JP2019059879A - 粘着フィルム - Google Patents

Abstract

【課題】ワークに貼り付けられて該ワークを主波長０．９μｍ〜１．１μｍの短波長レーザにより効率よく加工することを可能とし、かつ加工後のワークの外観品質を損ないにくい粘着フィルムを提供する。【解決手段】基材としての樹脂フィルムと、該基材の少なくとも一方の面に設けられた粘着剤層とを備えた粘着フィルムが提供される。上記粘着フィルムは、比熱９００Ｊ／ｋｇ・Ｋ未満かつ熱伝導率２００Ｗ／ｍ・Ｋ未満の金属を構成元素として有するレーザ光吸収剤を含有する。上記粘着フィルムは、波長９００ｎｍ〜１１００ｎｍの範囲におけるレーザ光吸収率が２０％以上である。【選択図】図１

Description

本発明は、粘着フィルムに関する。

レーザ光による加工技術は、各種材料の切断や孔あけ等に広く用いられている。加工に使用するレーザの代表例として、炭酸ガスレーザが挙げられる。かかるレーザ加工の一態様として、補助材料としての粘着シートをワークに貼り付けておき、これにレーザ光を照射して上記粘着フィルムごとワークをレーザ加工する態様が例示される。例えば、特許文献１には、銅張板の銅箔面に補助シートの粘着面を圧着し、該補助シートの上から炭酸ガスレーザを照射して上記銅張板に孔をあけることにより孔信頼性や作業性等を向上させる技術が記載されている。

近年、短波長のレーザ光を用いた加工技術に対する関心が高まっている。例えば、炭酸ガスレーザ（主波長９．３μｍ〜１０．６μｍ程度）に代えて、主波長０．９μｍ〜１．１μｍ程度の短波長レーザを用いてレーザ加工を行いたいとの要請がある。短波長のレーザ光を用いることにより、加工に必要なエネルギーを効率よくワークに加えることができる。このことは加工のスピードアップや微細加工性の観点から有利となり得る。

特開２００４−２３５１９４号公報 特開２０１３−１８９６３号公報 特開２０１３−１８９６４号公報

しかし、これまで炭酸ガスレーザによるワークの加工に利用されてきた粘着フィルムを、主波長が炭酸ガスレーザの約１／１０という短波長レーザによるワークの加工にそのまま転用すると、加工の効率や精度が不足する場合があった。

特許文献２，３には、主波長１０００ｎｍ〜１１００ｎｍ程度の短波長レーザで切断される用途に適した粘着フィルムが開示されている。しかし、これらの粘着フィルムは、ワークに貼り付けられた粘着フィルムに短波長レーザを照射して該粘着フィルムごとワークをレーザ加工する態様での使用においては、なお改善の余地があった。例えば、特許文献２の粘着フィルムは、該粘着フィルム自体は短波長レーザにより良好に切断し得るものの、上記粘着フィルムが貼り付けられたワークの加工速度を高めることが困難であった。また、特許文献３の粘着フィルムでは、上記粘着フィルムに由来する黒い汚れが加工後のワークに残り、外観品質を損なうことがあった。

かかる事情に鑑みて、本発明は、ワークに貼り付けられて該ワークを主波長９００ｎｍ〜１１００ｎｍの短波長レーザにより効率よく加工することを可能とし、かつ加工後のワークの外観品質を損ないにくい粘着フィルムを提供することを目的とする。

この明細書によると、基材としての樹脂フィルムと、該基材の少なくとも一方の面に設けられた粘着剤層と、を備えた粘着フィルムが提供される、上記粘着フィルムは、比熱９００Ｊ／ｋｇ・Ｋ未満かつ熱伝導率２００Ｗ／ｍ・Ｋ未満の金属を構成元素として有するレーザ光吸収剤を含有する。上記粘着フィルムは、波長９００ｎｍ〜１１００ｎｍの範囲におけるレーザ光吸収率が２０％以上である。なお、アルミニウム（Ａｌ）の比熱は９１７Ｊ／ｋｇ・Ｋであり、熱伝導率は２３８Ｗ／ｍ・Ｋである。

このように構成された粘着フィルムは、波長９００ｎｍ〜１１００ｎｍの範囲におけるレーザ光吸収率が２０％以上であることにより、主波長が９００ｎｍ〜１１００ｎｍの範囲にあるレーザ光（以下、「特定レーザ光」ともいう。）を効率よく吸収し、その吸収した特定レーザ光のエネルギーを利用して上記粘着フィルムを好適に切断することができる。この切断は、典型的には、上記特定レーザ光が照射された箇所の粘着フィルムを分解して消失させたり、溶融させたりすることで、上記粘着フィルムを切断することであり得る。そして、比熱９００Ｊ／ｋｇ・Ｋ未満かつ熱伝導率２００Ｗ／ｍ・Ｋ未満の金属を構成元素として有するレーザ光吸収剤（以下、「特定吸収剤」ともいう。）を含むことにより、例えば該特定吸収剤に代えてＡｌ粉を用いる場合に比べて、吸収した特定レーザ光のエネルギーをワーク（加工対象物）に対してより効果的に作用させることができる。上記粘着フィルムは、上記特定吸収剤を含むことにより、加工後のワークに黒い汚れを残しやすいレーザ光吸収剤を使用しないか、またはその使用量を低減しても、ワークを効率よく加工し得る。以下、加工後のワークに黒い汚れが残る現象を「汚染」ということがあり、このような汚染を生じないか該汚染の程度が軽いことを「非汚染性」ということがある。ここに開示される粘着フィルムは、特定レーザ光によるワークの加工効率がよく、かつ該ワークの汚染が防止または軽減されたものとなり得る。

上記特定吸収剤としては、黒色系金属化合物を好ましく利用し得る。粘着フィルムに黒色系金属化合物を含有させることにより、特定レーザ光の吸収率を効果的に高めることができる。したがって、汚染を生じやすいレーザ光吸収剤を使用しないかまたはその使用量を低減してもワークを効率よく加工することが可能となり、特定レーザ光による加工速度の向上とワークの汚染防止とを好適に両立させることができる。特に限定するものではないが、上記黒色系金属化合物は、例えば、粘着フィルムの０．０５重量％以上１０重量％以下程度の含有量で用いられ得る。

いくつかの好ましい態様に係る粘着フィルムは、カーボンブラック（ＣＢ）の含有量が０．０５重量％未満である。ここで、ＣＢの含有量が０．０５重量％未満であるとは、ＣＢを含有しない場合、すなわちＣＢの含有量が０重量％である場合を包含する意味である。ここに開示される技術によると、このようにＣＢの含有量を制限しても、特定レーザ光による加工速度を担保することができる。したがって、加工効率の向上と汚染防止とを同時に実現することができる。

前記特定吸収剤としては、例えば、鉄系酸化物、チタンブラックおよびマンガン系酸化物からなる群から選択される少なくとも一種を好ましく利用することができる。材料の安定入手性の観点から、なかでも好ましい特定吸収剤として、鉄系酸化物が例示される。

いくつかの好ましい態様に係る粘着フィルムは、該粘着フィルムを構成する基材が上記特定吸収剤を含有する。上記基材は、特定レーザ光の吸収率が２０％以上であることが好ましい。ここに開示される粘着フィルムは、このような基材を備える構成において好適に実施することができる。

いくつかの態様において、上記基材は、ポリオレフィン樹脂フィルムまたはポリエステル樹脂フィルムである。このような基材を備えた粘着フィルムは、上記特定レーザ光で切断した際に、切断幅を制御しやすく、かつ形状精度のよい切断端面を形成しやすいので好ましい。このように粘着フィルムの切断を精度よく行い得ることは、加工後のワークの外観向上の観点からも好ましい。

いくつかの態様において、上記基材は単層構造であり得る。単層構造の基材は、該基材の生産性や品質安定性の面で有利となり得る。

ここに開示される粘着フィルムは、上述のように、特定レーザ光の吸収性がよく、かつ黒い残渣を生じにくい構成、すなわち非汚染性に優れた構成とすることができる。したがって、この明細書により、ここに開示されるいずれかの粘着フィルムからなり、特定レーザ光で切断して用いられるレーザ切断用粘着フィルムが提供される。

一実施形態に係る粘着フィルムを模式的に示す断面図である。 他の一実施形態に係る粘着フィルムを模式的に示す断面図である。 さらに他の一実施形態に係る粘着フィルムを模式的に示す断面図である。

以下、本発明の好適な実施形態を説明する。なお、本明細書において特に言及している事項以外の事柄であって本発明の実施に必要な事柄は、本明細書に記載された発明の実施についての教示と出願時の技術常識とに基づいて当業者に理解され得る。本発明は、本明細書に開示されている内容と当該分野における技術常識とに基づいて実施することができる。また、以下の図面において、同じ作用を奏する部材・部位には同じ符号を付して説明することがあり、重複する説明は省略または簡略化することがある。また、図面に記載の実施形態は、本発明を明瞭に説明するために模式化されており、実際に提供される製品のサイズや縮尺を必ずしも正確に表したものではない。

この明細書において「レーザ光吸収率」とは、分光光度計（例えば、株式会社日立ハイテクノロジーズ製の分光光度計、型式「Ｕ−４１００」またはその相当品）を用いて測定されるサンプルの透過率Ｔ（％）および反射率Ｒ（％）から、以下の式（Ｉ）により算出される値をいうものとする。
吸収率Ａ（％）＝１００（％）−Ｔ（％）−Ｒ（％） （Ｉ）

この明細書において「波長９００ｎｍ〜１１００ｎｍの範囲におけるレーザ光吸収率」とは、当該波長範囲における最小のレーザ光吸収率を指すものとする。以下の説明において「レーザ光吸収率」とは、特記しない場合、上記のように波長９００ｎｍ〜１１００ｎｍの範囲における最小のレーザ光吸収率をいう。また、本明細書においてレーザ光吸収率とは、特記しない場合、粘着フィルムまたは基材の背面（特定レーザ光が照射される側の面、すなわちワークに貼り付けられる面とは反対側の面）のレーザ光吸収率をいう。

この明細書において「レーザ光吸収剤」とは、当該レーザ光吸収剤を用いない場合に比べて上記レーザ光吸収率を上昇させる作用を発揮し得る材料をいう。また、この明細書において「特定吸収剤」とは、上記レーザ光吸収剤のうち、比熱９００Ｊ／ｋｇ・Ｋ未満かつ熱伝導率２００Ｗ／ｍ・Ｋ未満の金属を構成元素として有するものをいう。この明細書において、レーザ光吸収剤（特定吸収剤であり得る。）を含む層を「レーザ光吸収層」ということがある。

ここに開示される粘着フィルムは、基材としての樹脂フィルムの少なくとも一方の面に粘着剤層を有する。上記基材の一方の面にのみ粘着剤層を有する片面粘着フィルム（片面接着性の粘着フィルム）の形態であってもよく、上記基材の一方の面および他方の面にそれぞれ粘着剤層を有する両面粘着フィルム（両面接着性の粘着フィルム）の形態であってもよい。以下、片面粘着フィルムに適用する場合を主な例として本発明をより具体的に説明するが、ここに開示される技術の適用対象を限定する意図ではない。

一実施形態に係る粘着フィルムの構成を図１に模式的に示す。この粘着フィルム１は、基材としての樹脂フィルム１０と、その一方の面１０Ａに設けられた粘着剤層２０とを備え、該粘着剤層２０を被着体に貼り付けて使用される。好ましい一態様では、樹脂フィルム１０の他方の面（背面）１０Ｂが剥離性を有する表面（剥離面）となっている。使用前（すなわち、被着体への貼付前）の粘着フィルム１は、粘着剤層２０の表面（粘着面）２０Ａが樹脂フィルム１０の背面１０Ｂに当接するようにロール状に巻回され、これにより表面２０Ａが保護された形態であり得る。あるいは、図２に示す粘着フィルム１のように、粘着剤層２０の表面２０Ａが、少なくとも粘着剤層２０側が剥離面となっている剥離ライナー３０により保護された形態であってもよい。

この実施形態の粘着フィルム１は、樹脂フィルム１０の全体または一部として、レーザ光吸収剤を含有するレーザ光吸収層４２を有する。レーザ光吸収層４２は、典型的には、レーザ光吸収剤として特定吸収剤４０２を含有する樹脂組成物からなる層である。図１、２に示す例では、樹脂フィルム１０がレーザ光吸収層４２からなる単層構造であるが、樹脂フィルム１０の構造は単層構造に限定されない。例えば図３に示す粘着フィルム２のように、樹脂フィルム１０が複数の層（ここでは、粘着剤層２０側に配置された第一層４２およびその背面側に配置された第二層４４）を含む積層体であって、それらのうち少なくとも一つがレーザ光吸収層４２であってもよい。図３に示す例では、第一層４２は特定吸収剤４０２を含む樹脂組成物からなる層（レーザ光吸収層）であり、第二層４４はレーザ光吸収剤を含まない樹脂組成物からなる層である。

＜粘着フィルム＞
ここに開示される粘着フィルムは、波長９００ｎｍ〜１１００ｎｍの範囲におけるレーザ光吸収率が２０％以上であることによって特徴づけられる。このレーザ光吸収率は、粘着フィルムに照射された特定レーザ光のうち、実際に粘着フィルムに吸収されるレーザ光の割合を意味する。レーザ光吸収率が２０％以上である粘着フィルムによると、特定レーザ光を効率よく吸収することができる。

いくつかの態様において、粘着フィルムのレーザ光吸収率は、例えば２０％超であってよく、２５％以上でもよく、３０％以上でもよく、４５％以上でもよく、６０％以上でもよく、７５％以上でもよい。粘着フィルムのレーザ光吸収率は、１００％であってもよいが、実用的には９５％以下が好ましく、９０％以下でもよい。

粘着フィルムの透過率は特に限定されない。レーザ光吸収率を高めやすくする観点から、いくつかの態様において、粘着フィルムは、波長９００ｎｍ〜１１００ｎｍの範囲でレーザ光吸収率が最小となる波長における特定レーザ光の透過率が、例えば７０％未満であってよく、５０％未満でもよく、４０％未満でもよく、３５％未満でもよい。粘着フィルムの透過率の下限は特に制限されない。粘着フィルム越しにワークを観察しやすくする観点から、いくつかの態様において、粘着フィルムの透過率は、例えば１％以上であってよく、５％以上でもよく、８％以上でもよく、１０％以上でもよく、２０％以上でもよい。粘着フィルム越しにワークを観察し得ることは、加工対象箇所の確認や粘着フィルムの貼付け状態の確認に役立ち得る。

粘着フィルムの反射率は特に限定されない。レーザ光吸収率を高めやすくする観点から、いくつかの態様において、粘着フィルムは、波長９００ｎｍ〜１１００ｎｍの範囲でレーザ光吸収率が最小となる波長における特定レーザ光の反射率が、例えば５０％未満であってよく、４０％未満でもよく、２０％未満でもよく、１０％未満でもよい。粘着シートの反射率の下限は特に制限されず、０でもよい。実用上の観点から、通常、粘着シートの反射率は、１％以上が適当であり、３％以上でもよい。

レーザ光吸収剤としては、波長９００ｎｍ〜１１００ｎｍの範囲におけるレーザ光吸収率を上昇させる作用を発揮し得る各種の材料を用いることができる。粘着フィルムに含まれるレーザ光吸収剤の種類は、一種類でもよく、二種類以上でもよい。二種類以上のレーザ光吸収剤を含む粘着フィルムにおいて、それらのレーザ光吸収剤は、ブレンドして用いられてもよく、粘着フィルム内の異なる層にそれぞれ含有されていてもよい。

粉末状のレーザ光吸収剤を用いる場合、該粉末を構成する粒子の形状は特に限定されず、例えば薄片状、球状、針状、多面体状、不規則形状等であり得る。通常は、薄片状、球状または針状のレーザ光吸収剤を好ましく採用し得る。レーザ光吸収剤の平均粒径は特に限定されず、例えば０．００５μｍ以上２０μｍ以下であり得る。分散性の観点から、通常は、平均粒径が１０μｍ以下または５μｍ以下のレーザ光吸収剤を好ましく使用し得る。少量のレーザ光吸収剤によってレーザ光吸収率を効率よく高めやすくする観点から、いくつかの態様において、レーザ光吸収剤の平均粒径は、例えば３μｍ以下であってよく、１μｍ以下でもよく、０．６μｍ以下でもよく、０．４μｍ以下でもよく、０．３μｍ以下でもよい。また、粉末の取扱い性や均一分散の容易性の観点から、いくつかの態様において、レーザ光吸収剤の平均粒径は、例えば０．００８μｍ以上であってよく、０．０１μｍ以上でもよく、０．０５μｍ以上でもよく、０．１μｍ以上でもよく、０．１５μｍ以上でもよく、０．２μｍ以上でもよい。なお、本明細書中において「平均粒径」とは、特記しない場合、レーザ散乱・回折法に基づく粒度分布測定装置に基づいて測定した粒度分布における積算値５０％での粒径（５０％体積平均粒子径）を指す。

ここに開示される粘着フィルムは、上記レーザ光吸収剤として、特定吸収剤、すなわち比熱９００Ｊ／ｋｇ・Ｋ未満かつ熱伝導率２００Ｗ／ｍ・Ｋ未満の金属を構成元素として有するレーザ光吸収剤を含有する。特定吸収剤は、上記比熱および上記熱伝導率を満たすいずれか一種の金属の単体；上記比熱および上記熱伝導率を満たすいずれか一種の金属を、５０重量％超、７０重量％超または９０重量％超の割合で含む合金；上記比熱および熱伝導率を満たす二種以上の金属を、合計で５０重量％超、７０重量％超または９０重量％超の割合で含む合金；このような金属単体または合金に相当する金属を構成元素として含む金属化合物；等からなる群から選択され得る。ここでいう特定吸収剤には、例えば、鉄、鉄合金（例えば、Ｃｒ，Ｎｉ，Ｓｉ，Ｗ，ＭｎおよびＣからなる群から選択される少なくとも一種の元素を含む鉄合金）、および、上記鉄または鉄合金に対応する金属（鉄系金属）を構成元素として含む金属化合物（鉄系化合物）が含まれる。上記鉄系化合物としては、例えば、上記鉄系金属の酸化物（鉄系酸化物）を好ましく使用し得る。特定吸収剤の他の例としては、ＭｎまたはＭｎ合金に対応する金属（Ｍｎ系金属）を構成元素として含むＭｎ系化合物が挙げられ、なかでもＭｎ系酸化物が好ましい。特定吸収剤は、一種を単独でまたは二種以上を組み合わせて用いることができる。二種類以上の特定吸収剤を含む粘着フィルムにおいて、それらの特定吸収剤は、ブレンドして用いられてもよく、粘着フィルム内の異なる層にそれぞれ含有されていてもよい。

特定吸収剤は、上記比熱および上記熱伝導率の一方または両方を満たさない金属を構成元素とするレーザ光吸収剤（例えばＡｌ粉）に比べて、吸収した特定レーザ光のエネルギーをワークに対してより効果的に作用させ得る。その理由は、例えば以下のように推測することができる。ただし本発明の範囲を限定するものではない。すなわち、レーザ光吸収剤（以下、単に「吸収剤」ともいう。）の比熱がより低くなると、該吸収剤の温度を１℃上昇させるために必要な熱量はより少なくなる。このため、吸収した特定レーザ光のエネルギーを熱に変換してワークを加工に必要な温度まで昇温させるにあたり、該吸収剤自体の昇温に伴うエネルギーロスを抑えることができる。したがって、比熱の小さいレーザ光吸収剤によると、吸収した特定レーザ光のエネルギーを、ワークの加熱のためにより効率よく利用することができる。また、本発明者らは、Ａｌ粉を吸収剤に用いた粘着フィルムをワークに貼り付けて該ワークを特定レーザ光で切断した後に、該切断箇所の周辺の粘着フィルムにも熱によるダメージがみられることに着目した。これは、吸収された特定レーザ光のエネルギーの一部が、ワークに向かわず粘着フィルムの面方向（広がり方向）に拡散して無駄になっていることを示唆している。より熱伝導率の低い吸収剤によると、粘着フィルムの面方向への熱の拡散が抑制され、吸収した特定レーザ光のエネルギーをワークの加工箇所へと効率よく伝えることができる。これらの事情により、比熱９００Ｊ／ｋｇ・Ｋ未満かつ熱伝導率２００Ｗ／ｍ・Ｋ未満の金属を構成元素として有するレーザ光吸収剤によると、特定レーザ光によってワークを効率よく加工し得るものと考えられる。

ここに開示される技術において、金属の比熱および熱伝導率の値としては、日本金属学会編「金属データブック」（改訂４版、丸善出版、２００４年２月発行）に記載された平均比熱（０〜１００℃、［Ｊ／ｋｇ・Ｋ］）および熱伝導率（０〜１００℃、Ｗ／ｍ・Ｋ）の値を用いるものとする。例えば、Ｆｅの比熱は４５６Ｊ／ｋｇ・Ｋ、熱伝導率は７８．２Ｗ／ｍ・Ｋであり、Ｍｎの比熱は４８６Ｊ／ｋｇ・Ｋ、熱伝導率は７．８Ｗ／ｍ・Ｋであり、Ｔｉの比熱は５２８Ｊ／ｋｇ・Ｋ、熱伝導率は２１．６Ｗ／ｍ・Ｋであり、Ｚｎの比熱は３９４Ｊ／ｋｇ・Ｋ、熱伝導率は１１９．５Ｗ／ｍ・Ｋである。比熱９００Ｊ／ｋｇ・Ｋ未満かつ熱伝導率２００Ｗ／ｍ・Ｋ未満を満たす他の金属として、鉄族金属であるＮｉ，Ｃｏが例示される。他の例として、Ｚｒ，Ｍｏ，Ｃｒが挙げられる。なお、上述のように、Ａｌの比熱は９１７Ｊ／ｋｇ・Ｋ、熱伝導率は２３８Ｗ／ｍ・Ｋである。したがって、ここでいう特定吸収剤の概念にはＡｌ粉やアルミナは含まれない。

特定吸収剤に含まれる金属の比熱は、例えば６００Ｊ／ｋｇ・Ｋ未満であってよく、５００Ｊ／ｋｇ・Ｋ未満でもよい。上記金属の比熱の下限は特に制限されない。特定吸収剤からの伝熱による粘着フィルムの分解消失性を高める観点から、いくつかの態様において、上記金属の比熱は、例えば２００Ｊ／ｋｇ・Ｋ以上であってよく、３００Ｊ／ｋｇ・Ｋ以上でもよく、３５０Ｊ／ｋｇ・Ｋ以上でもよく、４００Ｊ／ｋｇ・Ｋ以上でもよい。

特定吸収剤に含まれる金属の熱伝導率は、例えば１５０Ｗ／ｍ・Ｋ未満であってよく、１２５Ｗ／ｍ・Ｋ未満でもよく、１００Ｗ／ｍ・Ｋ未満でもよい。上記金属の比熱の下限は特に制限されない。特定レーザ光で加熱された特定吸収剤からの伝熱による粘着フィルムの分解消失性を高める観点から、いくつかの態様において、上記金属の熱伝導率は、例えば２０Ｗ／ｍ・Ｋ以上であってよく、４０Ｗ／ｍ・Ｋ以上でもよく、６０Ｗ／ｍ・Ｋ以上でもよい。なお、複数の金属種を含む特定吸収剤において、該特定吸収剤に含まれる金属の熱伝導率の値としては、この特定吸収剤に含まれる全金属のモル数に占める各金属種のモル分率と該金属種の熱伝導率との積の総和をいうものとする。複数の金属種を含む特定吸収剤の比熱の値についても同様である。

いくつかの態様において、特定吸収剤としては、周期表の４族〜１２族のいずれか（より好ましくは、４族〜１０族のいずれか）に属する金属および該金属を構成元素として含む金属化合物からなる群から選択される一種または二種以上を好ましく使用し得る。このような特定吸収剤の使用により、特定レーザ光の吸収率を効率よく高め得る。上記金属を構成元素として含む金属化合物がより好ましい。

一般に、金属単体の比熱および熱伝導率に比べて、該金属を構成元素として含む金属化合物の比熱および熱伝導率は、より小さくなる傾向にある。したがって、ここに開示される粘着フィルムのいくつかの態様において、この明細書に開示される好ましい比熱および熱伝導率を満たす金属を構成元素として含む金属化合物を、特定吸収剤として好ましく用いることができる。特定吸収剤として使用し得る金属化合物は、ここに開示される好ましい比熱および熱伝導率を満たす金属の、例えば酸化物、硫化物、炭化物、窒化物、水酸化物、オキシ水酸化物等であり得る。特定吸収剤として使用し得る金属化合物の他の例として、該金属のイオンを含む金属有機化合物（錯体等）が挙げられる。特定レーザ光の吸収に伴う発熱に耐えて該特定レーザ光を吸収する性質を適切に維持する観点から、上記金属の酸化物、硫化物、炭化物、窒化物が好ましく、酸化物が特に好ましい。上記酸化物の例としては酸化鉄（ＦｅＯ，Ｆｅ_３Ｏ_４，Ｆｅ_２Ｏ_３等）、二酸化マンガン、チタンブラック、酸化クロム（ＣｒＯ，Ｃｒ_２Ｏ_３等）、フェライト等が挙げられ、上記硫化物の例としては硫化鉄、硫化モリブデン等が挙げられるが、これらに限定されない。

ここに開示される粘着フィルムにおいて、特定吸収剤の含有量は特に限定されず、例えば０．０１重量％以上２０重量％以下の範囲から適宜選択し得る。いくつかの態様において、特定吸収剤の含有量は、例えば０．０５重量％以上であってよく、０．１重量％以上でもよく、０．３重量％以上でもよく、０．５重量％以上でもよく、０．８重量％以上でもよい。特定吸収剤の含有量が多くなると、特定レーザ光の吸収率は高くなる傾向にある。一方、特定吸収剤の含有量が多すぎると、吸収した特定レーザ光のエネルギーが面方向に拡散しやすくなり、エネルギーロスが多くなることがあり得る。かかる観点から、特定吸収剤の含有量は、通常、１５重量％以下とすることが適当であり、１０重量％以下が好ましく、７重量％以下がより好ましく、５重量％以下または５重量％未満でもよい。

ここに開示される粘着フィルムは、特定吸収剤に加えて、必要に応じて特定吸収剤以外のレーザ光吸収剤を補助的に含み得る。以下、このように補助的に用いられる特定吸収剤以外のレーザ光吸収剤を「補助吸収剤」ともいう。補助吸収剤は、例えば、粘着フィルムの吸収率の向上、透過率や反射率の調整、外観の調整等の目的で用いられ得る。補助吸収剤としては、アルミニウム、銅、銀、金等の金属；上記金属の酸化物、窒化物、炭化物等の金属化合物；カーボンブラック；フタロシアニン系化合物、シアニン系化合物、アミニウム系化合物、ナフタロシアニン系化合物、ナフトキノン系化合物、ジイモニウム系化合物、アントラキノン系化合物等の有機化合物；等を利用し得る。

補助吸収剤の使用量は、重量基準で、粘着フィルムに含まれるレーザ光吸収剤の総量（すなわち特定吸収剤と補助吸収剤との合計量）の５０％未満とすることが好ましく、２５％未満でもよく、１０％未満でもよく、５％未満でもよい。補助吸収剤を実質的に含まない粘着フィルムであってもよい。ここで、補助吸収剤を実質的に含まないとは、少なくとも意図的には補助吸収剤が用いられていないことをいう。粘着フィルムに含まれるレーザ光吸収剤の総量は、該粘着フィルムの２５重量％以下とすることが適当であり、２０重量％以下、１５重量％以下、または１０重量％以下とすることがより好ましい。

粘着フィルムのカーボンブラック（ＣＢ）含有量は、０．３重量％未満であることが好ましく、０．１重量％未満であることがより好ましく、０．０５重量％未満であることがさらに好ましく、０．０２重量％以下であることが特に好ましい。ＣＢの含有量の低減により、粘着フィルムの非汚染性が向上する傾向にある。ＣＢを実質的に含有しない粘着フィルム、すなわち、少なくとも意図的にはＣＢが用いられていない粘着フィルムであってもよい。ここに開示される粘着フィルムは、特定吸収剤を含有することにより、ＣＢを使用しないかまたはその使用量を上記のように制限しても、ワークを効率よく加工し得る。かかる粘着フィルムによると、ワークの加工効率向上と非汚染性とを好適に両立し得る。

いくつかの態様において、特定吸収剤としては、黒色系金属化合物を好ましく使用し得る。黒色系金属化合物の使用により、粘着フィルムのレーザ光吸収率を効率よく高めることができる。これにより、ＣＢを使用しないかまたはその使用量を制限しても、上述した好ましいレーザ光吸収率を有する粘着フィルムを好適に実現し得る。本発明者らの検討により、このような黒色系金属化合物は、意外にも、ＣＢとは異なり、黒い残渣を生じにくいことが明らかとなった。したがって、黒色系金属化合物の使用により、ワークの加工効率向上と非汚染性とを好適に両立することができる。

黒色系金属化合物の例としては、酸化鉄、二酸化マンガン、チタンブラック、酸化クロム、硫化鉄、硫化モリブデン等が挙げられるが、これらに限定されない。入手容易性の点から好ましい黒色系金属化合物として、酸化鉄（例えば、ＦｅＯ，Ｆｅ_３Ｏ_４等）、チタンブラック、二酸化マンガン等が挙げられる。上記チタンブラックとは、チタン原子を有する黒色粒子であり、好ましくは酸窒化チタンや低次酸化チタン等の黒色粒子である。なかでも好ましい黒色系金属化合物として、酸化鉄、チタンブラックが例示される。

粘着フィルムにおける黒色系金属化合物の含有量は、例えば０．０５重量％以上とすることができ、レーザ光吸収率向上の観点から０．１重量％以上でもよく、０．３重量％以上でもよく、０．５重量％以上でもよく、０．８重量％以上でもよい。また、粘着フィルムの面方向への拡散によるエネルギーロスを低減する観点から、黒色系金属化合物の含有量は、通常、１５重量％以下とすることが適当であり、１０重量％以下が好ましく、７重量％以下がより好ましく、５重量％以下または５重量％未満でもよい。特定吸収剤のうち黒色系金属化合物の占める割合は、例えば５０重量％超であってよく、７０重量％以上でもよく、９０重量％以上でもよく、実質的に１００重量％でもよい。

粘着フィルムの背面の明度Ｌ^＊は、９５未満であることが好ましい。いくつかの態様において、粘着フィルムの背面の明度Ｌ^＊は、例えば９０未満であってよく、７０未満でもよく、６０未満でもよく、５０未満でもよく、４５未満でもよく、４０未満でもよい。このように背面の明度Ｌ^＊を低く設定することによって、粘着フィルムのレーザ光吸収率を高めやすくなる。明度Ｌ^＊の下限は特に制限されないが、粘着フィルムの意匠性、表面印刷性、耐候性、識別性等の観点から、通常は２０以上が適当であり、３０以上でもよい。いくつかの態様において、粘着フィルムの背面の明度Ｌ^＊は、例えば４０以上であってよく、５０以上でもよい。

粘着フィルムの背面の色度ａ^＊は、特に限定されない。いくつかの態様において、上記明度Ｌ^＊と同様の観点から、粘着フィルムの背面の色度ａ^＊は、例えば−１５〜＋１５の範囲であってよく、−１０〜＋１０の範囲でもよく、−５〜＋７の範囲でもよく、−３〜＋５の範囲でもよく、−１．５〜＋３の範囲でもよく、０〜＋２の範囲でもよい。粘着フィルムの背面の色度ｂ^＊は、特に限定されないが、例えば−１５〜＋１５の範囲であってよく、−１０〜＋１０の範囲でもよく、−５〜＋５の範囲でもよく、−３〜＋２の範囲でもよく、−１．５〜＋１の範囲でもよい。

粘着フィルムの前面の明度Ｌ^＊、色度ａ^＊、色度ｂ^＊は、上述した粘着フィルムの背面の明度Ｌ^＊、色度ａ^＊、色度ｂ^＊と同様の範囲から適宜選択し得る。明度Ｌ^＊、色度ａ^＊、色度ｂ^＊の各々は、粘着フィルムの前面と背面とで同程度であってもよく、異なってもよい。

なお、本明細書において、明度Ｌ^＊、色度ａ^＊および色度ｂ^＊は、Ｌ^＊ａ^＊ｂ^＊表色系で規定される明度Ｌ^＊、色度ａ^＊、色度ｂ^＊を意味し、国際照明委員会が１９７６年に推奨した規定またはＪＩＳ Ｚ ８７２９の規定に準拠するものとする。具体的には、明度Ｌ^＊、色度ａ^＊、色度ｂ^＊は、色差計（例えば、商品名「ＣＲ−４００」ミノルタ社製；色彩色差計）を用いて測定することにより求められる。明度Ｌ^＊、色度ａ^＊、色度ｂ^＊は、レーザ光吸収剤の種類の選択、レーザ光吸収剤の使用量の選択、レーザ光吸収剤以外の着色剤の使用の有無、着色剤を使用する場合における該着色剤の種類や使用量の選択、等により調節することができる。

粘着フィルムの厚さは特に限定されないが、通常は１０μｍ〜２００μｍ程度が適当である。粘着フィルムのハンドリング性等の観点から、いくつかの態様において、粘着フィルムの厚さは、例えば２０μｍ以上であってよく、２５μｍ以上でもよく、４０μｍ以上でもよく、５５μｍ以上でもよく、８０μｍ以上でもよい。また、レーザ加工の迅速性や精密性の観点から、粘着フィルムの厚さは、例えば１５０μｍ以下であってよく、１２０μｍ以下でもよく、１００μｍ以下でもよい。場合によっては、粘着フィルムの厚さは、８０μｍ以下でもよく、６０μｍ以下でもよく、５０μｍ以下でもよい。

＜基材＞
ここに開示される粘着フィルムは、基材として樹脂フィルムを含む。樹脂フィルムを構成する樹脂材料としては、例えば、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリブチレンテレフタレート（ＰＢＴ）等のポリエステル樹脂；ポリエチレン、ポリプロピレン、エチレン−プロピレン共重合体、ポリプロピレン−ポリエチレンブレンド樹脂等のポリオレフィン樹脂；その他、塩化ビニル樹脂（典型的には、軟質塩化ビニル樹脂）、酢酸ビニル樹脂、ポリアミド系樹脂；等が挙げられるが、これらに限定されない。基材は、単層構造でもよく、二層以上の多層構造でもよい。
いくつかの態様において、多層構造の基材を好ましく採用し得る。多層構造の基材には、例えば、前面（ワークに貼り付けられる面）と背面とで機能や外観を異ならせやすいという利点がある。多層構造の基材において、各層を構成する樹脂材料の種類は、同一でもよく、異なっていてもよい。多層構造の基材は、例えば二層〜五層構造であってよく、二層または三層構造でもよい。一態様において、三層構造の基材を好ましく使用し得る。
他のいくつかの態様において、基材は単層構造であってもよい。単層構造の基材は、該基材の生産性や品質安定性の面で有利となり得る。

特定レーザ光による粘着フィルムの切断性や非汚染性の観点から、いくつかの態様において、上記樹脂フィルムとしてポリオレフィン系樹脂フィルムまたはポリエステル系樹脂フィルムを好ましく用いることができる。

ここで、ポリオレフィン系樹脂フィルムとは、主成分がポリエチレン（ＰＥ）樹脂および／またはポリプロピレン（ＰＰ）樹脂である樹脂フィルムをいう。本明細書において主成分とは、特記しない場合、５０重量％を超えて含まれる成分をいう。ポリオレフィン系樹脂フィルムは、ＰＥ樹脂および／またはＰＰ樹脂を含み、ＰＥ樹脂とＰＰ樹脂との合計量が該ポリオレフィン樹脂フィルムの５０重量％超、好ましくは７０重量％以上、例えば８５重量％以上を占めるものであり得る。上記合計量は、ＰＥ樹脂を含みＰＰ樹脂を含まない樹脂フィルムでは、ＰＥ樹脂の含有量と一致する。

上記ＰＥ樹脂は、エチレンを主構成単量体単位とする種々のポリマー（エチレン系ポリマー）を主成分とするものであり得る。１種または２種以上のエチレン系ポリマーから実質的に構成されるＰＥ樹脂であってもよい。上記エチレン系ポリマーは、エチレンのホモポリマーであってもよく、主モノマーとしてのエチレンに、副モノマーとして他のα−オレフィンを共重合（ランダム共重合、ブロック共重合等）させたものであってもよい。上記α−オレフィンの好適例としては、プロピレン、１−ブテン（分岐１−ブテンであり得る。）、１−ヘキセン、４−メチル−１−ペンテン、１−オクテン等の、炭素原子数３〜１０のα−オレフィンが挙げられる。例えば、上記副モノマーとしてのα−オレフィンが１０重量％以下（典型的には５重量％以下）の割合で共重合されたエチレン系ポリマーを主成分とするＰＥ樹脂を好ましく採用し得る。

上記ＰＥ樹脂は、また、重合性官能基に加えて別の官能基を有するモノマー（官能基含有モノマー）とエチレンとのコポリマーを含むＰＥ樹脂や、かかる官能基含有モノマーをエチレン系ポリマーに共重合させたＰＥ樹脂等であってもよい。エチレンと官能基含有モノマーとのコポリマーとしては、例えば、エチレン−酢酸ビニル共重合体（ＥＶＡ）、エチレン−アクリル酸共重合体（ＥＡＡ）、エチレン−メタクリル酸共重合体（ＥＭＡＡ）、エチレン−アクリル酸メチル共重合体（ＥＭＡ）、エチレン−アクリル酸エチル共重合体（ＥＥＡ）、エチレン−メタクリル酸メチル共重合体（ＥＭＭＡ）、エチレン−（メタ）アクリル酸（すなわち、アクリル酸および／またはメタクリル酸）共重合体が金属イオンで架橋されたもの、等が挙げられる。

ＰＥ樹脂の密度は特に限定されない。ここでいうＰＥ樹脂の概念には、高密度ポリエチレン（ＨＤＰＥ）、中密度ポリエチレン（ＭＤＰＥ）、低密度ポリエチレン（ＬＤＰＥ）および直鎖状低密度ポリエチレン（ＬＬＤＰＥ）のいずれもが含まれる。一態様において、上記ＰＥ樹脂の密度は、例えば０．９０〜０．９４ｇ／ｃｍ^３程度であり得る。好ましいＰＥ樹脂として、ＬＤＰＥおよびＬＬＤＰＥが挙げられる。

上記ＰＰ樹脂は、プロピレンを主構成単量体単位とする種々のポリマー（プロピレン系ポリマー）、すなわち全構成単量体単位の５０重量％超がプロピレンであるポリマーを主成分とするものであり得る。１種または２種以上のプロピレン系ポリマーから実質的に構成されるＰＰ樹脂であってもよい。ここでいうプロピレン系ポリマーの概念には、ホモポリプロピレンの他、プロピレンと他のモノマーとのランダム共重合体（ランダムポリプロピレン）やブロック共重合体（ブロックポリプロピレン）が包含される。

基材は、レーザ光吸収層を含むことが好ましい。上記レーザ光吸収層は特定吸収剤を含むことが好ましい。多層構造の基材では、少なくとも一つの層が特定吸収剤を含むレーザ光吸収層であることが好ましい。レーザ光吸収層を含む基材のレーザ光吸収率は、粘着フィルムのレーザ光吸収率が２０％以上となるように設定することができる。いくつかの態様において、基材のレーザ光吸収率は、例えば１５％以上であってよく、通常は２０％以上が適当であり、２５％以上でもよく、３０％以上でもよく、４５％以上でもよく、６０％以上でもよく、７５％以上でもよい。基材のレーザ光吸収率は、１００％であってもよいが、実用的には９５％以下が好ましく、９０％以下でもよい。基材の透過率および反射率は、上述した粘着フィルムの透過率および反射率と同様の範囲から適宜選択し得る。

基材に含有させるレーザ光吸収剤としては、粘着フィルムに使用し得るレーザ光吸収剤に係る上記の例示と同様のものから、一種を単独でまたは二種以上を組み合わせて用いることができる。上記レーザ光吸収剤が特定吸収剤を含む態様において、該特定吸収剤としては、粘着フィルムに使用し得る特定吸収剤に係る上記の例示と同様のものから、一種を単独でまたは二種以上を組み合わせて用いることができる。基材におけるレーザ光吸収剤の含有量および特定吸収剤の含有量としては、粘着フィルムにおけるレーザ光吸収剤の含有量および特定吸収剤の含有量に係る例示を、それぞれ適用することができる。

基材の背面の明度Ｌ^＊、色度ａ^＊、色度ｂ^＊は、上述した粘着フィルムの背面の明度Ｌ^＊、色度ａ^＊、色度ｂ^＊と同様の範囲から適宜選択し得る。同様に、基材の前面の明度Ｌ^＊、色度ａ^＊、色度ｂ^＊は、上述した粘着フィルムの前面の明度Ｌ^＊、色度ａ^＊、色度ｂ^＊と同様の範囲から適宜選択し得る。

基材の成形方法は特に限定されず、従来公知の押出成形法、例えばインフレーション押出成形法やキャスト成形法等を適宜採用することができる。基材は、無延伸であってもよく、一軸延伸や二軸延伸等の延伸が施されていてもよい。多層構造の基材は、各層に対応する樹脂組成物を同時に（例えば、多層インフレーション成形法により）成形する方法、各々の層を成形した後に貼り合わせる方法、先に成形した層の上に他の層をキャストする方法等を、単独で、あるいは適宜組み合わせて採用することにより得ることができる。

基材には、必要に応じて任意の添加剤を配合することができる。かかる添加剤の例としては、難燃剤、帯電防止剤、光安定剤（ラジカル捕捉剤、紫外線吸収剤等）、酸化防止剤等が挙げられる。

基材の表面には、必要に応じて、隣接する材料に対する密着性を高め、あるいは離型性を向上させるための適宜の表面処理が施されていてもよい。
密着性を高めるための表面処理としては、コロナ放電処理、酸処理、紫外線照射処理、プラズマ処理、下塗り剤（プライマー）の塗布等が例示される。かかる表面処理は、基材の前面（すなわち、粘着剤層が設けられる側の表面）および背面のいずれにも好ましく適用され得る。
離型性を向上させるための表面処理は、一般的なシリコーン系、長鎖アルキル系、フッ素系等の剥離処理剤を用いて実施することができる。かかる表面処理は、基材の背面に好ましく適用され得る。

基材の厚さは特に限定されず、例えば５μｍ〜１５０μｍ程度とすることができる。基材または該基材を備えた粘着フィルムのハンドリング性の観点から、いくつかの態様において、基材の厚さは、例えば１５μｍ以上であってよく、２０μｍ以上でもよく、３５μｍ以上でもよく、５０μｍ以上でもよく、７５μｍ以上でもよい。また、レーザ加工の迅速性や精密性の観点から、いくつかの態様において、基材の厚さは、例えば１３０μｍ以下であってよく、１１０μｍ以下でもよく、９０μｍ以下でもよい。場合によっては、基材の厚さは、７０μｍ以下でもよく、５０μｍ以下でもよく、４０μｍ以下でもよい。

レーザ光吸収層を含む基材において、該レーザ光吸収層の厚さ（複数のレーザ光吸収層を含む基材では、それらの層の合計厚さ）は、例えば３μｍ以上であってよく、５μｍ以上でもよく、１０μｍ以上でもよい。レーザ加工の迅速性や精密性の観点から、いくつかの態様において、基材全体の厚さのうちレーザ光吸収層（換言すれば、レーザ光吸収剤が配置された箇所）の厚さは、例えば２０％以上であってよく、５０％以上でもよく、７０％以上でもよく、９０％以上でもよい。なお、レーザ光吸収層からなる単層の基材や、複数のレーザ光吸収剤層からなる基材では、該基材全体の厚さのうちレーザ光吸収層の厚さが１００％である。

＜粘着剤層＞
ここに開示される技術における粘着剤層を構成する粘着剤は特に限定されず、例えば、公知のゴム系粘着剤、アクリル系粘着剤、ポリエステル系粘着剤、ポリウレタン系粘着剤、シリコーン系粘着剤等を用いることができる。粘着性能やコストの観点から、ゴム系粘着剤またはアクリル系粘着剤を好ましく採用し得る。上記粘着剤層は、単層構造であってもよく、組成の異なる二以上の層を有する積層構造であってもよい。

ゴム系粘着剤の例としては、天然ゴム系粘着剤、合成ゴム系粘着剤等が挙げられる。合成ゴム系粘着剤のベースポリマーたるゴム系ポリマーの具体例としては、ポリブタジエン、ポリイソプレン、ブチルゴム、ポリイソブチレン、スチレン−ブタジエン−スチレンブロック共重合体等のスチレン系エラストマー；スチレン−エチレンブチレン−スチレンブロック共重合体、スチレン−エチレンブチレンランダム共重合体、等のスチレン系エラストマー；その他、エチレンプロピレンゴム、プロピレンブテンゴム、エチレンプロピレンブテンゴム等が挙げられる。

アクリル系粘着剤としては、例えば、ブチル（メタ）アクリレート、２−エチルヘキシル（メタ）アクリレート等のアルキル（メタ）アクリレートを主成分とし、これに必要に応じて該アルキル（メタ）アクリレートと共重合可能な改質用モノマーを加えたモノマー組成を有するアクリル系ポリマーをベースポリマー（ポリマー成分のなかの主成分）とするものを好ましく用いることができる。上記改質用モノマーの例としては、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート等の水酸基含有モノマー；（メタ）アクリル酸等のカルボキシル基含有モノマー；スチレン等のスチレン系モノマー；酢酸ビニル等のビニルエステル類；等が挙げられる。かかるアクリル系粘着剤は、溶液重合法、エマルション重合法、紫外線（ＵＶ）重合法等の慣用の重合法により得ることができる。

粘着剤層には、必要に応じてレーザ光吸収剤を含有させることができる。すなわち、粘着剤層はレーザ光吸収層であってもよい。複数の層からなる粘着剤層では、それらのうち少なくとも一つの層にレーザ光吸収剤を含有させることができる。粘着剤層に含有させるレーザ光吸収剤としては、上記で例示したレーザ光吸収剤のなかから一種または二種以上を適宜選択して用いることができる。粘着剤層におけるレーザ光吸収剤の含有量は、通常、該粘着剤層の５重量％以下とすることが適当であり、粘着性能の観点から３重量％以下が好ましく、１重量％以下でもよい。ここに開示される技術は、粘着剤層がレーザ光吸収剤を実質的に含有しない態様でも好ましく実施され得る。

粘着剤層には、必要に応じて他の任意の添加剤を配合することができる。かかる添加剤の例としては、架橋剤、粘着付与剤、軟化剤、難燃剤、帯電防止剤、着色剤（顔料、染料等）、光安定剤（ラジカル捕捉剤、紫外線吸収剤等）、酸化防止剤等が挙げられる。

粘着剤層の厚さは、粘着フィルムの用途に応じて適切な粘着性能が得られるように適宜設定することができる。粘着剤層の厚さは、通常、０．５μｍ〜５０μｍとすることが適当である。ワークへの密着性向上の観点から、いくつかの態様において、粘着剤層の厚さは、例えば１．５μｍ以上であってよく、３μｍ以上でもよく、５μｍ以上でもよく、７μｍ以上でもよい。また、レーザ加工の迅速性や精密性の観点から、いくつかの態様において、粘着剤層の厚さは、例えば３０μｍ以下であってよく、２０μｍ以下でもよく、１５μｍ以下でもよい。

＜用途＞
ここに開示される粘着フィルムは、主波長９００ｎｍ〜１１００ｎｍの短波長レーザにより加工されるワークに貼り付けられた状態で、該ワークのレーザ加工に伴ってレーザ切断される態様で好ましく用いられ得る。ここに開示される粘着フィルムが貼り付けられた状態でワークに施されるレーザ加工の種類は特に限定されず、例えば切断、孔開け、切削、彫刻等であり得る。

ワークの材質は、特定レーザ光により切断可能なものであれば特に限定されず、例えば、鉄、鉄合金（炭素鋼、ステンレス鋼、クロム鋼、ニッケル鋼等）、アルミニウム、アルミニウム合金、ニッケル、タングステン、銅、銅合金、チタン、チタン合金、シリコン等の金属または半金属材料；ポリオレフィン樹脂、ポリカーボネート樹脂、アクリル樹脂等の樹脂材料；アルミナ、シリカ、サファイア、窒化ケイ素、窒化タンタル、炭化チタン、炭化ケイ素、窒化ガリウム、石膏等のセラミック材料；アルミノシリケートガラス、ソーダライムガラス、ソーダアルミノケイ酸ガラス、石英ガラス等のガラス材料；紙、段ボール、木材、合板等のセルロース系材料；これらの積層物や複合物；等であり得る。ワークの好適例として、鉄、アルミニウム、銅、チタン、およびこれらの各金属を主成分とする合金（ステンレス鋼等）等の金属材料が挙げられる。ワークの形状は特に限定されず、板状、筒状、塊状等であり得る。

ここに開示される粘着フィルムは、このようなレーザ加工において、ワークのレーザ光照射側の表面に貼り付けられた状態で好ましく用いられ得る。また、レーザ加工の前後あるいはレーザ加工中のワークの表面保護等の目的で、ワークのレーザ光照射側とは反対側の表面（裏面）に上記粘着フィルムを貼り付けてもよい。上記短波長レーザとしては、例えば、主波長が概ね１０５０ｎｍ程度のファイバーレーザ、主波長が概ね９５０ｎｍ程度のダイオードレーザ、等を利用することができる。

この明細書により開示される事項には、以下のものが含まれる。
（１） 基材としての樹脂フィルムと、該基材の少なくとも一方の面に設けられた粘着剤層とを備えた粘着フィルムであって、
比熱９００Ｊ／ｋｇ・Ｋ未満かつ熱伝導率２００Ｗ／ｍ・Ｋ未満の金属を構成元素として有するレーザ光吸収剤を含有し、
波長９００ｎｍ〜１１００ｎｍの範囲におけるレーザ光吸収率が２０％以上である、粘着フィルム。
（２） 上記レーザ光吸収剤は黒色系金属化合物を含む、上記（１）に記載の粘着フィルム。
（３） 上記黒色系金属化合物の含有量が０．０５重量％以上１０重量％以下である、上記（２）に記載の粘着フィルム。
（４） 上記粘着フィルムは、カーボンブラックの含有量が０．０５重量％未満である、上記（１）〜（３）のいずれかに記載の粘着フィルム。
（５） 上記レーザ光吸収剤は、鉄系酸化物、チタンブラックおよびマンガン系酸化物からなる群から選択される少なくとも一種を含む、上記（１）〜（４）のいずれかに記載の粘着フィルム。
（６） 上記基材は上記レーザ光吸収剤を含み、
上記基材は、波長９００ｎｍ〜１１００ｎｍの範囲におけるレーザ光吸収率が２０％以上である、上記（１）〜（５）のいずれかに記載の粘着フィルム。
（７） 上記基材は、ポリオレフィン樹脂フィルムまたはポリエステル樹脂フィルムである、上記（１）〜（６）のいずれかに記載の粘着フィルム。
（８） 上記基材は多層構造である、上記（１）〜（７）のいずれかに記載の粘着フィルム。

（９） 上記粘着フィルムは、上記レーザ光吸収率が２０％を超えて９５％以下である、上記（１）〜（８）のいずれかに記載の粘着フィルム。
（１０） 上記粘着フィルムは、波長９００ｎｍ〜１１００ｎｍの範囲でレーザ光吸収率が最小となる波長における透過率が５％以上である、上記（１）〜（９）のいずれかに記載の粘着フィルム。
（１２） 上記粘着フィルムは、波長９００ｎｍ〜１１００ｎｍの範囲でレーザ光吸収率が最小となる波長における反射率が４０％未満である、上記（１）〜（１１）のいずれかに記載の粘着フィルム。
（１３） 上記レーザ光吸収剤は、平均粒径が０．００８μｍ以上０．１μｍ以下である、上記（１）〜（１２）のいずれかに記載の粘着フィルム。
（１４） 上記粘着フィルムは、背面の明度Ｌ^＊が４５未満である。上記（１）〜（１３）のいずれかに記載の粘着フィルム。
（１５） 上記（１）〜（１４）のいずれかに記載の粘着フィルムからなり、主波長９００ｎｍ〜１１００ｎｍのレーザ光で切断して用いられる、レーザ切断用粘着フィルム。

（１６） 上記（１）〜（１５）のいずれかに記載の粘着フィルムが貼り付けられているワークを用意すること、および、
上記粘着フィルムが貼り付けられている上記ワークに主波長９００ｎｍ〜１１００ｎｍのレーザ光を照射することにより、上記ワークをレーザ加工するとともに上記レーザ光により上記粘着フィルムを切断すること、
を包含する、レーザ加工された物品の製造方法。
（１７） 上記ワークは金属板である、上記（１６）に記載の方法。

以下、本発明に関するいくつかの実施例を説明するが、本発明をかかる具体例に示すものに限定することを意図したものではない。なお、以下の説明中の「部」および「％」は、特に断りがない限り重量基準である。また、特記しない限り、各材料の使用量は有効成分量基準である。

以下の各例において、基材の作製に使用した原料は次のとおりである。
ＬＤＰＥ：低密度ポリエチレン（東ソー株式会社製の商品名「ペトロセン１８６Ｒ」）
Ｆｅ_３Ｏ_４：平均粒径２５０ｎｍの四酸化三鉄粉末
ＴｉＯ_２：平均粒径０．２μｍの二酸化チタン粉末
Ａｌ：平均粒径２μｍの薄片状アルミニウム粉末
ＣＢ：平均粒径２０ｎｍのカーボンブラック粉末
粘着剤組成物Ｐ１：天然ゴム１００部に対し、粘着付与剤（日本ゼオン株式会社製、商品名「Ｑｕｉｎｔｏｎｅ Ａ１００」）７０部、老化防止剤（大内新興化学工業株式会社製、商品名「ノクラックＮＳ−５」）２部、イソシアネート系架橋剤（日本ポリウレタン工業株式会社製、商品名「コロネートＬ」）３部およびトルエンを加えて混合したもの。

＜粘着フィルムの作製＞
（例１）
ポリオレフィン中にＦｅ_３Ｏ_４を４０％の濃度で含む黒色マスタバッチ（以下、Ｆｅ_３Ｏ_４マスタバッチともいう。）３部と、ＬＤＰＥ９７部とを、２軸押出し機（東芝機械株式会社製）にて樹脂温度１８０℃で混合し、造粒して、Ｆｅ_３Ｏ_４を１．２％の濃度で含むポリオレフィン樹脂組成物のペレットを調製した。このペレットをインフレーション成形法によりダイス温度１８０℃で成膜して、厚さ９０μｍの樹脂フィルムＦ１を得た。樹脂フィルムＦ１の片面にコロナ放電処理を施し、そのコロナ放電処理面に粘着剤組成物Ｐ１を塗布し、乾燥させて、厚さ１０μｍの粘着剤層を形成した。このようにして、基材の片面に粘着剤層を有する粘着フィルムを得た。

（例２，３）
ポリオレフィン樹脂組成物のＦｅ_３Ｏ_４濃度が２．０％または４．０％となるようにＦｅ_３Ｏ_４マスタバッチとＬＤＰＥとの混合比を変更した他は樹脂フィルムＦ１と同様にして、樹脂フィルムＦ２，Ｆ３を得た。樹脂フィルムＦ１に代えて樹脂フィルムＦ２，Ｆ３をそれぞれ使用した他は例１と同様にして、例２，３に係る粘着フィルムを得た。

（例４）
ポリオレフィン中にＴｉＯ_２を６０％の濃度で含む白色マスタバッチ（以下、ＴｉＯ_２マスタバッチともいう。）７部と、ＬＤＰＥ９３部とを、上記押出し機にて樹脂温度１８０℃で混合し、造粒して、ＴｉＯ_２を４．２％の濃度で含むポリオレフィン樹脂組成物のペレットを調製した。このペレットをインフレーション成形法によりダイス温度１８０℃で成膜して、厚さ９０μｍの樹脂フィルムＦ４を得た。樹脂フィルムＦ１に代えて樹脂フィルムＦ４を用いた他は例１と同様にして、本例に係る粘着フィルムを得た。

（例５）
ポリオレフィン樹脂組成物のＴｉＯ_２濃度が６．０％となるようにＴｉＯ_２マスタバッチとＬＤＰＥとの混合比を変更した他は樹脂フィルムＦ１と同様にして、樹脂フィルムＦ５を得た。樹脂フィルムＦ１に代えて樹脂フィルムＦ５を用いた他は例１と同様にして、本例に係る粘着フィルムを得た。

（例６）
平均粒径２μｍの薄片状アルミニウム粉末（Ａｌ）１．５％およびＬＤＰＥ９８．５％を含む基材用ペレットを、インフレーション成形法によりダイス温度１８０℃で成膜して、厚さ９０μｍの樹脂フィルムＦ６を得た。

（例７）
平均粒径２０ｎｍのカーボンブラック粉末（ＣＢ）０．０８％およびＬＤＰＥ９９．９２％を含む基材用ペレットを、インフレーション成形法によりダイス温度１８０℃で成膜して、厚さ９０μｍの樹脂フィルムＦ７を得た。

＜性能評価＞
上記で作製した粘着フィルムから適切なサイズのサンプルを切り出し、以下の項目を評価した。結果を表１に示した。

（１）透過率
測定装置：株式会社日立ハイテクノロジーズ製の分光光度計、型式「Ｕ−４１００」
測定条件：測定モード応用計測、データモード％Ｔ、スキャンスピード７５０ｎｍ／ｍｉｎ、サンプリング間隔１ｎｍ、スリット自動制御、ホトマル電圧自動１、光量制御モード固定、高分解能測定ＯＦＦ、減光板未使用、ＰｂＳ感度１、セル長１０ｍｍ
測定方法：
(i).測定装置の電源を入れ、装置を安定させるために２時間以上待機した。その後、サンプルをセットせずにベースラインを測定した。
(ii).次いで、測定装置の透過率測定部分にサンプルを、粘着フィルムの背面から入光するようにセットし、上記測定条件にて９００ｎｍ〜１１００ｎｍの波長範囲の透過率を測定した。

（２）反射率
測定装置：株式会社日立ハイテクノロジーズ製の分光光度計、型式「Ｕ−４１００」
測定条件：測定モード応用計測、データモード％Ｒ、スキャンスピード７５０ｎｍ／ｍｉｎ、サンプリング間隔１ｎｍ、スリット自動制御、ホトマル電圧自動１、光量制御モード固定、高分解能測定ＯＦＦ、減光板未使用、ＰｂＳ感度１、セル長１０ｍｍ
測定方法：
(i) 測定装置の電源を入れ、装置を安定させるために２時間以上待機した。その後、反射率測定部分に白色標準板をセットし（サンプルはセットしない。）、ベースラインを測定した。
(ii) 次いで、反射率測定部分にサンプルをセットした。このとき、サンプルを透過した光の反射を防止するため、サンプルの入光面と反対側に日東樹脂工業株式会社製の樹脂板、商品名「クラレックス（登録商標）」（黒色、１ｍｍ厚）を置き、該樹脂板にサンプルとしての粘着フィルムを貼り合わせた（貼り合わせ条件：２ｋｇローラー１往復）。そして、上記測定条件にて９００ｎｍ〜１１００ｎｍの波長範囲の反射率を測定した。

（３）吸収率
上記透過率Ｔ（％）および反射率Ｒ（％）から、次式：１００（％）−Ｔ（％）−Ｒ（％）；により、９００ｎｍ〜１１００ｎｍの波長範囲における最小の吸収率を算出した。

（４）明度および色度
粘着フィルムの背面について、明度および色度を測定した。具体的には、各例に係る粘着フィルムから１０ｃｍ×１０ｃｍのサンプルを切り出し、該サンプルをＳＵＳ４３０板の上に置き、上記サンプルの四隅の近傍４点と中央部１点の計５点における明度Ｌ^＊、色度ａ^＊、ｂ＊を、色彩色差計（ミノルタ社製「ＣＲ−４００」）を用いて測定した。測定は各測定点当たり２回行い、合計１０回の平均値を採用した。

（５）レーザ切断試験
ワークとして厚さ３．０ｍｍのＳＵＳ３０４板（２Ｂ仕上げ）を用い、各例に係る粘着フィルムをワークの上面に貼付した。このワークの上面側からレーザビームを照射して切断試験を行った。具体的には、ファイバーレーザ加工機（トルンプ社製、Trulaser 5030、主波長１０５０ｎｍ）を使用して、以下の条件で直線の切断加工を行った。
［レーザ加工条件］
切断速度：５．０ｍ／ｍｉｎ
出力：３０００Ｗ
供給ガスおよびガス圧：窒素ガス、圧力１８ｂａｒ
ノズル直径：２．０ｍｍ
ノズル高さ：２ｍｍ
レーザビーム焦点：ワークの上面から１．５ｍｍ下の位置

その後、レーザ加工（ここではレーザ切断）されたワークの加工縁部を観察し、粘着フィルムおよびワークの各々について、上記の条件で切断できた場合には切断性良好（Ｇ）、切断できなかった場合には切断性不良（ＮＧ）と評価した。

（６）非汚染性
上記レーザ切断試験後のワークを目視で観察し、黒い汚れが観察された場合には非汚染性不良（ＮＧ）、そのような汚れが観察されなかった場合には非汚染性良好（Ｇ）と評価した。

表１に示されるように、例１〜５の粘着フィルムによると、該粘着フィルムとともにワークを良好に切断することができた。これらの粘着フィルムは、切断後のワークの非汚染性にも優れていた。これに対して、特定吸収剤を含まない例６の粘着フィルムでは、該粘着フィルム自体は良好に切断できたものの、上記レーザ加工条件ではワークを切断することができなかった。特定吸収剤を含まず、ＣＢの配合により吸収率を２０％以上に調整した例７の粘着フィルムでは、切断後のワークに汚染が認められた。
なお、例１〜５の粘着フィルムについて、上記レーザ加工条件のうち切断速度のみを異ならせてレーザ切断試験を行うことにより、最高切断速度（すなわち、ワークを切断可能な最高速度）を調べた。その結果、例１〜３の粘着フィルムの最高切断速度は、いずれも、例４，５の粘着フィルムの最高切断速度に比べて有意に高いことが確認された。

以上、本発明の具体例を詳細に説明したが、これらは例示にすぎず、特許請求の範囲を限定するものではない。特許請求の範囲に記載の技術には、以上に例示した具体例を様々に変形、変更したものが含まれる。

１，２ 粘着フィルム
１０ 樹脂フィルム（基材）
１０Ａ 一方の面
１０Ｂ 他方の面（背面）
２０ 粘着剤層
２０Ａ 表面（粘着面）
３０ 剥離ライナー
４２ レーザ光吸収層
４０２ レーザ光吸収剤

Claims (8)

1. 基材としての樹脂フィルムと、該基材の少なくとも一方の面に設けられた粘着剤層とを備えた粘着フィルムであって、
   比熱９００Ｊ／ｋｇ・Ｋ未満かつ熱伝導率２００Ｗ／ｍ・Ｋ未満の金属を構成元素として有するレーザ光吸収剤を含有し、
   波長９００ｎｍ〜１１００ｎｍの範囲におけるレーザ光吸収率が２０％以上である、粘着フィルム。
2. 前記レーザ光吸収剤は黒色系金属化合物を含む、請求項１に記載の粘着フィルム。
3. 前記黒色系金属化合物の含有量が０．０５重量％以上１０重量％以下である、請求項２に記載の粘着フィルム。
4. 前記粘着フィルムは、カーボンブラックの含有量が０．０５重量％未満である、請求項１から３のいずれか一項に記載の粘着フィルム。
5. 前記レーザ光吸収剤は、鉄系酸化物、チタンブラックおよびマンガン系酸化物からなる群から選択される少なくとも一種を含む、請求項１から４のいずれか一項に記載の粘着フィルム。
6. 前記基材は前記レーザ光吸収剤を含み、
   前記基材は、波長９００ｎｍ〜１１００ｎｍの範囲におけるレーザ光吸収率が２０％以上である、請求項１から５のいずれか一項に記載の粘着フィルム。
7. 前記基材は、ポリオレフィン樹脂フィルムまたはポリエステル樹脂フィルムである、請求項１から６のいずれか一項に記載の粘着フィルム。
8. 請求項１から７のいずれか一項に記載の粘着フィルムからなり、主波長９００ｎｍ〜１１００ｎｍのレーザ光で切断して用いられる、レーザ切断用粘着フィルム。

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