JP6006614B2 - 薄膜形成方法及び薄膜形成装置 - Google Patents

Description

薄膜形成対象となる帯状基材（つまり、長尺フィルムシート）を搬送させながら、薄膜形成部を通過させることにより、フィルムシートの表面に薄膜を形成する方法及び装置に関するものである。

ロール状に巻かれた長尺フィルムシートの表面に薄膜を形成するために、真空蒸着，スパッタ，ＣＶＤなどの薄膜形成装置が用いられている。このような薄膜形成装置は、巻出ローラから巻き出して供給されたフィルムシートをメインロール（いわゆるキャンロール）と呼ばれる大径のドラム状ロールの表面に沿わせ、メインロールを回転させることによりフィルムシートを搬送させている。さらに、薄膜形成部がメインロールの搬送面と対向する位置に配置されており、メインロールに沿わせたフィルムシートを搬送させながら薄膜形成部を通過させることにより、フィルムシート表面上に薄膜を形成している。そして、薄膜の形成が済んだフィルムシートは、巻取りローラに巻き取ることにより回収される。このとき、フィルムシートに加わる張力を検出しつつ、巻出ロール及び巻取ロールをトルク制御により巻取方向に軽い張力（いわゆるバックテンション）を付与しつつ、メインロールの回転によりフィルムシートを搬送させている（例えば、特許文献１）。

また、フィルムシートの搬送を確実に行い、空滑りの発生を防ぐために、メインロールの形状を改良する技術が提案されている（例えば、特許文献２）。

特開２００２−２３７０２８号公報 特開２０１１−９４２２１号公報

従来の薄膜形成装置では、停止状態から回転始動、回転加速、一定速での回転、回転減速させ、再び回転停止状態となるまで、巻出ロール及び巻取ロールのトルク制御を行い、フィルムシートに所定の張力を付与し、フィルムシートがメインロール上で空滑りしない様にしていた。しかし、メインロールの加減速時のみならず、メインロールを一定速で回転させて薄膜を形成しているとき、所定の張力がフィルムシートに加わった状態になっていた。さらに、フィルムシートがメインロール上で空滑りすることを防ぐために、フィルムシートに付与する張力を高く設定すると、フィルムシートには必要以上の引っ張り力が加わることになり、形成した薄膜に微小なひび割れや剥離が生じる要因となっていた。

そこで本発明は、フィルムシートの搬送中にメインロール上で空滑りが発生することを防ぎつつ、形成した薄膜にひび割れや剥離が生じることを防ぐことができる薄膜形成方法及び薄膜形成装置を提供することを目的としている。

以上の課題を解決するために、請求項１に記載の発明は、
帯状基材をメインロールの外周面に沿わせた状態で搬送しつつ表面処理を行うことにより帯状基材上に薄膜を形成する薄膜形成方法であって、
帯状基材に加わる張力を測定しつつ調整をする張力調節ステップを有し、
メインロールを一定速回転させて薄膜を形成するときに帯状基材に加わる張力を
メインロールの回転加速時張力又は回転減速時張力よりも低く設定するステップを有することを特徴とする、薄膜形成方法である。

請求項２に記載の発明は、
メインロールを正回転方向に回転させて薄膜を形成するステップと、
メインロールを逆回転方向に回転させて薄膜を形成するステップとを有する
ことを特徴とする、請求項１に記載の薄膜形成方法である。

請求項３に記載の発明は、
前記メインロールを正回転方向に回転させて薄膜を形成するステップと、
前記メインロールを逆回転方向に回転させて薄膜を形成するステップとでは、
異なる薄膜を形成することを特徴とする、請求項２に記載の薄膜形成方法である。

請求項４に記載の発明は、
帯状基材が巻出ロールと巻取ロールとを備えたロールトゥロール方式で搬送され、
メインロールを一定速回転させて薄膜を形成しているときにメインロールの減速開始を通知する減速開始通知ステップと、
前記減速開始通知ステップにおける減速開始の通知に基づいて帯状基材に加わる張力を前記回転減速時張力に変更するステップと、
帯状基材に加わる張力が前記回転減速時張力に変更された後にメインロールの回転を減速させるステップとを有する
ことを特徴とする、請求項１〜請求項３のいずれかに記載の薄膜形成方法である。

請求項５に記載の発明は、
メインロールの回転が停止しているときに帯状基材に加わる張力を、
前記メインロールを一定速回転させて薄膜を形成するときに帯状基材に加わる張力より高く設定するステップを有する
ことを特徴とする、請求項１〜請求項４のいずれかにに記載の薄膜形成方法である。

請求項６に記載の発明は、
帯状基材をメインロールの外周面に沿わせた状態で帯状基材を搬送しつつ表面処理を行うことにより帯状基材上に薄膜を形成する薄膜形成装置であって、
帯状基材に加わる張力を測定する張力測定部と、
前記張力測定部で測定された張力に基づいて帯状基材に加わる張力を調節する張力調節部を備え、
メインロールを一定速回転させて薄膜を形成するときに帯状基材に加わる張力が
メインロールの回転加速時張力又は回転減速時張力よりも低く設定されていることを特徴とする、薄膜形成装置である。

請求項７に記載の発明は、
メインロールを正回転方向及び逆回転方向に回転させるメインロール回転制御部を備えた
ことを特徴とする、請求項６に記載の薄膜形成装置である。

請求項８に記載の発明は、
前記メインロールを正回転方向に回転させるときと、
前記メインロールを逆回転方向に回転させるときでは、
帯状基材上への薄膜の形成に用いる材料が異なる
ことを特徴とする、請求項７に記載の薄膜形成装置である。

請求項９に記載の発明は、
帯状基材が巻出ロールと巻取ロールとを備えたロールトゥロール方式で搬送されており、
帯状基材の搬送距離を計測する搬送距離計測部を備え、
前記張力調節部は前記搬送距離計測部の信号に基づいて前記帯状基材に加わる張力を前記回転減速時張力に変更し、
前記メインロール回転制御部は、帯状基材に加わる張力が前記回転減速時張力に変更されたことに基づいてメインロールの回転を減速させる
ことを特徴とする、請求項７〜請求項８のいずれかに記載の薄膜形成装置である。

請求項１０に記載の発明は、
メインロールの回転が停止しているときに帯状基材に加わる張力が、
前記メインロールを一定速回転させて薄膜を形成するときに帯状基材に加わる張力より高く設定されていることを特徴とする、請求項６〜請求項９のいずれかに記載の薄膜形成装置である。

薄膜形成装置及び薄膜形成方法において、フィルムシートの搬送中にメインロール上で空滑りが発生することを防ぎつつ、形成した薄膜にひび割れや剥離が生じることを防ぐことができる。

本発明を具現化する形態の一例を示す側面図である。 本発明を具現化する形態の一例を示すフローチャートである。 本発明を具現化する形態の一例を示すタイムチャートである。

図１は、本発明を具現化する形態の一例を示す側面図である。
本発明にかかる薄膜形成装置１は、薄膜形成部２と、メインロール３と、巻出ロール４と、巻取ロール５と、張力調節部６を備えている。

薄膜形成部２は、薄膜形成対象物となる帯状基材（つまり、長尺フィルムシート。以下、シートＳという）の表面に薄膜を形成するものである。薄膜形成部２は、例えばプラズマＣＶＤによる薄膜形成を行う形態を例示でき、下述のような装置構成にすることができる。より具体的には、薄膜形成部２は、３組みの成膜チャンバ２０（２０ａ，２０ｂ，２０ｃ）、原料ガス導入部２１（２１ａ，２１ｂ，２１ｃ）、高周波発生部２２（２２ａ，２２ｂ，２２ｃ）を備えている。

メインロール３は、シートＳを矢印の方向に搬送させるものである。
メインロール３は、円筒状の大径ドラムロール（いわゆるキャンロールと呼ばれるもの）で、回転軸３１に取り付けられた駆動モータ３１ｍにより、矢印３２の方向或いは、その逆方向に回転する構造をしている。さらに、シートＳは、メインロールの外周面３０に沿わせて配置されており、詳細は後述するが、シートＳに付与された張力によりシートＳ裏面がメインロール３の表面に押しつけられる。そのため、メインロール３の表面とシートＳの裏面とには摩擦が生じる。そして、メインロール３を矢印３２の方向に回転させることにより、シートＳを矢印４７，５７の方向に搬送させることができる。

巻出ロール４は、シートＳをメインロール３へ供給するものである。
巻出ロール４は、巻出軸４１と、パウダークラッチ４３と、モータ４５とを備えている。
巻出軸４１は、長尺のシートＳをロール上に巻き付けておくための円筒軸である。
モータ４５は、巻出軸４１を矢印４６の方向に回転させるものである。

パウダークラッチ４３は、巻出軸４１とモータ４５とを接続するものであり、モータ４５の回転力を調節して巻出軸４１に伝えるものである。詳細は後述するが、モータ４５を所定の回転力で駆動しつつ、パウダークラッチ４３を制御することにより、巻出軸４１に所望のトルクを伝達するすることができる。そのため、巻出軸４１に巻き付けられた長尺のシートＳに所定の張力を付与しつつ、メインロール３の回転に応じて矢印４７の方向に巻き出し、シートＳを供給することができる。

巻取ロール５は、シートＳをメインロール３から回収するものである。
巻取ロール５は、巻取軸５１と、パウダークラッチ５３と、モータ５５とを備えている。
巻取軸５１は、長尺のシートＳをロール上に巻き付けておくための円筒軸である。
モータ５５は、巻取軸５１を矢印５６の方向に回転させるものである。

パウダークラッチ５３は、巻取軸５１とモータ５５とを接続するものであり、モータ４５の回転力を調節して巻取軸５１に伝えるものである。詳細は後述するが、モータ５５を所定の回転力で駆動しつつ、パウダークラッチ５３を制御することにより、巻取軸５１に所望のトルクを伝達するすることができる。そのため、シートＳを、メインロール３の回転に応じて矢印５７の方向に搬送し、所定の張力を付与しつつ巻取軸５１に巻き付けて回収することができる。

張力調節部６は、シートＳに加わる張力を調節するものである。
張力調節部６は、張力検出部６１，６２と、張力設定部６３と、張力コントローラ６５とを備えている。

張力検出部６１は、メインロールに供給されるシートＳに加わる張力を測定するためのものであり、メインロール３と巻出ロール４との間（つまり、供給側）に配置されている。具体的には、シートＳにフリーロール６１ａを所定の力で付勢させておき、シートＳに加わる張力に応じてフリーロール６１ａが矢印６１ｂ方向に移動するようにしておく。そして、フリーロール６１ａの位置に応じて張力検出部６１から張力コントローラ６５へ信号を出力しておくようにする。

張力検出部６２は、メインロールから回収されるシートＳに加わる張力を測定するためのものであり、メインロール３と巻取ロール５との間（つまり、回収側）に配置されている。具体的には、シートＳにフリーロール６２ａを所定の力で付勢させておき、シートＳに加わる張力に応じてフリーロール６２ａが矢印６２ｂ方向に移動するようにしておく。そして、フリーロール６２ａの位置に応じて張力検出部６２から張力コントローラ６５へ信号を出力しておくようにする。

張力設定部６３は、シートＳに加わる張力を設定するためのものである。
張力設定部６３には、メインロールの回転加速時張力Ｔａ、回転減速時張力Ｔｄ、一定速回転時張力Ｔｃが登録されている。なお、メインロールの回転加速時張力Ｔａ及び回転減速時張力Ｔｂは、初期張力とも呼ばれ、別個の値を設定しても良いし、同じ値を設定しても良い。また、メインロールの一定速回転時張力Ｔｃは、プロセス張力とも呼ばれ、回転加速時張力Ｔａ又は回転減速時張力Ｔｄの値よりも低く設定しておく。

張力コントローラ６５は、張力検出部６１，６２から出力される信号を入力し、これらの信号の大小に応じて、パウダークラッチ４３，５３を制御するものである。具体的には、張力コントローラ６５は、張力検出部６１，６２で測定された張力が、張力設定部６３で設定されたメインロールの回転加速時張力Ｔａ，回転減速時張力Ｔｄ又は一定速回転時張力Ｔｃのいずれかから選択した値になるように、パウダークラッチ４３，５３を制御する。なお、張力コントローラ６５が、メインロールの回転加速時張力Ｔａ、回転減速時張力Ｔｄ又は一定速回転時張力Ｔｃの内どれを選択するかは、メインロール３の回転状態により判断する。

また、薄膜形成装置１は、上述の様に長尺のシートＳを巻出ロール４から巻き出して、成膜後に巻取ロール５で巻き取る形態（いわゆる、ロールトゥロール方式）としており、必要に応じてフリーロール８（８１〜８５）を適宜配置することが好ましく、フリーロール８によりシートＳの搬送が円滑に行える。

［動作フロー］
図２は、本発明を具現化する形態の一例を示すフローチャートである。図２には、本発明を用いてシートＳの表面上に薄膜を形成するための一連のフローが、ステップ毎に示されている。

先ず、薄膜形成対象物であるシートＳを、巻出ロール４から巻き出し、メインロール３に沿わる（ｓ１０１）。このようなシートＳを初めてセットする時や、別のロールに掛け替える時などは、シートＳに加わる張力をシート交換時張力Ｔ０とし、シート交換時張力Ｔ０は、メインロールの一定速回転時張力Ｔｃ以下に設定して、張力コントローラ６５でパウダークラッチ４３，５３を制御させる（ｓ１０２）。なお、このシート交換時張力Ｔ０は、シートＳに余分な張力がかからない、ゼロに近い値とすることが好ましい。そして、シートＳを巻取ロール５の巻取軸４１に巻きつけ、セットが完了すれば（ｓ１０３）、シートＳに付与する張力を徐々に上げ、張力検出部６１，６２が共に同じ値を保ちつつ、メインロールの回転加速時張力Ｔａになるように、張力コントローラ６５でパウダークラッチ４３，５３を制御させる（ｓ１０４）。

シートＳに付与していた張力がメインロールの回転加速時張力Ｔａに到達すれば、メインロールを正回転方向に回転させ、回転速度を上げる。そして、メインロールの回転速度がＶ１となれば（ｓ１０５）、シートＳに付与する張力がメインロールの一定速回転時張力Ｔｃとなるように、張力コントローラ６５でパウダークラッチ４３，５３を制御させる（ｓ１０６）。なお、シートＳへの薄膜の形成は、メインロール３の回転開始前又は回転開始後から行うようにしても良いし、メインロール３が一定速回転させている間のみ行うようにしても良い。これにより、シートＳの搬送中にメインロール上で空滑りが発生することを防ぎつつ、形成した薄膜にひび割れや剥離が生じることを防ぐことができる。

そして、シートＳを連続搬送させながら、成膜終了位置に達したかどうかを判断し（ｓ１０７）、成膜終了位置に達していなければ成膜の形成を継続する。一方、成膜終了位置に達していればシートＳに付与していた張力を、メインロールの一定速回転時張力Ｔｃから、メインロールの回転減速時張力Ｔｄに徐々に上げる（ｓ２０１）。なお、メインロールの回転減速時張力Ｔｄは、メインロールの回転加速時張力Ｔａとは異なる、別個の値を設定しても良いし、メインロールの回転加速時張力Ｔａと同じ値を設定しても良い。

そして、シートＳに付与していた張力が、メインロールの回転減速時張力Ｔｄに到達すれば、メインロール３の回転数を下げる（ｓ２０２）。そして、メインロールの回転が停止すれば（ｓ２０３）、メインロールを逆回転させて再び成膜するかどうかを判断する（ｓ２０４）。再び成膜しない場合は、後述のステップ（ｓ３０４）へ進める。一方、再び成膜をすると判断すれば、シートＳに付与する張力を、メインロールの回転加速時張力Ｔａになるように張力コントローラ６５でパウダークラッチ４３，５３を制御させる。

シートＳに付与していた張力がメインロールの回転加速時張力Ｔａに到達すれば、メインロールを逆回転方向に回転させ、回転速度を上げる。そして、メインロールの回転速度がＶ２となれば（ｓ２０５）、シートＳに付与する張力がメインロールの一定速回転時張力Ｔｃとなるように、張力コントローラ６５でパウダークラッチ４３，５３を制御させる（ｓ２０６）。なお、シートＳへの薄膜の形成は、メインロール３の回転開始前又は回転開始後から行うようにしても良いし、メインロール３が一定速回転させている間のみ行うようにしても良い。これにより、シートＳを逆方向に搬送中にメインロール上で空滑りが発生することを防ぎつつ、形成した薄膜にひび割れや剥離が生じることを防ぐことができる。

そして、シートＳを連続搬送させながら、成膜終了位置に達したかどうかを判断し（ｓ２０７）、成膜終了位置に達していなければ成膜の形成を継続する。一方、成膜終了位置に達していればシートＳに付与していた張力を、メインロールの一定速回転時張力Ｔｃから、メインロールの回転減速時張力Ｔｄに徐々に上げる（ｓ３０１）。

そして、シートＳに付与していた張力が、メインロールの回転減速時張力Ｔｄに到達すれば、メインロール３の回転数を下げる（ｓ３０２）。そして、メインロールの回転が停止すれば（ｓ３０３）、さらに成膜するかどうかを判断する（ｓ２０４）。再び成膜する場合は、上述のステップ（ｓ１０５〜ｓ３０３）を繰り返す。一方、再び成膜しない場合は、シートＳに付与していた張力をシート交換時張力Ｔ０とし（ｓ３０５）、シートＳを取り出すか、別のロールに掛け替える。

図３は、本発明を具現化する形態の一例を示すタイムチャートであり、本発明に係る薄膜形成装置１及び薄膜形成方法を用いてシートＳに薄膜を形成するときの、シートＳに付与される張力Ｔと、メインロール３の速度Ｖの変化を示す図である。従来の薄膜形成装置及び薄膜形成方法では、メインロール３が速度Ｖ１又は速度Ｖ２で一定速回転となっても、シートＳに付与される張力Ｔは、破線Ｚに示すようにメインロールの回転加速時張力Ｔａ又は回転減速時張力Ｔｂのままで薄膜の形成を行っていた。しかし、本発明にかかる薄膜形成装置１及び薄膜形成方法では、メインロール３が速度Ｖ１又は速度Ｖ２で一定速回転となったあと、実線Ａで示すように、メインロールの回転加速時張力Ｔａから一定速回転時張力Ｔｃに下げて、薄膜の形成を行っている。

そして、シートＳの搬送距離を計測し、シートエンド信号（つまり、減速開始通知信号）を検出し、当該信号の通知に基づいてシートＳに付与する張力を、メインロールの回転減速時張力Ｔｂに上げて、メインロール３を回転減速させている。

さらに、メインロールを逆回転方向に回転させるときは、シートＳに付与する張力をメインロールの回転加速時張力Ｔａにして、メインロールを逆回転方向に回転させ、メインロールが逆回転方向に速度Ｖ２で一定速回転となったあと、実線Ａで示すように、シートＳに付与する張力を回転加速時張力Ｔａから一定速回転時張力Ｔｃに下げて、薄膜の形成を行っている。そして、上述と同様にしてメインロール３の回転を止めている。

なお、上記シートＳの搬送距離を計測し、シートエンド信号（つまり、減速開始通知信号）を検出する手段としては、上述の薄膜形成装置１において搬送距離計測部７をさらに備えて具現化することができる。搬送距離計測部７は、シートＳの搬送距離を計測するためのものである。具体的には、搬送距離計測部７は、回転計７０を備え、シートＳの搬送に追従して矢印７１の方向に回転計７０の回転ローラが回転するように構成されている。より具体的には、回転計７０の回転ローラと対向配置された回転ローラとでシートＳを挟んで、シートＳの搬送距離を計測するように構成されたものが例示できる。回転計７０としては、ロータリエンコーダが例示できる。搬送距離計測部７では、回転計７０（ロータリエンコーダ）から出力されたパルス信号をカウントし、シートＳの走行距離が所定距離に達すればシートエンド信号を出力する。そうすることで、シートエンド信号を検出し、張力コントローラ６５でシートＳに付与される張力を一定速回転時張力Ｔｃから回転減速時張力Ｔｄに変更することができる。

本発明にかかる薄膜形成装置１は上述の様な構成をしており、本発明にかかる薄膜形成方法は上述の様なステップに基づいて薄膜形成を行うため、シートＳをメインロールの外周面３０に沿わせた状態で搬送しつつ、薄膜形成部２を通過させて表面処理を行うことで、シートＳ上に薄膜を形成することができる。さらに、メインロールを一定速回転させて薄膜を形成するときにシートＳに付与する張力を、メインロールの停止状態から一定速回転になるまで回転加速させるとき又は一定速回転から停止状態になるまで回転減速させるときのシートＳに付与する張力よりも低く設定して薄膜を形成しているので、シートＳの搬送中にメインロールの外周面３０上で空滑りが発生することを防ぎつつ、形成した薄膜にひび割れや剥離が生じることを防ぐことができる。

さらに、メインロールを往復動作させることにより、同一種類の薄膜を積層形成したり、異種の薄膜を積層形成させることができ、メインロールの回転減速及び逆回転方向への回転加速の際に、シートＳの搬送中にメインロールの外周面３０上で空滑りが発生することを防ぎつつ、メインロールが一定速回転すればシートＳに付与される張力が低くなるため、積層形成した薄膜にひび割れや剥離が生じることを防ぐことができる。

なお、薄膜形成装置１において、メインロール回転制御部を備えることが好ましい。メインロール回転制御部は、モータ３１ｍを矢印３２の方向若しくは、その逆方向に回転駆動させるものであり、メインロール３を正回転方向及び逆回転方向に回転させることができる。メインロール回転制御部としては、コンピュータやプログラマブルコントローラに、実行プログラムを組み込んだものが例示できる。そうすれば、予め登録しておいた動作シーケンスに基づいてメインロール３の回転用駆動モータ３１を制御し、連続的にシートＳ上に同一種類の薄膜を積層形成することができる。

なお、図１に例示した３組みの成膜チャンバ２０（２０ａ，２０ｂ，２０ｃ）は、それぞれに同じガスを導入して同一種類の薄膜を積層させて形成しても良いが、異種のガスを導入し、異なる種類の薄膜を積層させて形成しても良い。さらに、配置する数量も任意に選択すれば良い。ガスの種類を変更して導入する場合、さらに成膜ガス切替部と、メインロール回転制御部と成膜ガス切替部とを連携させて制御する統合制御部を備えることが好ましい。ガス切替部は、ガス導入部２１（２１ａ，２１ｂ，２１ｃ）に導入するガスの種類を個別に切り替えるものである。統合制御部は、メインロール回転制御部と成膜ガス切替部を制御し、メインロール３の回転方向が正回転するときと逆回転するときとで、成膜チャンバに導入するガスを個別に切り替えるものである。成膜ガス切替部としては、外部からの制御ができる電磁バルブや電動バルブなどが例示できる。また、統合制御部としては、コンピュータやプログラマブルコントローラに、実行プログラムを組み込んだものをが例示できる。そうすれば、予め登録しておいた動作シーケンスに基づいてメインロール３の回転用駆動モータ３１を制御し、導入するガスを適宜切り替え、連続的にシートＳ上に異種の薄膜を積層形成することができる。

なお、上述の説明では薄膜形成部２として、プラズマＣＶＤによる薄膜形成を行う形態を例示したが、シートＳを低張力で搬送させながら成膜を行う場合に好適であり、薄い樹脂フィルムシートや伸縮しやすいウェブ材料に対する蒸着，スパッタ，ダイコート，スプレーコート，インクジェット等の成膜に応用することができる。

１ 薄膜形成装置
２ 薄膜形成部
３ メインロール
４ 巻出ロール
５ 巻取ロール
６ 張力調節部
７ 搬送距離計測部
８ フリーロール
２０ 成膜チャンバ
２１ 原料ガス導入部
２２ 高周波発生部
３０ メインロールの外周面
３１ 回転軸
３１ｍ 駆動モータ
３２ 矢印（回転方向）
４１ 巻出軸
４３ パウダークラッチ
４５ モータ
４６ 矢印（付与張力）
４７ 矢印（搬送方向）
５１ 巻取軸
５３ パウダークラッチ
５５ モータ
５６ 矢印（付与張力）
５７ 矢印（搬送方向）
６１ 張力検出部（供給側）
６１ａ 矢印
６２ 張力検出部（回収側）
６２ａ 矢印
６３ 張力設定部
６５ 張力コントローラ
７０ 回転計
７１ 矢印
８１〜８５ フリーロール
Ｓ シート（帯状基材，長尺のフィルムシート）
Ｔａ メインロールの回転加速時張力
Ｔｃ メインロールの一定速回転時張力
Ｔｄ メインロールの回転減速時張力

Claims (10)

1. 帯状基材をメインロールの外周面に沿わせた状態で搬送しつつ表面処理を行うことにより帯状基材上に薄膜を形成する薄膜形成方法であって、
   帯状基材に加わる張力を測定しつつ調整をする張力調節ステップを有し、
   メインロールを一定速回転させて薄膜を形成するときに帯状基材に加わる張力を
   メインロールの回転加速時張力又は回転減速時張力よりも低く設定するステップを有することを特徴とする、薄膜形成方法。
2. メインロールを正回転方向に回転させて薄膜を形成するステップと、
   メインロールを逆回転方向に回転させて薄膜を形成するステップとを有する
   ことを特徴とする、請求項１に記載の薄膜形成方法。
3. 前記メインロールを正回転方向に回転させて薄膜を形成するステップと、
   前記メインロールを逆回転方向に回転させて薄膜を形成するステップとでは、
   異なる薄膜を形成することを特徴とする、請求項２に記載の薄膜形成方法。
4. 帯状基材が巻出ロールと巻取ロールとを備えたロールトゥロール方式で搬送され、
   メインロールを一定速回転させて薄膜を形成しているときにメインロールの減速開始を通知する減速開始通知ステップと、
   前記減速開始通知ステップにおける減速開始の通知に基づいて帯状基材に加わる張力を前記回転減速時張力に変更するステップと、
   帯状基材に加わる張力が前記回転減速時張力に変更された後にメインロールの回転を減速させるステップとを有する
   ことを特徴とする、請求項１〜請求項３のいずれかに記載の薄膜形成方法。
5. メインロールの回転が停止しているときに帯状基材に加わる張力を、
   前記メインロールを一定速回転させて薄膜を形成するときに帯状基材に加わる張力より高く設定するステップを有する
   ことを特徴とする、請求項１〜請求項４のいずれかに記載の薄膜形成方法。
6. 帯状基材をメインロールの外周面に沿わせた状態で帯状基材を搬送しつつ表面処理を行うことにより帯状基材上に薄膜を形成する薄膜形成装置であって、
   帯状基材に加わる張力を測定する張力測定部と、
   前記張力測定部で測定された張力に基づいて帯状基材に加わる張力を調節する張力調節部を備え、
   メインロールを一定速回転させて薄膜を形成するときに帯状基材に加わる張力が
   メインロールの回転加速時張力又は回転減速時張力よりも低く設定されていることを特徴とする、薄膜形成装置。
7. メインロールを正回転方向及び逆回転方向に回転させるメインロール回転制御部を備えた
   ことを特徴とする、請求項６に記載の薄膜形成装置。
8. 前記メインロールを正回転方向に回転させるときと、
   前記メインロールを逆回転方向に回転させるときでは、
   帯状基材上への薄膜の形成に用いる材料が異なる
   ことを特徴とする、請求項７に記載の薄膜形成装置。
9. 帯状基材が巻出ロールと巻取ロールとを備えたロールトゥロール方式で搬送されており、
   帯状基材の搬送距離を計測する搬送距離計測部を備え、
   前記張力調節部は前記搬送距離計測部の信号に基づいて前記帯状基材に加わる張力を前記回転減速時張力に変更し、
   前記メインロール回転制御部は、帯状基材に加わる張力が前記回転減速時張力に変更されたことに基づいてメインロールの回転を減速させる
   ことを特徴とする、請求項７〜請求項８のいずれかに記載の薄膜形成装置。
10. メインロールの回転が停止しているときに帯状基材に加わる張力が、
    前記メインロールを一定速回転させて薄膜を形成するときに帯状基材に加わる張力より高く設定されていることを特徴とする、請求項６〜請求項９のいずれかに記載の薄膜形成装置。

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