JP2005031062A - 多軸センサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 外部から加わった多軸の力、モーメント、加速度、角加速度のいずれか1つまたは複数を計測する多軸センサ1において、一平面上に配置された複数の歪みゲージR11〜R48を備える。これにより、歪みゲージR11〜R48の取り付け作業の時間を短縮することができるので、量産性を良くしてコストを下げることができる。
【選択図】図1
Description
2 第1部材
3 第2部材
4,5,6,7 ダイヤフラム
8 中心軸
10 ピエゾ抵抗素子
16、17、18、19 作用体
R11〜R48、R111〜R148 歪みゲージ
Claims (24)
- 外部から加わった多軸の力、モーメント、加速度、角加速度のいずれか1つまたは複数を計測する多軸センサにおいて、
一平面上に配置された複数の歪みゲージを備えていることを特徴とする多軸センサ。 - 複数の前記歪みゲージが取り付けられる第1のダイヤフラムをさらに備えていることを特徴とする請求項1に記載の多軸センサ。
- 前記第1のダイヤフラムは前記平面の中心点を中心に等角度おき、かつ前記中心点から等距離に配置されていることを特徴とする請求項2に記載の多軸センサ。
- 前記角度は90度であることを特徴とする請求項3に記載の多軸センサ。
- 前記第1のダイヤフラムは、前記中心点を原点とするX軸およびY軸上の正方向および負方向にそれぞれ配置されていることを特徴とする請求項4に記載の多軸センサ。
- 前記角度は120度であることを特徴とする請求項3に記載の多軸センサ。
- 前記第1のダイヤフラムの薄肉部は円環形状で8個の前記歪みゲージを備えていると共に、
前記歪みゲージの配置位置は、前記第1のダイヤフラムの中心点と前記平面の中心点とを結ぶ線上において前記第1のダイヤフラムの外縁部と内縁部、および前記第1のダイヤフラムの中心点における前記線の垂直線上において前記第1のダイヤフラムの外縁部と内縁部であることを特徴とする請求項2〜6のいずれか1項に記載の多軸センサ。 - 前記第1のダイヤフラムの中央部に設けられた作用体をさらに備えると共に、
該多軸センサに作用する多軸の加速度および角加速度を計測することを特徴とする請求項2〜7のいずれか1項に記載の多軸センサ。 - 前記第1のダイヤフラムを有する第1部材と、
前記第1のダイヤフラムに対向し且つ、前記歪みゲージを備えない第2のダイヤフラムを有する第2部材と、
対向する前記第1のダイヤフラムと前記第2のダイヤフラムとを連結する連結軸とを備えると共に、
前記第1部材と前記第2部材との間に作用する多軸の力およびモーメントを計測することを特徴とする請求項2〜7のいずれか1項に記載の多軸センサ。 - 前記第1のダイヤフラムを有する第1部材と、
前記第1のダイヤフラムに対向し且つ、一平面上に配置された複数の前記歪みゲージが取り付けられた第2のダイヤフラムを有する第2部材と、
対向する前記第1のダイヤフラムと前記第2のダイヤフラムとを連結する連結軸とを備えると共に、
前記第1部材と前記第2部材との間に作用する多軸の力およびモーメントを計測することを特徴とする請求項2〜7のいずれか1項に記載の多軸センサ。 - 前記第1部材の前記歪みゲージと前記第2部材の前記歪みゲージとは、多軸センサの重心点を中心に対称位置に配置されていることを特徴とする請求項10に記載の多軸センサ。
- 前記第1部材の前記歪みゲージと前記第2部材の前記歪みゲージとの各出力のうち、いずれか一方の出力信号が所定範囲外であるときは他方の出力信号を採用することを特徴とする請求項11に記載の多軸センサ。
- 前記平面に配置される前記第1のダイヤフラムは1つであることを特徴とする請求項2に記載の多軸センサ。
- 前記平面の中心点を中心に等角度おき、かつ前記中心点から等距離の位置において、前記第1のダイヤフラムと当接するように設けられた作用体をさらに有しており、
該多軸センサに作用する多軸の加速度および角加速度を測定することを特徴とする請求項13に記載の多軸センサ。 - 前記第1のダイヤフラムを有する第1部材と、
前記歪みゲージを備えない第2のダイヤフラムを1つ有する第2部材と、
前記第1のダイヤフラムと前記第2のダイヤフラムとを連結する作用体とを有しており、
前記第1部材と前記第2部材とは、前記第1部材の前記第1のダイヤフラムの中心点と前記第2部材の前記第2のダイヤフラムの中心点とが対向するように配置されると共に、前記第1のダイヤフラムと前記第2のダイヤフラムとのそれぞれの前記中心点を中心に等角度おき、かつ前記中心点から等距離の位置同士が前記作用体によって連結されており、前記第1部材と前記第2部材との間に作用する多軸の力およびモーメントを測定することを特徴とする請求項13に記載の多軸センサ。 - 前記第1のダイヤフラムを有する第1部材と、
一平面に配置された複数の前記歪みゲージが取り付けられた第2のダイヤフラムを有する第2部材と、
前記第1のダイヤフラムと前記第2のダイヤフラムとを連結する作用体とを有しており、
前記第1部材と前記第2部材とは、前記第1部材の前記第1のダイヤフラムの中心点と前記第2部材の前記第2のダイヤフラムの中心点とが対向するように配置されると共に、前記第1及び第2のダイヤフラムの前記中心点を中心に等角度おき、かつ前記中心点から等距離の位置同士が前記作用体によって連結されており、前記第1部材と前記第2部材との間に作用する多軸の力およびモーメントを測定することを特徴とする請求項13に記載の多軸センサ。 - 前記第1部材の前記歪みゲージと前記第2部材の前記歪みゲージとは、多軸センサの重心点を中心に対称位置に配置されていることを特徴とする請求項16に記載の多軸センサ。
- 前記第1部材の前記歪みゲージと前記第2部材の前記歪みゲージとの各出力のうち、いずれか一方の出力信号が所定範囲外であるときは他方の出力信号を採用することを特徴とする請求項17に記載の多軸センサ。
- 前記角度は90度であることを特徴とする請求項14〜18のいずれか1項に記載の多軸センサ。
- 前記作用体は、前記第1のダイヤフラムの中心点を原点とするX軸およびY軸上の正方向および負方向にそれぞれ設けられていることを特徴とする請求項19に記載の多軸センサ。
- 前記角度は120度であることを特徴とする請求項14〜18のいずれか1項に記載の多軸センサ。
- 前記歪みゲージの配置位置は、
前記平面上の前記作用体に対応する部分の中心点と前記第1のダイヤフラムの中心点とを結ぶ線上における前記作用体の縁部と、
前記平面上の前記作用体に対応する部分の中心点における前記線の垂直線上において前記作用体の縁部と、
前記第1のダイヤフラムの中心点から等角度おき、かつ前記中心点から等距離の位置であって前記作用体の縁部および前記第1のダイヤフラムの縁部のいずれか一方とであることを特徴とする請求項14〜21のいずれか1項に記載の多軸センサ。 - 前記歪みゲージはピエゾ抵抗素子であることを特徴とする請求項1〜22のいずれか1項に記載の多軸センサ。
- 前記歪みゲージは絶縁膜上に酸化クロム薄膜で形成した歪みゲージであることを特徴とする請求項1〜22のいずれか1項に記載の多軸センサ。
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US10/560,995 US7360456B2 (en) | 2003-06-17 | 2004-06-16 | Six-axis sensor |
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Cited By (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2008044404A1 (fr) | 2006-10-11 | 2008-04-17 | Nitta Corporation | Capteur à jauges de contraintes |
JP2008096229A (ja) * | 2006-10-11 | 2008-04-24 | Nitta Ind Corp | 静電容量式センサ |
EP1925925A2 (en) | 2006-11-22 | 2008-05-28 | Nitta Corporation | Sensor and manufacturing method thereof |
US7500406B2 (en) | 2003-09-30 | 2009-03-10 | Nitta Corporation | Multiaxial sensor |
JP2009513955A (ja) * | 2005-10-26 | 2009-04-02 | オットー・ボック・ヘルスケア・アイピー・ゲーエムベーハー・ウント・コンパニー・カーゲー | 力および/またはトルクを測定するためのセンサー・アセンブリ及び前記アセンブリの使用 |
JP2009236756A (ja) * | 2008-03-27 | 2009-10-15 | Dainippon Printing Co Ltd | センサおよびその製造方法 |
JP2011522221A (ja) * | 2008-04-23 | 2011-07-28 | ボルグワーナー ベル システムズ ゲーエムベーハー | 燃焼室圧力の決定装置及び方法 |
JP2015184067A (ja) * | 2014-03-20 | 2015-10-22 | 株式会社東芝 | 圧力センサ、マイクロフォン及び音響処理システム |
JP2016050883A (ja) * | 2014-09-01 | 2016-04-11 | 日本リニアックス株式会社 | 多軸センサおよび多軸センサの製造方法 |
JP2020165899A (ja) * | 2019-03-29 | 2020-10-08 | 株式会社レプトリノ | 力覚センサ |
JP2020165897A (ja) * | 2019-03-29 | 2020-10-08 | 株式会社レプトリノ | 力覚センサ |
WO2021176964A1 (ja) * | 2020-03-02 | 2021-09-10 | アルプスアルパイン株式会社 | 力覚センサ |
Families Citing this family (29)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4680566B2 (ja) * | 2004-10-26 | 2011-05-11 | 本田技研工業株式会社 | 多軸力センサチップとこれを用いた多軸力センサ |
JP4203051B2 (ja) * | 2005-06-28 | 2008-12-24 | 本田技研工業株式会社 | 力覚センサ |
DE102005057473B4 (de) * | 2005-11-30 | 2012-09-20 | Schenk Process Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zur Erfassung von auf eine Schiene einwirkenden Kräften |
JP5243704B2 (ja) * | 2006-08-24 | 2013-07-24 | 本田技研工業株式会社 | 力覚センサ |
JP2008058110A (ja) * | 2006-08-30 | 2008-03-13 | Honda Motor Co Ltd | 力覚センサ用チップおよび力覚センサ |
JP5174343B2 (ja) * | 2006-12-12 | 2013-04-03 | 本田技研工業株式会社 | 力覚センサ用チップ |
CN100523753C (zh) * | 2007-02-07 | 2009-08-05 | 燕山大学 | 上下预紧式并联结构六维力传感器 |
US8006557B2 (en) * | 2007-05-16 | 2011-08-30 | Intellisense Software Corporation | Multi-axis sensor |
US7806001B1 (en) * | 2007-06-05 | 2010-10-05 | Orbital Research Inc. | Multi-diaphragm pressure sensors |
US20100050788A1 (en) * | 2008-08-26 | 2010-03-04 | Seoul National University Industry Foundation | Nanoscale Force Transducer |
JP5243988B2 (ja) * | 2009-02-10 | 2013-07-24 | 本田技研工業株式会社 | 多軸力覚センサおよび加速度センサ |
JP5439068B2 (ja) * | 2009-07-08 | 2014-03-12 | 株式会社ワコー | 力検出装置 |
CN202158916U (zh) * | 2009-09-30 | 2012-03-07 | 泰科思有限责任公司 | 用于检测形变的测量装置 |
DE102012202917B4 (de) * | 2011-03-15 | 2018-03-29 | Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. | Kraft-Momenten-Sensor zum Messen von Kräften und Momenten |
DE102012009507A1 (de) | 2012-05-14 | 2013-11-14 | Otto Bock Healthcare Gmbh | Vorrichtung und Verfahren zur Bestimmung von Fehlstellungen im Aufbau von Prothesen |
CN104995495B (zh) | 2013-03-12 | 2018-02-06 | 史赛克公司 | 用于测量力和转矩的传感器组件和方法 |
US9993309B2 (en) | 2015-02-03 | 2018-06-12 | Stryker Corporation | Force/torque transducer and method of operating the same |
JP5853121B1 (ja) * | 2015-09-24 | 2016-02-09 | 株式会社ワコー | 力覚センサ |
AU2016344004A1 (en) | 2015-10-30 | 2018-06-14 | Ion Geophysical Corporation | Multi-axis, single mass accelerometer |
US9869597B1 (en) | 2015-11-24 | 2018-01-16 | X Development Llc | Compound strain gage carrier for multi-axis force/torque sensing |
US10239213B1 (en) | 2015-11-24 | 2019-03-26 | X Development Llc | Flexure assembly for force/torque sensing |
US9804048B2 (en) * | 2016-01-20 | 2017-10-31 | Rosemount Aerospace Inc. | Pseudo differential pressure sensing bridge configuration |
US10732061B2 (en) | 2017-09-07 | 2020-08-04 | X Development Llc | Unibody flexure design for displacement-based force/torque sensing |
US10732060B2 (en) | 2018-08-15 | 2020-08-04 | X Development Llc | Force/torque sensor with hardstops to limit overloading a flexure |
CN112955752A (zh) | 2018-09-13 | 2021-06-11 | 离子地球物理学公司 | 多轴线、单质量加速度计 |
JP6791529B1 (ja) * | 2020-02-25 | 2020-11-25 | 株式会社トライフォース・マネジメント | 力覚センサ |
JP6771794B1 (ja) * | 2020-02-25 | 2020-10-21 | 株式会社トライフォース・マネジメント | 力覚センサ |
JP7199131B2 (ja) * | 2020-08-19 | 2023-01-05 | 株式会社トライフォース・マネジメント | 力覚センサ |
JP7160375B2 (ja) * | 2020-08-19 | 2022-10-25 | 株式会社トライフォース・マネジメント | 力覚センサ |
Family Cites Families (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FI45099C (fi) | 1970-04-21 | 1972-03-10 | Datex Oy | Voima-anturi. |
US4094192A (en) * | 1976-09-20 | 1978-06-13 | The Charles Stark Draper Laboratory, Inc. | Method and apparatus for six degree of freedom force sensing |
GB1603885A (en) | 1977-05-23 | 1981-12-02 | Boeing Co | Tool for use in a tool-holding chuck |
JPS6378032A (ja) | 1986-09-17 | 1988-04-08 | ジェイア−ルスリ− インコ−ポレ−ティッド | 力−モーメント・センサー・ユニットの測定要素およびその製造方法 |
US4745812A (en) * | 1987-03-25 | 1988-05-24 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Army | Triaxial tactile sensor |
US5035148A (en) * | 1989-02-01 | 1991-07-30 | Wacoh Corporation | Force detector using resistance elements |
WO1991010118A1 (en) * | 1989-12-28 | 1991-07-11 | Wacoh Corporation | Apparatus for detecting physical quantity that acts as external force and method of testing and producing this apparatus |
JP2581820B2 (ja) * | 1990-01-23 | 1997-02-12 | 株式会社富士電機総合研究所 | 3次元触覚センサ |
JP3574870B2 (ja) * | 1993-10-29 | 2004-10-06 | ニッタ株式会社 | 静電容量式センサー |
JPH07174786A (ja) | 1993-12-20 | 1995-07-14 | Fujikura Ltd | 半導体加速度センサ |
JP2838361B2 (ja) | 1994-06-06 | 1998-12-16 | 大阪府 | 受圧管一体型圧力センサ |
US5823278A (en) * | 1994-10-13 | 1998-10-20 | Future Systems, Inc. | Caster mounted weighing system |
JP4176849B2 (ja) * | 1997-05-08 | 2008-11-05 | 株式会社ワコー | センサの製造方法 |
JP3025468B2 (ja) * | 1997-11-06 | 2000-03-27 | 株式会社ワコー | 静電容量の変化を利用したセンサおよびその製造方法 |
JP4907050B2 (ja) * | 2003-03-31 | 2012-03-28 | 株式会社ワコー | 力検出装置 |
JP4387691B2 (ja) * | 2003-04-28 | 2009-12-16 | 株式会社ワコー | 力検出装置 |
-
2003
- 2003-12-19 JP JP2003422687A patent/JP4192084B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
2004
- 2004-06-16 EP EP04745979A patent/EP1645859A4/en not_active Withdrawn
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Cited By (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7500406B2 (en) | 2003-09-30 | 2009-03-10 | Nitta Corporation | Multiaxial sensor |
JP2009513955A (ja) * | 2005-10-26 | 2009-04-02 | オットー・ボック・ヘルスケア・アイピー・ゲーエムベーハー・ウント・コンパニー・カーゲー | 力および/またはトルクを測定するためのセンサー・アセンブリ及び前記アセンブリの使用 |
JP2008096230A (ja) * | 2006-10-11 | 2008-04-24 | Nitta Ind Corp | 歪みゲージ式センサ |
JP2008096229A (ja) * | 2006-10-11 | 2008-04-24 | Nitta Ind Corp | 静電容量式センサ |
WO2008044404A1 (fr) | 2006-10-11 | 2008-04-17 | Nitta Corporation | Capteur à jauges de contraintes |
US7852191B2 (en) | 2006-11-22 | 2010-12-14 | Nitta Corporation | Sensor and manufacturing method thereof |
JP2008128864A (ja) * | 2006-11-22 | 2008-06-05 | Nitta Ind Corp | センサ及びその製造方法 |
EP1925925A2 (en) | 2006-11-22 | 2008-05-28 | Nitta Corporation | Sensor and manufacturing method thereof |
JP2009236756A (ja) * | 2008-03-27 | 2009-10-15 | Dainippon Printing Co Ltd | センサおよびその製造方法 |
JP2011522221A (ja) * | 2008-04-23 | 2011-07-28 | ボルグワーナー ベル システムズ ゲーエムベーハー | 燃焼室圧力の決定装置及び方法 |
JP2015184067A (ja) * | 2014-03-20 | 2015-10-22 | 株式会社東芝 | 圧力センサ、マイクロフォン及び音響処理システム |
JP2016050883A (ja) * | 2014-09-01 | 2016-04-11 | 日本リニアックス株式会社 | 多軸センサおよび多軸センサの製造方法 |
JP2020165899A (ja) * | 2019-03-29 | 2020-10-08 | 株式会社レプトリノ | 力覚センサ |
JP2020165897A (ja) * | 2019-03-29 | 2020-10-08 | 株式会社レプトリノ | 力覚センサ |
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CN111829710A (zh) * | 2019-03-29 | 2020-10-27 | 新东工业株式会社 | 力觉传感器 |
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