JP2019066505A - 液晶表示装置 - Google Patents

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Abstract

【課題】酸化物半導体TFTを備えた液晶表示装置の開口率を向上させるとともに、スクリーンドアエフェクトを抑制する。【解決手段】液晶表示装置は、第1基板と、第2基板と、液晶層と、複数の柱状スペーサとを備える。画素配列は、赤、緑および青画素列を含むストライプ配列である。第1基板は、各画素に設けられ酸化物半導体層を有するTFTを有する。第2基板は、カラーフィルタ層および遮光層を有する。遮光層は、列方向に沿って延びる複数の第1遮光部と、行方向に沿って延びる複数の第2遮光部とを有する。各柱状スペーサは、複数の第2遮光部のいずれかに重なるように配置されている。赤、緑および青画素列のうちの少なくとも1つは、複数の第2遮光部のいずれかが存在する第1画素境界と、複数の第2遮光部のいずれも存在しない第2画素境界とを列方向に沿って交互に有しており、複数の第2遮光部は、千鳥状に配置されている。【選択図】図4

Description

本発明は、液晶表示装置に関し、特に、酸化物半導体TFTを備えた液晶表示装置に関する。
液晶表示装置等に用いられるアクティブマトリクス基板は、画素毎に薄膜トランジスタ(Thin Film Transistor;以下、「TFT」)などのスイッチング素子を備えている。このようなスイッチング素子として、酸化物半導体層を活性層として用いるTFT(以下、「酸化物半導体TFT」と称する。)が知られている。特許文献1には、InGaZnO(インジウム、ガリウム、亜鉛から構成される酸化物)をTFTの活性層に用いた液晶表示装置が開示されている。
酸化物半導体TFTは、アモルファスシリコンTFTよりも高速で動作させることが可能である。また、酸化物半導体膜は、多結晶シリコン膜よりも簡便なプロセスで形成されるので、大面積が必要とされる装置にも適用できる。このため、酸化物半導体TFTは、製造工程数や製造コストを抑えつつ作製できる高性能なアクティブ素子として期待されている。
また、酸化物半導体の移動度は高いため、従来のアモルファスシリコンTFTに比べてサイズを小型化しても、同等以上の性能を得ることが可能である。このため、酸化物半導体TFTを用いて液晶表示装置のアクティブマトリクス基板を作製すれば、画素内におけるTFTの占有面積率を低下させ、画素開口率を向上させることができる。これによって、バックライトの光量を抑えても明るい表示を行うことが可能になり、低消費電力を実現できる。
さらに、酸化物半導体TFTのオフリーク特性は優れているので、画像の書き換え頻度を低下させて表示を行う動作モードを利用することもできる。例えば、静止画表示時などには、1秒に1回の頻度で画像データを書き換えるように動作させることができる。このような駆動方式は、休止駆動または低周波駆動などと呼ばれ、液晶表示装置の消費電力を大幅に削減することが可能である。
特開2012−134475号公報 特開2011−66375号公報 特開2009−36795号公報
上述したように、酸化物半導体TFTを用いることにより、アモルファスシリコンTFTを用いる場合に比べて開口率の向上を図ることができるものの、最近では、液晶表示装置の高精細化がいっそう進んでおり、開口率のさらなる向上が要望されている。
しかしながら、酸化物半導体TFTを備えた液晶表示装置における開口率のさらなる向上は、以下の理由から困難である。
酸化物半導体TFTは、光の照射によりそのTFT特性が劣化してしまう(特許文献2参照)。具体的には、閾値電圧がマイナスシフトしてしまう。そのため、酸化物半導体TFTを備えた液晶表示装置では、対向基板(アクティブマトリクス基板に対向するように設けられる)側に設けられたブラックマトリクス(遮光層)が、酸化物半導体TFTに重なる領域を含んでおり、この領域(TFT遮光部)によって酸化物半導体TFTが遮光される。このTFT遮光部が、開口率のさらなる向上の妨げとなる。
特許文献3には、開口率の向上のためにブラックマトリクスの一部が省略された構成が開示されている。図10(a)および(b)に、特許文献3に開示されている構成を有する液晶表示装置900を示す。図10(a)は、液晶表示装置900の画素配列を示す平面図であり、図10(b)は、液晶表示装置900が備えるカラーフィルタ層922およびブラックマトリクス921の構成を示す平面図である。
図10(a)に示すように、液晶表示装置900では、図中左側から右側に向かって第1の色の画素(第1画素)P1、第2の色の画素(第2画素)P2および第3の色の画素(第3画素)P3がこの順で配置されたカラー表示画素CP1と、それとは反対の順で、つまり、図中左側から右側に向かって第3画素P3、第2画素P2および第1画素P1がこの順で配置されたカラー表示画素CP2とが行方向に沿って交互に配置されている。
図10(b)に示すように、液晶表示装置900のカラーフィルタ層922は、第1の色のカラーフィルタ(第1カラーフィルタ)922a、第2の色のカラーフィルタ(第2カラーフィルタ)922bおよび第3の色のカラーフィルタ(第3カラーフィルタ)922cを含む。また、液晶表示装置900のブラックマトリクス921は、列方向に延びる複数の縦遮光部921aと、行方向に延びる複数の横遮光部921bとを有する。
液晶表示装置900では、互いに隣接する第1画素P1間、および、互いに隣接する第3画素P3間では、縦遮光部921aが省略されている。従って、隣接する2つの第1画素P1に対応する第1カラーフィルタ922aは連続しており、同様に、隣接する2つの第3画素P3に対応する第3カラーフィルタ922cも連続している。
図10(a)および(b)に示した液晶表示装置900では、一部の領域で縦遮光部921aが省略されていることにより、開口率が向上する。しかしながら、この液晶表示装置900を、ヘッドマウントディスプレイのような、観察者の眼から液晶パネルまでの距離が非常に小さい機器に用いた場合、スクリーンドアエフェクト(網戸効果)の発生は抑制されない。スクリーンドアエフェクトは、観察者にブラックマトリクスが網目のように見えてしまう現象である。
本発明は、上記問題に鑑みてなされたものであり、その目的は、酸化物半導体TFTを備えた液晶表示装置の開口率を向上させるとともに、スクリーンドアエフェクトを抑制することにある。
本発明の実施形態による液晶表示装置は、第1基板と、第1基板に対向する第2基板と、前記第1基板および前記第2基板の間に設けられた液晶層と、を備え、複数の行および複数の列を有するマトリクス状に配列された複数の画素を有する表示装置であって、前記第1基板および前記第2基板の間に設けられ、前記液晶層の厚さを規定する複数の柱状スペーサをさらに備え、前記複数の画素は、赤を表示する赤画素、緑を表示する緑画素および青を表示する青画素を含み、前記複数の画素の配列は、赤画素列、緑画素列および青画素列を含むストライプ配列であり、前記第1基板は、前記複数の画素のそれぞれに設けられ酸化物半導体層を含むTFTを有し、前記第2基板は、カラーフィルタ層および遮光層を有し、前記カラーフィルタ層は、前記赤画素列に設けられた赤カラーフィルタ、前記緑画素列に設けられた緑カラーフィルタおよび前記青画素列に設けられた青カラーフィルタを含む複数種類のカラーフィルタを有し、前記遮光層は、列方向に沿って延びる複数の第1遮光部と、行方向に沿って延びる複数の第2遮光部とを有し、前記複数の柱状スペーサのそれぞれは、前記複数の第2遮光部のいずれかに重なるように配置されており、前記赤画素列、前記緑画素列および前記青画素列のそれぞれにおいて、列方向に沿って互いに隣接する2つの画素間の境界を画素境界と呼ぶとき、前記赤画素列、前記緑画素列および前記青画素列のうちの少なくとも1つは、前記複数の第2遮光部のいずれかが存在する第1画素境界と、前記複数の第2遮光部のいずれも存在しない第2画素境界とを列方向に沿って交互に有しており、前記複数の第2遮光部は、千鳥状に配置されている。
ある実施形態において、前記赤画素列、前記緑画素列および前記青画素列のそれぞれが、前記第1画素境界と前記第2画素境界とを列方向に沿って交互に有している。
ある実施形態において、前記赤画素、前記緑画素および前記青画素の開口率は互いに略同じである。
ある実施形態において、前記赤画素列、前記緑画素列および前記青画素列のうちの2つが、前記第1画素境界と前記第2画素境界とを列方向に沿って交互に有しており、前記赤画素列、前記緑画素列および前記青画素列のうちの残りの1つは、前記第1画素境界を有していない。
ある実施形態において、前記第1画素境界を有していない前記残りの1つの画素列は、前記赤画素列または前記緑画素列である。
ある実施形態において、前記赤画素列、前記緑画素列および前記青画素列のうちの1つが、前記第1画素境界と前記第2画素境界とを列方向に沿って交互に有しており、前記赤画素列、前記緑画素列および前記青画素列のうちの残りの2つは、前記第1画素境界を有していない。
ある実施形態において、前記第1画素境界を有していない前記残りの2つの画素列は、前記赤画素列および前記緑画素列である。
ある実施形態において、前記酸化物半導体層は、In−Ga−Zn−O系の半導体を含む。
ある実施形態において、前記In−Ga−Zn−O系の半導体は、結晶質部分を含む。
ある実施形態において、本発明による液晶表示装置は、ヘッドマウントディスプレイ用の液晶表示装置である。
本発明の実施形態によるヘッドマウントディスプレイは、装着時に使用者の両眼の前に位置するように配置された表示部を備えたヘッドマウントディスプレイであって、前記表示部は、上述したいずれかの構成を有する液晶表示装置を含む。
本発明の実施形態によると、酸化物半導体TFTを備えた液晶表示装置の開口率を向上させるとともに、スクリーンドアエフェクトを抑制することができる。
本発明の実施形態による液晶表示装置100を模式的に示す平面図である。 液晶表示装置100を模式的に示す断面図であり、図1中の2A−2A’線に沿った断面を示している。 液晶表示装置100を模式的に示す断面図であり、図1中の3A−3A’線に沿った断面を示している。 液晶表示装置100の遮光層21、カラーフィルタ層22および柱状スペーサ40を示す平面図である。 本発明の実施形態による液晶表示装置200を模式的に示す平面図である。 本発明の実施形態による液晶表示装置200Aを模式的に示す平面図である。 本発明の実施形態による液晶表示装置300を模式的に示す平面図である。 本発明の実施形態による液晶表示装置400を模式的に示す平面図である。 (a)は、ヘッドマウントディスプレイ500の概略構成を示す図であり、(b)は、ヘッドマウントディスプレイ500が使用者Uに装着された状態を示す図である。 (a)は、特許文献3に開示されている構成を有する液晶表示装置900の画素配列を示す平面図であり、(b)は、液晶表示装置900が備えるカラーフィルタ層922およびブラックマトリクス921の構成を示す平面図である。
以下、図面を参照しながら本発明の実施形態を説明する。なお、本発明は以下の実施形態に限定されるものではない。
(実施形態1)
図1、図2および図3を参照しながら、本実施形態における液晶表示装置100を説明する。図1は、液晶表示装置100を模式的に示す平面図である。図2は、図1中の2A−2A’線に沿った断面図である。図3は、図1中の3A−3A’線に沿った断面図である。
本実施形態の液晶表示装置100は、ヘッドマウントディスプレイ用の液晶表示装置である。液晶表示装置100は、図2に示すように、TFT基板(第1基板)10と、TFT基板10に対向する対向基板(第2基板)20と、TFT基板10および対向基板20の間に設けられた液晶層30とを備える。液晶表示装置100は、さらに、図1および図3に示すように、TFT基板10および対向基板20の間に設けられ、液晶層30の厚さを規定する複数の柱状スペーサ40をさらに備える。
また、液晶表示装置100は、複数の行および複数の列を有するマトリクス状に配列された複数の画素を有する。本実施形態では、液晶表示装置100の複数の画素は、赤を表示する赤画素Rと、緑を表示する緑画素Gと、青を表示する青画素Bとを含む。互いに異なる色を表示する3つの画素(赤画素R、緑画素Gおよび青画素B)から、1つのカラー表示画素が構成される。また、複数の画素の配列は、図1に示すように、赤画素列C、緑画素列Cおよび青画素列Cを含むストライプ配列である。赤画素列Cは、行数と同じ個数の赤画素Rから構成される。同様に、緑画素列Cは、行数と同じ個数の緑画素Gから構成され、青画素列Cは、行数と同じ個数の青画素Bから構成される。
TFT基板10は、図1に示すように、複数の画素のそれぞれに設けられたTFT(薄膜トランジスタ)2と、行方向に延びる複数の走査配線(ゲートバスライン)11と、列方向に延びる複数の信号配線(ソースバスライン)12とを有する。また、TFT基板10は、複数の画素のそれぞれに設けられた画素電極13と、画素電極13に対向するように設けられた共通電極14とを有する。
TFT2は、図3に示すように、酸化物半導体層2a、ゲート電極2g、ソース電極2sおよびドレイン電極2dを有する。ゲート電極2gは、走査配線11に電気的に接続されており、走査配線11から走査信号電圧を供給される。本実施形態では、走査配線11の一部が、他の部分よりも幅が広く形成されており、その部分がゲート電極2gとして機能する。ソース電極2sは、信号配線12に電気的に接続されており、信号配線12から表示信号電圧を供給される。本実施形態では、ソース電極2sは、信号配線12から延設されている。ドレイン電極2dは、画素電極13に電気的に接続されている。
酸化物半導体層2aのうち、ソース電極2sと接する領域2asは、「ソース領域」と呼ばれ、ドレイン電極2dと接する領域2adは、「ドレイン領域」と呼ばれる。また、酸化物半導体層2aのうち、ゲート電極2gとオーバーラップし、かつ、ソース領域2asとドレイン領域2adとの間に位置する領域2acは、「チャネル領域」と呼ばれる。このように、酸化物半導体層2aは、チャネル領域2ac、ソース領域2asおよびドレイン領域2adを含む。本願明細書では、基板面に平行な面内において、チャネル領域2acを電流が流れる方向に平行な方向DLを「チャネル長方向」と呼び、チャネル長方向に直交する方向DWを「チャネル幅方向」と呼ぶ。本実施形態では、チャネル長方向DLが列方向に平行であり(つまりチャネル幅方向DWが行方向に平行であり)、ソース領域2as、チャネル領域2acおよびドレイン領域2adが列方向に沿って並んでいる。本願明細書では、このようなTFT2の配置を「縦置き配置」と称する。
上述したTFT基板10の構成要素は、絶縁性を有する透明基板10aによって支持されている。透明基板10aの液晶層30側の表面上に、ゲート電極2gおよび走査配線11が設けられており、ゲート電極2gおよび走査配線11を覆うように、ゲート絶縁層15が設けられている。
ゲート絶縁層15上に、酸化物半導体層2a、ソース電極2s、ドレイン電極2dおよび信号配線12が設けられている。ソース電極2sは、酸化物半導体層2aのソース領域2asの上面に接触するように形成されており、ドレイン電極2dは、酸化物半導体層2aのドレイン領域2adの上面に接触するように形成されている。
酸化物半導体層2a、ソース電極2s、ドレイン電極2dおよび信号配線12を覆うように、無機絶縁層16が設けられている。無機絶縁層16上に、有機絶縁層17が設けられている。
有機絶縁層17上に、共通電極14が設けられている。共通電極14を覆うように、誘電体層18が設けられている。誘電体層18上に、画素電極13が設けられている。画素電極13は、無機絶縁層16、有機絶縁層17および誘電体層18に形成されたコンタクトホールCHにおいて、ドレイン電極2dに接続されている。画素電極13および共通電極14と、これらの間に位置する誘電体層18とによって、補助容量が構成される。なお、ここでは図示しないが、画素電極13は、少なくとも1つのスリットを有しており、液晶表示装置100は、FFS(Fringe Field Switching)モードで表示を行う。
対向基板20は、遮光層(ブラックマトリクス)21と、カラーフィルタ層22とを有する。
遮光層21は、列方向(ここではチャネル長方向DL)に沿って延びる複数の第1遮光部(縦遮光部)21aと、行方向(ここではチャネル幅方向DW)に沿って延びる複数の第2遮光部(横遮光部)21bとを有する。図1では、遮光層21の開口部(第1遮光部21aおよび第2遮光部21bのどちらも存在しない部分)が点線で示されている。
カラーフィルタ層22は、互いに異なる色の光を透過させる複数種類のカラーフィルタを有する。本実施形態では、カラーフィルタ層22は、赤カラーフィルタ22R、緑カラーフィルタ22Gおよび青カラーフィルタ22Bを含む。赤カラーフィルタ22Rは、赤画素列Cに設けられており、赤色光を透過させる。緑カラーフィルタ22Gは、緑画素列Cに設けられており、緑色光を透過させる。青カラーフィルタ22Bは、青画素列Cに設けられており、青色光を透過させる。
上述した対向基板20の構成要素は、絶縁性を有する透明基板20aによって支持されている。
TFT基板10および対向基板20の液晶層30側の表面には、一対の配向膜(不図示)が設けられている。本実施形態では、表示モードがFFSモードであるので、一対の配向膜のそれぞれは、水平配向膜である。
液晶表示装置100は、透過モードで表示を行う透過型の液晶表示装置であり、不図示のバックライト(照明装置)をさらに備える。
以下、さらに図4も参照しながら、遮光層21およびカラーフィルタ層22の構成と、複数の柱状スペーサ40の配置とを詳しく説明する。図4は、液晶表示装置100の遮光層21、カラーフィルタ層22および柱状スペーサ40を示す平面図であり、32個(4行8列分)の画素に対応した領域を示している。
複数の柱状スペーサ40のそれぞれは、複数の第2遮光部21bのいずれかに重なるように配置されている。なお、図4に示す例では、1つの第2遮光部21bに対して柱状スペーサ40が1つ配置されている。
ここで、赤画素列C、緑画素列Cおよび青画素列Cのそれぞれにおいて、列方向に沿って互いに隣接する2つの画素間の境界を「画素境界」と呼ぶ。本実施形態では、図4に示すように、赤画素列C、緑画素列Cおよび青画素列Cのそれぞれが、複数の第2遮光部21bのいずれかが存在する第1画素境界PB1と、複数の第2遮光部21bのいずれも存在しない第2画素境界PB2とを列方向に沿って交互に有している。つまり、一般的な液晶表示装置では、各画素列において画素境界ごとに横遮光部が形成されているのに対し、本実施形態では、各画素列において画素境界2つごとに第2遮光部21bが形成されている。言い換えると、各画素列において第2遮光部21bが一般的な液晶表示装置に対して1/2の頻度で存在するように間引かれている。
第2遮光部21bがこのように間引かれているので、複数の柱状スペーサ40は、2つのカラー表示画素に対して1つの柱状スペーサ40が対応するように(つまり2行ごとに)配置されている。なお、図4に示す例では、1つの第2遮光部21bに対して柱状スペーサ40が1つ配置されているが、柱状スペーサ40の配置密度はこの例に限定されない。2つ以上の第2遮光部21bに対して柱状スペーサ40が1つ配置されてもよい。
また、図4に示すように、複数の第2遮光部21bは、千鳥状(staggered)に配置されている。従って、赤画素列Cに注目したとき、ある赤画素列Cにおける第1画素境界PB1と、別のある赤画素列Cにおける第1画素境界PB1とで、列方向における位置が異なっている(より具体的には半周期つまり1画素行分ずれている)。同様に、緑画素列Cに注目したとき、ある緑画素列Cにおける第1画素境界PB1と、別のある緑画素列Cにおける第1画素境界PB1とで、列方向における位置が異なっている(より具体的には半周期つまり1画素行分ずれている)。同様に、青画素列Cに注目したとき、ある青画素列Cにおける第1画素境界PB1と、別のある青画素列Cにおける第1画素境界PB1とで、列方向における位置が異なっている(より具体的には半周期つまり1画素行分ずれている)。
図4に示す例では、ある赤画素列Cにおける第1画素境界PB1と、その赤画素列Cに隣接する赤画素列Cにおける第1画素境界PB1とで、列方向における位置が半周期ずれている。同様に、ある緑画素列Cにおける第1画素境界PB1と、その緑画素列Cに隣接する緑画素列Cにおける第1画素境界PB1とで、列方向における位置が半周期ずれている。同様に、ある青画素列Cにおける第1画素境界PB1と、その青画素列Cに隣接する青画素列Cにおける第1画素境界PB1とで、列方向における位置が半周期ずれている。また、図4に示す例では、1つのカラー表示画素の列を構成する3つの画素列(赤画素列C、緑画素列Cおよび青画素列C)について、第1画素境界PB1の列方向における位置が同じである。そのため、各第2遮光部21bは、3画素列に対応した長さ(つまり1カラー表示画素に対応した長さ)を有する。
上述したように、本実施形態の液晶表示装置100では、赤画素列C、緑画素列Cおよび青画素列Cのそれぞれが第1画素境界PB1と第2画素境界PB2とを列方向に沿って交互に有している。つまり、第2遮光部21bが一般的な液晶表示装置よりも間引かれている。そのため、開口率を向上することができる。なお、第2遮光部21bが間引かれた結果、一部のTFT2は、第2遮光部21bで遮光されない。具体的には、第2画素境界PB2に位置するTFT2は、第2遮光部21bで遮光されない。しかしながら、ヘッドマウントディスプレイでは、使用中に液晶パネルに外光が入射することがほとんどないので、TFTを遮光する必要がない。そのため、第2遮光部21bで遮光されないTFT2が存在しても問題ない。
また、本実施形態の液晶表示装置100では、複数の第2遮光部21bが千鳥状に配置されているので、第2遮光部21bの空間周波数が一般的な液晶表示装置よりも高くなる。そのため、観察者に第2遮光部21bが視認されにくいので、スクリーンドアエフェクトが抑制される。
さらに、本実施形態の液晶表示装置100では、赤画素列C、緑画素列Cおよび青画素列Cのそれぞれが第1画素境界PB1と第2画素境界PB2とを列方向に沿って交互に有している。つまり、各画素列において第2遮光部21bが間引かれている。そのため、赤画素R、緑画素Gおよび青画素Bの開口率を互いに略同じとすることができる。これに対し、図10(a)および(b)に示した液晶表示装置900では、第1画素P1および第3画素P3の開口率が、第2画素P2の開口率よりも高くなる。そのため、液晶表示装置用の一般的なバックライト(赤画素、緑画素および青画素の開口率が略同じであることを前提として設計される)を用いた場合に、白の色度が本来の色度からずれてしまう(以下では「色度ずれ」と称する)。これに対し、本実施形態の液晶表示装置100では、赤画素R、緑画素Gおよび青画素Bの開口率を互いに略同じとすることができるので、一般的なバックライトを用いても色度ずれの発生を抑制することができる。
本実施形態における液晶表示装置100は、例えば、以下のようにして製造することができる。
まず、対向基板20の作製方法を説明する。
まず、透明基板(例えばガラス基板)20a上に遮光膜を堆積し、この遮光膜をフォトリソグラフィプロセスで所望の形状にパターニングすることによって、複数の第1遮光部21aおよび複数の第2遮光部21bを含む遮光層21を形成する。遮光層21は、例えば、厚さ200nmのTi層である。なお、遮光層21の材料は、例示したような金属材料に限定されず、例えば、黒色の感光性樹脂材料であってもよい。
次に、赤画素R、緑画素Gおよび青画素Bに対応する領域に赤カラーフィルタ22R、緑カラーフィルタ22Gおよび青カラーフィルタ22Bを順次形成することにより、カラーフィルタ層22を形成する。赤カラーフィルタ22R、緑カラーフィルタ22Gおよび青カラーフィルタ22Bの材料としては、例えば、着色された感光性樹脂材料を用いることができる。なお、カラーフィルタ層22を覆うようなオーバーコート層(平坦化層:ここでは不図示)を形成してもよい。
その後、それぞれが複数の第2遮光部21bのいずれかに重なるように、複数の柱状スペーサ40を形成する。複数の柱状スペーサ40は、例えば、感光性樹脂材料から形成される。最後に、カラーフィルタ層22上(オーバーコート層を形成する場合にはオーバーコート層上)に配向膜を形成することにより、対向基板20が得られる。
次に、TFT基板10の作製方法を説明する。
まず、透明基板(例えばガラス基板)10a上に導電膜を堆積し、この導電膜をフォトリソグラフィプロセスで所望の形状にパターニングすることによって、ゲート電極2gおよび走査配線11を形成する。ゲート電極2gおよび走査配線11は、例えば、厚さ30nmのTaN層および厚さ300nmのW層がこの順で積層された積層構造を有する。
次に、ゲート電極2gおよび走査配線11を覆うようにゲート絶縁層15を形成する。ゲート絶縁層15は、例えば、厚さ325nmのSiNx層および厚さ50nmのSiO層がこの順で積層された積層構造を有する。
続いて、ゲート絶縁層15上に酸化物半導体膜を堆積し、この酸化物半導体膜をフォトリソグラフィプロセスで所望の形状にパターニングすることによって、酸化物半導体層2aを形成する。酸化物半導体層2aは、例えば、厚さ50nmのIn−Ga−Zn−O系の半導体層である。
その後、導電膜を堆積し、この導電膜をフォトリソグラフィプロセスで所望の形状にパターニングすることによって、ソース電極2s、ドレイン電極2dおよび信号配線12を形成する。ソース電極2s、ドレイン電極2dおよび信号配線12は、例えば、厚さ30nmのTi層、厚さ200nmのAl層および厚さ100nmのTi層がこの順で積層された積層構造を有する。
次に、酸化物半導体層2aやソース電極2s、ドレイン電極2dなどを覆うように、無機絶縁層16を形成する。無機絶縁層16は、例えば、厚さ300nmのSiO層である。無機絶縁層16の、後にコンタクトホールCHとなる領域には、開口部が形成されている。
続いて、無機絶縁層16上に平坦化のための有機絶縁層17を形成する。有機絶縁層17は、例えば、感光性樹脂から形成される。有機絶縁層17の、後にコンタクトホールCHとなる領域には、開口部が形成されている。なお、有機絶縁層17は省略されてもよい。
その後、有機絶縁層17上に透明導電膜を堆積し、この透明導電膜をフォトリソグラフィプロセスで所望の形状にパターニングすることによって、共通電極14を形成する。共通電極14は、例えば、厚さ100nmのIZO層である。
次に、共通電極14を覆うように誘電体層18を形成する。誘電体層18は、例えば、厚さ100nmのSiN層である。誘電体層18の、後にコンタクトホールCHとなる領域には、開口部が形成されている。
続いて、誘電体層18上に透明導電膜を堆積し、この透明導電膜をフォトリソグラフィプロセスで所望の形状にパターニングすることによって、画素電極13を形成する。画素電極13は、例えば、厚さ100nmのIZO層である。その後、画素電極13を覆うように全面に配向膜を形成することにより、TFT基板10が得られる。
TFT基板10および対向基板20の最表面に位置する配向膜には、配向処理(例えば光配向処理)が行われる。
上述したようにして作製されたTFT基板10および対向基板20を互いに貼り合せ、両者の間隙に液晶材料を注入することによって液晶層30を形成する。その後、得られた構造体を個々のパネルに分断することにより、液晶表示装置100が完成する。
なお、ここではTFT基板10が有機絶縁層17を有する構成を例示したが、有機絶縁層17が省略されてもよい。また、ここでは画素電極13が共通電極14の上に位置する構成を例示したが、共通電極14が画素電極13の上に位置する構成を採用してもよい。また、ここではFFSモードで表示を行う(つまり横電界を利用して表示を行う)液晶表示装置100を例示したが、表示モードはFFSモードに限定されるものではない。表示モードとして、VA(Vertical Alignment)モードのような縦電界を利用する表示モードを用いてもよい。縦電界を利用する表示モードの場合には、対向基板20に、画素電極13に対向する共通電極(対向電極)が設けられる。
<酸化物半導体について>
酸化物半導体層2aに含まれる酸化物半導体は、アモルファス酸化物半導体であってもよいし、結晶質部分を有する結晶質酸化物半導体であってもよい。結晶質酸化物半導体としては、多結晶酸化物半導体、微結晶酸化物半導体、c軸が層面に概ね垂直に配向した結晶質酸化物半導体などが挙げられる。
酸化物半導体層2aは、2層以上の積層構造を有していてもよい。酸化物半導体層2aが積層構造を有する場合には、酸化物半導体層2aは、非晶質酸化物半導体層と結晶質酸化物半導体層とを含んでいてもよい。あるいは、結晶構造の異なる複数の結晶質酸化物半導体層を含んでいてもよい。また、複数の非晶質酸化物半導体層を含んでいてもよい。酸化物半導体層2aが上層と下層とを含む2層構造を有する場合、上層に含まれる酸化物半導体のエネルギーギャップは、下層に含まれる酸化物半導体のエネルギーギャップよりも大きいことが好ましい。ただし、これらの層のエネルギーギャップの差が比較的小さい場合には、下層の酸化物半導体のエネルギーギャップが上層の酸化物半導体のエネルギーギャップよりも大きくてもよい。
非晶質酸化物半導体および上記の各結晶質酸化物半導体の材料、構造、成膜方法、積層構造を有する酸化物半導体層の構成などは、例えば特開2014−007399号公報に記載されている。参考のために、特開2014−007399号公報の開示内容の全てを本明細書に援用する。
酸化物半導体層2aは、例えば、In、GaおよびZnのうち少なくとも1種の金属元素を含んでもよい。本実施形態では、酸化物半導体層2aは、例えば、In−Ga−Zn−O系の半導体(例えば酸化インジウムガリウム亜鉛)を含む。ここで、In−Ga−Zn−O系の半導体は、In(インジウム)、Ga(ガリウム)、Zn(亜鉛)の三元系酸化物であって、In、GaおよびZnの割合(組成比)は特に限定されず、例えばIn:Ga:Zn=2:2:1、In:Ga:Zn=1:1:1、In:Ga:Zn=1:1:2等を含む。このような酸化物半導体層2aは、In−Ga−Zn−O系の半導体を含む酸化物半導体膜から形成され得る。なお、In−Ga−Zn−O系の半導体等、酸化物半導体を含む活性層を有するチャネルエッチ型のTFTを、「CE−OS−TFT」と呼ぶことがある。
In−Ga−Zn−O系の半導体は、アモルファスでもよいし、結晶質でもよい。結晶質In−Ga−Zn−O系の半導体としては、c軸が層面に概ね垂直に配向した結晶質In−Ga−Zn−O系の半導体が好ましい。
なお、結晶質In−Ga−Zn−O系の半導体の結晶構造は、例えば、上述した特開2014−007399号公報、特開2012−134475号公報、特開2014−209727号公報などに開示されている。参考のために、特開2012−134475号公報および特開2014−209727号公報の開示内容の全てを本明細書に援用する。In−Ga−Zn−O系半導体層を有するTFTは、高い移動度(a−SiTFTに比べ20倍超)および低いリーク電流(a−SiTFTに比べ100分の1未満)を有しているので、駆動TFT(例えば、複数の画素を含む表示領域の周辺に、表示領域と同じ基板上に設けられる駆動回路に含まれるTFT)および画素TFT(画素に設けられるTFT)として好適に用いられる。
酸化物半導体層2aは、In−Ga−Zn−O系半導体の代わりに、他の酸化物半導体を含んでいてもよい。例えばIn−Sn−Zn−O系半導体(例えばIn2O3−SnO2−ZnO;InSnZnO)を含んでもよい。In−Sn−Zn−O系半導体は、In(インジウム)、Sn(スズ)およびZn(亜鉛)の三元系酸化物である。あるいは、酸化物半導体層2aは、In−Al−Zn−O系半導体、In−Al−Sn−Zn−O系半導体、Zn−O系半導体、In−Zn−O系半導体、Zn−Ti−O系半導体、Cd−Ge−O系半導体、Cd−Pb−O系半導体、CdO(酸化カドミウム)、Mg−Zn−O系半導体、In−Ga−Sn−O系半導体、In−Ga−O系半導体、Zr−In−Zn−O系半導体、Hf−In−Zn−O系半導体などを含んでいてもよい。
なお、酸化物半導体TFTであるTFT2は、「チャネルエッチ型のTFT」であってもよいし、「エッチストップ型のTFT」であってもよい。
「チャネルエッチ型のTFT」では、例えば図3に示されるように、チャネル領域上にエッチストップ層が形成されておらず、ソースおよびドレイン電極のチャネル側の端部下面は、酸化物半導体層の上面と接するように配置されている。チャネルエッチ型のTFTは、例えば酸化物半導体層上にソース・ドレイン電極用の導電膜を形成し、ソース・ドレイン分離を行うことによって形成される。ソース・ドレイン分離工程において、チャネル領域の表面部分がエッチングされる場合がある。
一方、チャネル領域上にエッチストップ層が形成されたTFT(エッチストップ型TFT)では、ソースおよびドレイン電極のチャネル側の端部下面は、例えばエッチストップ層上に位置する。エッチストップ型のTFTは、例えば酸化物半導体層のうちチャネル領域となる部分を覆うエッチストップ層を形成した後、酸化物半導体層およびエッチストップ層上にソース・ドレイン電極用の導電膜を形成し、ソース・ドレイン分離を行うことによって形成される。
(実施形態2)
図5を参照しながら、本実施形態における液晶表示装置200を説明する。図5は、液晶表示装置200が備える遮光層21、カラーフィルタ層22および柱状スペーサ40を示す平面図であり、32個(4行8列分)の画素に対応した領域を示している。以下では、液晶表示装置200が実施形態1における液晶表示装置100と異なる点を中心に説明を行う。
本実施形態では、緑画素列Cおよび青画素列Cのそれぞれが、複数の第2遮光部21bのいずれかが存在する第1画素境界PB1と、複数の第2遮光部21bのいずれも存在しない第2画素境界PB2とを列方向に沿って交互に有している。これに対し、赤画素列Cは、第1画素境界PB1を有しておらず、第2画素境界PB2のみを列方向に沿って有している。従って、各第2遮光部21bは、2画素列に対応した長さを有する。
このように、本実施形態の液晶表示装置200では、赤画素列Cには、第2遮光部21bがまったく形成されていない。そのため、開口率をいっそう向上させることができる。
ただし、本実施形態では、赤画素Rの開口率が、緑画素Gおよび青画素Bの開口率よりも高くなる。つまり、赤画素R、緑画素Gおよび青画素Bの開口率が互いに略同じではない。そのため、既に説明したような色度ずれの発生を抑制するために、赤カラーフィルタ22R、緑カラーフィルタ22Gおよび青カラーフィルタ22Bの透過スペクトルを調整してもよい。
なお、図5には、第1画素境界PB1を有していない(つまり第2遮光部21bがまったく形成されていない)画素列が赤画素列Cである例を示しているが、他の画素列が第1画素境界PB1を有していない構成としてもよい。図6に、本実施形態における他の液晶表示装置200Aを示す。
図6に示す液晶表示装置200Aでは、赤画素列Cおよび青画素列Cのそれぞれが、第1画素境界PB1と第2画素境界PB2とを列方向に沿って交互に有している。これに対し、緑画素列Cは、第1画素境界PB1を有しておらず、第2画素境界PB2のみを列方向に沿って有している。
このように、図6に示す液晶表示装置200Aでは、緑画素列Cには、第2遮光部21bが形成されていない。そのため、図5に示した液晶表示装置200と同様に、開口率をいっそう向上させることができる。
なお、ここでは図示しないが、赤画素列Cおよび緑画素列Cのそれぞれが第1画素境界PB1と第2画素境界PB2とを列方向に沿って交互に有し、青画素列Cが第1画素境界PB1を有していない構成を採用することもできる。ただし、青画素Bは、開口率が低くても他の画素(赤画素Rおよび緑画素G)よりも人間の眼に知覚されにくいので、その点を考慮すると、第1画素境界PB1を有していない画素列は、赤画素列Cまたは緑画素列Cであることが好ましいといえる。
(実施形態3)
図7を参照しながら、本実施形態における液晶表示装置300を説明する。図7は、液晶表示装置300が備える遮光層21、カラーフィルタ層22および柱状スペーサ40を示す平面図であり、32個(4行8列分)の画素に対応した領域を示している。以下では、液晶表示装置300が実施形態1における液晶表示装置100および実施形態2における液晶表示装置200、200Aと異なる点を中心に説明を行う。
本実施形態では、青画素列Cが、複数の第2遮光部21bのいずれかが存在する第1画素境界PB1と、複数の第2遮光部21bのいずれも存在しない第2画素境界PB2とを列方向に沿って交互に有している。これに対し、赤画素列Cおよび緑画素列Cのそれぞれは、第1画素境界PB1を有しておらず、第2画素境界PB2のみを列方向に沿って有している。従って、各第2遮光部21bは、1画素列に対応した長さを有する。
このように、本実施形態の液晶表示装置300では、赤画素列Cおよび緑画素列Cには、第2遮光部21bがまったく形成されていない。そのため、開口率をよりいっそう向上させることができる。
ただし、本実施形態では、赤画素Rおよび緑画素Gの開口率が、青画素Bの開口率よりも高くなる。つまり、赤画素R、緑画素Gおよび青画素Bの開口率が互いに略同じではない。そのため、既に説明したような色度ずれの発生を抑制するために、赤カラーフィルタ22R、緑カラーフィルタ22Gおよび青カラーフィルタ22Bの透過スペクトルを調整してもよい。
なお、図7には、第1画素境界PB1を有していない(つまり第2遮光部21bがまったく形成されていない)画素列が赤画素列Cおよび緑画素Cである例を示しているが、第1画素境界PB1を有していない画素列の組み合わせは、ここで例示したものに限定されない。つまり、赤画素列Cおよび青画素列Cが第1画素境界PB1を有していなくてもよいし、緑画素列Cおよび青画素列Cが第1画素境界PB1を有していなくてもよい。ただし、開口率が低い場合の人間の眼への知覚されにくさを考慮すると、第1画素境界PB1を有していない画素列は、赤画素列Cおよび緑画素列Cであることが好ましいといえる。言い換えると、第2遮光部21bが形成される画素列(柱状スペーサ40が配置さえる画素列)は、青画素列Cであることが好ましいといえる。
(他の実施形態)
複数の第2遮光部21bの千鳥状配置の周期は、実施形態1〜3に示した例に限定されない。図8に、本発明の実施形態による他の液晶表示装置400を示す。
実施形態1〜3に示した例では、千鳥状配置の1周期は、1つのカラー表示画素の行方向に沿った長さの2倍である(図4などで矢印prで示している)。これに対し、本実施形態における液晶表示装置400では、千鳥状配置の1周期prは、1つのカラー表示画素の行方向に沿った長さの4倍である。
図8に示す例では、ある赤画素列Cのペア(ここで「ペア」とは、互いに隣接する2つの赤画素列Cの組を指している)における第1画素境界PB1と、そのペアに隣接する赤画素列Cのペアにおける第1画素境界PB1とで、列方向における位置が半周期ずれている。同様に、ある緑画素列Cのペア(互いに隣接する2つの緑画素列Cの組)における第1画素境界PB1と、そのペアに隣接する緑画素列Cにおける第1画素境界PB1とで、列方向における位置が半周期ずれている。同様に、ある青画素列Cのペア(互いに隣接する2つの青画素列Cの組)における第1画素境界PB1と、そのペアに隣接する青画素列Cにおける第1画素境界PB1とで、列方向における位置が半周期ずれている。また、図8に示す例では、1つのカラー表示画素の列を構成する3つの画素列(赤画素列C、緑画素列Cおよび青画素列C)について、第1画素境界PB1の列方向における位置が同じである。そのため、各第2遮光部21bは、6画素列に対応した長さ(つまりカラー表示画素2つに対応した長さ)を有する。
図8に示すような千鳥状配置であっても、第2遮光部21bの空間周波数は一般的な液晶表示装置よりも高くなるので、スクリーンドアエフェクトを抑制する効果が得られる。ただし、千鳥状配置の1周期prが長くなりすぎると、スクリーンドアエフェクトの抑制効果が十分に得られないおそれがある。そのため、千鳥状配置の1周期prは、1つのカラー表示画素の行方向に沿った長さの4倍以下であることが好ましく、2倍であること(つまり実施形態1〜3で例示した構成)がもっとも好ましい。
[ヘッドマウントディスプレイ]
本発明の実施形態による液晶表示装置100、200、200A、300および400は、ヘッドマウントディスプレイ(HMD)に好適に用いられる。HMDの一例を、図9(a)および(b)に示す。図9(a)は、HMD500の概略構成を示す図であり、図9(b)は、HMD500が使用者Uに装着された状態を示す図である。
HMD500は、図9(a)および(b)に示すように、ハウジング501、バンド502、表示部503および光学系504を有する。ハウジング501は、その内部に表示部503および光学系504を収容している。バンド502は、ハウジング501の左右両端に取り付けられている。バンド502により、ハウジング501を含むHMD500が使用者Uの頭部に固定(装着)される。
表示部503は、HMD500の装着時に使用者Uの両眼Ueの前に位置するように配置されている。表示部503は、画像を表示する液晶表示装置を含む。光学系504は、表示部503と使用者Uの両眼Ueとの間に位置する。使用者Uは、表示部503の液晶表示装置に表示される画像を、光学系504を介して観察する。
表示部503に含まれる液晶表示装置として、本発明の実施形態による液晶表示装置100、200、200A、300または400を好適に用いることができる。なお、本発明の実施形態による液晶表示装置が用いられるHMDの構成は、図9(a)および(b)に例示したものに限定されない。
本発明の実施形態によると、酸化物半導体TFTを備えた液晶表示装置の開口率を向上させるとともに、スクリーンドアエフェクトを抑制することができる。
2 TFT(薄膜トランジスタ)
2a 酸化物半導体層
2ac チャネル領域
2as ソース領域
2ad ドレイン領域
2g ゲート電極
2s ソース電極
2d ドレイン電極
10 TFT基板(第1基板)
10a 透明基板
11 走査配線
12 信号配線
13 画素電極
14 共通電極
15 ゲート絶縁層
16 無機絶縁層
17 有機絶縁層
18 誘電体層
20 対向基板(第2基板)
20a 透明基板
21 遮光層(ブラックマトリクス)
21a 第1遮光部
21b 第2遮光部
22 カラーフィルタ層
22R 赤カラーフィルタ
22G 緑カラーフィルタ
22B 青カラーフィルタ
30 液晶層
40 柱状スペーサ
100、200、200A、300、400 液晶表示装置
500 ヘッドマウントディスプレイ
CH コンタクトホール
R 赤画素
G 緑画素
B 青画素
DL チャネル長方向
DW チャネル幅方向

Claims (11)

  1. 第1基板と、
    第1基板に対向する第2基板と、
    前記第1基板および前記第2基板の間に設けられた液晶層と、
    を備え、
    複数の行および複数の列を有するマトリクス状に配列された複数の画素を有する表示装置であって、
    前記第1基板および前記第2基板の間に設けられ、前記液晶層の厚さを規定する複数の柱状スペーサをさらに備え、
    前記複数の画素は、赤を表示する赤画素、緑を表示する緑画素および青を表示する青画素を含み、
    前記複数の画素の配列は、赤画素列、緑画素列および青画素列を含むストライプ配列であり、
    前記第1基板は、前記複数の画素のそれぞれに設けられ酸化物半導体層を含むTFTを有し、
    前記第2基板は、カラーフィルタ層および遮光層を有し、
    前記カラーフィルタ層は、前記赤画素列に設けられた赤カラーフィルタ、前記緑画素列に設けられた緑カラーフィルタおよび前記青画素列に設けられた青カラーフィルタを含む複数種類のカラーフィルタを有し、
    前記遮光層は、列方向に沿って延びる複数の第1遮光部と、行方向に沿って延びる複数の第2遮光部とを有し、
    前記複数の柱状スペーサのそれぞれは、前記複数の第2遮光部のいずれかに重なるように配置されており、
    前記赤画素列、前記緑画素列および前記青画素列のそれぞれにおいて、列方向に沿って互いに隣接する2つの画素間の境界を画素境界と呼ぶとき、
    前記赤画素列、前記緑画素列および前記青画素列のうちの少なくとも1つは、前記複数の第2遮光部のいずれかが存在する第1画素境界と、前記複数の第2遮光部のいずれも存在しない第2画素境界とを列方向に沿って交互に有しており、
    前記複数の第2遮光部は、千鳥状に配置されている、液晶表示装置。
  2. 前記赤画素列、前記緑画素列および前記青画素列のそれぞれが、前記第1画素境界と前記第2画素境界とを列方向に沿って交互に有している、請求項1に記載の液晶表示装置。
  3. 前記赤画素、前記緑画素および前記青画素の開口率は互いに略同じである請求項2に記載の液晶表示装置。
  4. 前記赤画素列、前記緑画素列および前記青画素列のうちの2つが、前記第1画素境界と前記第2画素境界とを列方向に沿って交互に有しており、
    前記赤画素列、前記緑画素列および前記青画素列のうちの残りの1つは、前記第1画素境界を有していない、請求項1に記載の液晶表示装置。
  5. 前記第1画素境界を有していない前記残りの1つの画素列は、前記赤画素列または前記緑画素列である、請求項4に記載の液晶表示装置。
  6. 前記赤画素列、前記緑画素列および前記青画素列のうちの1つが、前記第1画素境界と前記第2画素境界とを列方向に沿って交互に有しており、
    前記赤画素列、前記緑画素列および前記青画素列のうちの残りの2つは、前記第1画素境界を有していない、請求項1に記載の液晶表示装置。
  7. 前記第1画素境界を有していない前記残りの2つの画素列は、前記赤画素列および前記緑画素列である、請求項6に記載の液晶表示装置。
  8. 前記酸化物半導体層は、In−Ga−Zn−O系の半導体を含む、請求項1から7のいずれかに記載の液晶表示装置。
  9. 前記In−Ga−Zn−O系の半導体は、結晶質部分を含む、請求項8に記載の液晶表示装置。
  10. ヘッドマウントディスプレイ用の液晶表示装置である、請求項1から9のいずれかに記載の液晶表示装置。
  11. 装着時に使用者の両眼の前に位置するように配置された表示部を備えたヘッドマウントディスプレイであって、
    前記表示部は、請求項1から10のいずれかに記載の液晶表示装置を含む、ヘッドマウントディスプレイ。
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