JP2019061226A - 偏光板及びその製造方法、並びに光学機器 - Google Patents
偏光板及びその製造方法、並びに光学機器 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2019061226A JP2019061226A JP2018147167A JP2018147167A JP2019061226A JP 2019061226 A JP2019061226 A JP 2019061226A JP 2018147167 A JP2018147167 A JP 2018147167A JP 2018147167 A JP2018147167 A JP 2018147167A JP 2019061226 A JP2019061226 A JP 2019061226A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- polarizing plate
- transparent substrate
- layer
- grid
- water repellent
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims abstract description 36
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 26
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 75
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 69
- 239000005871 repellent Substances 0.000 claims abstract description 58
- 230000002940 repellent Effects 0.000 claims abstract description 56
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 64
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 claims description 29
- BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N Silane Chemical compound [SiH4] BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 20
- 230000008878 coupling Effects 0.000 claims description 20
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 claims description 20
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 claims description 20
- 229910000077 silane Inorganic materials 0.000 claims description 20
- 239000006087 Silane Coupling Agent Substances 0.000 claims description 8
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 claims description 7
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 claims description 6
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 6
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 claims description 5
- 239000010453 quartz Substances 0.000 claims description 5
- PXGOKWXKJXAPGV-UHFFFAOYSA-N Fluorine Chemical compound FF PXGOKWXKJXAPGV-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 159
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 15
- 238000000034 method Methods 0.000 description 14
- 239000000463 material Substances 0.000 description 13
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 10
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 10
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 8
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 7
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 7
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 7
- 238000000231 atomic layer deposition Methods 0.000 description 5
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 5
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 5
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 5
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 4
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 4
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 4
- 230000003373 anti-fouling effect Effects 0.000 description 4
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 4
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 4
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 4
- 230000008569 process Effects 0.000 description 4
- 230000009471 action Effects 0.000 description 3
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 3
- 230000008033 biological extinction Effects 0.000 description 3
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 3
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 3
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000001493 electron microscopy Methods 0.000 description 3
- 229910052732 germanium Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000010330 laser marking Methods 0.000 description 3
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 3
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 3
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 3
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 2
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000006482 condensation reaction Methods 0.000 description 2
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 2
- 238000007598 dipping method Methods 0.000 description 2
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 125000005372 silanol group Chemical group 0.000 description 2
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052714 tellurium Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 2
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 2
- QTRSWYWKHYAKEO-UHFFFAOYSA-N 1,1,2,2,3,3,4,4,5,5,6,6,7,7,8,8,9,9,10,10,10-henicosafluorodecyl-tris(1,1,2,2,2-pentafluoroethoxy)silane Chemical compound FC(F)(F)C(F)(F)O[Si](OC(F)(F)C(F)(F)F)(OC(F)(F)C(F)(F)F)C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)F QTRSWYWKHYAKEO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FRWYFWZENXDZMU-UHFFFAOYSA-N 2-iodoquinoline Chemical compound C1=CC=CC2=NC(I)=CC=C21 FRWYFWZENXDZMU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- -1 Al 2 O 3 Chemical class 0.000 description 1
- 229910000838 Al alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052582 BN Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910016066 BaSi Inorganic materials 0.000 description 1
- PZNSFCLAULLKQX-UHFFFAOYSA-N Boron nitride Chemical compound N#B PZNSFCLAULLKQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910019001 CoSi Inorganic materials 0.000 description 1
- 206010010144 Completed suicide Diseases 0.000 description 1
- 229910019974 CrSi Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910017639 MgSi Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910005881 NiSi 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000002238 attenuated effect Effects 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- LTPBRCUWZOMYOC-UHFFFAOYSA-N beryllium oxide Inorganic materials O=[Be] LTPBRCUWZOMYOC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000416 bismuth oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052810 boron oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004040 coloring Methods 0.000 description 1
- 238000009833 condensation Methods 0.000 description 1
- 230000005494 condensation Effects 0.000 description 1
- 229910001610 cryolite Inorganic materials 0.000 description 1
- TYIXMATWDRGMPF-UHFFFAOYSA-N dibismuth;oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[Bi+3].[Bi+3] TYIXMATWDRGMPF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JKWMSGQKBLHBQQ-UHFFFAOYSA-N diboron trioxide Chemical compound O=BOB=O JKWMSGQKBLHBQQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 1
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 1
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 1
- GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N germanium atom Chemical compound [Ge] GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000020169 heat generation Effects 0.000 description 1
- 230000008595 infiltration Effects 0.000 description 1
- 238000001764 infiltration Methods 0.000 description 1
- 239000003112 inhibitor Substances 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- 230000031700 light absorption Effects 0.000 description 1
- ORUIBWPALBXDOA-UHFFFAOYSA-L magnesium fluoride Chemical compound [F-].[F-].[Mg+2] ORUIBWPALBXDOA-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 229910001635 magnesium fluoride Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000003921 oil Substances 0.000 description 1
- 239000005304 optical glass Substances 0.000 description 1
- BPUBBGLMJRNUCC-UHFFFAOYSA-N oxygen(2-);tantalum(5+) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ta+5].[Ta+5] BPUBBGLMJRNUCC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 238000002310 reflectometry Methods 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 239000005368 silicate glass Substances 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 1
- 239000005361 soda-lime glass Substances 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 229910001936 tantalum oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052718 tin Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004408 titanium dioxide Substances 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N zinc oxide Inorganic materials [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910006585 β-FeSi Inorganic materials 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Polarising Elements (AREA)
- Laminated Bodies (AREA)
- Surface Treatment Of Glass (AREA)
Abstract
Description
本発明の一実施形態に係る偏光板1は、ワイヤグリッド構造を有する無機偏光板である。本実施形態に係る偏光板1は、透明基板2と、偏光板1の一方の面側における透明基板2上に使用帯域の光の波長よりも短いピッチ(周期)で配列され所定方向に延在する格子状凸部3と、を備える。また、偏光板1の一方の面には、格子状凸部3の表面を覆う撥水層4が形成されている一方で、偏光板1の側面には撥水層が形成されていないことを特徴としている。
図1及び図2に示すように格子状凸部3の延在する方向(所定方向)を、Y軸方向と称する。また、Y軸方向に直交し、透明基板2の主面に沿って格子状凸部3が配列する方向を、X軸方向と称する。この場合、偏光板1に入射する光は、透明基板2の格子状凸部3が形成されている側において、好適にはX軸方向及びY軸方向に直交する方向から入射する。
反射層の構成材料としては、使用帯域の光に対して反射性を有する材料であれば特に制限されず、例えば、Al、Ag、Cu、Mo、Cr、Ti、Ni、W、Fe、Si、Ge、Te等の元素単体又はこれらの1種以上の元素を含む合金が挙げられる。中でも、反射層は、アルミニウム又はアルミニウム合金で構成されることが好ましい。なお、これらの金属材料以外にも、例えば着色等により表面の反射率が高く形成された金属以外の無機膜や樹脂膜で反射層を構成してもよい。
(第1の製造方法)
上述の偏光板1の第1の製造方法は、格子状凸部形成工程と、撥水層形成工程と、切断工程と、を有する。以下、各工程について、図3A〜図3Cを参照して詳しく説明する。
ここで、図3A〜図3Cは、本実施形態に係る偏光板1の製造方法を説明するための図である。
以上により、図3Cに示すような所望のサイズからなり、側面において透明基板が露出した偏光板1が製造される。
上述の偏光板1の第2の製造方法は、格子状凸部形成工程と、撥水層形成工程と、除去工程と、を有する。以下、各工程について詳しく説明する。
以上により、側面において透明基板が露出した偏光板1が製造される。
本実施形態に係る光学機器は、上述の偏光板1を備える。光学機器としては、液晶プロジェクタ、ヘッドアップディスプレイ、デジタルカメラ等が挙げられる。本実施形態に係る偏光板1は、有機偏光板に比べて耐熱性に優れる無機偏光板であるため、耐熱性が要求される液晶プロジェクタ、ヘッドアップディスプレイ等の用途に好適である。
2 透明基板
3 格子状凸部
4 撥水層
Claims (10)
- ワイヤグリッド構造を有する偏光板であって、
透明基板と、
前記偏光板の一方の面側における前記透明基板上に使用帯域の光の波長よりも短いピッチで配列され、所定方向に延在する格子状凸部と、を備え、
前記偏光板の一方の面には、前記格子状凸部の表面を覆う撥水層が形成され、
前記偏光板の側面には、撥水層が形成されていない偏光板。 - 前記偏光板の側面において、前記透明基板が露出している請求項1に記載の偏光板。
- 前記偏光板の側面には、識別用のマーキングが施されている請求項1又は2に記載の偏光板。
- 前記偏光板の他方の面には、撥水層が形成されている請求項1から3いずれかに記載の偏光板。
- 前記撥水層は、前記透明基板側から順に、シリカからなるシリカ層と、シランカップリング剤からなるシランカップリング層と、を有する請求項1から4いずれかに記載の偏光板。
- 前記シランカップリング層は、フッ素を含む請求項5に記載の偏光板。
- 前記透明基板は、前記使用帯域の光の波長に対して透明であり、且つ、ガラス、水晶又はサファイアで構成される請求項1から6いずれかに記載の偏光板。
- 前記透明基板の他方の面上に配置され、サファイアからなる熱伝導板をさらに備える請求項1から7いずれかに記載の偏光板。
- ワイヤグリッド構造を有する偏光板の製造方法であって、
前記偏光板の使用サイズよりも大きい透明基板の一方の面側において、使用帯域の光の波長よりも短いピッチで所定方向に延在する格子状凸部を形成する格子状凸部形成工程と、
前記透明基板の一方の面側において前記透明基板の表面及び前記格子状凸部の表面を覆う撥水層を形成する撥水層形成工程と、
前記撥水層が形成された透明基板を前記使用サイズに切断する切断工程と、を有する偏光板の製造方法。 - 請求項1から8いずれかに記載の偏光板を備える光学機器。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018147167A JP7046759B2 (ja) | 2018-08-03 | 2018-08-03 | 光学機器及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018147167A JP7046759B2 (ja) | 2018-08-03 | 2018-08-03 | 光学機器及びその製造方法 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017186493A Division JP2019061125A (ja) | 2017-09-27 | 2017-09-27 | 偏光板及びその製造方法、並びに光学機器 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019061226A true JP2019061226A (ja) | 2019-04-18 |
JP2019061226A5 JP2019061226A5 (ja) | 2020-11-12 |
JP7046759B2 JP7046759B2 (ja) | 2022-04-04 |
Family
ID=66177382
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018147167A Active JP7046759B2 (ja) | 2018-08-03 | 2018-08-03 | 光学機器及びその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7046759B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2021230275A1 (ja) * | 2020-05-12 | 2021-11-18 | デクセリアルズ株式会社 | 偏光板及びその製造方法、ならびに光学機器 |
Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006330476A (ja) * | 2005-05-27 | 2006-12-07 | Sony Corp | 投射型表示装置の光学ユニット |
JP2008077056A (ja) * | 2006-08-24 | 2008-04-03 | Seiko Epson Corp | 光学装置を備えるプロジェクタ |
JP2008216956A (ja) * | 2006-07-07 | 2008-09-18 | Sony Corp | 偏光素子及び液晶プロジェクター |
JP2012108468A (ja) * | 2010-10-25 | 2012-06-07 | Asahi Kasei E-Materials Corp | ワイヤグリッド偏光板 |
JP2014063135A (ja) * | 2012-08-31 | 2014-04-10 | Panasonic Corp | 液晶表示装置 |
JP2014085516A (ja) * | 2012-10-24 | 2014-05-12 | Asahi Kasei E-Materials Corp | ワイヤグリッド偏光板及びその製造方法 |
JP2014109753A (ja) * | 2012-12-04 | 2014-06-12 | Seiko Epson Corp | プロジェクター |
JP2015034959A (ja) * | 2013-07-10 | 2015-02-19 | デクセリアルズ株式会社 | 偏光板、及び偏光板の製造方法 |
JP2015180975A (ja) * | 2015-07-17 | 2015-10-15 | デクセリアルズ株式会社 | 偏光板の製造方法 |
JP2016126291A (ja) * | 2015-01-08 | 2016-07-11 | デクセリアルズ株式会社 | 無機偏光板 |
-
2018
- 2018-08-03 JP JP2018147167A patent/JP7046759B2/ja active Active
Patent Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006330476A (ja) * | 2005-05-27 | 2006-12-07 | Sony Corp | 投射型表示装置の光学ユニット |
JP2008216956A (ja) * | 2006-07-07 | 2008-09-18 | Sony Corp | 偏光素子及び液晶プロジェクター |
JP2008077056A (ja) * | 2006-08-24 | 2008-04-03 | Seiko Epson Corp | 光学装置を備えるプロジェクタ |
JP2012108468A (ja) * | 2010-10-25 | 2012-06-07 | Asahi Kasei E-Materials Corp | ワイヤグリッド偏光板 |
JP2014063135A (ja) * | 2012-08-31 | 2014-04-10 | Panasonic Corp | 液晶表示装置 |
JP2014085516A (ja) * | 2012-10-24 | 2014-05-12 | Asahi Kasei E-Materials Corp | ワイヤグリッド偏光板及びその製造方法 |
JP2014109753A (ja) * | 2012-12-04 | 2014-06-12 | Seiko Epson Corp | プロジェクター |
JP2015034959A (ja) * | 2013-07-10 | 2015-02-19 | デクセリアルズ株式会社 | 偏光板、及び偏光板の製造方法 |
JP2016126291A (ja) * | 2015-01-08 | 2016-07-11 | デクセリアルズ株式会社 | 無機偏光板 |
JP2015180975A (ja) * | 2015-07-17 | 2015-10-15 | デクセリアルズ株式会社 | 偏光板の製造方法 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2021230275A1 (ja) * | 2020-05-12 | 2021-11-18 | デクセリアルズ株式会社 | 偏光板及びその製造方法、ならびに光学機器 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP7046759B2 (ja) | 2022-04-04 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US10436964B2 (en) | Inorganic polarizing plate, method of manufacturing the same, and optical instrument | |
JP2008216957A (ja) | 偏光素子及び液晶プロジェクター | |
JP6577641B2 (ja) | 偏光板及びその製造方法、並びに光学機器 | |
JP6722832B2 (ja) | 偏光板及びこれを備える光学機器 | |
WO2019159982A1 (ja) | 偏光板及びその製造方法、並びに光学機器 | |
CN109581568B (zh) | 偏振光板及具备该偏振光板的光学设备 | |
JP2019061226A (ja) | 偏光板及びその製造方法、並びに光学機器 | |
JP7142057B2 (ja) | 偏光板、光学機器及び偏光板の製造方法 | |
US10928574B2 (en) | Polarizing plate, production method thereof and optical apparatus | |
CN110998383B (zh) | 偏振片和光学设备 | |
JP6484373B1 (ja) | 偏光板及びこれを備える光学機器 | |
JP6703050B2 (ja) | 偏光板、光学機器及び偏光板の製造方法 | |
WO2020017455A1 (ja) | 偏光板 | |
JP6423124B1 (ja) | 偏光板及びその製造方法、並びに光学機器 | |
JP2019061125A (ja) | 偏光板及びその製造方法、並びに光学機器 | |
US11782200B2 (en) | Polarizing plate having specified water contact angle of antireflection layer surface | |
CN109975910B (zh) | 偏振光板及其制造方法以及光学设备 | |
JP6826073B2 (ja) | 偏光板及びその製造方法、並びに光学機器 | |
JP7263037B2 (ja) | 偏光板の製造方法 | |
US11867938B2 (en) | Polarizing plate having outermost layer of anti-reflection layer recessed towards substrate | |
JP7075372B2 (ja) | 偏光板及びその製造方法、並びに光学機器 | |
JP7204611B2 (ja) | 偏光板およびその製造方法 | |
JP7333168B2 (ja) | 偏光素子、偏光素子の製造方法及び光学機器 | |
US20190257982A1 (en) | Fine structure, method for manufacturing the same, and optical instrument | |
CN111198413A (zh) | 偏振光片及具备该偏振光片的光学设备 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20200923 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20200923 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20211005 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20211130 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20220315 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20220323 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7046759 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |