JP2019042888A - 研磨装置 - Google Patents
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- 238000005498 polishing Methods 0.000 title claims abstract description 76
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims abstract description 124
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 77
- 238000003825 pressing Methods 0.000 abstract description 5
- 239000002002 slurry Substances 0.000 description 12
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 6
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 6
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 5
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 description 5
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 5
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 5
- WSMQKESQZFQMFW-UHFFFAOYSA-N 5-methyl-pyrazole-3-carboxylic acid Chemical compound CC1=CC(C(O)=O)=NN1 WSMQKESQZFQMFW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 3
- GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N lithium niobate Chemical compound [Li+].[O-][Nb](=O)=O GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000007517 polishing process Methods 0.000 description 3
- 239000004698 Polyethylene Substances 0.000 description 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- -1 polyethylene Polymers 0.000 description 2
- 229920000573 polyethylene Polymers 0.000 description 2
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 2
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 2
- JOYRKODLDBILNP-UHFFFAOYSA-N Ethyl urethane Chemical compound CCOC(N)=O JOYRKODLDBILNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000004308 accommodation Effects 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 239000004745 nonwoven fabric Substances 0.000 description 1
- 229920013716 polyethylene resin Polymers 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B37/00—Lapping machines or devices; Accessories
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- B24B37/10—Lapping machines or devices; Accessories designed for working plane surfaces characterised by the movement of the work or lapping tool for single side lapping
- B24B37/105—Lapping machines or devices; Accessories designed for working plane surfaces characterised by the movement of the work or lapping tool for single side lapping the workpieces or work carriers being actively moved by a drive, e.g. in a combined rotary and translatory movement
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- B24—GRINDING; POLISHING
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- B24B37/27—Work carriers
- B24B37/30—Work carriers for single side lapping of plane surfaces
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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- B24B37/00—Lapping machines or devices; Accessories
- B24B37/34—Accessories
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B37/00—Lapping machines or devices; Accessories
- B24B37/34—Accessories
- B24B37/345—Feeding, loading or unloading work specially adapted to lapping
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic Table or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
- H01L21/30—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26
- H01L21/302—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26 to change their surface-physical characteristics or shape, e.g. etching, polishing, cutting
- H01L21/304—Mechanical treatment, e.g. grinding, polishing, cutting
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- Computer Hardware Design (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
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- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
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Abstract
Description
2:保持テーブル 2a:保持面 3:カバー 4:ステージ
5:第1のカセット 6:搬送手段 7:仮置きテーブル 8:第2のカセット 9:水
10:研磨手段 11:スピンドル 12:スピンドルハウジング 13:ホルダ
14:モータ 15:マウント 16:研磨パッド 17:円板 18:研磨部材
19:スラリー供給源
20:研磨送り手段 21:ボールネジ 22:モータ 23:ガイドレール
24:昇降板
30:搬入手段 31:搬入パッド 32:旋回アーム 33:軸部材
40:搬出手段 41:搬出パッド 410:保持面 411:中央部
412:水噴出口 413:溝 413a:斜面 414:横ずれ防止壁
42:昇降機構 420:シリンダ 421:ピストンロッド 43:旋回アーム
44:旋回機構 440:軸部材 45:水供給源
50:収納手段 51:水槽 52a:第1の底部 52b:第2の底部
53:レール 54:移動手段 540:アーム 541:押し出し部
542:昇降機構 543:ボールネジ 544:モータ 545:ガイドレール
546:移動部
60,60A:カセットユニット 61,61A:ステージ 62:おもり
63,63A:アーム 630:アーム支持部 64:支点部
65:昇降手段 650:ボールネジ 651:モータ 652:昇降部
66:連結部 67:位置決めブロック 68:連結部 69:ガイド
70:認識部 71:投光部 72:受光部 80:判断手段 90:認識部
Claims (2)
- ウェーハを棚状に収容する第1のカセットと、ウェーハを保持する保持テーブルと、該第1のカセットから該保持テーブルにウェーハを搬入する搬入手段と、該保持テーブルが保持したウェーハを研磨する研磨手段と、該保持テーブルからウェーハを搬出する搬出手段と、該搬出手段が搬出したウェーハを棚状に収容する第2のカセットと、該搬出手段が搬出したウェーハを該第2のカセットに収納する収納手段と、を備えた研磨装置であって、
該搬出手段は、ウェーハを保持する保持面を有し、該保持面の中央から放射状に水を放水し該保持面とウェーハとの間に水層を形成してウェーハを保持する搬出パッドを備え、
該収納手段は、水槽と、
該第2のカセットが載置され該水槽内に該第2のカセットを水没させるカセットユニットと、
該水槽内に水没した該第2のカセットに向かって延在するレールと、
該搬出手段が該レールの上に水没させたウェーハを該レールの延在方向に沿って水中移動させ該第2のカセットに収納する移動手段と、を備え、
該カセットユニットは、
該第2のカセットが載置されるステージと、
該第2のカセットを上から押さえるおもりと、
該ステージに載置された該第2のカセットを該おもりで押さえた状態で該ステージを昇降させ該第2のカセットを水没させる昇降手段とを備え、
該おもりが該第2のカセットを押さえているときの該おもりの高さ位置で該第2のカセットのカセットサイズを認識する認識部を備える研磨装置。 - 前記おもりは、アームの一方の端に配設され、
該アームは、他方の端を支点に旋回することにより、該おもりを前記ステージに載置された前記第2のカセットの上に接近及び離間させ、
前記認識部は、該アームの角度で該おもりの高さを認識し、該第2のカセットのカセットサイズを認識する請求項1記載の研磨装置。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017170162A JP6920141B2 (ja) | 2017-09-05 | 2017-09-05 | 研磨装置 |
TW107126614A TWI754087B (zh) | 2017-09-05 | 2018-08-01 | 研磨裝置 |
CN201810993498.4A CN109420972B (zh) | 2017-09-05 | 2018-08-29 | 研磨装置 |
KR1020180102873A KR102528131B1 (ko) | 2017-09-05 | 2018-08-30 | 연마 장치 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017170162A JP6920141B2 (ja) | 2017-09-05 | 2017-09-05 | 研磨装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019042888A true JP2019042888A (ja) | 2019-03-22 |
JP6920141B2 JP6920141B2 (ja) | 2021-08-18 |
Family
ID=65514605
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017170162A Active JP6920141B2 (ja) | 2017-09-05 | 2017-09-05 | 研磨装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6920141B2 (ja) |
KR (1) | KR102528131B1 (ja) |
CN (1) | CN109420972B (ja) |
TW (1) | TWI754087B (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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-
2017
- 2017-09-05 JP JP2017170162A patent/JP6920141B2/ja active Active
-
2018
- 2018-08-01 TW TW107126614A patent/TWI754087B/zh active
- 2018-08-29 CN CN201810993498.4A patent/CN109420972B/zh active Active
- 2018-08-30 KR KR1020180102873A patent/KR102528131B1/ko active IP Right Grant
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN109420972A (zh) | 2019-03-05 |
KR20190026591A (ko) | 2019-03-13 |
CN109420972B (zh) | 2022-01-18 |
KR102528131B1 (ko) | 2023-05-02 |
JP6920141B2 (ja) | 2021-08-18 |
TW201913796A (zh) | 2019-04-01 |
TWI754087B (zh) | 2022-02-01 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20200703 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20210624 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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