JP3666622B2 - 荷重検出装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
この発明は、流体流量や風力などにもとづく荷重変化を歪ゲージを用いて検出するのに用いる荷重検出装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来の荷重検出装置としては、X軸およびY軸の二軸を含め多軸の方向の荷重検出を行うものが少ないが、これまでは多軸の方向に撓む起歪体としてのバーの歪発生部に形成した複数面に歪ゲージを貼付し、これらの歪ゲージの電位変化の検出値から、その起歪体に作用する荷重を演算によって求め、これを風速,風向データとして利用するものが、例えば、特開昭56―6111号公報などに示されている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、かかる従来の荷重検出装置にあっては、歪ゲージによる荷重の検出感度を向上させるためにバーを細くする必要があり、このバーを細くするときには軸方向荷重を受けてこれが曲折したり、二軸方向の測定値に影響を与えたりするほか、その二軸方向の荷重を正確に分離して測定できないという課題があった。
【0004】
また、歪ゲージが測定環境に晒されているために、測定環境の雰囲気による汚染,腐食などによって歪測定の精度劣化を招き、また、耐環境性に劣るという課題があった。
【0005】
さらに、歪ゲージの貼付が起歪体であるバーの複数の面に対して行われるために、その歪ゲージのバーに対する装着作業が繁雑となるほか、一方、複数の面に対して薄膜技術やフォトリソグラフィ技術を用いて歪ゲージを設ける技術の採用が困難であり、従って、人力による貼付作業を避けられず、荷重検出装置の大量生産化およびコストダウンに限界があるなどの課題があった。
【0006】
この発明は、前記のような従来の課題を解決するためになされたものであり、荷重負荷の一軸方向,二軸方向および三軸方向のいずれかを独立に正確に荷重検出できると共に歪ゲージの耐環境性を改善でき、さらに大量生産かつローコストに提供できる荷重検出装置を得ることを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】
前記した目的を達成するために、請求項1の発明にかかる荷重検出装置は、荷重負荷されるバーの一端にダイアフラム状円板をこれの中央部にて一体に設け、バーを設けた側とは反対側の閉空間によって囲まれたダイアフラム状円板の同一半径上にブリッジ接続された少なくとも一組で四個の歪ゲージを配置し、バーの他端に円錐形状の受風体の底部を連結してなることを特徴とする。
【0008】
また、請求項2の発明にかかる荷重検出装置は、荷重負荷されるバーの一端にダイアフラム状円板をこれの中央部にて一体に設け、バーを設けた側とは反対側の閉空間によって囲まれたダイアフラム状円板の同一半径上にブリッジ接続された少なくとも一組で四個の歪ゲージを互いに直交する方向に2組配置し、バーの他端に円錐形状の受風体の底部を連結してなることを特徴とする。
【0009】
また、請求項3の発明にかかる荷重検出装置は、荷重負荷されるバーの一端にダイアフラム状円板をこれの中央部にて一体に設け、バーを設けた側とは反対側の閉空間によって囲まれた前記ダイアフラム状円板の異った半径上にブリッジ接続された一組で四個の歪ゲージを配置、バーの他端に円錐形状の受風体の底部を連結してなることを特徴とする。
【0010】
また、請求項4の発明にかかる荷重検出装置は、荷重負荷されるバーの一端にダイアフラム状円板をこれの中央部にて一体に設け、バーを設けた側とは反対側の閉空間によって囲まれたダイアフラム状円板の同一半径上にブリッジ接続された少なくとも一組で四個の歪ゲージを配置するとともに、バーを設けた側とは反対側の閉空間によって囲まれたダイアフラム状円板の異った半径上にブリッジ接続された一組で四個の歪ゲージを前記歪ゲージとは直交する方向に配置し、バーの他端に円錐形状の受風体の底部を連結してなることを特徴とする。
【0012】
また、請求項5の発明にかかる荷重検出装置は、歪ゲージおよび該歪ゲージを接続するブリッジ回路をダイアフラム状円板上に薄膜形成したものである。
【0013】
【発明の実施の形態】
以下に、この発明の実施の一形態を図について説明するが、図1は、この発明の荷重検出装置の概略を示す断面図であり、同図において、1は、荷重負荷されるバーであり、これの一端にはダイアフラム状円板2がこれの中心部で一体に取り付けられている。
【0014】
また、バー1を設けた側とは反対側のダイアフラム状円板2の面には荷重センサ3が配置されており、ダイアフラム状円板2の外周部には荷重センサ3を囲む閉空間5を形成するケース4が取り付けられている。
【0015】
一方、閉空間5に臨む側のダイアフラム状円板2上面の同一半径上には、図2に示すように、荷重センサ3を構成するブリッジ接続された四個の歪ゲージA,B,C,Dが配置され、また、これらと同一半径上であって、これらに対し直交する方向にブリッジ接続された四個の歪ゲージa,b,c,dが配置されてなるとしている。
【0016】
すなわち、これらの歪ゲージA,B,C,Dは、ダイアフラム状円板2の、例えば、X軸方向の変形を検出する荷重センサを構成し、歪ゲージa,b,c,dは、ダイアフラム状円板2のY軸方向の変形を検出する荷重センサ3を構成している。
【0017】
なお、各荷重センサ3において、歪ゲージA,B,C,Dは、図3に示すように、ブリッジ接続され、歪ゲージa,b,c,dは、図4に示すように、ブリッジ接続されて、各歪ゲージA,Dの接続点およびB,Cの接続点間と、歪ゲージa,dの接続点およびb,cの接続点間にそれぞれ定電圧電源Pが接続され、各歪ゲージA,Cの接続点およびD,Bの接続点間と、歪ゲージa,cの接続点およびd,bの接続点間にそれぞれ電流計などが接続される。
【0018】
かかる構成になる荷重検出装置にあっては、バー1に荷重が負荷されて、これが、例えば、図5に示すように、傾くことになると、ダイアフラム状円板2は、その傾きに応じて変形する。
【0019】
このため、このダイアフラム状円板2上の2組の荷重センサを構成する各歪ゲージA乃至Dおよびa乃至dがそのX軸方向およびY軸方向の非対称な変形に応じた歪を検出し、これらの歪によって各歪ゲージの抵抗の平衡バランスが崩れることになる。
【0020】
これにより、歪ゲージA,Cの接続点およびD,Bの接続点間と、歪ゲージa,cの接続点およびd,bの接続点間とに出力電圧の変化が生じる。
【0021】
従って、これらの出力電圧の変化をX軸方向およびY軸方向の各荷重センサごとに検出することで、各方向への荷重の大きさをそれぞれ独立に、しかも簡単に計測することができる。
【0022】
なお、X軸方向およびY軸方向に対称な変形による電圧変化は互いに相殺される。
【0023】
これに対して、バー1が内圧を受けるなどして、図6に示すように、Z軸方向の荷重を受けることがあるが、各歪ゲージA乃至Dおよびa乃至dは、同一半径上にあるため、その各歪出力が相殺演算されて、そのZ軸方向の荷重の影響なしに、X軸方向およびY軸方向の荷重を独立して検知できる。
【0024】
そして、各歪ゲージA乃至D,a乃至dは、耐食性のケース4によって閉空間5内に収められているため、周辺の大気,酸性雨,塵埃や腐食性ガス(SO2,NOX)などの化学物質などに直接晒されることがないため、これらを原因とする各歪ゲージA乃至D,a乃至dの汚染,腐食などを生じることがなく、高温や低温の雰囲気においても耐環境性にすぐれた荷重検出を長期に亘って安全かつ確実に実施できることとなる。
【0025】
なお、各歪ゲージA乃至D,a乃至dが配置される位置は、ダイアフラム状円板2上の中心から等しい半径上であればよく、各歪ゲージA乃至D,a乃至dの形状やサイズなどに応じてその半径の大きさは任意に選定すればよい。
【0026】
また、前記においてはX,Yの軸方向の荷重負荷を検出する場合について述べたが、X軸またはY軸の一軸方向の荷重負荷を検出することも任意であるほか、Z軸方向の荷重負荷をX軸方向,Y軸方向の荷重負荷検出と同時にまたは全く独立して検出することができる。
【0027】
この場合には、ダイアフラム状円板2上の異った半径上に、図8に示すようにブリッジ接続される四個の歪ゲージE,F,G,Hを、図7に示すように2個ずつ分けて対向配置すればよい。
【0028】
このブリッジ回路によれば、前記のX軸方向,Y軸方向の荷重負荷の影響を受けずに、このブリッジ回路の平衡バランスの変化を検出することで、バー1に作用する軸方向(Z方向)の荷重検出を行うことができる。
【0029】
このようにして、この発明では、X軸,Y軸,Z軸の各方向の荷重検出を独立して行うことができ、必要に応じこれらの2以上を並行して実施することも任意である。
【0030】
そして、各歪ゲージA乃至D,a乃至dは、フラットな面を持つダイアフラム状円板2の一上面に設けられるため、ICなどの製造で用いられる薄膜技術やフォトリソグラフィ技術を用いて、高品質かつ小形の歪ゲージA乃至D,a乃至dを大量に形成できるという効果が得られる。
【0031】
また、この発明では、図9に示すように、風向・風速を計測可能なように、バー12の他端となる先端に円錐形状の受風体11の底部を連結するとともに、バー12の下端には、上述のように、ダイアフラム状円板13をこの中央部に一体に取り付けたものからなっている。
【0032】
そして、そのバー12を設けた側とは反対側のダイアフラム状円板13の下面に荷重センサ14を設けてあり、この荷重センサ14を包むように閉空間15を形成する耐食性のケース16が、ダイアフラム状円板13の外周部に取り付けられている。
【0033】
また、荷重センサ14は、図2に示したものと同様に、ダイアフラム状円板13上の同一半径上には、X軸方向の荷重検出を行う歪ゲージA乃至Dと、Y軸方向の荷重検出を行う歪ゲージa乃至dとが、互いに直交する向きに配置され、これらがそれぞれブリッジ接続されている。
【0034】
なお、これらの各歪ゲージA乃至D,a乃至dは、半導体素子の薄膜技術によって形成でき、これらを接続するブリッジ回路は、フォトリソグラフィ技術を用いて前記のように形成することは任意であり、また、受風体11は、円錐形状であるからバー12の中心軸に対して対称形状および重量を持つ。
【0035】
また、各歪ゲージA乃至D,a乃至dをブリッジ接続した図3および図4に示したものと同様の荷重センサ14の出力端子(同図の説明では電流計が接続されているとした)には、それぞれアンプ17を介して荷重演算用の演算器18および表示器19が順に接続されている。
【0036】
かかる構成になる荷重検出装置にあっては、受風体11が風を受けることによってバー12が傾動し、このバー12の傾動に伴って、このバー12を支持しているダイアフラム状円板13が撓む。
【0037】
このため、このダイアフラム状円板13の撓みによるこれのX軸方向およびY軸方向の変形成分の歪が歪ゲージA乃至D,a乃至dからなる各荷重センサ14により、ブリッジ回路の平衡バランスの変化にもとづいて検出される。
【0038】
このブリッジ回路による荷重検出の方法は、図1,図5について説明した場合と同様である。
【0039】
この実施の形態では、風向,風速に応じて変形するダイアフラム状円板13の歪みを検出するものであるから、各荷重センサ14の出力にもとづき、演算器18が風向θをtanθ=Y/Xから求め、風力FをF=(X2+Y2)1/2から求めることとなる。
【0040】
そして、この実施の形態においても、各荷重センサ14が閉空間15内にあって大気に晒されることがないため、大気汚染の著しい環境下でも高性能,高耐久性能を維持でき、また、動作,性能の信頼性を長期に亘って維持できる。
【0041】
この場合において、ケース16,バー12,ダイアフラム状円板13に耐食性合金を用いることで、一段と耐食性にすぐれた荷重検出装置をローコストに提供できるとともに、構造上摺動部や回動部がないため、メンテナンスフリーの風向・風速計とすることができる。
【0042】
また、ダイアフラム状円板2,13は、各バー1,12の動きに対して敏感にかつ大きく変形し、これを半導体などの薄膜化した高感度の歪ゲージで検出することで、前記各バー1,12を短くしても所期の荷重検出を高精度に行えるとともに、全体として形状の小形化を実現でき、また、共振周波数を上げて計測応答を高めることも可能となる。
【0043】
図10および図11は、この発明の実施の他の形態を示し、これが図1に示すものと基本的に異なるところは、バー1の下端に、風による荷重検出感度を上げるための球状のターゲット21を設け、閉空間5を形成するケース4Aに取り付けたダイアフラム状円板2の中心に対してこれの同一半径上に一組で4個の流量検出のための歪ゲージA,B,C,Dを、2個ずつが前記中心に対して反対側に位置するように設け、さらに前記中心に対して異った半径上に、前記歪ゲージA,B,C,Dとは直交する向きに、一組で4個の圧力検出のための歪ゲージE,F,G,Hを、2個ずつが前記中心に対して反対側に位置するように設けた点である。
【0044】
そして、前記各歪ゲージA,B,C,DおよびE,F,G,Hは、薄膜半導体にて形成され、これらをブリッジ接続するブリッジ回路はフォトリソグラフィ技術などの薄膜技術を用いて前記ダイアフラム状円板2上に形成されている。
【0045】
従って、かかる実施の形態では流量検出用の歪ゲージA,B,C,Dと圧力検出用の歪ゲージE,F,G,Hとが相互に直交する方向に配置され、かつそれぞれ同一半径上および異った半径上に設けるようにしたことで、流量と圧力の各検出出力の干渉が回避される。
【0046】
また、前記歪ゲージA,B,C,DおよびE,F,G,Hを薄膜半導体にて形成することで、ダイアフラム状円板2の歪検出感度を向上でき、従って、前記バー1の短縮化が図れる。
【0047】
この結果、バー1自体の剛性を向上でき、共振周波数を高めることができ、歪に対する応答感度,応答速度が一段と向上するという効果が得られる。
【0048】
【発明の効果】
以上のように、請求項1および請求項2の発明によれば、荷重負荷されるバーの一端にダイアフラム状円板をこれの中央部にて一体に設け、前記バーを設けた側とは反対側の閉空間によって囲まれた前記ダイアフラム状円板の同一半径上にブリッジ接続された少なくとも一組で四個の歪ゲージを配置するように構成したので、一軸方向または二軸方向の荷重検出を高精度に行えるとともに、荷重検出用の歪センサの耐環境性を確保可能にし、しかも、かかる効果が得られる荷重検出装置を大量生産にてローコストに提供できるという効果が得られる。
【0049】
また、請求項3の発明によれば、荷重負荷されるバーの一端にダイアフラム状円板をこれの中央部にて一体に設け、前記バーを設けた側とは反対側の閉空間によって囲まれた前記ダイアフラム状円板の異った半径上にブリッジ接続された一組で四個の歪ゲージを配置するように構成したので、三軸方向の荷重検出を簡単な構成にしながら他の二軸方向の荷重検出とは独立して高精度に、かつ、耐環境性を維持しながら行うことができるという効果が得られる。
【0050】
また、請求項4の発明によれば、荷重負荷されるバーの一端にダイアフラム状円板をこれの中央部にて一体に設け、バーを設けた側とは反対側の閉空間によって囲まれたダイアフラム状円板の同一半径上にブリッジ接続された少なくとも一組で四個の歪ゲージを配置するとともに、バーを設けた側とは反対側の閉空間によって囲まれた前記ダイアフラム状円板の異った半径上にブリッジ接続された一組で四個の歪ゲージを前記歪ゲージとは直交する方向に配置するように構成したので、流量と圧力の検出データの干渉を回避できるという効果が得られる。
【0051】
また、各請求項の発明によれば、荷重負荷されるバーの他端には受風体を設けるように構成したので、風向,風速を高感度に検出できる風向,風速計を簡単な構成にて安価に提供できるという効果が得られる。
【0052】
そして、バーを短くして剛性を高めるように構成する場合には、共振周波数を高めることができ、これにより歪に対する応答速度を向上できるという効果が得られる。
【0053】
また、請求項5の発明によれば、歪ゲージおよび該歪ゲージを接続するブリッジ回路をダイアフラム状円板上に薄膜形成するように構成したので、歪ゲージを持った小形,軽量の荷重センサを大量かつ安価に製造できるという効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の実施の一形態による荷重検出装置を示す断面図である。
【図2】図1におけるダイアフラム状円板を示す平面図である。
【図3】図2における歪ゲージのブリッジ接続図である。
【図4】図2における歪ゲージのブリッジ接続図である。
【図5】図1におけるダイアフラム状円板の変形状態を示す要部の断面図である。
【図6】図1におけるダイアフラム状円板の他の変形状態を示す要部の断面図である。
【図7】この発明における他のダイアフラム状円板を示す平面図である。
【図8】図7における歪ゲージのブリッジ接続図である。
【図9】この発明の実施の形態による荷重検出装置を示す断面図である。
【図10】この発明の実施の他の形態による荷重検出装置を示す断面図である。
【図11】図10におけるダイアフラム状円板を示す平面図である。
Claims (5)
- 荷重負荷されるバーの一端にダイアフラム状円板をこれの中央部にて一体に設け、バーを設けた側とは反対側の閉空間によって囲まれたダイアフラム状円板の同一半径上にブリッジ接続された少なくとも一組で四個の歪ゲージを配置し、バーの他端に円錐形状の受風体の底部を連結してなることを特徴とする荷重検出装置。
- 荷重負荷されるバーの一端にダイアフラム状円板をこれの中央部にて一体に設け、バーを設けた側とは反対側の閉空間によって囲まれたダイアフラム状円板の同一半径上にブリッジ接続された少なくとも一組で四個の歪ゲージを互いに直交する方向に2組配置し、バーの他端に円錐形状の受風体の底部を連結してなることを特徴とする荷重検出装置。
- 荷重負荷されるバーの一端にダイアフラム状円板をこれの中央部にて一体に設け、バーを設けた側とは反対側の閉空間によって囲まれた前記ダイアフラム状円板の異った半径上にブリッジ接続された一組で四個の歪ゲージを配置、バーの他端に円錐形状の受風体の底部を連結してなることを特徴とする荷重検出装置。
- 荷重負荷されるバーの一端にダイアフラム状円板をこれの中央部にて一体に設け、バーを設けた側とは反対側の閉空間によって囲まれたダイアフラム状円板の同一半径上にブリッジ接続された少なくとも一組で四個の歪ゲージを配置するとともに、バーを設けた側とは反対側の閉空間によって囲まれたダイアフラム状円板の異った半径上にブリッジ接続された一組で四個の歪ゲージを前記歪ゲージとは直交する方向に配置し、バーの他端に円錐形状の受風体の底部を連結してなることを特徴とする荷重検出装置。
- 歪ゲージおよび該歪ゲージを接続するブリッジ回路がダイアフラム状円板上に薄膜形成されていることを特徴とする請求項1,2,3および4のいずれかに記載の荷重検出装置。
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