JP2019054118A - 配線基板、及びプレーナトランス - Google Patents

配線基板、及びプレーナトランス Download PDF

Info

Publication number
JP2019054118A
JP2019054118A JP2017177557A JP2017177557A JP2019054118A JP 2019054118 A JP2019054118 A JP 2019054118A JP 2017177557 A JP2017177557 A JP 2017177557A JP 2017177557 A JP2017177557 A JP 2017177557A JP 2019054118 A JP2019054118 A JP 2019054118A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
wiring
side wall
wiring layer
layer
insulating layer
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2017177557A
Other languages
English (en)
Inventor
雅仁 森田
Masahito Morita
雅仁 森田
鈴木 健司
Kenji Suzuki
健司 鈴木
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Niterra Co Ltd
Original Assignee
NGK Spark Plug Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by NGK Spark Plug Co Ltd filed Critical NGK Spark Plug Co Ltd
Priority to JP2017177557A priority Critical patent/JP2019054118A/ja
Priority to US16/127,349 priority patent/US20190088409A1/en
Priority to KR1020180108301A priority patent/KR20190031155A/ko
Priority to CN201811072375.3A priority patent/CN109511222A/zh
Priority to DE102018215688.3A priority patent/DE102018215688A1/de
Publication of JP2019054118A publication Critical patent/JP2019054118A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01FMAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
    • H01F27/00Details of transformers or inductances, in general
    • H01F27/28Coils; Windings; Conductive connections
    • H01F27/32Insulating of coils, windings, or parts thereof
    • H01F27/323Insulation between winding turns, between winding layers
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K1/00Printed circuits
    • H05K1/16Printed circuits incorporating printed electric components, e.g. printed resistor, capacitor, inductor
    • H05K1/165Printed circuits incorporating printed electric components, e.g. printed resistor, capacitor, inductor incorporating printed inductors
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01FMAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
    • H01F17/00Fixed inductances of the signal type 
    • H01F17/0006Printed inductances
    • H01F17/0013Printed inductances with stacked layers
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01FMAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
    • H01F41/00Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or assembling magnets, inductances or transformers; Apparatus or processes specially adapted for manufacturing materials characterised by their magnetic properties
    • H01F41/02Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or assembling magnets, inductances or transformers; Apparatus or processes specially adapted for manufacturing materials characterised by their magnetic properties for manufacturing cores, coils, or magnets
    • H01F41/04Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or assembling magnets, inductances or transformers; Apparatus or processes specially adapted for manufacturing materials characterised by their magnetic properties for manufacturing cores, coils, or magnets for manufacturing coils
    • H01F41/041Printed circuit coils
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01FMAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
    • H01F41/00Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or assembling magnets, inductances or transformers; Apparatus or processes specially adapted for manufacturing materials characterised by their magnetic properties
    • H01F41/02Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or assembling magnets, inductances or transformers; Apparatus or processes specially adapted for manufacturing materials characterised by their magnetic properties for manufacturing cores, coils, or magnets
    • H01F41/04Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or assembling magnets, inductances or transformers; Apparatus or processes specially adapted for manufacturing materials characterised by their magnetic properties for manufacturing cores, coils, or magnets for manufacturing coils
    • H01F41/12Insulating of windings
    • H01F41/122Insulating between turns or between winding layers
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K1/00Printed circuits
    • H05K1/02Details
    • H05K1/03Use of materials for the substrate
    • H05K1/0306Inorganic insulating substrates, e.g. ceramic, glass
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/40Forming printed elements for providing electric connections to or between printed circuits
    • H05K3/4038Through-connections; Vertical interconnect access [VIA] connections
    • H05K3/4046Through-connections; Vertical interconnect access [VIA] connections using auxiliary conductive elements, e.g. metallic spheres, eyelets, pieces of wire
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/46Manufacturing multilayer circuits
    • H05K3/4611Manufacturing multilayer circuits by laminating two or more circuit boards
    • H05K3/4626Manufacturing multilayer circuits by laminating two or more circuit boards characterised by the insulating layers or materials
    • H05K3/4629Manufacturing multilayer circuits by laminating two or more circuit boards characterised by the insulating layers or materials laminating inorganic sheets comprising printed circuits, e.g. green ceramic sheets
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/46Manufacturing multilayer circuits
    • H05K3/4644Manufacturing multilayer circuits by building the multilayer layer by layer, i.e. build-up multilayer circuits
    • H05K3/4647Manufacturing multilayer circuits by building the multilayer layer by layer, i.e. build-up multilayer circuits by applying an insulating layer around previously made via studs
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/46Manufacturing multilayer circuits
    • H05K3/4644Manufacturing multilayer circuits by building the multilayer layer by layer, i.e. build-up multilayer circuits
    • H05K3/465Manufacturing multilayer circuits by building the multilayer layer by layer, i.e. build-up multilayer circuits by applying an insulating layer having channels for the next circuit layer
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/46Manufacturing multilayer circuits
    • H05K3/4644Manufacturing multilayer circuits by building the multilayer layer by layer, i.e. build-up multilayer circuits
    • H05K3/4652Adding a circuit layer by laminating a metal foil or a preformed metal foil pattern
    • H05K3/4655Adding a circuit layer by laminating a metal foil or a preformed metal foil pattern by using a laminate characterized by the insulating layer
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/46Manufacturing multilayer circuits
    • H05K3/4644Manufacturing multilayer circuits by building the multilayer layer by layer, i.e. build-up multilayer circuits
    • H05K3/4652Adding a circuit layer by laminating a metal foil or a preformed metal foil pattern
    • H05K3/4658Adding a circuit layer by laminating a metal foil or a preformed metal foil pattern characterized by laminating a prefabricated metal foil pattern, e.g. by transfer
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/46Manufacturing multilayer circuits
    • H05K3/4644Manufacturing multilayer circuits by building the multilayer layer by layer, i.e. build-up multilayer circuits
    • H05K3/4679Aligning added circuit layers or via connections relative to previous circuit layers
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01FMAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
    • H01F27/00Details of transformers or inductances, in general
    • H01F27/28Coils; Windings; Conductive connections
    • H01F27/2804Printed windings
    • H01F2027/2809Printed windings on stacked layers
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01FMAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
    • H01F27/00Details of transformers or inductances, in general
    • H01F27/28Coils; Windings; Conductive connections
    • H01F27/2804Printed windings
    • H01F2027/2819Planar transformers with printed windings, e.g. surrounded by two cores and to be mounted on printed circuit
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01FMAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
    • H01F27/00Details of transformers or inductances, in general
    • H01F27/28Coils; Windings; Conductive connections
    • H01F27/2804Printed windings
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K2201/00Indexing scheme relating to printed circuits covered by H05K1/00
    • H05K2201/03Conductive materials
    • H05K2201/0332Structure of the conductor
    • H05K2201/0364Conductor shape
    • H05K2201/0379Stacked conductors
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K2201/00Indexing scheme relating to printed circuits covered by H05K1/00
    • H05K2201/03Conductive materials
    • H05K2201/0332Structure of the conductor
    • H05K2201/0388Other aspects of conductors
    • H05K2201/0391Using different types of conductors
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K2201/00Indexing scheme relating to printed circuits covered by H05K1/00
    • H05K2201/09Shape and layout
    • H05K2201/09209Shape and layout details of conductors
    • H05K2201/095Conductive through-holes or vias
    • H05K2201/09563Metal filled via
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K2201/00Indexing scheme relating to printed circuits covered by H05K1/00
    • H05K2201/10Details of components or other objects attached to or integrated in a printed circuit board
    • H05K2201/10227Other objects, e.g. metallic pieces
    • H05K2201/10416Metallic blocks or heatsinks completely inserted in a PCB
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K2203/00Indexing scheme relating to apparatus or processes for manufacturing printed circuits covered by H05K3/00
    • H05K2203/04Soldering or other types of metallurgic bonding
    • H05K2203/043Reflowing of solder coated conductors, not during connection of components, e.g. reflowing solder paste

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Ceramic Engineering (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Structure Of Printed Boards (AREA)
  • Production Of Multi-Layered Print Wiring Board (AREA)

Abstract

【課題】絶縁層に対する配線層の位置ずれを抑制できる配線基板を提供する。【解決手段】本開示は、少なくとも1つの絶縁層と、少なくとも1つの配線層と、を備える配線基板である。少なくとも1つの配線層は、少なくとも1つの絶縁層に重ね合わせて配置される。少なくとも1つの絶縁層は、1つの配線層が配置される配置部と、配置部に配置された配線層の少なくとも一部を面方向に囲う側壁部と、を有する。側壁部は、配線層の面方向における移動及び回転を規制する平面形状を有する。【選択図】図2

Description

本開示は、配線基板、及びプレーナトランスに関する。
複数の絶縁層と複数の配線層とを交互に積層した配線基板の製造方法として、金属ペーストを絶縁層上に印刷し、焼成して配線層を形成する方法が知られている。ただし、この方法では、配線部の厚みが十分に確保できないため、配線部の抵抗の低減に限界が生じ得る。
一方で、金属箔を絶縁層に接着することで配線層を形成する方法も知られている(特許文献1参照)。
特開平11−329842号公報
上述の配線基板の製造過程において、積層時に配線層の絶縁層に対する位置がずれる場合がある。このような位置ずれは、配線基板における性能のバラツキの原因となる。また、積層時に配線層の位置が固定されないと、積層工程が煩雑となり、製造コストが増大する。
本開示の一局面は、絶縁層に対する配線層の位置ずれを抑制できる配線基板を提供することを目的とする。
本開示の一態様は、少なくとも1つの絶縁層と、少なくとも1つの配線層と、を備える配線基板である。少なくとも1つの配線層は、少なくとも1つの絶縁層に重ね合わせて配置される。少なくとも1つの絶縁層は、1つの配線層が配置される配置部と、配置部に配置された配線層の少なくとも一部を面方向に囲う側壁部と、を有する。側壁部は、配線層の面方向における移動及び回転を規制する平面形状を有する。
このような構成によれば、絶縁層の側壁部によって、絶縁層に重ね合わせて配置された配線層の面方向の移動及び回転が規制される。そのため、絶縁層に対する配線層の位置ずれが抑制できる。その結果、積層工程が容易になると共に、積層後の配線基板における性能のバラツキを抑制できる。
本開示の一態様では、側壁部は、配置部に配置された配線層から離間する向きに凹んだ側壁凹部、及び配線層に向かって突出する側壁凸部のうち少なくとも一方を有してもよい。配線層は、側壁凹部に入り込む配線凸部、及び側壁凸部が入り込む配線凹部のうち少なくとも一方を有してもよい。このような構成によれば、より確実に絶縁層に対する配線層の位置ずれを抑制できる。
本開示の一態様では、側壁部は、2つの側壁凹部の組合せ、2つの側壁凸部の組合せ、又は1つの側壁凹部と1つの側壁凸部との組合せを有してもよい。また、厚み方向から視て、組合せを構成する全ての側壁凹部又は側壁凸部を通り、かつ配置部に配置された配線層の幾何学的重心を通る仮想直線が存在してもよい。このような構成によれば、配線層の回転に対する抑制効果を高めることができる。
本開示の一態様では、側壁部は、配置部に配置された配線層の少なくとも一部を挟んで配置され、それぞれ第1方向に延伸する少なくとも2つの面と、配線層の少なくとも一部を挟んで配置され、それぞれ第1方向と垂直な第2方向に延伸する2つの面と、を有してもよい。このような構成によれば、容易かつ確実に配線層の面方向における移動及び回転を規制することができる。
本開示の一態様では、側壁部は、配置部の面方向外側に配置された第1部と、配置部を挟んで第1部と反対側に配置された第2部と、を有してもよい。このような構成によれば、配置部の面積を維持しつつ、配線層の面方向における移動及び回転を規制することができる。
本開示の一態様では、少なくとも1つの配線層は、少なくとも1つの絶縁層のうち隣接する絶縁層と固定されていなくてもよい。このような構成によれば、温度変化によって配線層及び絶縁層が膨張又は収縮した際に、熱膨張率の差異による配線層と絶縁層との変形量の差を、配線層及び絶縁層が個別に変位することによって吸収できる。そのため、絶縁層と配線層との間で発生する応力が低減され、絶縁層におけるクラック等の欠陥が抑制される。
なお、配線層が絶縁層に接着又は接合により固定されていないと、配線層が位置ずれを起こす可能性が高くなるが、本開示では上述のように配線層の絶縁層に対する移動及び回転が抑制される。そのため、積極的に配線層を絶縁層に対し非接着固定化又は非接合固定化することができる。
本開示の一態様では、少なくとも1つの絶縁層は、セラミックを主成分としてもよい。このような構成によれば、絶縁層の平坦性が向上されるので、絶縁層に配線を高密度に配置することができる。さらに、高い絶縁性も得ることができる。
また、本開示の別の態様は、本開示の配線基板を用いたプレーナトランスである。
実施形態の配線基板の厚み方向と平行な面での模式的な断面図である。 図1の配線基板の模式的な平面図である。 図3Aは、図1の配線基板における接続導体近傍の模式的な部分拡大断面図であり、図3Bは、図3AのIIIB−IIIB線での模式的な断面図である。 図1の配線基板の製造方法を示すフローチャートである。 図1とは異なる実施形態の配線基板の模式的な平面図である。 図1及び図5とは異なる実施形態の配線基板の模式的な平面図である。 図1、図5及び図6とは異なる実施形態の配線基板の模式的な平面図である。
以下、本開示が適用された実施形態について、図面を用いて説明する。
[1.第1実施形態]
[1−1.配線基板]
図1及び図2に示す配線基板1は、複数の絶縁層2と、複数の配線層5と、複数の配線層5間を接続する少なくとも1つの接続導体7(図3A参照)とを備える。
なお、本実施形態では、本開示の一例として2つの絶縁層2と2つの配線層5とを備える多層構造の配線基板1を説明するが、本開示の配線基板における絶縁層2及び配線層5の数はこれに限定されない。
配線基板1は、配線層5のパターンの設計により、トランス(つまり変圧器)、絶縁ゲートバイポーラトランジスタ(IGBT)、発光ダイオード(LED)照明装置、パワートランジスタ、モーター等の用途に使用される。配線基板1は、配線層5の厚肉化が容易であるため、高電圧及び大電流の用途に特に好適に使用できる。
<絶縁層>
複数の絶縁層2は、それぞれ表面及び裏面を有する。また、複数の絶縁層2は、それぞれセラミックを主成分とする。なお、「主成分」とは、80質量%以上含有される成分を意味する。
複数の絶縁層2を構成するセラミックとしては、例えばアルミナ、ベリリア、窒化アルミニウム、窒化ホウ素、窒化ケイ素、炭化ケイ素、LTCC(Low Temperature Co−fired Ceramic)等が挙げられる。これらのセラミックは単体で、又は2種以上組み合わせて使用することができる。
各絶縁層2は、配置部21と、側壁部22とを有する。
配置部21は、1つの配線層5が表面側に配置される部位である。また、配置部21には、図3Aに示すように、絶縁層2を厚み方向に貫通する少なくとも1つの貫通孔2Aが形成されている。貫通孔2Aは、いわゆる配線層間を厚み方向において電気的に接続するビアが配置されるビアホールである。
側壁部22は、配置部21よりも厚みが大きい部位である。側壁部22は、配置部21及び配線層5の少なくとも一部を面方向に囲う部位である。なお、図2では、側壁部22と平面視で重なる位置には、配線層5は配置されていないが、位置ずれが生じにくい比較的面積の小さい配線層(例えば電極等)が側壁部22と平面視で重なる位置に配置されてもよい。
本実施形態では、図2に示すように、側壁部22は、配置部21及び配線層5の面方向外側に配置された第1部22Aと、配置部21及び配線層5を挟んで第1部22Aと反対側に配置された第2部22Bとを有する。つまり、側壁部22は、配置部21及び配線層5をX方向の両側から囲んでいる。
具体的には、第1部22Aは、絶縁層2の表面におけるX方向の一方の端部に設けられている。第2部22Bは、絶縁層2の表面におけるX方向の他方の端部に設けられている。第1部22A及び第2部22Bは、それぞれ、厚み方向から視て(つまり平面視で)Y方向に延伸する帯状に設けられている。そのため、側壁部22は、配置部21をX方向に囲っている。
また、側壁部22は、配置部21に配置された配線層5から離間する向きに凹んだ2つの側壁凹部22C,22Dを有する。2つの側壁凹部22C,22Dは、第1部22Aと第2部22Bとに1つずつ設けられている。
第1部22Aに設けられた第1側壁凹部22Cは、X方向に延伸し、Y方向に離間した2つの第1面22Eと、Y方向に延伸し、2つの第1面22Eと直交する第2面22Fとを有する。2つの第1面22Eは、後述する配線層5の配線凸部5Bを挟んでY方向に対向するように配置されている。つまり、第1側壁凹部22Cは、配線凸部5BをX方向の一方側(図2中、上方向)とY方向の両側(図2中、左右方向)とから囲っている。
なお、ここでいうX方向とは、特許請求の範囲に記載の「第1方向」に対応し、Y方向とは、特許請求の範囲に記載の「第2方向」に対応する。以下についても同様である。
第2部22Bに設けられた第2側壁凹部22Dは、X方向に延伸し、Y方向に離間した2つの第3面22Gと、Y方向に延伸し、2つの第3面22Gと直交する第4面22Hとを有する。2つの第3面22Gは、後述する配線層5の配線凸部5Cを挟んでY方向に対向するように配置されている。また、第4面22Hは、第1側壁凹部22Cの第2面22Fと、配線層5を挟んで配置されている。つまり、第2側壁凹部22Dは、配線凸部5BをX方向の一方側(図2中、下方向)とY方向の両側とから囲っている。
絶縁層2は、厚みが一定の絶縁層を用意し、この絶縁層の配置部21となる領域以外に別の絶縁層を配置して側壁部22を形成することで得ることができる。また、配置部21と側壁部22とが一体形成されていてもよい。
<配線層>
複数の配線層5は、それぞれ表面及び裏面を有する。また、複数の配線層5は、導電性を有し、主成分として金属を含む。この金属としては、例えば、銅、アルミニウム、銀、金、白金、ニッケル、チタン、クロム、モリブデン、タングステン、これらの合金等が挙げられる。これらの中でも、コスト、導電性、熱伝導性、及び強度の観点から、銅が好ましい。したがって、配線層5として、銅箔又は銅板が好適に使用できる。
複数の配線層5は、図1に示すように、各絶縁層2の表面側に重ね合わせて配置されている。つまり、複数の絶縁層2と複数の配線層5とが厚み方向に交互に配置されている。具体的には、各配線層5は、各絶縁層2の配置部21の表面側に配置されている。
各配線層5は、図2に示すように、配線本体5Aと、2つの配線凸部5B,5Cとを有する。配線本体5Aは、主に配線として機能する部分である。本実施形態では、配線本体5Aはコイルパターンを形成しているが、配線本体5Aの形状はコイルパターンに限定されない。また、配線本体5Aがコイルパターンを形成する場合であっても、配線本体5が形成するコイルパターンは環状のコイルパターンに限定されない。
2つの配線凸部5B,5Cは、第1側壁凹部22C及び第2側壁凹部22D内にそれぞれ入り込む。第1側壁凹部22Cに入り込む配線凸部5Bは、コイルパターンの中途部分からコイルの外側に向かってX方向に延伸した部位である。第2側壁凹部22Dに入り込む配線凸部5Cは、コイルパターンの先端部をコイルの外側に向かってX方向に延伸した部位である。
2つの配線凸部5B,5Cと、第1側壁凹部22C及び第2側壁凹部22Dとは、それぞれ、離間しながら近接して配置されている。これにより、温度変化によって絶縁層2及び配線層5が膨張した際の干渉を抑制できる。ただし、絶縁層2及び配線層5の膨張による影響を受けない範囲において、側壁部22と配線層5とが一部で当接していてもよい。
また、各配線層5は、複数の絶縁層2のうち隣接する絶縁層2と固定されていない。つまり、各配線層5は、隣接する絶縁層2に対して個別に変位可能に構成されている。
換言すれば、複数の配線層5が隣接する絶縁層2に固定されている領域を固定領域、複数の配線層5が隣接する絶縁層2に固定されていない領域を非固定領域としたとき、複数の配線層5は、固定領域を有さず、非固定領域のみを有する。本実施形態では、後述するように各接続導体7が絶縁層2に接合されていないので、各配線層5における接続導体7との接合部分は、非固定領域に含まれる。
なお、本実施形態では、複数の配線層5は、隣接する絶縁層2と離間しているが、複数の配線層5は、隣接する絶縁層2に当接していてもよい。つまり、配線層5と隣接する絶縁層2とが面方向にそれぞれ個別に変位できれば、配線層5と隣接する絶縁層2とが離間せずに当接していてもよい。
<側壁部と配線層との関係>
側壁部22は、2つの配線凸部5B,5Cの少なくとも一部をそれぞれ面方向に囲う2つの側壁凹部22C,22Dにより、配置部21に配置された配線層5の面方向における移動及び回転を規制する平面形状を有している。
具体的には、配線層5が絶縁層2上でX方向に移動しようとすると、第1側壁凹部22Cの第2面22F又は第2側壁凹部22Dの第4面22Hに配線層5の配線凸部5B,5Cが当接し、配線層5のX方向の移動が規制される。
また、配線層5が絶縁層2上でY方向に移動しようとすると、第1側壁凹部22Cの2つの第1面22Eのうち一方の面、及び第2側壁凹部22Dの2つの第3面22Gのうち一方の面に配線層5の配線凸部5B,5Cが当接し、配線層5のY方向の移動が規制される。
さらに、配線層5が絶縁層2上で回転しようとすると、第1側壁凹部22Cの2つの第1面22Eのうち一方の面に配線凸部5Bが当接すると共に、第2側壁凹部22Dの2つの第3面22Gのうち一方の面に配線凸部5Cが当接し、配線層5の回転が規制される。
第1側壁凹部22Cと第2側壁凹部22Dとの位置関係としては、平面視で第1側壁凹部22Cを通り、配線層5の幾何学的重心Gを通り、かつ、第2側壁凹部22Dも通る仮想直線が存在するような位置関係が好ましい。
具体的には、第1側壁凹部22C及び第2側壁凹部22Dにおいて、配線層5の回転を規制する際に配線凸部5B,5Cと当接する位置が、配線層5の平面形状における幾何学的重心Gを挟んで対向するとよい。
<接続導体>
複数の接続導体7は、図3Aに示すように、少なくとも1つの絶縁層2の貫通孔2A内に配置されている。接続導体7は、2つの配線層5を電気的に接続するいわゆるビアである。また、接続導体7は、2つの配線層5と接合されている。一方で、接続導体7は、絶縁層2と接合されていない。
接続導体7は、1つの金属部材7Aと、接合部7Bと、を有する。
1つの金属部材7Aは、貫通孔2A内に配置されている。1つの金属部材7Aは、接合部7Bを介して2つの配線層5同士を電気的に接続する。
金属部材7Aの材質は特に限定されず、複数の配線層5に使用可能な金属と同じものが使用できる。ただし、金属部材7Aの材質は、複数の配線層5の主成分と同じとすることが好ましい。これにより、温度変化時に接続導体7と2つの配線層5との間に発生する応力を低減できる。
本実施形態では、金属部材7Aは、図3Bに示すように平面形状が円形の板状のブロック体である。ブロック体とは、例えば、柱状体、板状体、箔状体等を含む。また、絶縁層2の厚み方向と垂直な仮想面に投影した金属部材7Aの面積は、貫通孔2Aの開口面積よりも小さい。つまり、金属部材7Aの平面形状における径は、貫通孔2Aの径よりも小さい。なお、金属部材7Aの平面形状は円形に限定されず、楕円形や多角形としてもよい。
本実施形態では、金属部材7Aは、貫通孔2Aを構成する絶縁層2の内壁と離間しており、貫通孔2Aを構成する絶縁層2の内壁に固定されていない。また、金属部材7Aの厚みは、貫通孔2Aの深さ(つまり、貫通孔2A形成部分における絶縁層2の厚み)よりも小さい。
接合部7Bは、導電性を有し、金属部材7Aと2つの配線層5とを電気的に接続する。接合部7Bは、例えば銀−銅合金などの金属ロウ材や、錫−銀−銅合金等の半田材によって構成される。
接合部7Bは、図3Aに示すように、金属部材7Aの外面のうち、少なくとも絶縁層2の厚み方向における表面側及び裏面側の領域を被覆している。換言すれば、接合部7Bは、金属部材7Aにおける一方の配線層5と対向する表面と、他方の配線層5と対向する裏面とに接合されている。
また、接合部7Bは、金属部材7Aと2つの配線層5とを接合する。つまり、接合部7Bは、金属部材7Aの表面と一方の配線層5の裏面との間と、金属部材7Aの裏面と他方の配線層5の表面との間とに配置されている。なお、接合部7Bは、金属部材7Aの側面(つまり、貫通孔2Aの内壁と対向する面)には設けられていない。また、接合部7Bは、絶縁層2には接合されていない。接続導体7と貫通孔2Aを構成する絶縁層2の内壁との間には空隙が存在する。なお、1つの接続導体7において、金属部材7Aの体積は、接合部7Bの体積より大きい。
[1−2.配線基板の製造方法]
次に、配線基板1の製造方法について説明する。
配線基板1は、図4に示す絶縁層形成工程S1と、金属部材配置工程S2と、層配置工程S3と、接合工程S4と、を備える製造方法によって得られる。
<絶縁層形成工程>
本工程では、配置部21と側壁部22とを有する複数の絶縁層を形成すると共に、これらの絶縁層に、これらの絶縁層を厚み方向に貫通する貫通孔を形成する。
本工程では、最初に未焼結セラミックをセラミック基板状に成形する。具体的には、まず、セラミック粉末、有機バインダ、溶剤、及び可塑剤等の添加剤を混合して、スラリーを得る。次に、このスラリーを周知の方法によりシート状に成形することで、基板状の未焼結セラミック(いわゆるセラミックグリーンシート)が得られる。
その後、得られた複数のセラミックグリーンシートを部分的に重ね合わせて配置部21と側壁部22となる部分を設ける。なお、一枚のセラミックグリーンシートを加工して配置部21と側壁部22となる部分を設けてもよい。
さらに、セラミックグリーンシートに対し、穿設等により、貫通孔2Aを設ける。その後、セラミックグリーンシートを焼結する。これにより、セラミック製の複数の絶縁層2が得られる。
<金属部材配置工程>
本工程では、貫通孔2A内に、外面の少なくとも一部(本実施形態では表面及び裏面)が接合部7Bで被覆された金属部材7Aを配置する。具体的には、金属ロウ材又は半田材から構成される接合部7Bを塗布等により金属部材7Aの表面及び裏面に積層した後、金属部材7Aを貫通孔2A内に配置する。
<層配置工程>
本工程では、金属部材7Aを配置した複数の絶縁層2と複数の配線層5とを交互に重ね合わせる。
なお、層配置工程S3は、金属部材配置工程S2の前に行ってもよい。また、金属部材配置工程S2と、層配置工程S3とを同時に行ってもよい。例えば、1つの配線層5を1つの絶縁層2の裏面側に配置した後、金属部材7Aを貫通孔2A内に配置し、その後、別の配線層5を上記絶縁層2の表面側に配置してもよい。
<接合工程>
本工程では、接合部7Bを溶融及び固化し、金属部材7Aと2つの配線層5とを接合する。具体的には、層配置工程S3で得た各層を重ね合わせた積層体を加熱する。これにより、接続導体7が形成される。
[1−3.効果]
以上詳述した実施形態によれば、以下の効果が得られる。
(1a)絶縁層2の側壁部22によって、絶縁層2に重ね合わせて配置された配線層5の面方向の移動及び回転が規制される。そのため、絶縁層2に対する配線層5の位置ずれが抑制できる。その結果、積層工程が容易になると共に、積層後の配線基板1における性能のバラツキを抑制できる。
特に、配線層5がコイルパターンを含む場合には、複数の配線層5におけるコイルパターンの位置ずれ、ひいてはコイルの重なりのずれが抑えられる。その結果、コイル径を小さくすることができる。
(1b)側壁部22が2つの側壁凹部22C,22Dを有し、配線層5が2つの配線凸部5B,5Cを有することで、より確実に絶縁層2に対する配線層5の位置ずれを抑制できる。
(1c)側壁部22が、配線層5を挟んで配置され、それぞれX方向に延伸する2つの第1面22E及び2つの第3面22Gと、配線層5を挟んで配置され、それぞれY方向に延伸する第2面22F及び第4面22Hとを有するので、容易かつ確実に配線層5の面方向における移動及び回転を規制することができる。
(1d)厚み方向から視て、第1側壁凹部22Cと第2側壁凹部22Dとを通り、かつ配線層5の幾何学的重心Gを通る仮想直線が存在することで、配線層5の回転に対する抑制効果を高めることができる。
(1e)側壁部22が配置部21を挟んで配置される第1部22Aと第2部22Bとを有することで、配置部21の面積を維持しつつ、配線層5の面方向における移動及び回転を規制することができる。
(1f)複数の配線層5が隣接する絶縁層2と固定されていないので、温度変化によって複数の配線層5及び複数の絶縁層2が膨張又は収縮した際に、複数の配線層5と複数の絶縁層2との間の熱膨張率の差異による複数の配線層5と複数の絶縁層2との変形量の差を、隣接する配線層5と絶縁層2とが個別に変位することによって吸収できる。そのため、複数の絶縁層2と複数の配線層5との間で発生する応力が低減され、複数の絶縁層2におけるクラック等の欠陥が抑制される。
配線層5が絶縁層2に接着又は接合により固定されていないと、配線層5が位置ずれを起こす可能性が高くなるが、配線基板1では上述のように配線層5の絶縁層2に対する移動及び回転が抑制される。そのため、積極的に配線層5を絶縁層2に対し非接着固定化又は非接合固定化することができる。
(1g)複数の絶縁層2は、それぞれセラミックを主成分とするので、各絶縁層2の平坦性が向上される。そのため、各絶縁層2に配線を高密度に配置することができる。さらに、高い絶縁性も得ることができる。これにより、複数の配線層5に比較的大きな電流を流す場合でも、配線層5間の確実な電気的絶縁が可能となる。
[2.第2実施形態]
[2−1.配線基板]
図5に示す配線基板11は、図1に示す配線基板1と同様に、複数の絶縁層2と、複数の配線層5と、複数の配線層5間を接続する少なくとも1つの接続導体7(図示省略)とを備える。
本実施形態の配線基板11は、複数の絶縁層2の側壁部22の平面形状と、複数の配線層5の平面形状とが異なる点を除いて、図1の配線基板1と同様であるため、同様の部分についての説明を省略する。
本実施形態では、側壁部22は、1つの側壁凹部22Dと、1つの側壁凸部22Iとを有する。
側壁凹部22Dは、第2部22Bに設けられている。側壁凹部22Dは、図1の第2側壁凹部22Dと同様のものである。つまり、側壁凹部22Dは、配線層5の配線凸部5Cを挟んで配置され、X方向に延伸する2つの第3面22Gを有する。また、側壁凹部22Dは、Y方向に延伸する第4面22Hを有する。
側壁凸部22Iは、第1部22Aに設けられている。側壁凸部22Iは、配線層5に向かって突出している。側壁凸部22Iは、突出方向の先端にY方向に延伸する第2面22Fを有する。第2面22Fは、側壁凹部22Dの第4面22Hと、配線層5を挟んで配置されている。
配線層5は、コイルパターンを形成する配線本体5Aと、1つの配線凸部5Cと、1つの配線凹部5Dとを有する。
配線凸部5Cは、図1の配線基板1と同様のものであり、側壁凹部22Dに入り込んでいる。
配線凹部5Dは、コイルパターンの中途部分を内側に切り欠いた部位である。配線凹部5Dには、側壁凸部22Iが入り込んでいる。
側壁凹部22Dと側壁凸部22Iとの位置関係としては、平面視で側壁凹部22D及び側壁凸部22Iを通過し、かつ配線層5の幾何学的重心Gを通る仮想直線が存在するような位置関係が好ましい。
配線基板11の側壁部22は、配線凸部5Cの少なくとも一部を面方向に囲う側壁凹部22Dと、配線凹部5Dによって少なくとも一部が面方向に囲われる側壁凸部22Iとにより、配置部21に配置された配線層5の面方向における移動及び回転を規制する平面形状を有している。
[3.第3実施形態]
[3−1.配線基板]
図6に示す配線基板12は、図1に示す配線基板1と同様に、複数の絶縁層2と、複数の配線層5と、複数の配線層5間を接続する少なくとも1つの接続導体7(図示省略)とを備える。
本実施形態の配線基板12は、複数の絶縁層2の側壁部22の平面形状と、複数の配線層5の平面形状とが異なる点を除いて、図1の配線基板1と同様であるため、同様の部分についての説明を省略する。
本実施形態では、側壁部22は、1つの側壁凹部22Jを有する。側壁凹部22Jは、第1部22Aに設けられている。側壁凹部22Jは、2つの第1面22Eと、1つの第2面22Fと、2つの第4面22Hとを有する。なお、第2部22Bには、凹部又は凸部が設けられていない。
2つの第1面22Eは、それぞれX方向に延伸し、Y方向に離間して配置されている。第2面22Fは、Y方向に延伸し、2つの第1面22Eの配線層5から遠い方の端部同士を連結する。2つの第4面22Hは、それぞれY方向に延伸し、かつY方向に離間して配置されている。2つの第4面22Hは、それぞれ、2つの第1面22Eの第2面22Fとは反対側の端部に連結されている。
配線層5は、コイルパターンを形成する配線本体5Aと、1つの配線凸部5Eとを有する。配線凸部5Eは、コイルパターンの中途部分からコイルの外側に向かってX方向に延伸した部位である。
配線凸部5Eは、配線本体5Aから延伸した先端部がY方向両側に延伸したT字状の平面形状を有する。配線凸部5Eは、側壁凹部22J内に入り込んでいる。配線凸部5Eは、側壁凹部22Jの2つの第1面22Eの間、及び第2面22Fと2つの第4面22Hとの間に配置されている。
配線基板12の側壁部22は、配線凸部5EをX方向両側及びY方向両側から囲う側壁凹部22Jにより、配置部21に配置された配線層5の面方向における移動及び回転を規制する平面形状を有している。
[4.第4実施形態]
[4−1.配線基板]
図7に示す配線基板13は、図1に示す配線基板1と同様に、複数の絶縁層2と、複数の配線層5と、複数の配線層5間を接続する少なくとも1つの接続導体7(図示省略)とを備える。
本実施形態の配線基板13は、複数の絶縁層2の側壁部22の平面形状と、複数の配線層5の平面形状とが異なる点を除いて、図1の配線基板1と同様であるため、同様の部分についての説明を省略する。
本実施形態では、側壁部22は、1つの側壁凹部22Dを有する。側壁凹部22Dは、第2部22Bに設けられている。側壁凹部22Dは、図1の第2側壁凹部22Dと同様のものである。つまり、側壁凹部22Dは、配線層5の配線凸部5Cを挟んで配置され、X方向に延伸する2つの第3面22Gを有する。また、側壁凹部22Dは、Y方向に延伸する第4面22Hを有する。
側壁部22の第1部22Aには、凹部又は凸部が設けられていない。ただし、第1部22Aは、配線層5と対向し、Y方向に延伸する第2面22Fを有する。第2面22Fと側壁凹部22Dの第4面22Hとは、配線層5を挟んで配置されている。
配線層5は、コイルパターンを形成する配線本体5Aと、1つの配線凸部5Cと、2つの膨出部5F,5Gとを有する。
配線凸部5Cは、図1の配線基板1と同様のものであり、側壁凹部22Dに入り込んでいる。
2つの膨出部5F,5Gは、それぞれ、コイルパターンからコイルパターンの外側に向かって膨出した部位である。一方の膨出部5Fは、側壁部22の第1部22Aに近接する位置に配置されている。他方の膨出部5Gは、側壁部22の第2部22Bにおける側壁凹部22D以外の部分に近接する位置に配置されている。
配線層5が絶縁層2上でX方向への移動又は回転をしようとすると、2つの膨出部5F,5Gが第1部22A又は第2部22Bに当接し、配線層5のX方向の移動又は回転が規制される。
配線基板13の側壁部22は、配線凸部5Cの少なくとも一部を面方向に囲う側壁凹部22Dと、膨出部5F,5Gと当接する第1部22A及び第2部22Bとにより、配置部21に配置された配線層5の面方向における移動及び回転を規制する平面形状を有している。
[5.他の実施形態]
以上、本開示の実施形態について説明したが、本開示は、上記実施形態に限定されることなく、種々の形態を採り得ることは言うまでもない。
(5a)上記実施形態の配線基板1,11,12,13において、側壁部22は必ずしも配置部21を挟んで配置される第1部22A及び第2部22Bを有さなくてもよい。側壁部22は、配置部21を少なくとも異なる2方向から囲むように配置されればよい。したがって、例えば、側壁部22はX方向に延伸する部位とY方向に延伸する部位とから構成されてもよい。また、側壁部22は、配線層5の周囲全体を囲ってもよい。
(5b)上記実施形態の配線基板1,11,12,13において、側壁部22は、必ずしも配線層5の少なくとも一部を挟んで配置され、それぞれ第1方向に延伸する少なくとも2つの面と、配線層5の少なくとも一部を挟んで配置され、それぞれ第2方向に延伸する2つの面とを有しなくてもよい。つまり、側壁部22は、必ずしも第1面22E、第2面22F、第3面22G及び第4面22Hを有さなくてもよい。
(5c)上記実施形態の配線基板1,11,12,13において、側壁部22は必ずしも側壁凹部又は側壁凸部を有さなくてもよい。
(5d)上記実施形態の配線基板1,11,12,13において、複数の配線層5は隣接する絶縁層2と金属ロウ材又は半田材によってその一部又は全体が固定されてもよい。また、接続導体7が絶縁層2と固定されてもよい。つまり、複数の配線層5のそれぞれは、絶縁層2に対する固定領域と非固定領域との2つの領域を併有してもよい。また、複数の配線層5は、必ずしも非固定領域を有さなくてもよい。
(5e)上記実施形態の配線基板1,11,12,13において、接続導体7の構成は一例である。したがって、接続導体7の金属部材7Aは、球体であってもよい。また、金属部材7Aの替わりに、金属製の粒体又は複数の配線層5を厚み方向に貫通する金属製の棒体を、接合部によって配線層5に接合した接続導体7を用いてもよい。
(5f)上記実施形態の配線基板1,11,12,13において、各絶縁層2の材質はセラミックに限定されない。例えば、各絶縁層2は、樹脂、ガラス等を主成分としてもよい。
(5g)上記実施形態の配線基板1,11,12,13は、プレーナトランスを形成可能である。つまり、複数の配線層5は、それぞれコイル状の配線パターンを隣接する絶縁層2の外縁部に有してもよい。また、各絶縁層2の中央部にはコイル状に形成された巻線配線パターンの内側を貫通するコア挿入孔が形成されてもよい。このコア挿入孔には、例えばフェライトなどの磁性体コアが挿入される。
(5h)上記実施形態の配線基板1において、複数の絶縁層2が同じ厚みを有すると共に、複数の配線層5が同じ厚みを有するように図示されているが、各絶縁層2の厚み及び各配線層5の厚みは、それぞれ異なっていてもよい。また、各配線層5の占有面積は異なっていてもよい。
(5i)上記実施形態における1つの構成要素が有する機能を複数の構成要素として分散させたり、複数の構成要素が有する機能を1つの構成要素に統合したりしてもよい。また、上記実施形態の構成の一部を省略してもよい。また、上記実施形態の構成の少なくとも一部を、他の上記実施形態の構成に対して付加、置換等してもよい。なお、特許請求の範囲に記載の文言から特定される技術思想に含まれるあらゆる態様が本開示の実施形態である。
1…配線基板、2…絶縁層、2A…貫通孔、5…配線層、5A…配線本体、
5B,5C,5E…配線凸部、5D…配線凹部、5F,5G…膨出部、7…接続導体、
7A…金属部材、7B…接合部、11,12,13…配線基板、21…配置部、
22…側壁部、22A…第1部、22B…第2部、
22C,22D,22J…側壁凹部、22E…第1面、22F…第2面、
22G…第3面、22H…第4面、22I…側壁凸部。

Claims (8)

  1. 少なくとも1つの絶縁層と、
    前記少なくとも1つの絶縁層に重ね合わせて配置された少なくとも1つの配線層と、
    を備え、
    前記少なくとも1つの絶縁層は、
    1つの前記配線層が配置される配置部と、
    前記配置部に配置された前記配線層の少なくとも一部を面方向に囲う側壁部と、
    を有し、
    前記側壁部は、前記配線層の面方向における移動及び回転を規制する平面形状を有する、配線基板。
  2. 前記側壁部は、前記配置部に配置された前記配線層から離間する向きに凹んだ側壁凹部、及び前記配線層に向かって突出する側壁凸部のうち少なくとも一方を有し、
    前記配線層は、前記側壁凹部に入り込む配線凸部、及び前記側壁凸部が入り込む配線凹部のうち少なくとも一方を有する、請求項1に記載の配線基板。
  3. 前記側壁部は、2つの前記側壁凹部の組合せ、2つの前記側壁凸部の組合せ、又は1つの前記側壁凹部と1つの前記側壁凸部との組合せを有し、
    厚み方向から視て、前記組合せを構成する全ての前記側壁凹部又は前記側壁凸部を通り、かつ前記配置部に配置された前記配線層の幾何学的重心を通る仮想直線が存在する、請求項2に記載の配線基板。
  4. 前記側壁部は、
    前記配置部に配置された前記配線層の少なくとも一部を挟んで配置され、それぞれ第1方向に延伸する少なくとも2つの面と、
    前記配線層の少なくとも一部を挟んで配置され、それぞれ前記第1方向と垂直な第2方向に延伸する2つの面と、
    を有する、請求項2又は請求項3に記載の配線基板。
  5. 前記側壁部は、
    前記配置部の面方向外側に配置された第1部と、
    前記配置部を挟んで前記第1部と反対側に配置された第2部と、
    を有する、請求項1から請求項4のいずれか1項に記載の配線基板。
  6. 前記少なくとも1つの配線層は、前記少なくとも1つの絶縁層のうち隣接する絶縁層と固定されていない、請求項1から請求項5のいずれか1項に記載の配線基板。
  7. 前記少なくとも1つの絶縁層は、セラミックを主成分とする、請求項1から請求項6のいずれか1項に記載の配線基板。
  8. 請求項1から請求項7のいずれか1項に記載の配線基板を用いたプレーナトランス。
JP2017177557A 2017-09-15 2017-09-15 配線基板、及びプレーナトランス Pending JP2019054118A (ja)

Priority Applications (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2017177557A JP2019054118A (ja) 2017-09-15 2017-09-15 配線基板、及びプレーナトランス
US16/127,349 US20190088409A1 (en) 2017-09-15 2018-09-11 Wiring board and planar transformer
KR1020180108301A KR20190031155A (ko) 2017-09-15 2018-09-11 배선기판 및 플래너 트랜스
CN201811072375.3A CN109511222A (zh) 2017-09-15 2018-09-14 布线基板和平面变压器
DE102018215688.3A DE102018215688A1 (de) 2017-09-15 2018-09-14 Leiterplatte und Planer Transformatorgebiet der Erfindung

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2017177557A JP2019054118A (ja) 2017-09-15 2017-09-15 配線基板、及びプレーナトランス

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2019054118A true JP2019054118A (ja) 2019-04-04

Family

ID=65526644

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2017177557A Pending JP2019054118A (ja) 2017-09-15 2017-09-15 配線基板、及びプレーナトランス

Country Status (5)

Country Link
US (1) US20190088409A1 (ja)
JP (1) JP2019054118A (ja)
KR (1) KR20190031155A (ja)
CN (1) CN109511222A (ja)
DE (1) DE102018215688A1 (ja)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US11887776B2 (en) * 2020-06-18 2024-01-30 Texas Instruments Incorporated Method for manufacturing an integrated transformer with printed core piece

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11329842A (ja) 1998-05-13 1999-11-30 Tdk Corp 電子部品及びその製造方法
US6278353B1 (en) * 1999-11-16 2001-08-21 Hamilton Sundstrand Corporation Planar magnetics with integrated cooling
JP2002175922A (ja) * 2000-12-08 2002-06-21 Sansha Electric Mfg Co Ltd 高周波大電流変圧器
JP3830372B2 (ja) * 2001-10-30 2006-10-04 京セラ株式会社 セラミック回路基板
JP2003324017A (ja) * 2002-04-30 2003-11-14 Koito Mfg Co Ltd トランス
KR20160126141A (ko) * 2015-04-22 2016-11-02 엘에스산전 주식회사 보빈구조를 갖는 트랜스포머
JP6812123B2 (ja) 2016-03-30 2021-01-13 キヤノン株式会社 3次元造形装置

Also Published As

Publication number Publication date
US20190088409A1 (en) 2019-03-21
KR20190031155A (ko) 2019-03-25
DE102018215688A1 (de) 2019-03-21
CN109511222A (zh) 2019-03-22

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN109698063B (zh) 层叠线圈部件及其制造方法
JP2013065793A (ja) 配線基板
JP2021521628A (ja) パワーモジュール、及びパワーモジュールを製造する方法
US20190088408A1 (en) Wiring board and planar transformer
JP2014154839A (ja) 積層コイル部品
JP2019054118A (ja) 配線基板、及びプレーナトランス
JP2012084786A (ja) Ledパッケージ
JP2019054117A (ja) 配線基板、及びプレーナトランス
JP2016006846A (ja) 配線基板および電子装置
CN116052974A (zh) 线圈零件
JP6317178B2 (ja) 回路基板および電子装置
JP2013219227A (ja) 電子装置
JP2019021879A (ja) 配線基板及びプレーナトランス
JP7195336B2 (ja) セラミック構造体及びセラミック構造体の製造方法
JP2020136293A (ja) 半導体装置及びその製造方法
JP6680634B2 (ja) 半導体素子実装用基板および半導体装置
JP2017174872A (ja) 半導体素子収納用パッケージおよび半導体装置
KR20190010458A (ko) 배선 기판, 플래너 트랜스, 및 배선 기판의 제조 방법
JP6885706B2 (ja) 半導体素子実装用基板および半導体装置
JP2004241944A (ja) 非可逆回路素子、非可逆回路素子の実装構造および通信装置
JP2000058325A (ja) セラミック電子部品
JP2019021878A (ja) 配線基板及びプレーナトランス
JP2004023770A (ja) 非可逆回路素子および通信装置
JP2017017141A (ja) コイル部品
JP6130278B2 (ja) 多数個取り配線基板