JP2019104951A - 長尺基板の処理装置と処理方法 - Google Patents
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Abstract
Description
巻出ロールに巻回された長尺基板を巻出す巻出ゾーンと、巻出ゾーンから供給された長尺基板に対し真空チャンバー内において熱負荷の掛かる処理を施す処理ゾーンと、処理された長尺基板を巻取ロールに巻取る巻取ゾーンを有する長尺基板の処理装置であって、
上記処理ゾーンが、ロールツーロールで搬送される長尺基板を外周面に巻き付けて冷却するモータ駆動のキャンロールと、該キャンロールにおける長尺基板の搬入側と搬出側に設けられた搬入側張力制御ロール群および搬出側張力制御ロール群と、上記キャンロールの外周面に対向する位置に設けられた熱負荷の掛かる処理手段とを備え、
上記キャンロールは、周方向に略均等な間隔をあけて全周に亘って複数のガス導入路が配設されており、これら複数のガス導入路の各々はキャンロールの回転軸方向に沿って略均等な間隔をあけて外周面側に開口する複数のガス放出孔を有していると共に、
上記キャンロール外周面のうち長尺基板が巻き付けられる角度範囲内に位置しているガス導入路には真空チャンバー外部からのガスを供給し、長尺基板が巻き付けられる角度範囲内に位置していないガス導入路には真空チャンバー外部からのガスを供給しないロータリージョイントを具備する長尺基板の処理装置において、
上記搬入側張力制御ロール群が、処理ゾーンにそれぞれ設けられた搬入側第一張力制御ロール群と搬入側第二張力制御ロール群とで構成され、上記搬入側第一張力制御ロール群は、キャンロールの搬入側近傍に配置された搬入側第一張力測定ロールと該搬入側第一張力測定ロールにより測定された長尺基板の張力に基づいて周速度が制御される搬入側第一モータ駆動ロールとで構成されると共に、上記搬入側第二張力制御ロール群は、上記搬入側第一モータ駆動ロール側に配置された搬入側第二張力測定ロールと該搬入側第二張力測定ロールにより測定された長尺基板の張力に基づいて周速度が制御される搬入側第二モータ駆動ロールとで構成され、
上記搬出側張力制御ロール群が、処理ゾーンにそれぞれ設けられた搬出側第一張力制御ロール群と搬出側第二張力制御ロール群とで構成され、上記搬出側第一張力制御ロール群は、キャンロールの搬出側近傍に配置された搬出側第一張力測定ロールと該搬出側第一張力測定ロールにより測定された長尺基板の張力に基づいて周速度が制御される搬出側第一モータ駆動ロールとで構成されると共に、上記搬出側第二張力制御ロール群は、上記搬出側第一モータ駆動ロール側に配置された搬出側第二張力測定ロールと該搬出側第二張力測定ロールにより測定された長尺基板の張力に基づいて周速度が制御される搬出側第二モータ駆動ロールとで構成され、
上記キャンロールに搬入される長尺基板の搬入方向の張力が、キャンロールと上記搬入側第一モータ駆動ロールの周速度差に基づいて設定される搬入フィード張力Tu1と、搬入側第一モータ駆動ロールと上記搬入側第二モータ駆動ロールの周速度差に基づいて設定される搬入フィード張力Tu2(Tu1>Tu2)の2段階制御により調整され、かつ、
上記キャンロールから搬出される長尺基板の搬出方向の張力が、上記搬出側第一モータ駆動ロールとキャンロールの周速度差に基づいて設定される搬出フィード張力Td1と、上記搬出側第二モータ駆動ロールと搬出側第一モータ駆動ロールの周速度差に基づいて設定される搬出フィード張力Td2(Td1>Td2)の2段階制御により調整されることを特徴とするものである。
第1の発明に記載の長尺基板の処理装置において、
上記ロータリージョイントが、キャンロールと同心軸状に設けられかつキャンロールの中心軸に対しそれぞれのガス制御用摺接面が垂直に形成されている回転リングユニットと固定リングユニットとで構成され、
上記回転リングユニットは、上記キャンロールの複数のガス導入路にそれぞれ連通する複数のガス供給路を有し、これ等複数のガス供給路の各々は、連通するガス導入路のキャンロール外周面上の角度位置に対応した角度位置で開口する回転開口部を回転リングユニットの上記ガス制御用摺接面に有しており、
上記固定リングユニットは、固定リングユニットのガス制御用摺接面に周方向に亘り設けられた環状凹溝により構成されかつ環状凹溝内の所定領域に嵌入された円弧状パッキン部材により上記固定リングユニットのガス制御用摺接面が閉止された固定閉止部と上記ガス制御用摺接面が閉止されない固定開口部を有すると共に真空チャンバー外部の供給配管に連通するガス分配路を有しており、かつ、上記固定開口部は、回転リングユニットの回転開口部が対向する固定リングユニットのガス制御用摺接面上の領域のうち上記長尺基板が巻き付けられる角度範囲内で開口していることを特徴とし、
第3の発明は、
第1の発明に記載の長尺基板の処理装置において、
上記ロータリージョイントが、キャンロールと同心軸状に設けられた円筒基部と円筒凸部からなる断面凸形状の回転リングユニットと、上記回転リングユニットの円筒凸部が嵌入されてキャンロールの中心軸に対しそれぞれのガス制御用摺接面が平行に形成される円筒状の固定リングユニットとで構成され、
上記回転リングユニットは、上記キャンロールの複数のガス導入路にそれぞれ連通する複数のガス供給路を有すると共に、これ等複数のガス供給路の各々は、連通するガス導入路のキャンロール外周面上の角度位置に対応した角度位置で開口する回転開口部を回転リングユニットにおける円筒凸部の上記ガス制御用摺接面に有しており、
上記固定リングユニットは、固定リングユニットの円筒内周面に周方向に亘り設けられた環状凹溝により構成されかつ環状凹溝内の所定領域に嵌入された円弧状パッキン部材により上記固定リングユニットのガス制御用摺接面が閉止された固定閉止部と上記ガス制御用摺接面が閉止されない固定開口部を有すると共に真空チャンバー外部の供給配管に連通するガス分配路を有しており、かつ、上記固定開口部は、回転リングユニットにおける円筒凸部の回転開口部が対向する固定リングユニットのガス制御用摺接面上の領域のうち上記長尺基板が巻き付けられる角度範囲内で開口していることを特徴とするものである。
第1の発明〜第3の発明のいずれかに記載の長尺基板の処理装置において、
熱負荷の掛かる上記処理が、キャンロールの外周面で画定される搬送経路に対向する真空成膜手段による処理であることを特徴とし、
第5の発明は、
第4の発明に記載の長尺基板の処理装置において、
上記真空成膜手段が、マグネトロンスパッタリングであることを特徴とする。
巻出ロールに巻回された長尺基板を巻出す巻出ゾーンと、巻出ゾーンから供給された長尺基板に対し真空チャンバー内において熱負荷の掛かる処理を施す処理ゾーンと、処理された長尺基板を巻取ロールに巻取る巻取ゾーンを有する長尺基板の処理方法であって、
上記処理ゾーンを、ロールツーロールで搬送される長尺基板を外周面に巻き付けて冷却するモータ駆動のキャンロールと、該キャンロールにおける長尺基板の搬入側と搬出側に設けられた搬入側張力制御ロール群および搬出側張力制御ロール群と、上記キャンロールの外周面に対向する位置に設けられた熱負荷の掛かる処理手段とで構成し、
上記キャンロールは、周方向に略均等な間隔をあけて全周に亘って複数のガス導入路が配設されており、これら複数のガス導入路の各々はキャンロールの回転軸方向に沿って略均等な間隔をあけて外周面側に開口する複数のガス放出孔を有しており、
上記キャンロールにロータリージョイントを付設して、キャンロール外周面のうち長尺基板が巻き付けられる角度範囲内に位置しているガス導入路には真空チャンバー外部からのガスを供給し、長尺基板が巻き付けられる角度範囲内に位置していないガス導入路には真空チャンバー外部からのガスを供給しないようにした長尺基板の処理方法において、
上記搬入側張力制御ロール群を、処理ゾーンにそれぞれ設けられた搬入側第一張力制御ロール群と搬入側第二張力制御ロール群とで構成し、上記搬入側第一張力制御ロール群を、キャンロールの搬入側近傍に配置された搬入側第一張力測定ロールと該搬入側第一張力測定ロールにより測定された長尺基板の張力に基づいて周速度が制御される搬入側第一モータ駆動ロールとで構成すると共に、上記搬入側第二張力制御ロール群を、上記搬入側第一モータ駆動ロール側に配置された搬入側第二張力測定ロールと該搬入側第二張力測定ロールにより測定された長尺基板の張力に基づいて周速度が制御される搬入側第二モータ駆動ロールとで構成し、かつ、
上記搬出側張力制御ロール群を、処理ゾーンにそれぞれ設けられた搬出側第一張力制御ロール群と搬出側第二張力制御ロール群とで構成し、上記搬出側第一張力制御ロール群を、キャンロールの搬出側近傍に配置された搬出側第一張力測定ロールと該搬出側第一張力測定ロールにより測定された長尺基板の張力に基づいて周速度が制御される搬出側第一モータ駆動ロールとで構成すると共に、上記搬出側第二張力制御ロール群を、上記搬出側第一モータ駆動ロール側に配置された搬出側第二張力測定ロールと該搬出側第二張力測定ロールにより測定された長尺基板の張力に基づいて周速度が制御される搬出側第二モータ駆動ロールとで構成し、
上記キャンロールに搬入させる長尺基板の搬入方向の張力を、キャンロールと上記搬入側第一モータ駆動ロールの周速度差に基づいて設定する搬入フィード張力Tu1と、搬入側第一モータ駆動ロールと上記搬入側第二モータ駆動ロールの周速度差に基づいて設定する搬入フィード張力Tu2(Tu1>Tu2)の2段階制御により調整し、かつ、
上記キャンロールから搬出させる長尺基板の搬出方向の張力を、上記搬出側第一モータ駆動ロールとキャンロールの周速度差に基づいて設定する搬出フィード張力Td1と、上記搬出側第二モータ駆動ロールと搬出側第一モータ駆動ロールの周速度差に基づいて設定する搬出フィード張力Td2(Td1>Td2)の2段階制御により調整するようにしたことを特徴とするものである。
キャンロールに搬入される長尺基板の搬入方向の張力が、キャンロールと搬入側第一モータ駆動ロールの周速度差に基づいて設定される搬入フィード張力Tu1と、上記搬入側第一モータ駆動ロールと搬入側第二モータ駆動ロールの周速度差に基づいて設定される搬入フィード張力Tu2(Tu1>Tu2)の2段階制御により調整され、かつ、
上記キャンロールから搬出される長尺基板の搬出方向の張力が、搬出側第一モータ駆動ロールとキャンロールの周速度差に基づいて設定される搬出フィード張力Td1と、搬出側第二モータ駆動ロールと上記搬出側第一モータ駆動ロールの周速度差に基づいて設定される搬出フィード張力Td2(Td1>Td2)の2段階制御により調整されることを特徴としている。
(1)先ず、図10を参照しながら従来例に係る長尺基板の処理装置について説明する。
巻出室210内では、巻出ロール215から成膜前の長尺フィルム214が、フリーロール216、張力測定ロール217、フリーロール218を経由して乾燥室211へ搬出される。尚、長尺フィルム214の巻出張力(巻出ロール215と乾燥室211のモータ駆動ロール219との周速度差に基づく張力)は、上述したように張力測定ロール217で測定し、巻出ロール215にフィードバック制御される。
乾燥室211内にはヒータユニット224が配置され、長尺フィルム214が、モータ駆動ロール219、フリーロール220、張力測定ロール221,フリーロール222、フリーロール223を経由して成膜室212に搬出される。尚、長尺フィルム214の乾燥張力(モータ駆動ロール219と成膜室212の搬入側モータ駆動ロール229との周速度差に基づく張力)は、上述したように張力測定ロール221で測定し、モータ駆動ロール219にフィードバック制御される。
また、成膜室212内には、スパッタリングカソード239、240、241、242が配置され、長尺フィルム214が、搬入側モータ駆動ロール229、搬入側張力測定ロール230、キャンロール231、搬出側張力測定ロール232、搬出側モータ駆動ロール233を経由して巻取室213へ搬出される。尚、キャンロール231に搬入される長尺フィルム214の搬入フィード張力Tu1(搬入側モータ駆動ロール229とキャンロール231との周速度差に基づく張力)は、上述したように搬入側張力測定ロール230で測定し、搬入側モータ駆動ロール229にフィードバック制御され、また、キャンロール231から搬出される長尺フィルム214の搬出フィード張力Td1(キャンロール231と搬出側モータ駆動ロール233との周速度差に基づく張力)は、搬出側張力測定ロール232で測定し、搬出側モータ駆動ロール233にフィードバック制御される。
上記巻取室213内では、長尺フィルム214が、フリーロール243、張力測定ロール244、フリーロール245を経由して巻取ロール246に巻き取られる。尚、長尺フィルム214の巻取張力(搬出側モータ駆動ロール233と巻取ロール246との周速度差に基づく張力)は、上述したように張力測定ロール244で測定し、巻取ロール246にフィードバック制御される。
上述したように上記巻出室210、乾燥室211、成膜室212および巻取室213の各ゾーンを搬送される長尺フィルム214の張力設定はゾーン毎に異なり、乾燥室211内を搬送される長尺フィルム214の乾燥張力が30N(ニュートン)、成膜室212内を搬送される長尺フィルム214の搬入フィード張力および搬出フィード張力が200Nに設定される場合があり、この大きな張力差は、上記モータ駆動ロールやモータ駆動のキャンロール等により制御される。しかし、張力差が大きくなった場合、上記モータ駆動ロールやキャンロール等ではその制御が困難となり、キャンロール231表面を長尺フィルム214がスリップしあるいは振動する等して張力が不安定になって長尺フィルム214にスクラッチ傷等が発生する問題が存在した。
(1)図1と図2を参照しながら実施形態に係る長尺基板の処理装置について説明する。
巻出室110内では、巻出ロール115から成膜前の長尺フィルム114が、フリーロール116、張力測定ロール117、フリーロール118を経由して乾燥室111へ搬出される。尚、長尺フィルム114の巻出張力(巻出ロール115と乾燥室111のモータ駆動ロール119との周速度差に基づく張力)は、従来例に係る装置と同様、上記張力測定ロール117で測定し、巻出ロール115にフィードバック制御される。
乾燥室111内にはヒータユニット124が配置され、長尺フィルム114が、モータ駆動ロール119、フリーロール120、張力測定ロール121,フリーロール122、フリーロール123を経由して成膜室112に搬出される。尚、長尺フィルム114の乾燥張力(モータ駆動ロール119と成膜室112の搬入側第二モータ駆動ロール125との周速度差に基づく張力)は、上記張力測定ロール121で測定し、モータ駆動ロール119にフィードバック制御される。
上記成膜室112内には、スパッタリングカソード139、140、141、142が配置され、長尺フィルム114が、上記搬入側第二モータ駆動ロール125、フリーロール126、搬入側第二張力測定ロール127、フリーロール128、搬入側第一モータ駆動ロール129、搬入側第一張力測定ロール130、キャンロール131、搬出側第一張力測定ロール132、搬出側第一モータ駆動ロール133、フリーロール134、搬出側第二張力測定ロール135、フリーロール136、および、搬出側第二モータ駆動ロール137を経由して巻取室113へ搬出される。
上記巻取室113内では、長尺フィルム114が、フリーロール143、張力測定ロール144、フリーロール145を経由して巻取ロール146に巻き取られる。尚、長尺フィルム114の巻取張力(搬出側第二モータ駆動ロール137と巻取ロール146との周速度差に基づく張力)は、上記張力測定ロール144で測定し、巻取ロール146にフィードバック制御される。
第一実施形態および第二実施形態に係る処理装置においては、キャンロール131に搬入される長尺フィルム114の搬入方向の張力が、搬入側第一モータ駆動ロール129とキャンロール131の周速度差に基づいて設定される搬入フィード張力Tu1と、上記搬入側第一モータ駆動ロール129と搬入側第二モータ駆動ロール125の周速度差に基づいて設定される搬入フィード張力Tu2(Tu1>Tu2)の2段階制御により調整され、かつ、
上記キャンロール131から搬出される長尺フィルム114の搬出方向の張力が、搬出側第一モータ駆動ロール133とキャンロール131の周速度差に基づいて設定される搬出フィード張力Td1と、上記搬出側第一モータ駆動ロール133と搬出側第二モータ駆動ロール137との周速度差に基づいて設定される搬出フィード張力Td2(Td1>Td2)の2段階制御により調整されることを特徴としている。
次に、ガス放出機構付きキャンロールについて図4、図7および図9を参照しながら説明する。ガス放出機構付きキャンロール56は、図示しない駆動装置により回転中心軸56aを中心として回転駆動される円筒部材10(図9参照)で構成されている。この円筒部材10の外表面に長尺耐熱性樹脂フィルム(長尺基板)52を巻き付けながら搬送する搬送経路が画定される。円筒部材10の内表面側には、冷却水等の冷媒が流通する冷媒循環部11(図4および図7参照)がジャケット構造で形成されている。
(1)垂直型ロータリージョイント
垂直型ロータリージョイントは、図3〜図5に示すように回転リングユニット21と、固定治具41で回転しないように固定された固定リングユニット22で構成されている。
平行型ロータリージョイントは、図6〜図8に示すように、円筒基部21aと円筒凸部21bからなる断面凸形状の回転リングユニット21と、回転リングユニット21の上記円筒凸部21bが嵌入されかつ固定治具41で回転しないように固定された固定リングユニット22とで構成されている。
長尺基板として耐熱性樹脂フィルムを例に挙げて本発明に係る処理装置の説明を行ったが、本発明に係る長尺基板の処理装置で使用する長尺基板には、他の樹脂フィルムはもちろんのこと、金属箔や金属ストリップ等の金属フィルムを用いることが可能である。樹脂フィルムとしては、ポリエチレンテレフタレート(PET)フィルムのような比較的耐熱性に劣る樹脂フィルムやポリイミドフィルムのような耐熱性樹脂フィルムを例示することができる。
まず、図6〜図8に示す平行型ロータリージョイントを設計した。
図1に示す本発明に係る成膜装置(スパッタリングウェブコータ)を用いて金属膜付長尺耐熱性樹脂フィルムを作製した。長尺の耐熱性樹脂フィルム(以下、フィルム114と称する)には、幅500mm、長さ800m、厚さ25μmの宇部興産株式会社製の耐熱性ポリイミドフィルム「ユーピレックス(登録商標)」を使用した。
図10に示す従来例に係る成膜装置(スパッタリングウェブコータ)を用いて金属膜付長尺耐熱性樹脂フィルムを作製した。長尺の耐熱性樹脂フィルム(以下、フィルム214と称する)には、幅500mm、長さ800m、厚さ25μmの宇部興産株式会社製の耐熱性ポリイミドフィルム「ユーピレックス(登録商標)」を使用した。
(1)実施例1〜2と参考例1〜7および比較例1〜5に係る成膜後の長尺フィルムについて、フィルム皺(スパッタ熱負荷皺)とスクラッチ傷が発生しているか否か目視による観察を行った。
11 冷媒循環部
12 回転軸
12a 内側配管
12b 外側配管
14 ガス導入路
15 ガス放出孔
20 ロータリージョイント
21 回転リングユニット
21a 円筒基部
21b 円筒凸部
22 固定リングユニット
23 ガス供給路
23a 回転開口部
25 連結配管
26 供給配管
27 ガス分配路
27a 環状凹溝
32 ベアリング
40 冷却水口
41 固定治具
42 円弧状パッキン部材
43 パッキン取付け治具
52 耐熱性樹脂フィルム(長尺基板)
55、61 フィードロール
56 キャンロール
56a 中心軸
77 回転リングユニットの固定ネジ穴
82 圧力計ポート
83 圧力計ポート
110、210 巻出室
111、211 乾燥室
112、212 成膜室
113、213 巻取室
114、214 長尺耐熱性樹脂フィルム(長尺基板)
115、215 巻出ロール
116、216 フリーロール
117、217 張力測定ロール
118、218 フリーロール
119、219 モータ駆動ロール
120、220 フリーロール
121、221 張力測定ロール
122、222 フリーロール
123、223 フリーロール
124、224 ヒータユニット
125 搬入側第二モータ駆動ロール
126 フリーロール
127 搬入側第二張力測定ロール
128 フリーロール
129 搬入側第一モータ駆動ロール
130 搬入側第一張力測定ロール
131、231 キャンロール
132 搬出側第一張力測定ロール
133 搬出側第一モータ駆動ロール
134 フリーロール
135 搬出側第二張力測定ロール
136 フリーロール
137 搬出側第二モータ駆動ロール
138、238 仕切り部
139、239 マグネトロンスパッタリングカソード
140、240 マグネトロンスパッタリングカソード
141、241 マグネトロンスパッタリングカソード
142、242 マグネトロンスパッタリングカソード
143、243 フリーロール
144、244 張力測定ロール
145、245 フリーロール
146、246 巻取ロール
229 搬入側モータ駆動ロール
230 搬入側張力測定ロール
232 搬出側張力測定ロール
233 搬出側モータ駆動ロール
Claims (6)
- 巻出ロールに巻回された長尺基板を巻出す巻出ゾーンと、巻出ゾーンから供給された長尺基板に対し真空チャンバー内において熱負荷の掛かる処理を施す処理ゾーンと、処理された長尺基板を巻取ロールに巻取る巻取ゾーンを有する長尺基板の処理装置であって、
上記処理ゾーンが、ロールツーロールで搬送される長尺基板を外周面に巻き付けて冷却するモータ駆動のキャンロールと、該キャンロールにおける長尺基板の搬入側と搬出側に設けられた搬入側張力制御ロール群および搬出側張力制御ロール群と、上記キャンロールの外周面に対向する位置に設けられた熱負荷の掛かる処理手段とを備え、
上記キャンロールは、周方向に略均等な間隔をあけて全周に亘って複数のガス導入路が配設されており、これら複数のガス導入路の各々はキャンロールの回転軸方向に沿って略均等な間隔をあけて外周面側に開口する複数のガス放出孔を有していると共に、
上記キャンロール外周面のうち長尺基板が巻き付けられる角度範囲内に位置しているガス導入路には真空チャンバー外部からのガスを供給し、長尺基板が巻き付けられる角度範囲内に位置していないガス導入路には真空チャンバー外部からのガスを供給しないロータリージョイントを具備する長尺基板の処理装置において、
上記搬入側張力制御ロール群が、処理ゾーンにそれぞれ設けられた搬入側第一張力制御ロール群と搬入側第二張力制御ロール群とで構成され、上記搬入側第一張力制御ロール群は、キャンロールの搬入側近傍に配置された搬入側第一張力測定ロールと該搬入側第一張力測定ロールにより測定された長尺基板の張力に基づいて周速度が制御される搬入側第一モータ駆動ロールとで構成されると共に、上記搬入側第二張力制御ロール群は、上記搬入側第一モータ駆動ロール側に配置された搬入側第二張力測定ロールと該搬入側第二張力測定ロールにより測定された長尺基板の張力に基づいて周速度が制御される搬入側第二モータ駆動ロールとで構成され、
上記搬出側張力制御ロール群が、処理ゾーンにそれぞれ設けられた搬出側第一張力制御ロール群と搬出側第二張力制御ロール群とで構成され、上記搬出側第一張力制御ロール群は、キャンロールの搬出側近傍に配置された搬出側第一張力測定ロールと該搬出側第一張力測定ロールにより測定された長尺基板の張力に基づいて周速度が制御される搬出側第一モータ駆動ロールとで構成されると共に、上記搬出側第二張力制御ロール群は、上記搬出側第一モータ駆動ロール側に配置された搬出側第二張力測定ロールと該搬出側第二張力測定ロールにより測定された長尺基板の張力に基づいて周速度が制御される搬出側第二モータ駆動ロールとで構成され、
上記キャンロールに搬入される長尺基板の搬入方向の張力が、キャンロールと上記搬入側第一モータ駆動ロールの周速度差に基づいて設定される搬入フィード張力Tu1と、搬入側第一モータ駆動ロールと上記搬入側第二モータ駆動ロールの周速度差に基づいて設定される搬入フィード張力Tu2(Tu1>Tu2)の2段階制御により調整され、かつ、
上記キャンロールから搬出される長尺基板の搬出方向の張力が、上記搬出側第一モータ駆動ロールとキャンロールの周速度差に基づいて設定される搬出フィード張力Td1と、上記搬出側第二モータ駆動ロールと搬出側第一モータ駆動ロールの周速度差に基づいて設定される搬出フィード張力Td2(Td1>Td2)の2段階制御により調整されることを特徴とする長尺基板の処理装置。 - 上記ロータリージョイントが、キャンロールと同心軸状に設けられかつキャンロールの中心軸に対しそれぞれのガス制御用摺接面が垂直に形成されている回転リングユニットと固定リングユニットとで構成され、
上記回転リングユニットは、上記キャンロールの複数のガス導入路にそれぞれ連通する複数のガス供給路を有し、これ等複数のガス供給路の各々は、連通するガス導入路のキャンロール外周面上の角度位置に対応した角度位置で開口する回転開口部を回転リングユニットの上記ガス制御用摺接面に有しており、
上記固定リングユニットは、固定リングユニットのガス制御用摺接面に周方向に亘り設けられた環状凹溝により構成されかつ環状凹溝内の所定領域に嵌入された円弧状パッキン部材により上記固定リングユニットのガス制御用摺接面が閉止された固定閉止部と上記ガス制御用摺接面が閉止されない固定開口部を有すると共に真空チャンバー外部の供給配管に連通するガス分配路を有しており、かつ、上記固定開口部は、回転リングユニットの回転開口部が対向する固定リングユニットのガス制御用摺接面上の領域のうち上記長尺基板が巻き付けられる角度範囲内で開口していることを特徴とする請求項1に記載の長尺基板の処理装置。 - 上記ロータリージョイントが、キャンロールと同心軸状に設けられた円筒基部と円筒凸部からなる断面凸形状の回転リングユニットと、上記回転リングユニットの円筒凸部が嵌入されてキャンロールの中心軸に対しそれぞれのガス制御用摺接面が平行に形成される円筒状の固定リングユニットとで構成され、
上記回転リングユニットは、上記キャンロールの複数のガス導入路にそれぞれ連通する複数のガス供給路を有すると共に、これ等複数のガス供給路の各々は、連通するガス導入路のキャンロール外周面上の角度位置に対応した角度位置で開口する回転開口部を回転リングユニットにおける円筒凸部の上記ガス制御用摺接面に有しており、
上記固定リングユニットは、固定リングユニットの円筒内周面に周方向に亘り設けられた環状凹溝により構成されかつ環状凹溝内の所定領域に嵌入された円弧状パッキン部材により上記固定リングユニットのガス制御用摺接面が閉止された固定閉止部と上記ガス制御用摺接面が閉止されない固定開口部を有すると共に真空チャンバー外部の供給配管に連通するガス分配路を有しており、かつ、上記固定開口部は、回転リングユニットにおける円筒凸部の回転開口部が対向する固定リングユニットのガス制御用摺接面上の領域のうち上記長尺基板が巻き付けられる角度範囲内で開口していることを特徴とする請求項1に記載の長尺基板の処理装置。 - 熱負荷の掛かる上記処理が、キャンロールの外周面で画定される搬送経路に対向する真空成膜手段による処理であることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の長尺基板の処理装置。
- 上記真空成膜手段が、マグネトロンスパッタリングであることを特徴とする請求項4に記載の長尺基板の処理装置。
- 巻出ロールに巻回された長尺基板を巻出す巻出ゾーンと、巻出ゾーンから供給された長尺基板に対し真空チャンバー内において熱負荷の掛かる処理を施す処理ゾーンと、処理された長尺基板を巻取ロールに巻取る巻取ゾーンを有する長尺基板の処理方法であって、
上記処理ゾーンを、ロールツーロールで搬送される長尺基板を外周面に巻き付けて冷却するモータ駆動のキャンロールと、該キャンロールにおける長尺基板の搬入側と搬出側に設けられた搬入側張力制御ロール群および搬出側張力制御ロール群と、上記キャンロールの外周面に対向する位置に設けられた熱負荷の掛かる処理手段とで構成し、
上記キャンロールは、周方向に略均等な間隔をあけて全周に亘って複数のガス導入路が配設されており、これら複数のガス導入路の各々はキャンロールの回転軸方向に沿って略均等な間隔をあけて外周面側に開口する複数のガス放出孔を有しており、
上記キャンロールにロータリージョイントを付設して、キャンロール外周面のうち長尺基板が巻き付けられる角度範囲内に位置しているガス導入路には真空チャンバー外部からのガスを供給し、長尺基板が巻き付けられる角度範囲内に位置していないガス導入路には真空チャンバー外部からのガスを供給しないようにした長尺基板の処理方法において、
上記搬入側張力制御ロール群を、処理ゾーンにそれぞれ設けられた搬入側第一張力制御ロール群と搬入側第二張力制御ロール群とで構成し、上記搬入側第一張力制御ロール群を、キャンロールの搬入側近傍に配置された搬入側第一張力測定ロールと該搬入側第一張力測定ロールにより測定された長尺基板の張力に基づいて周速度が制御される搬入側第一モータ駆動ロールとで構成すると共に、上記搬入側第二張力制御ロール群を、上記搬入側第一モータ駆動ロール側に配置された搬入側第二張力測定ロールと該搬入側第二張力測定ロールにより測定された長尺基板の張力に基づいて周速度が制御される搬入側第二モータ駆動ロールとで構成し、かつ、
上記搬出側張力制御ロール群を、処理ゾーンにそれぞれ設けられた搬出側第一張力制御ロール群と搬出側第二張力制御ロール群とで構成し、上記搬出側第一張力制御ロール群を、キャンロールの搬出側近傍に配置された搬出側第一張力測定ロールと該搬出側第一張力測定ロールにより測定された長尺基板の張力に基づいて周速度が制御される搬出側第一モータ駆動ロールとで構成すると共に、上記搬出側第二張力制御ロール群を、上記搬出側第一モータ駆動ロール側に配置された搬出側第二張力測定ロールと該搬出側第二張力測定ロールにより測定された長尺基板の張力に基づいて周速度が制御される搬出側第二モータ駆動ロールとで構成し、
上記キャンロールに搬入させる長尺基板の搬入方向の張力を、キャンロールと上記搬入側第一モータ駆動ロールの周速度差に基づいて設定する搬入フィード張力Tu1と、搬入側第一モータ駆動ロールと上記搬入側第二モータ駆動ロールの周速度差に基づいて設定する搬入フィード張力Tu2(Tu1>Tu2)の2段階制御により調整し、かつ、
上記キャンロールから搬出させる長尺基板の搬出方向の張力を、上記搬出側第一モータ駆動ロールとキャンロールの周速度差に基づいて設定する搬出フィード張力Td1と、上記搬出側第二モータ駆動ロールと搬出側第一モータ駆動ロールの周速度差に基づいて設定する搬出フィード張力Td2(Td1>Td2)の2段階制御により調整するようにしたことを特徴とする長尺基板の処理方法。
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