JP2019114781A - ガラス誘電体コンデンサ及びガラス誘電体コンデンサの製造プロセス - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (66)
- ガラス誘電体コンデンサを製造する方法であって、
4ミクロンから25ミクロンの厚さの複数のホイルシートを提供すること、
レーザビームによって前記複数のホイルシートの各々を溶かすことによって前記複数のホイルシートの各々を切断すること、
前記切断中に前記複数のホイルシートの各々の上に滑らかなホイル縁をそれぞれ形成すること、
複数のガラスシートを提供すること、及び、
前記複数のホイルシートを前記複数のガラスシートと交互に重ねて積層すること、
を含む、方法。 - 前記積層することが、前記複数のガラスシートが交互に重なった層の間に前記複数のホイルシートの2つ以上を積層することを含む、請求項1に記載の方法。
- 前記複数のホイルシートを前記複数のガラスシートと交互に重ねて積層する前に、前記複数のガラスシートの各々の両面に金属化層を蒸着させることをさらに含む、請求項1に記載の方法。
- 前記金属化層を蒸着させることが、前記複数のガラスシートの各々が前記複数のホイルシートの1つとそれぞれ並置される領域を越えて延在する前記複数のガラスシートの各々の領域に前記金属化層を蒸着させることを含む、請求項3に記載の方法。
- 前記積層することが、前記複数のガラスシートの各々の各縁を超えて延出する前記複数のホイルシートを、前記複数のガラスシートと交互に重ねて積層することを含み、前記複数のホイルシートの各々の延出部分が、端子の取り付けを可能にする、請求項4に記載の方法。
- 前記積層することが、前記複数のホイルシートを、互いにオフセットされた前記複数のガラスシートと交互に重ねて積層することを含む、請求項1に記載の方法。
- 積層された前記複数のガラスシートの片面に金属を蒸着させることをさらに含む、請求項6に記載の方法。
- 積層された前記複数のガラスシートの片面に導電性エポキシ樹脂を蒸着させることをさらに含む、請求項6に記載の方法。
- 積層された前記複数のガラスシートの片面に導電層を蒸着させることをさらに含む、請求項6に記載の方法。
- 前記導電層に端子を結合することをさらに含む、請求項9に記載の方法。
- 積層された前記ガラスシートを電気絶縁液体に沈めることをさらに含む、請求項10に記載の方法。
- 前記沈めることが、真空下で沈めることを含む、請求項11に記載の方法。
- 前記沈めることが、積層された前記ガラスシートを、シリコン溶液、鉱油、合成エステル、植物油、菜種油、芳香族の絶縁流体(ビフェニルなど)及びこれらの組み合わせを含む液体のグループから選択される液体に沈めることを含む、請求項11に記載の方法。
- 前記複数のホイルシートのうち離れたホイルシートに電圧を印加することをさらに含む、請求項1に記載の方法。
- 前記複数のホイルシートのうち前記離れたホイルシートにパルス化した前記電圧を印加することをさらに含む、請求項14に記載の方法。
- 前記電圧を真空下で印加することをさらに含む、請求項14に記載の方法。
- 前記積層することに先立って前記複数のガラスシートの各々をポリマーコーティングでコーティングすることをさらに含む、請求項1に記載の方法。
- 前記積層することに先立って前記複数のガラスシートの各々を無機セラミックコーティングでコーティングすることをさらに含む、請求項1に記載の方法。
- 積層された前記複数のガラスシート及び前記複数のホイルシートをプラズマ洗浄することをさらに含む、請求項1に記載の方法。
- 積層された前記複数のガラスシート及び前記複数のホイルシートを真空炉内に配置することをさらに含む、請求項1に記載の方法。
- 前記積層することに先立って前記複数のガラスシートを洗浄することをさらに含む、請求項1に記載の方法。
- 前記積層することに先立って前記複数のホイルシートを洗浄することをさらに含む、請求項1に記載の方法。
- ガラス誘電体コンデンサを製造するためのシステムであって、
4ミクロンから25ミクロンの厚さの複数のホイルシートを提供し、
レーザビームによって前記複数のホイルシートの各々を溶かすことによって前記複数のホイルシートの各々を切断し、
前記切断中に前記複数のホイルシートの各々の上に滑らかなホイル縁をそれぞれ形成し、
複数のガラスシートを提供し、
前記複数のホイルシートを前記複数のガラスシートと交互に重ねて積層する、
ように構成された機械的コンポーネント
を備える、システム。 - 前記積層することが、前記複数のガラスシートが交互に重なった層の間に前記複数のホイルシートの2つ以上を積層することを含む、請求項23に記載のシステム。
- 前記システムがさらに、
前記複数のホイルシートを前記複数のガラスシートと交互に重ねて積層する前に、前記複数のガラスシートの各々の両面に金属化層を蒸着させるように構成される、請求項23に記載のシステム。 - 前記金属化層を蒸着させることが、前記複数のガラスシートの各々が前記複数のホイルシートの1つとそれぞれ並置される領域を越えて延在する前記複数のガラスシートの各々の領域に前記金属化層を蒸着させることを含む、請求項25に記載のシステム。
- 前記積層することが、前記複数のガラスシートの各々の各縁を超えて延出する前記複数のホイルシートを、前記複数のガラスシートと交互に重ねて積層することを含み、前記複数のホイルシートの各々の延出部分が、端子の取り付けを可能にする、請求項26に記載のシステム。
- 前記積層することが、前記複数のホイルシートを、互いにオフセットされた前記複数のガラスシートと交互に重ねて積層することを含む、請求項23に記載のシステム。
- 前記システムがさらに、
積層された前記複数のガラスシートの片面に金属を蒸着させるように構成される、請求項28に記載のシステム。 - 前記システムがさらに、
積層された前記複数のガラスシートの片面に導電性エポキシ樹脂を蒸着させるように構成される、請求項28に記載のシステム。 - 前記システムがさらに、
積層された前記複数のガラスシートの片面に導電層を蒸着させるように構成される、請求項28に記載のシステム。 - 前記システムがさらに、
前記導電層に端子を結合するように構成される、請求項31に記載のシステム。 - 前記システムがさらに、
積層された前記ガラスシートを電気絶縁液体に沈めるように構成される、請求項32に記載のシステム。 - 前記沈めることが、真空下で沈めることを含む、請求項33に記載のシステム。
- 前記沈めることが、積層された前記ガラスシートを、シリコン溶液、鉱油、合成エステル、植物油、菜種油、芳香族の絶縁流体(ビフェニルなど)及びこれらの組み合わせを含む液体のグループから選択される液体に沈めることを含む、請求項33に記載のシステム。
- 前記システムがさらに、
前記複数のホイルシートのうち離れたホイルシートに電圧を印加するように構成される、請求項23に記載のシステム。 - 前記システムがさらに、
前記複数のホイルシートのうち前記離れたホイルシートにパルス化した前記電圧を印加するように構成される、請求項36に記載のシステム。 - 前記システムがさらに、
前記電圧を真空下で印加するように構成される、請求項36に記載のシステム。 - 前記システムがさらに、
前記積層することに先立って前記複数のガラスシートの各々をポリマーコーティングでコーティングするように構成される、請求項23に記載のシステム。 - 前記システムがさらに、
前記積層することに先立って前記複数のガラスシートの各々を無機セラミックコーティングでコーティングするように構成される、請求項23に記載のシステム。 - 前記システムがさらに、
積層された前記複数のガラスシート及び前記複数のホイルシートをプラズマ洗浄するように構成される、請求項23に記載のシステム。 - 前記システムがさらに、
積層された前記複数のガラスシート及び前記複数のホイルシートを真空炉内に配置するように構成される、請求項23に記載のシステム。 - 前記システムがさらに、
前記積層することに先立って前記複数のガラスシートを洗浄するように構成される、請求項23に記載のシステム。 - 前記システムがさらに、
前記積層することに先立って前記複数のホイルシートを洗浄するように構成される、請求項23に記載のシステム。 - ガラス誘電体コンデンサを製造するための装置であって、
4ミクロンから25ミクロンの厚さの複数のホイルシートを提供するための手段と、
レーザビームによって前記複数のホイルシートの各々を溶かすことによって前記複数のホイルシートの各々を切断するための手段と、
前記切断中に前記複数のホイルシートの各々の上に滑らかなホイル縁をそれぞれ形成するための手段と、
複数のガラスシートを提供するための手段と、
前記複数のホイルシートを前記複数のガラスシートと交互に重ねて積層するための手段と、
を備える、装置。 - 前記積層することが、前記複数のガラスシートが交互に重なった層の間に前記複数のホイルシートの2つ以上を積層することを含む、請求項45に記載の装置。
- 前記複数のホイルシートを前記複数のガラスシートと交互に重ねて積層する前に、前記複数のガラスシートの各々の両面に金属化層を蒸着させるための手段をさらに備える、請求項45に記載の装置。
- 前記金属化層を蒸着させることが、前記複数のガラスシートの各々が前記複数のホイルシートの1つとそれぞれ並置される領域を越えて延在する前記複数のガラスシートの各々の領域に前記金属化層を蒸着させることを含む、請求項47に記載の装置。
- 前記積層することが、前記複数のガラスシートの各々の各縁を超えて延出する前記複数のホイルシートを、前記複数のガラスシートと交互に重ねて積層することを含み、前記複数のホイルシートの各々の延出部分が、端子の取り付けを可能にする、請求項48に記載の装置。
- 前記積層することが、前記複数のホイルシートを、互いにオフセットされた前記複数のガラスシートと交互に重ねて積層することを含む、請求項45に記載の装置。
- 積層された前記複数のガラスシートの片面に金属を蒸着させるための手段をさらに備える、請求項50に記載の装置。
- 積層された前記複数のガラスシートの片面に導電性エポキシ樹脂を蒸着させるための手段をさらに備える、請求項50に記載の装置。
- 積層された前記複数のガラスシートの片面に導電層を蒸着させるための手段をさらに備える、請求項50に記載の装置。
- 前記導電層に端子を結合するための手段をさらに備える、請求項53に記載の装置。
- 積層された前記ガラスシートを電気絶縁液体に沈めるための手段をさらに備える、請求項54に記載の装置。
- 前記沈めることが、真空下で沈めることを含む、請求項55に記載の装置。
- 前記沈めることが、積層された前記ガラスシートを、シリコン溶液、鉱油、合成エステル、植物油、菜種油、芳香族の絶縁流体(ビフェニルなど)及びこれらの組み合わせを含む液体のグループから選択される液体に沈めることを含む、請求項55に記載の装置。
- 前記複数のホイルシートのうち離れたホイルシートに電圧を印加するための手段をさらに備える、請求項45に記載の装置。
- 前記複数のホイルシートのうち前記離れたホイルシートにパルス化した前記電圧を印加するための手段をさらに備える、請求項58に記載の装置。
- 前記電圧を真空下で印加するための手段をさらに備える、請求項58に記載の装置。
- 前記積層することに先立って前記複数のガラスシートの各々をポリマーコーティングでコーティングするための手段をさらに備える、請求項45に記載の装置。
- 前記積層することに先立って前記複数のガラスシートの各々を無機セラミックコーティングでコーティングするための手段をさらに備える、請求項45に記載の装置。
- 積層された前記複数のガラスシート及び前記複数のホイルシートをプラズマ洗浄するための手段をさらに備える、請求項45に記載の装置。
- 積層された前記複数のガラスシート及び前記複数のホイルシートを真空炉内に配置するための手段をさらに備える、請求項45に記載の装置。
- 前記積層することに先立って前記複数のガラスシートを洗浄するための手段をさらに備える、請求項45に記載の装置。
- 前記積層することに先立って前記複数のホイルシートを洗浄するための手段をさらに備える、請求項45に記載の装置。
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