JP2019060834A5 - - Google Patents

Claims (6)

1. 作用する力を受けるための受力体と、
   ＸＹＺ三次元座標系におけるＺ軸方向において前記受力体の一側に配置された支持体と、
   前記受力体と前記支持体との間に配置された傾動部と、
   前記受力体と前記傾動部とを接続し、前記受力体に作用した力により弾性変形を生じる第１変形部と、
   前記支持体と前記傾動部とを接続し、前記受力体に作用した力により弾性変形を生じる第２変形部と、
   前記傾動部に接続され、前記第１変形部および前記第２変形部に生じる弾性変形により変位を生じる変位体と、
   前記変位体に生じる変位に基づいて、作用した力を検出する検出回路と、を備え、
   前記第１変形部と前記傾動部との接続部位と、前記第２変形部と前記傾動部との接続部位とは、前記Ｚ軸方向において位置が異なっており、
   前記変位体は、前記傾動部に接続されているが前記支持体から離間する、当該傾動部の傾動によって変位する変位部を有しており、
   前記検出回路は、前記変位部に配置された容量素子を有しており、当該容量素子の静電容量値の変動量に基づいて、作用した力を検出するようになっている
   ことを特徴とする力覚センサ。
2. 前記支持体は、前記変位体に対向配置され、
   前記容量素子は、前記変位体の前記変位部に配置された変位電極と、この変位電極に対向して前記支持体上に配置された固定電極と、を有している
   ことを特徴とする請求項１に記載の力覚センサ。
3. 前記変位体は、前記Ｚ軸方向と交差する方向に延在する梁を有している
   ことを特徴とする請求項１または２に記載の力覚センサ。
4. 前記変位体の前記変位部は、前記梁に互いに異なる位置に規定された第１変位部及び第２変位部を有しており、
   前記検出回路は、前記第１変位部に配置された第１容量素子と、前記第２変位部に配置された第２容量素子と、を有し、各容量素子の静電容量値の変動量に基づいて、作用した力を検出するようになっている
   ことを特徴とする請求項３に記載の力覚センサ。
5. 前記変位体は、前記傾動部と前記梁とを接続する接続体を有しており、
   前記変位体の前記第１変位部及び前記第２変位部は、前記梁に前記接続体と前記梁との接続部位に関して対称的に配置されている
   ことを特徴とする請求項４に記載の力覚センサ。
6. 前記第１変形部は、前記傾動部の前記Ｚ軸方向における負側の端部に接続されており、
   前記第２変形部は、前記傾動部の前記Ｚ軸方向における正側の端部に接続されている
   ことを特徴とする請求項１乃至５のいずれか一項に記載の力覚センサ。