１２０と第２の磁性ユニット１５０との間に発生する力よりも、第１の磁性体１９１と第２の磁性体１９２との間に発生する力の方が更に小さい。したがって、第１の磁性ユニット１２０と第２の磁性ユニット１５０との間に互いに反発する力が及ぼされるとき、カバーユニット１１０がチャンバー２００の開口部を安定的に開放することができる。しかしながら、付勢ユニット１９０が封止ユニット１４０を付勢する方法は、これに何等限定されるものではなく、種々に変更可能である。

図６は、本発明の他の実施の形態に係る扉装置の構造を示す図である。以下では、本発明の他の実施の形態に係る第２の磁性ユニット１５０の構造について説明する。

図６を参照すると、本発明の他の実施の形態に係る第２の磁性ユニット１５０は、電磁石１５５及び電磁石１５５に電源を供給する電源供給器（図示せず）を備えていてもよい。

電磁石１５５は、電源が供給されれば、磁気力を発生させる。また、電磁石１５５は、供給される電流の方向に応じて極性が変わる。電磁石１５５は、一つ又は複数配備されて開口部の周縁に沿って配設されていてもよい。例えば、電磁石１５５は、第１の鍔部２１０の上面に配設されていてもよく、上面が第１のカバー１１１の下面に配設された第１の磁性ユニット１２０と向かい合うように配置されていてもよい。しかしながら、電磁石１５５の配設位置は、これに何等限定されるものではなく、種々に変更可能である。

電源供給器は、電磁石１５５と連結されて電磁石１５５に電源を供給する役割を果たす。したがって、電源供給器が電磁石１５５に電源を供給すれば、電磁石１５５が磁気力を有し、電源の供給を中断すれば、電磁石１５５の磁気力が無くなる。すなわち、電源供給器は、電磁石１５５のスイッチの役割を果たす。このため、カバーユニット１１０がチャンバー２００を密閉させるときには、電磁石１５５に電源を供給し、チャンバー２００を開放するときには、電磁石１５５への電源の供給を中断することができる。なお、電源供給器は、供給する電流の方向を変えて電磁石１５５の極性の位置を変えてもよい。

一方、第１の磁性ユニット１２０は、磁石であってもよい。例えば、第１の磁性ユニット１２０の電磁石１５５と向かい合う面がＮ極であってもよい。このため、電磁石１５５の極性を変更して電磁石１５５が第１の磁性ユニット１２０とは異なる極性を有すれば、電磁石１５５が第１の磁性ユニット１２０にくっつき、チャンバー２００の内部が密閉可能になる。逆に、電磁石１５５の極性を変更して電磁石１５５が第１の磁性ユニット１２０と同じ極性を有すれば、電磁石１５５及び第１の磁性ユニット１２０の向かい合う面の極性が同じになり、容易に分離することができる。

或いは、第１の磁性ユニット１２０は、金属部材であってもよい。このため、カバーユニット１１０をチャンバー２００に取り付けるときには、電源供給器が電磁石１５５に電流を供給することにより、電磁石１５５に磁気力を備えさせる。逆に、カバーユニット１１０をチャンバー２００から取り外すときには、電源供給器が電磁石１５５に電流を供給することを中断することにより、電磁石１５５の磁気力を失わせる。これにより、カバーユニット１１０は、チャンバー２００の開口部を容易に開閉することができる。

或いは、第１の磁性ユニット１２０は、電磁石であってもよい。したがって、チャンバー２００の内部を密閉させるときには、第１の磁性ユニット１２０及び電磁石１５５の極性を異ならせることにより、カバーユニット１１０をチャンバー２００に取り付けることができ、チャンバー２００の内部を開放するときには、第１の磁性ユニット１２０及び電磁石１５５の極性を同じにすることにより、カバーユニット１１０をチャンバー２００から取り外すことができる。このため、第１の磁性ユニット１２０及び電磁石１５５の極性を変更して自動的にチャンバー２００の内部を開閉することができる。

しかしながら、第１の磁性ユニット１２０の極性の位置及び電磁石の配設位置は、これに何等限定されるものではなく、種々に変更可能である。また、電磁石１５５が第１のカバー１１１に配設される場合、第１の磁性ユニット１２０は、第１の鍔部２１０の第２の磁性ユニット１５０と接触される個所に配設されていてもよい。更に、磁石部材１５２又は電磁石１５５の周縁の少なくとも一部には、後述する緩衝ユニット１２２ｂが配設されていてもよい。このため、磁気力によりカバーユニット１１０とチャンバー２００とが接触するときに衝撃が発生することを抑制又は防止することができる。一方、第２の磁性ユニット１５０は、第２のカバー１１２又は第２の鍔部２２０に配設されていてもよい。

位置感知ユニット１７０は、カバーユニット１１０の位置を感知する役割を果たす。例えば、位置感知ユニット１７０は、接触センサーであってもよく、カバーユニット１１０の下面に配設されてチャンバー２００の上面と接触するものであってもよい。或いは、位置感知ユニット１７０がチャンバー２００の上面に配設されてカバーユニット１１０の下面と接触するものであってもよい。したがって、カバーユニット１１０又はチャンバー２００が位置感知ユニット１７０と接触すると、位置感知ユニット１７０は、カバーユニット１１０がチャンバー２００の開口部を覆っていることを感知することができる。逆に、カバーユニット１１０又はチャンバー２００が位置感知ユニット１７０と接触しなければ、位置感知ユニット１７０は、カバーユニット１１０がチャンバー２００の開口部を覆っていないことを感知することができる。しかしながら、位置感知ユニット１７０がカバーユニット１１０の位置を感知する方法は、これに何等限定されるものではなく、種々に変更可能である。

このとき、制御器５００は、位置感知ユニット１７０と連結され、第２の磁性ユニット１５０の作動を制御してもよい。すなわち、制御器５００は、カバーユニット１１０の位置に応じて第２の磁性ユニット１５０の作動を制御して、カバーユニット１１０をチャンバー２００に密着させたり離間させたりしてもよい。例えば、作業者がカバーユニット１１０を下側に回動させてカバーユニット１１０をチャンバー２００に接触させる場合、制御器５００は電磁石１５５に電源を供給してもよい。これにより、自動的にカバーユニット１１０がチャンバー２００に密着された状態を保つことができる。

逆に、作業者がカバーユニット１１０を上側に回動させてカバーユニット１１０をチャンバー２００から取り外す場合、制御ユニット１６０は、電磁石のＮ極及びＳ極の位置を変えたり、電源の供給を中断したりしてもよい。これにより、カバーユニット１１０がチャンバー２００の開口部を開放した状態を保つことができる。

一方、制御器５００は、作業者がカバーユニット１１０を開閉しようとすることを感知してもよい。例えば、カバーユニット１１０に加えられる作業者の力を感知してもよい。このため、取っ手に作業者の力が加えられる場合に、制御器５００は、電磁石のＮ極及びＳ極の位置を変えたり、電源の供給を中断したりすることができる。これにより、作業者は、カバーユニット１１０を容易に開放することができる。

図７は、本発明の実施の形態に係るグローブボックスの構造を示す図であり、図８は、本発明の実施の形態に係るグローブボックスの構造を示す平面図である。以下では、本発明の実施の形態に係るガス排出器と、酸素測定器及び制御器について説明する。

図８を参照すると、ガス供給器３１０は、チャンバー２００の内部に不活性ガス（例えば、Ｎ_２ガス）を供給する役割を果たす。このため、チャンバー２００の内部のガス雰囲気が外部のガスの雰囲気とは異なる。ガス供給器３１０は、供給ライン３１１及び供給弁３１２を備えていてもよい。

供給ライン３１１は、不活性ガスが移動する経路を形成する。供給ライン３１１の一方の端は、不活性ガスが貯留されたタンク（図示せず）と連結され、他方の端は、チャンバー２００の上部と連結される。このため、タンクに貯留された不活性ガスが供給ライン３１１を介してチャンバー２００の内部に供給可能である。したがって、チャンバー２００の内部に不活性ガスが満たされ得る。

供給弁３１２は、供給ライン３１１に配設される。供給弁３１２は、供給ライン３１１に形成された不活性ガスの移動経路を開閉する役割を果たす。このため、供給弁３１２の作動を制御して、チャンバー２００に供給される不活性ガスの量を調節することができる。しかしながら、ガス供給器３１０の構造は、これに何等限定されるものではなく、種々に変更可能である。

ガス排出器３２０は、チャンバー２００の内部のガスを外部に排出する役割を果たす。このため、チャンバー２００の内部の空気が除去されて、チャンバー２００の内部が不活性ガスによってのみ満たされ得る。或いは、チャンバー２００の内部の不活性ガスが除去されてもよい。ガス排出器３２０は、排出ライン３２１及び排出弁３２２を備えていてもよい。

排出ライン３２１は、ガスが移動する経路を形成する。排出ライン３２１の一方の端は排気ポンプ（図示せず）と連結され、他方の端はチャンバー２００の下部と連結される。このため、チャンバー２００の内部の不活性ガスや空気などが排出ライン３２１を介してチャンバー２００の外部に排出可能である。

排出弁３２２は、排出ライン３２１に配設される。排出弁３２２は、排出ライン３２１に形成されたガスの移動経路を開閉する役割を果たす。このため、排出弁３２２の作動を制御して、チャンバー２００の内部のガスを除去する作業を選択的に行うことができる。しかしながら、ガス排出器３２０の構造は、これに何等限定されるものではなく、種々に変更可能である。

搬送器６００は、チャンバー２００の内部空間に配設される。例えば、搬送器６００は、基板を搬送する搬送ロボットであってもよい。このため、搬送器６００は、チャンバー２００に形成された出入り口２３０を介して基板を搬送することができる。例えば、基板を処理するいずれか一つの装置５１から引き渡された基板が搬送器６００によりチャンバー２００の内部に進入し、搬送器６００はチャンバー２００と連通される基板を処理する他の装置５２に基板を引き渡してもよい。チャンバー２００の内部が不活性ガスにより満たされているので、基板を搬送しながら基板が汚れることを防ぐことができる。このとき、チャンバー２００に配備されるゲート２４０が搬送器６００と一緒に作動して、基板を搬送する作業を行うことができる。しかしながら、チャンバー２００の内部には、搬送器６００ではなく、他の工程を行う装備が配設されていてもよい。

酸素測定器４２０は、チャンバー２００に配設されていてもよい。酸素測定器４２０は、酸素濃度を測定するセンサーであってもよい。このため、酸素測定器４２０を介してチャンバー２００の内部の酸素濃度をモニターリングすることができる。

酸素供給器４１０は、チャンバー２００の内部に酸素含有ガスを供給する役割を果たす。このため、チャンバー２００の内部の酸素濃度を上げることができる。酸素供給器４１０は、酸素ライン４１１及び制御弁４１２を備えていてもよい。

酸素ライン４１１は、酸素含有ガスが移動する経路を形成する。酸素ライン４１１の一方の端は酸素含有ガスが貯留された酸素タンク（図示せず）と連結され、他方の端はチャンバー２００と連結される。このため、酸素タンクに貯留されたガスが酸素ライン４１１を介してチャンバー２００の内部に供給可能である。したがって、チャンバー２００の内部に酸素含有ガスが満たされ得る。

制御弁４１２は、酸素ライン４１１に配設される。制御弁４１２は、酸素ライン４１１に形成された酸素含有ガスの移動経路を開閉する役割を果たす。このため、制御弁４１２の作動を制御して、チャンバー２００に供給される酸素含有ガスの量を調節することができる。しかしながら、酸素供給器４１０の構造は、これに何等限定されるものではなく、種々に変更可能である。

制御器５００は、酸素測定器４２０の測定結果に基づいて、第２の磁性ユニットの極性を変更してもよい。チャンバー２００の内部の酸素濃度が２０％未満である場合、作業者がチャンバー２００の内部を開放すれば、作業者が窒息する事故が起こる虞がある。このため、作業者がチャンバー２００の扉装置１００の作動を制御してチャンバー２００の内部を開放しようとする場合、制御器５００は、チャンバー２００の内部の酸素濃度に応じて選択的に扉装置１００を開放することができる。

例えば、制御器５００は、酸素測定器４２０において測定される測定値と、予め設定された濃度値と、を比較してもよい。このため、測定値が予め設定された濃度値よりも小さければ、扉装置１００が作業者により開放されないように制御することができる。測定値が予め設定された濃度値以上であれば、制御器５００は、扉装置１００が作業者により開放可能なように制御することができる。

また、制御器５００は、酸素供給器４１０の作動を制御してもよい。すなわち、作業者が扉装置１００を開放しようとするとき、測定値が予め設定された濃度値よりも小さければ、制御器５００は、酸素供給器４１０の作動を制御してチャンバー２００の内部に酸素含有ガスを供給することができる。このため、チャンバー２００の内部の酸素濃度が上がって作業者が扉装置１００を開放するとき、窒息する事故が起こることを防ぐことができる。一方、チャンバー２００は、内部の装備が損傷された場合には修理やメンテナンス作業を行うために開放されてもよく、それ以外の場合には内部が密閉されてもよい。

このように、チャンバー２００又はチャンバー２００の開口部を開閉するカバーユニット１１０に極性の位置が変更可能な第２の磁性ユニット１５０が配備される。このため、第２の磁性ユニット１５０の極性を変更して、チャンバー２００にカバーユニット１１０を取り付けたり、チャンバー２００からカバーユニット１１０を取り外したりすることができる。したがって、第２の磁性ユニット１５０の作動を制御して迅速且つ手軽にチャンバー２００の開口部を開閉することができる。

更に、チャンバー２００及びカバーユニット１１０が第２の磁性ユニット１５０の磁気力により互いに密着されながらチャンバー２００とカバーユニット１１０との間の隙間を遮断するようにしてもよい。このため、チャンバー２００の内部のガスが外部に流出したり、チャンバー２００の外部のガスがボックスの内部に流入したりすることを抑制又は防止することができる。

更にまた、クランプユニットを使用するときよりもカバーユニット１１０に加えられる衝撃を低減させることができる。したがって、カバーユニット１１０の寿命を向上させることができ、装備のメンテナンスが容易になる。

このように、本発明の詳細な説明の欄においては具体的な実施の形態について説明したが、本発明の範囲から逸脱しない範囲内において種々に変形可能である。よって、本発明の範囲は説明された実施の形態に限定されて定められてはならず、後述する特許請求の範囲だけではなく、この特許請求の範囲と均等なものによって定められるべきである。

１００：扉装置
１１０：カバーユニット
１２０：第１の磁性ユニット
１４０：封止ユニット
１５０：第２の磁性ユニット
１９０：付勢ユニット
２００：チャンバー
３１０：ガス供給器
３２０：ガス排出器
４１０：酸素供給器
４２０：酸素測定器
５００：制御器

Claims (19)

1. 内部空間を有し、片面に開口部が形成されたチャンバーに配設される扉装置であって、
   前記開口部を覆うカバーユニットと、
   前記カバーユニット又は前記チャンバーに配設される第１の磁性ユニットと、
   前記第１の磁性ユニットと向かい合うように前記チャンバー又は前記カバーユニットに配設され、極性が変更可能であり、前記第１の磁性ユニットと分離自在に結合される第２の磁性ユニットと、を備える
   扉装置。
2. 前記第１の磁性ユニットは固定され、前記第２の磁性ユニットは極性の位置が変更可能である
   請求項１に記載の扉装置。
3. 前記第２の磁性ユニットは、前記チャンバー又は前記カバーユニットに配設される支持部材及び前記支持部材の内部に回転自在に配設される磁石部材を備える
   請求項２に記載の扉装置。
4. 前記第２の磁性ユニットは、電磁石及び前記電磁石に電流を供給する電源供給器を備える
   請求項１に記載の扉装置。
5. 前記カバーユニットの位置を感知する位置感知ユニットと、
   前記位置感知ユニットと連結され、前記電源供給器の作動を制御する制御ユニットと、を更に備える
   請求項４に記載の扉装置。
6. 前記第１の磁性ユニットは、金属部材及び磁石のうちの少なくともいずれか一方を備える
   請求項１に記載の扉装置。
7. 前記第１の磁性ユニットと前記第２の磁性ユニットとの間の衝撃を低減させるように前記第１の磁性ユニット及び前記第２の磁性ユニットのうちの少なくともいずれか一方に配設される緩衝ユニットを更に備える
   請求項１乃至請求項６のうちのいずれか一項に記載の扉装置。
8. 前記チャンバーは、前記開口部の周縁を取り囲む第１の鍔部及び前記第１の鍔部の周縁を取り囲む第２の鍔部を備え、
   前記カバーユニットは、前記開口部を覆う第１のカバー及び前記第１のカバーに連結されて前記第１のカバーと前記第１の鍔部との間の隙間を覆い、前記第２の鍔部と接触可能な第２のカバーを備える
   請求項１乃至請求項６のうちのいずれか一項に記載の扉装置。
9. 前記チャンバーと前記カバーユニットとの間の隙間を遮断するように前記カバーユニットに配設され、前記チャンバーと接触可能な封止ユニットを更に備える
   請求項８に記載の扉装置。
10. 前記封止ユニットは、前記第１のカバーに配設される第１の封止部材及び前記第２のカバーに配設される第２の封止部材のうちの少なくともいずれか一方を備える
    請求項９に記載の扉装置。
11. 内部空間を有し、片面に開口部が形成されるチャンバーと、
    前記チャンバーの内部に不活性ガスを供給するように配設されるガス供給器と、
    磁気力により前記開口部を開閉するように配設される扉と、を備える
    グローブボックス。
12. 前記扉は、
    前記開口部を覆うカバーユニットと、
    前記カバーユニット又は前記チャンバーに配設される第１の磁性ユニットと、
    前記第１の磁性ユニットと向かい合うように前記チャンバー又は前記カバーユニットに配設され、前記第１の磁性ユニットと向かい合う部分の極性が変更可能な第２の磁性ユニットと、を備える
    請求項１１に記載のグローブボックス。
13. 前記第１の磁性ユニット及び前記第２の磁性ユニットは、複数配備されて前記開口部の周縁に沿って配置される
    請求項１２に記載のグローブボックス。
14. 前記扉は、前記チャンバーと接触可能なように前記カバーユニットに配設され、前記開口部の周縁に沿って形成されて前記第１の磁性ユニット及び前記第２の磁性ユニットの周縁の内側及び外側のうちの少なくともいずれか一方の位置に配置される封止ユニットを更に備える
    請求項１２に記載のグローブボックス。
15. 前記封止ユニットは、少なくとも一部が前記カバーユニットの外側に突出され、
    前記扉は、前記封止ユニットを前記チャンバーに密着するように配設される付勢ユニットを更に備える
    請求項１４に記載のグローブボックス。
16. 前記付勢ユニットは、前記カバーユニットに配設される第１の磁性体及び前記チャンバーに配設される第２の磁性体を備え、
    前記封止ユニットは、前記第１の磁性体と前記第２の磁性体との間に位置する
    請求項１５に記載のグローブボックス。
17. 前記チャンバーの内部の酸素濃度を測定するように配設される酸素測定器と、
    前記酸素測定器の測定結果に基づいて前記第２の磁性ユニットの極性が変更可能な制御器と、を更に備える
    請求項１１乃至請求項１６のうちのいずれか一項に記載のグローブボックス。
18. 前記チャンバーの内部に酸素含有ガスを供給するように配設される酸素供給器を更に備える
    請求項１７に記載のグローブボックス。
19. 前記チャンバーに出入り口が配備され、
    前記出入り口を開閉するように配設されるゲートと、
    前記出入り口を介して基板を搬送するように前記チャンバーの内部に配設される搬送器と、を更に備える
    請求項１１乃至請求項１６のうちのいずれか一項に記載のグローブボックス。