JP2004538140A5 - - Google Patents

Claims (11)

1. 装置に対して移動可能である基板へ易流動性物質を塗布するための塗布装置であって、
   易流動性物質のための流路（１９）が形成されているベース（６）と、
   流路（１９）の中に可動に配置された弁体（１４）を有するバルブ装置（１７）であって、該弁体は、該流路（１９）へ物質の流れを放出するために該流路（１９）を開放する開位置へと下流側に移動可能であって、流路への物質の流れを遮断すべく該流路を閉鎖する閉位置へと上流側に移動可能な前記バルブ装置と、
   弁体（１４）と協働して、該開位置と該閉位置との間にて弁体（１４）を動かす駆動手段（１５）と、
   該流路内に配置されるシリンダチャンバ（５２）とを備え、
   該弁体（１４）は、シリンダチャンバ（５２）の内側にて可動であるようなピストン部分（５６）を有し、
   該ピストン部分（５６）は、該ピストン部分（５６）がシリンダチャンバ内にて移動した際に、易流動性物質は押し退けられ、および／または吸い上げられるように、シリンダチャンバ（５２）の内部にシールされ、
   該バルブ装置は流路に関連した弁座（２５）を有し、ピストン部分（５６）の上流側において、弁体（１４）はリング状の面（６０）を有し、該閉位置にあるときに該リング状の面が弁座（２５）に当接することを特徴とする塗布装置。
2. 請求項１に記載の塗布装置であって、
   該ピストン部分（５６）は、該開位置にある際にシリンダチャンバ（５２）の下流側に配置され、シリンダチャンバ（５２）に入り込むように上流側へ移動した際に、ピストン部分の動きによって物質がシリンダチャンバ（５２）内の上流側へと輸送されることを特徴とする塗布装置。
3. 請求項１または２のいずれか一項に記載の塗布装置であって、
   該弁体（１４）は、ピストン部分（５６）から離れた箇所に、弁体（１４）を横方向に案内するためのガイド部分（６２）を有し、
   該ガイド部分は、このガイド部分に対向し該流路の境界を形成している流路のガイド面（６６）と、相互に作用することを特徴とする塗布装置。
4. 請求項３に記載の塗布装置であって、
   該ガイド部分（６２）の断面は実質的に三角形であって、該流路のガイド面（６６）は実質的に円筒形であることを特徴とする塗布装置。
5. 請求項３に記載の塗布装置であって、
   ガイド部分（６２）の断面は実質的に正方形であることを特徴とする塗布装置。
6. 請求項１から５のいずれか一項に記載の塗布装置であって、
   弁体（１４）は、ピストン部分（５６）と反対側であってピストン部分（５６）の下流側に、テーパ部分（７０）を有していることを特徴とする塗布装置。
7. 請求項１から６のいずれか一項に記載の塗布装置であって、
   シリンダチャンバ（５２）は、ベース部材（６）に取り付けられたスリーブ（５４）によって形成されていて、流路のガイド面（６６）はスリーブ（５４）によって形成されていることを特徴とする塗布装置。
8. 請求項１から７のいずれか一項に記載の塗布装置であって、
   該駆動手段（１５）は圧縮空気が作用するピストン（１８）を有し、該ピストンはバルブシャフト（１９）を介して弁体（１４）に結合されていて、該弁体（１４）は前記ピストン（１８）に圧縮空気を作用させることによって可動であることを特徴とする塗布装置。
9. 請求項１から８のいずれか一項に記載の塗布装置であって、
   該流路（１９）を通して易流動性物質が供給されるスリットノズル装置（８）が、ベース部材に着脱可能に固定されていることを特徴とする塗布装置。
10. 請求項１から９のいずれか一項に記載の塗布装置であって、
    該ピストン部分（５６）とシリンダチャンバ（５２）の少なくともいずれか一方は、シールを高めるためのシール手段を備えていることを特徴とする塗布装置。
11. 請求項１０に記載の塗布装置であって、
    シール手段は、弾性的なシールリングまたはピストンリングであって、実質的に堅固な材料から構成されていることを特徴とする塗布装置。