JP2014091848A - 薄膜形成方法及び薄膜形成装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 帯状基材をメインロールの外周面に沿わせた状態で帯状基材を搬送しつつ表面処理を行うことにより帯状基材上に薄膜を形成する薄膜形成方法及び装置であって、帯状基材に加わる張力を測定しつつ調整をし、メインロールを一定速回転させて薄膜を形成するときに帯状基材に加わる張力をメインロールの回転加速時張力又は回転減速時張力よりも低く設定することを特徴とする、薄膜形成方法及び装置。
【選択図】 図2
Description
帯状基材をメインロールの外周面に沿わせた状態で搬送しつつ表面処理を行うことにより帯状基材上に薄膜を形成する薄膜形成方法であって、
帯状基材に加わる張力を測定しつつ調整をする張力調節ステップを有し、
メインロールを一定速回転させて薄膜を形成するときに帯状基材に加わる張力を
メインロールの回転加速時張力又は回転減速時張力よりも低く設定するステップを有することを特徴とする、薄膜形成方法である。
メインロールを正回転方向に回転させて薄膜を形成するステップと、
メインロールを逆回転方向に回転させて薄膜を形成するステップとを有する
ことを特徴とする、請求項1に記載の薄膜形成方法である。
前記メインロールを正回転方向に回転させて薄膜を形成するステップと、
前記メインロールを逆回転方向に回転させて薄膜を形成するステップとでは、
異なる薄膜を形成することを特徴とする、請求項2に記載の薄膜形成方法である。
帯状基材が巻出ロールと巻取ロールとを備えたロールトゥロール方式で搬送され、
メインロールを一定速回転させて薄膜を形成しているときにメインロールの減速開始を通知する減速開始通知ステップと、
前記減速開始通知ステップにおける減速開始の通知に基づいて帯状基材に加わる張力を前記回転減速時張力に変更するステップと、
帯状基材に加わる張力が前記回転減速時張力に変更された後にメインロールの回転を減速させるステップとを有する
ことを特徴とする、請求項1〜請求項3のいずれかに記載の薄膜形成方法である。
メインロールの回転が停止しているときに帯状基材に加わる張力を、
前記メインロールを一定速回転させて薄膜を形成するときに帯状基材に加わる張力より高く設定するステップを有する
ことを特徴とする、請求項1〜請求項4のいずれかにに記載の薄膜形成方法である。
帯状基材をメインロールの外周面に沿わせた状態で帯状基材を搬送しつつ表面処理を行うことにより帯状基材上に薄膜を形成する薄膜形成装置であって、
帯状基材に加わる張力を測定する張力測定部と、
前記張力測定部で測定された張力に基づいて帯状基材に加わる張力を調節する張力調節部を備え、
メインロールを一定速回転させて薄膜を形成するときに帯状基材に加わる張力が
メインロールの回転加速時張力又は回転減速時張力よりも低く設定されていることを特徴とする、薄膜形成装置である。
メインロールを正回転方向及び逆回転方向に回転させるメインロール回転制御部を備えた
ことを特徴とする、請求項6に記載の薄膜形成装置である。
前記メインロールを正回転方向に回転させるときと、
前記メインロールを逆回転方向に回転させるときでは、
帯状基材上への薄膜の形成に用いる材料が異なる
ことを特徴とする、請求項7に記載の薄膜形成装置である。
帯状基材が巻出ロールと巻取ロールとを備えたロールトゥロール方式で搬送されており、
帯状基材の搬送距離を計測する搬送距離計測部を備え、
前記張力調節部は前記搬送距離計測部の信号に基づいて前記帯状基材に加わる張力を前記回転減速時張力に変更し、
前記メインロール回転制御部は、帯状基材に加わる張力が前記回転減速時張力に変更されたことに基づいてメインロールの回転を減速させる
ことを特徴とする、請求項6〜請求項8のいずれかに記載の薄膜形成装置である。
メインロールの回転が停止しているときに帯状基材に加わる張力が、
前記メインロールを一定速回転させて薄膜を形成するときに帯状基材に加わる張力より高く設定されていることを特徴とする、請求項6〜請求項9のいずれかに記載の薄膜形成装置である。
本発明にかかる薄膜形成装置1は、薄膜形成部2と、メインロール3と、巻出ロール4と、巻取ロール5と、張力調節部6を備えている。
メインロール3は、円筒状の大径ドラムロール(いわゆるキャンロールと呼ばれるもの)で、回転軸31に取り付けられた駆動モータ31mにより、矢印32の方向或いは、その逆方向に回転する構造をしている。さらに、シートSは、メインロールの外周面30に沿わせて配置されており、詳細は後述するが、シートSに付与された張力によりシートS裏面がメインロール3の表面に押しつけられる。そのため、メインロール3の表面とシートSの裏面とには摩擦が生じる。そして、メインロール3を矢印32の方向に回転させることにより、シートSを矢印47,57の方向に搬送させることができる。
巻出ロール4は、巻出軸41と、パウダークラッチ43と、モータ45とを備えている。
巻出軸41は、長尺のシートSをロール上に巻き付けておくための円筒軸である。
モータ45は、巻出軸41を矢印46の方向に回転させるものである。
巻取ロール5は、巻取軸51と、パウダークラッチ53と、モータ55とを備えている。
巻取軸51は、長尺のシートSをロール上に巻き付けておくための円筒軸である。
モータ55は、巻取軸51を矢印56の方向に回転させるものである。
張力調節部6は、張力検出部61,62と、張力設定部63と、張力コントローラ65とを備えている。
張力設定部63には、メインロールの回転加速時張力Ta、回転減速時張力Td、一定速回転時張力Tcが登録されている。なお、メインロールの回転加速時張力Ta及び回転減速時張力Tbは、初期張力とも呼ばれ、別個の値を設定しても良いし、同じ値を設定しても良い。また、メインロールの一定速回転時張力Tcは、プロセス張力とも呼ばれ、回転加速時張力Ta又は回転減速時張力Tdの値よりも低く設定しておく。
図2は、本発明を具現化する形態の一例を示すフローチャートである。図2には、本発明を用いてシートSの表面上に薄膜を形成するための一連のフローが、ステップ毎に示されている。
2 薄膜形成部
3 メインロール
4 巻出ロール
5 巻取ロール
6 張力調節部
7 搬送距離計測部
8 フリーロール
20 成膜チャンバ
21 原料ガス導入部
22 高周波発生部
30 メインロールの外周面
31 回転軸
31m 駆動モータ
32 矢印(回転方向)
41 巻出軸
43 パウダークラッチ
45 モータ
46 矢印(付与張力)
47 矢印(搬送方向)
51 巻取軸
53 パウダークラッチ
55 モータ
56 矢印(付与張力)
57 矢印(搬送方向)
61 張力検出部(供給側)
61a 矢印
62 張力検出部(回収側)
62a 矢印
63 張力設定部
65 張力コントローラ
70 回転計
71 矢印
81〜85 フリーロール
S シート(帯状基材,長尺のフィルムシート)
Ta メインロールの回転加速時張力
Tc メインロールの一定速回転時張力
Td メインロールの回転減速時張力
Claims (10)
- 帯状基材をメインロールの外周面に沿わせた状態で搬送しつつ表面処理を行うことにより帯状基材上に薄膜を形成する薄膜形成方法であって、
帯状基材に加わる張力を測定しつつ調整をする張力調節ステップを有し、
メインロールを一定速回転させて薄膜を形成するときに帯状基材に加わる張力を
メインロールの回転加速時張力又は回転減速時張力よりも低く設定するステップを有することを特徴とする、薄膜形成方法。 - メインロールを正回転方向に回転させて薄膜を形成するステップと、
メインロールを逆回転方向に回転させて薄膜を形成するステップとを有する
ことを特徴とする、請求項1に記載の薄膜形成方法。 - 前記メインロールを正回転方向に回転させて薄膜を形成するステップと、
前記メインロールを逆回転方向に回転させて薄膜を形成するステップとでは、
異なる薄膜を形成することを特徴とする、請求項2に記載の薄膜形成方法。 - 帯状基材が巻出ロールと巻取ロールとを備えたロールトゥロール方式で搬送され、
メインロールを一定速回転させて薄膜を形成しているときにメインロールの減速開始を通知する減速開始通知ステップと、
前記減速開始通知ステップにおける減速開始の通知に基づいて帯状基材に加わる張力を前記回転減速時張力に変更するステップと、
帯状基材に加わる張力が前記回転減速時張力に変更された後にメインロールの回転を減速させるステップとを有する
ことを特徴とする、請求項1〜請求項3のいずれかに記載の薄膜形成方法。 - メインロールの回転が停止しているときに帯状基材に加わる張力を、
前記メインロールを一定速回転させて薄膜を形成するときに帯状基材に加わる張力より高く設定するステップを有する
ことを特徴とする、請求項1〜請求項4のいずれかに記載の薄膜形成方法。 - 帯状基材をメインロールの外周面に沿わせた状態で帯状基材を搬送しつつ表面処理を行うことにより帯状基材上に薄膜を形成する薄膜形成装置であって、
帯状基材に加わる張力を測定する張力測定部と、
前記張力測定部で測定された張力に基づいて帯状基材に加わる張力を調節する張力調節部を備え、
メインロールを一定速回転させて薄膜を形成するときに帯状基材に加わる張力が
メインロールの回転加速時張力又は回転減速時張力よりも低く設定されていることを特徴とする、薄膜形成装置。 - メインロールを正回転方向及び逆回転方向に回転させるメインロール回転制御部を備えた
ことを特徴とする、請求項6に記載の薄膜形成装置。 - 前記メインロールを正回転方向に回転させるときと、
前記メインロールを逆回転方向に回転させるときでは、
帯状基材上への薄膜の形成に用いる材料が異なる
ことを特徴とする、請求項7に記載の薄膜形成装置。 - 帯状基材が巻出ロールと巻取ロールとを備えたロールトゥロール方式で搬送されており、
帯状基材の搬送距離を計測する搬送距離計測部を備え、
前記張力調節部は前記搬送距離計測部の信号に基づいて前記帯状基材に加わる張力を前記回転減速時張力に変更し、
前記メインロール回転制御部は、帯状基材に加わる張力が前記回転減速時張力に変更されたことに基づいてメインロールの回転を減速させる
ことを特徴とする、請求項6〜請求項8のいずれかに記載の薄膜形成装置。 - メインロールの回転が停止しているときに帯状基材に加わる張力が、
前記メインロールを一定速回転させて薄膜を形成するときに帯状基材に加わる張力より高く設定されていることを特徴とする、請求項6〜請求項9のいずれかに記載の薄膜形成装置。
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