JP2019066374A - トルク検出器 - Google Patents
トルク検出器 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2019066374A JP2019066374A JP2017193435A JP2017193435A JP2019066374A JP 2019066374 A JP2019066374 A JP 2019066374A JP 2017193435 A JP2017193435 A JP 2017193435A JP 2017193435 A JP2017193435 A JP 2017193435A JP 2019066374 A JP2019066374 A JP 2019066374A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- strain
- torque
- rotating shaft
- resistance
- torque detector
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L3/00—Measuring torque, work, mechanical power, or mechanical efficiency, in general
- G01L3/02—Rotary-transmission dynamometers
- G01L3/04—Rotary-transmission dynamometers wherein the torque-transmitting element comprises a torsionally-flexible shaft
- G01L3/10—Rotary-transmission dynamometers wherein the torque-transmitting element comprises a torsionally-flexible shaft involving electric or magnetic means for indicating
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Force Measurement Appropriate To Specific Purposes (AREA)
Abstract
【課題】他軸荷重が加わった場合でも精度よくトルクを検出でき、簡易に製作可能である。【解決手段】複数の抵抗ゲージ13から成る回路を有し、回転軸体に軸周りに等間隔で取付けられた複数の歪センサ1と、複数の歪センサ1の出力の和を計測する計測部2とを備え、抵抗ゲージ13は、回転軸体5の軸方向に対して斜め方向を向いた。【選択図】図1
Description
この発明は、回転軸体に加わるトルクを検出するトルク検出器に関する。
回転軸体に加わるトルクを検出する方式の一つとして、回転軸体の周面に金属歪ゲージを取付け、トルクにより回転軸体の周面に生じるせん断応力の大きさを、金属歪ゲージにおける抵抗値変化により検出する方式がある。
しかしながら、この方式では、回転軸体にトルク以外の他軸荷重(スラスト荷重又はラジアル荷重)が加わった場合にも少なからず感度を持ってしまい、トルクのみを精度よく検出できない。
しかしながら、この方式では、回転軸体にトルク以外の他軸荷重(スラスト荷重又はラジアル荷重)が加わった場合にも少なからず感度を持ってしまい、トルクのみを精度よく検出できない。
そこで、例えば特許文献1に開示された方式では、複数の金属歪ゲージを、回転軸体の周面に、他軸荷重が加わった場合に対となる金属歪ゲージの抵抗値変化が反転するように配置している。これにより、他軸荷重による影響をキャンセルできる。
しかしながら、特許文献1に開示された方式では、金属歪ゲージを8つ以上配置する必要がある。よって、各金属歪ゲージの相対位置及び角度を厳密に合わせる必要があり、困難であるという課題がある。
この発明は、上記のような課題を解決するためになされたもので、他軸荷重が加わった場合でも精度よくトルクを検出でき、簡易に製作可能であるトルク検出器を提供することを目的としている。
この発明に係るトルク検出器は、複数のアクティブゲージから成る回路を有し、回転軸体に軸周りに等間隔で取付けられた複数の歪センサと、複数の歪センサの出力の和を計測する計測部とを備え、抵抗ゲージは、回転軸体の軸方向に対して斜め方向を向いたことを特徴とする。
この発明によれば、上記のように構成したので、他軸荷重が加わった場合でも精度よくトルクを検出でき、簡易に製作可能である。
以下、この発明の実施の形態について図面を参照しながら詳細に説明する。
実施の形態1.
図1はこの発明の実施の形態1に係るトルク検出器の構成例を示す正面図である。図1では、歪センサ1が回転軸体5に取付けられた状態を示している。
トルク検出器は、回転軸体5に加わるトルクを検出する。回転軸体5は、軸方向における一端にモータ等の駆動系6が接続され、他端にロボットハンド等の負荷系が接続される。トルク検出器は、図1に示すように、複数の歪センサ1、及び計測部2を備えている。図1では2つの歪センサ1を用いた場合を示している。以下では、歪センサ1として半導体歪ゲージを用いた場合を示す。
実施の形態1.
図1はこの発明の実施の形態1に係るトルク検出器の構成例を示す正面図である。図1では、歪センサ1が回転軸体5に取付けられた状態を示している。
トルク検出器は、回転軸体5に加わるトルクを検出する。回転軸体5は、軸方向における一端にモータ等の駆動系6が接続され、他端にロボットハンド等の負荷系が接続される。トルク検出器は、図1に示すように、複数の歪センサ1、及び計測部2を備えている。図1では2つの歪センサ1を用いた場合を示している。以下では、歪センサ1として半導体歪ゲージを用いた場合を示す。
歪センサ1は、回転軸体5に取付けられ、外部からのせん断応力(引張応力及び圧縮応力)に応じた信号を出力する半導体歪ゲージである。歪センサ1は、MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)により実現される。歪センサ1は、図2,3に示すように、シリコン層(基板層)11及び絶縁層12を有する。
シリコン層11は、外力に応じて歪みが生じる単結晶シリコンであり、複数のアクティブゲージである抵抗ゲージ(拡散抵抗)13から成る回路を有するセンサ層である。図3では、上記回路が、ホイートストンブリッジ回路のフルブリッジ回路である場合を示している。シリコン層11には、裏面(一面)の中央に、溝部111が形成されている。溝部111により、シリコン層11には薄肉部112が構成される。抵抗ゲージ13は、この薄肉部112に形成される。
なお、薄肉部112の厚さは、シリコン層11の剛性等に応じて適宜設計される。例えば、シリコン層11の剛性が低い場合には薄肉部112は厚くされ、シリコン層11の剛性が高い場合には薄肉部112は薄くされる。
また、単結晶シリコンは、結晶異方性を有し、p型シリコン(100)面において、<110>方向のときに最もピエゾ抵抗係数が大きくなる。そのため、抵抗ゲージ13は、シリコン層11の<110>方向に形成される。
図3では、フルブリッジ回路(ホイートストンブリッジ回路)を構成する4つの抵抗ゲージ13(R1〜R4)が、シリコン層11の辺方向に対して斜め方向(45度方向)に形成され、歪センサ1が2方向のせん断応力を検知する場合を示している。なおここでは、上記斜め方向の具体例として45度方向とした場合を示したが、上記斜め方向は45度方向に限定されず、歪センサ1の特性上、ある程度のずれ(例えば44度方向又は46度方向等)は許容される。
図3では、フルブリッジ回路(ホイートストンブリッジ回路)を構成する4つの抵抗ゲージ13(R1〜R4)が、シリコン層11の辺方向に対して斜め方向(45度方向)に形成され、歪センサ1が2方向のせん断応力を検知する場合を示している。なおここでは、上記斜め方向の具体例として45度方向とした場合を示したが、上記斜め方向は45度方向に限定されず、歪センサ1の特性上、ある程度のずれ(例えば44度方向又は46度方向等)は許容される。
絶縁層12は、上面がシリコン層11の裏面に接合され、裏面が回転軸体5に接合される台座である。この絶縁層12としては、例えばガラス又はサファイア等を用いることができる。
次に、歪センサ1の製造方法の一例について、図4を参照しながら説明する。
歪センサ1の製造方法では、図4に示すように、まず、シリコン層11に、イオン注入により複数の抵抗ゲージ13を形成する(ステップST1)。そして、複数の抵抗ゲージ13によりホイートストンブリッジ回路を形成する。
次いで、シリコン層11の裏面に、エッチングにより溝部111を形成する(ステップST2)。これにより、シリコン層11の抵抗ゲージ13が形成された箇所を薄肉部112とさせる。
次いで、シリコン層11の裏面と絶縁層12の上面とを、例えば陽極接合により接合する(ステップST3)。
歪センサ1の製造方法では、図4に示すように、まず、シリコン層11に、イオン注入により複数の抵抗ゲージ13を形成する(ステップST1)。そして、複数の抵抗ゲージ13によりホイートストンブリッジ回路を形成する。
次いで、シリコン層11の裏面に、エッチングにより溝部111を形成する(ステップST2)。これにより、シリコン層11の抵抗ゲージ13が形成された箇所を薄肉部112とさせる。
次いで、シリコン層11の裏面と絶縁層12の上面とを、例えば陽極接合により接合する(ステップST3)。
また上記のようにして製造された歪センサ1を回転軸体5に取付ける場合には、絶縁層12の裏面と回転軸体5とを例えばはんだ接合により接合する。この際、絶縁層12の裏面及び回転軸体5の接合部位をメタライズした上で、はんだ接合を行う。
また、複数の歪センサ1は、等間隔、且つ、抵抗ゲージ13が回転軸体5の軸方向に対して斜め方向(45度方向)を向くように配置されている。すなわち、抵抗ゲージ13は、回転軸体5にトルクが加わった際に発生するせん断応力の発生方向を向くように配置される。なおここでは、上記斜め方向の具体例として45度方向とした場合を示したが、上記斜め方向は45度方向に限定されず、歪センサ1の特性上、ある程度のずれ(例えば44度方向又は46度方向等)は許容される。また、複数の歪センサ1は、それぞれ同一の感度を有するものとする。図1では、2つの歪センサ1が、回転軸体5に互いに対向配置されている。
ここで、特許文献1に開示されたトルク検出器では、8つ以上の金属歪ゲージを、相対位置及び角度を厳密に合わせて取付ける必要がある。それに対し、実施の形態1に係るトルク検出器では、1つの歪センサ1にブリッジ回路が形成されているため、少なくとも2つの歪センサ1を搭載すればよく、トルク検出器をより簡易に製作可能となる。なお、1つの歪センサ1に複数の抵抗ゲージ13を形成する場合、フォトリソグラフィによりパターニングするため、各抵抗ゲージ13を精巧に位置決め可能である。
計測部2は、複数の歪センサ1により出力された信号の和をトルクとして計測する。図1では、計測部2は、2つの歪センサ1により出力された信号の和をトルクとして計測する。
次に、トルク検出器の基本動作原理について、図5を参照しながら説明する。図5Aでは、歪センサ1が取付けられた回転軸体5の一端に駆動系6が接続され、この駆動系6により回転軸体5にトルクが加えられた状態を示している。また図5では、1つの歪センサ1を用いた場合を示している。
図5Aに示すように、回転軸体5にトルクが加えられることで、回転軸体5に取付けられた歪センサ1が歪み、歪センサ1の表面に図5Bに示すようなせん断応力が発生する。図5では、色が濃い点ほど引張応力が強い状態であり、色が薄い点ほど圧縮応力が強い状態であることを示している。そして、回転軸体5の軸方向に対して斜め方向(45度方向)を向いた抵抗ゲージ13は、このせん断応力に応じて抵抗値が変化し、歪センサ1は、抵抗値の変化に応じた信号を出力する。そして、トルク検出器は、この歪センサ1により出力された信号から回転軸体5に加えられたトルクを検出する。
図5Aに示すように、回転軸体5にトルクが加えられることで、回転軸体5に取付けられた歪センサ1が歪み、歪センサ1の表面に図5Bに示すようなせん断応力が発生する。図5では、色が濃い点ほど引張応力が強い状態であり、色が薄い点ほど圧縮応力が強い状態であることを示している。そして、回転軸体5の軸方向に対して斜め方向(45度方向)を向いた抵抗ゲージ13は、このせん断応力に応じて抵抗値が変化し、歪センサ1は、抵抗値の変化に応じた信号を出力する。そして、トルク検出器は、この歪センサ1により出力された信号から回転軸体5に加えられたトルクを検出する。
実施の形態1に係るトルク検出器では、複数の歪センサ1が、回転軸体5に軸周りに等間隔で配置されている。また、歪センサ1が有するフルブリッジ回路を構成する4つの抵抗は、回転軸体5の軸方向に対して45度方向を向くように配置されている。
以下、実施の形態1に係るトルク検出器の効果について、図6,7を参照しながら説明する。なお図6,7では、2つの歪センサ1a,1bが、回転軸体5に互いに対向配置された場合を示している。
以下、実施の形態1に係るトルク検出器の効果について、図6,7を参照しながら説明する。なお図6,7では、2つの歪センサ1a,1bが、回転軸体5に互いに対向配置された場合を示している。
ここで、回転軸体5にトルクが加わった場合に生じる応力は、同一半径の周面上で等しい。よって、2つの歪センサ1a,1bにより出力された信号の和は、単一の歪センサ1により出力された信号の2倍となる。
一方、回転軸体5にスラスト荷重又は図6Bに矢印で示すセンサ搭載方向へのラジアル荷重が加わった場合には、歪センサ1a,1b内の2対の抵抗値変化が反転し相殺される。そのため、歪センサ1a,1bによる出力はない。
また、回転軸体5に図7Bに矢印で示すセンサ非搭載側へのラジアル荷重が加わった場合には、図7Dに示すように歪センサ1a,1bが互いに反対方向に歪み、歪センサ1a,1bによる出力が反転する。よって、計測部2でその和を取ることで相殺される。
よって、他軸荷重による影響を抑制できる。また、2つの歪センサ1a,1bを用いた場合には、回転軸体5に互いに対向配置させて取付ければよいため、組立が容易である。
また、回転軸体5に図7Bに矢印で示すセンサ非搭載側へのラジアル荷重が加わった場合には、図7Dに示すように歪センサ1a,1bが互いに反対方向に歪み、歪センサ1a,1bによる出力が反転する。よって、計測部2でその和を取ることで相殺される。
よって、他軸荷重による影響を抑制できる。また、2つの歪センサ1a,1bを用いた場合には、回転軸体5に互いに対向配置させて取付ければよいため、組立が容易である。
なお上記のトルク検出器では、シリコン層11の裏面中央に溝部111が形成されることで薄肉部112が構成され、抵抗ゲージ13がこの薄肉部112に形成されている。これにより、抵抗ゲージ13が形成された薄肉部112に応力を集中させることができ、回転軸体5に加わるトルクに対する検出感度が向上する。
また、4つの抵抗ゲージ13の配置は図3に示す配置に限らず、例えば図8に示すような配置としてもよい。
また上記では、ホイートストンブリッジ回路として、4つの抵抗ゲージ13(R1〜R4)から成るフルブリッジ回路を用いた場合を示した。しかしながら、これに限らず、図9に示すように、ホイートストンブリッジ回路として、2つの抵抗ゲージ13(R1,R2)から成るハーフブリッジ回路を用いてもよい。なお、図9BにおけるRは、固定抵抗である。
また図10に示すように、シリコン層11の裏面に、溝部111をシリコン層11の側面に連通する連通溝部113が形成されてもよい。ここで、シリコン層11と絶縁層12との接合では、陽極接合により400度程度の温度が加えられる。そのため、連通溝部113が無い場合には、陽極接合の際に、シリコン層11と絶縁層12との間の溝部111に存在する空気が高温状態で封止されてしまい、常温に下がるとその空気が収縮するため、薄肉部112が変形し、歪センサ1のゼロ点がずれてしまう恐れがある。一方、連通溝部113が設けられることで、陽極接合の際に、溝部111に存在する空気を外部に逃がすことができ、薄肉部112の変形を回避できる。
なお、シリコン層11は、溝部111及び連通溝部113により、全体が薄くならないように、一部のみが薄くなるように構成される必要がある。
なお、シリコン層11は、溝部111及び連通溝部113により、全体が薄くならないように、一部のみが薄くなるように構成される必要がある。
なお上記では、基板層として、シリコン層11を用いた場合を示したが、これに限らず、外力に応じて歪みが生じる部材であればよい。例えば、基板層として、絶縁体(ガラス等)又は金属を用いることができる。ここで、基板層が絶縁体である場合には、抵抗ゲージ13は、当該絶縁体にスパッタリング等により成膜されることで形成される。また、基板層が金属である場合には、抵抗ゲージ13は、当該金属に絶縁膜を介してスパッタリング等により成膜されることで形成される。また、基板層としてシリコン層11を用い、抵抗ゲージ13が、当該シリコン層11にスパッタリング等により成膜されることで形成されてもよい。
基板層として上記絶縁体又は金属を用いた場合でも、一般的な金属歪ゲージよりもゲージ率は高くなる。また、成膜によって抵抗ゲージ13を形成した場合には、シリコン層11にイオン注入により抵抗ゲージ13を形成した場合に対し、結晶方位によってゲージ率が変わることはなく、すなわち、方向を限定する必要がなくなる。
一方、ゲージ率は、成膜によって抵抗ゲージ13を形成した場合に対し、シリコン層11にイオン注入により抵抗ゲージ13を形成した場合の方が、4〜10倍以上高くなる。
基板層として上記絶縁体又は金属を用いた場合でも、一般的な金属歪ゲージよりもゲージ率は高くなる。また、成膜によって抵抗ゲージ13を形成した場合には、シリコン層11にイオン注入により抵抗ゲージ13を形成した場合に対し、結晶方位によってゲージ率が変わることはなく、すなわち、方向を限定する必要がなくなる。
一方、ゲージ率は、成膜によって抵抗ゲージ13を形成した場合に対し、シリコン層11にイオン注入により抵抗ゲージ13を形成した場合の方が、4〜10倍以上高くなる。
また上記では、歪センサ1として、図2に示すような形状の半導体歪ゲージを用いた場合を示した。しかしながら、これに限らず、その他の形状の半導体歪ケージを用いてもよい。また、歪センサ1として、その他の歪ゲージ(例えば金属歪ゲージ)を用いてもよい。
以上のように、この実施の形態1によれば、複数の抵抗ゲージ13から成る回路を有し、回転軸体5に軸周りに等間隔で取付けられた複数の歪センサ1と、複数の歪センサ1の出力の和を計測する計測部2とを備え、抵抗ゲージ13は、回転軸体5の軸方向に対して斜め方向を向いたので、他軸荷重が加わった場合でも精度よくトルクを検出でき、簡易に製作可能である。
なお、本願発明はその発明の範囲内において、実施の形態の任意の構成要素の変形、もしくは実施の形態の任意の構成要素の省略が可能である。
1 歪センサ
2 計測部
5 回転軸体
6 駆動系
11 シリコン層(基板層)
12 絶縁層
13 抵抗ゲージ(拡散抵抗)
111 溝部
112 薄肉部
113 連通溝部
2 計測部
5 回転軸体
6 駆動系
11 シリコン層(基板層)
12 絶縁層
13 抵抗ゲージ(拡散抵抗)
111 溝部
112 薄肉部
113 連通溝部
この発明に係るトルク検出器は、複数のアクティブゲージから成る回路を有し、回転軸体に軸周りに等間隔で取付けられた複数の歪センサと、複数の歪センサの出力の和を計測する計測部とを備え、アクティブゲージは、回転軸体の軸方向に対して斜め方向を向いたことを特徴とする。
Claims (4)
- 複数のアクティブゲージから成る回路を有し、回転軸体に軸周りに等間隔で取付けられた複数の歪センサと、
前記複数の歪センサの出力の和を計測する計測部とを備え、
前記抵抗ゲージは、前記回転軸体の軸方向に対して斜め方向を向いた
ことを特徴とするトルク検出器。 - 前記回路は、ホイートストンブリッジ回路のフルブリッジ回路である
ことを特徴とする請求項1記載のトルク検出器。 - 前記回路は、ホイートストンブリッジ回路のハーフブリッジ回路である
ことを特徴とする請求項1記載のトルク検出器。 - 前記歪センサは、半導体歪ゲージである
ことを特徴とする請求項1から請求項3のうちの何れか1項記載のトルク検出器。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017193435A JP2019066374A (ja) | 2017-10-03 | 2017-10-03 | トルク検出器 |
PCT/JP2018/034570 WO2019069683A1 (ja) | 2017-10-03 | 2018-09-19 | トルク検出器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017193435A JP2019066374A (ja) | 2017-10-03 | 2017-10-03 | トルク検出器 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019066374A true JP2019066374A (ja) | 2019-04-25 |
Family
ID=65995388
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017193435A Pending JP2019066374A (ja) | 2017-10-03 | 2017-10-03 | トルク検出器 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2019066374A (ja) |
WO (1) | WO2019069683A1 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2021004819A (ja) * | 2019-06-27 | 2021-01-14 | 日本電産シンポ株式会社 | トルク検出センサおよび動力伝達装置 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20020056324A1 (en) * | 2000-09-19 | 2002-05-16 | Zlatko Penzar | Mechanical/electrical transducer insensitive to bending and transverse forces |
JP2002525599A (ja) * | 1998-09-23 | 2002-08-13 | マンネスマン ファウ デー オー アクチエンゲゼルシャフト | 機械電気式トランスデューサ |
EP1637856A2 (de) * | 2004-09-17 | 2006-03-22 | Gtm Gassmann Theiss Messtechnik Gmbh | Drehmoment-Messaufnehmer |
JP2006220574A (ja) * | 2005-02-14 | 2006-08-24 | Hitachi Ltd | 回転体力学量測定装置および回転体力学量計測システム |
US20140216173A1 (en) * | 2011-08-10 | 2014-08-07 | Isis Innovation Limited | Determining torque in a shaft |
WO2015190330A1 (ja) * | 2014-06-09 | 2015-12-17 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | トルク検出装置 |
-
2017
- 2017-10-03 JP JP2017193435A patent/JP2019066374A/ja active Pending
-
2018
- 2018-09-19 WO PCT/JP2018/034570 patent/WO2019069683A1/ja active Application Filing
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002525599A (ja) * | 1998-09-23 | 2002-08-13 | マンネスマン ファウ デー オー アクチエンゲゼルシャフト | 機械電気式トランスデューサ |
US20020056324A1 (en) * | 2000-09-19 | 2002-05-16 | Zlatko Penzar | Mechanical/electrical transducer insensitive to bending and transverse forces |
EP1637856A2 (de) * | 2004-09-17 | 2006-03-22 | Gtm Gassmann Theiss Messtechnik Gmbh | Drehmoment-Messaufnehmer |
JP2006220574A (ja) * | 2005-02-14 | 2006-08-24 | Hitachi Ltd | 回転体力学量測定装置および回転体力学量計測システム |
US20140216173A1 (en) * | 2011-08-10 | 2014-08-07 | Isis Innovation Limited | Determining torque in a shaft |
WO2015190330A1 (ja) * | 2014-06-09 | 2015-12-17 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | トルク検出装置 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2021004819A (ja) * | 2019-06-27 | 2021-01-14 | 日本電産シンポ株式会社 | トルク検出センサおよび動力伝達装置 |
JP7380981B2 (ja) | 2019-06-27 | 2023-11-15 | ニデックドライブテクノロジー株式会社 | トルク検出センサおよび動力伝達装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2019069683A1 (ja) | 2019-04-11 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US8776616B2 (en) | Multiaxial force-torque sensors | |
JP2005031062A (ja) | 多軸センサ | |
US8033009B2 (en) | Method for producing a force sensor | |
US20020092352A1 (en) | Whiffletree accelerometer | |
JP2021183986A (ja) | 多軸触覚センサ | |
WO2015115365A1 (ja) | センサおよびその製造方法 | |
WO2019069683A1 (ja) | トルク検出器 | |
JPH07117470B2 (ja) | 力検出装置 | |
WO2019069620A1 (ja) | トルク検出装置 | |
JP6698595B2 (ja) | トルク検出器 | |
JP2020067295A (ja) | アクチュエーティングユニット | |
JP6820101B2 (ja) | トルク検出器 | |
JP6820102B2 (ja) | トルク検出器及びトルク検出器の製造方法 | |
JP6820817B2 (ja) | トルク検出装置 | |
JPH0821721B2 (ja) | 力検出装置 | |
JP6843019B2 (ja) | トルク検出器及びトルク検出器の製造方法 | |
JP2023118091A (ja) | トルクを検知するためのシステム | |
JP2015114233A (ja) | 半導体圧力センサ | |
JP2756067B2 (ja) | ダイアフラム式歪みセンサの配線パターン | |
JP2015114232A (ja) | 半導体圧力センサ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20180919 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20200911 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20210202 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20210817 |