JPH07240456A - ウェハキャリア固定装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 ウェハキャリアを水中で固定することによ
り、ビーカーからキャリアへのウェハの移し替えを確実
かつ効率的に行うことができる。 【構成】 ウェハキャリアを載置する底板３の一端側
に、上部に爪１１を有するキャリア係止部１を立設す
る。この底板３の他端側に傾動可能に設けた略逆Ｕ字形
の可動係合板２１を有する可動係合部２を設け、この可
動係合部２にその重心がキャリア係止部１側に偏心した
錘２２ａ、２２ｂを設ける。キャリア係止部１と可動係
合板２１によりウェハキャリアを挟持し固定する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、半導体ウェハを製造す
る工程において使用されるウェハキャリアを固定する装
置、特に水中において固定する装置に関するものであ
る。

【０００２】

【従来の技術】半導体ウェハはＩＣ用と個別半導体素子
用に大別されるが、個別半導体用に使用されるウェハは
スライスドウェハ、ラップドウェハ、エッチドウェハ等
がある。このうちラップドウェハはラッピング加工後、
ラッピングにより汚れたウェハ面を洗浄、乾燥して完成
されるが、上記洗浄はウェハをキャリアに装填してある
程度エッチングして行う方法と、水が入ったビーカーの
中に重ね合わせて装填し、超音波の振動によりウェハ面
から汚れをたたき落とす方法とがある。このうち、ウェ
ハキャリアに装填して洗浄する方法においては、洗浄後
のウェハを移し替えることなく、そのままの状態で乾燥
機にかけられるが、ピーカーに装填して洗浄する方法に
おいては、乾燥機にかけるために洗浄が終わったウェハ
をキャリアに移し替える必要がある。このウェハを移し
替える作業において、濡れたウェハを空気中にあるキャ
リアに１枚ずつ装填していくと、乾燥機に掛ける前に部
分的に自然乾燥していき、ウェハの表面にシミ不良が発
生する。このため、キャリアを水中に浸漬したままでウ
ェハをビーカーからキャリアへ移し替える作業が行われ
ている。上述の工程の中で使用されるキャリアの材質と
しては、ポリプロピレンが使用されている。これは成形
性がよく、硬質で、耐磨耗性に優れ、この材質特有のヒ
ンジ効果が大きく、しかも廉価であるという理由からで
ある。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】上記キャリアの材質で
あるポリプロピレンの比重は０．９〜０．９２程度と非
常に軽く、水中で浮遊してしまうため不安定な状態とな
り、作業中にキャリアを人手で押さえながら安定させて
行う必要があった。しかしながら、人手によりキャリア
を十分に固定することは困難であり、ウェハをキャリア
のスリットに挿入する際に、他のウェハと接触したり、
斜めに挿入してしまうおそれがあり、ウェハエッジが欠
けたり、表面に傷が発生するおそれがあった。本発明は
上記の問題に鑑みなされたものであり、ウェハキャリア
を水中で確実に固定することができ、移し替えの作業を
確実かつ効率的に行うことができるウェハキャリア固定
装置を提供することを目的とする。

【０００４】

【課題を解決するための手段】このため本発明では、ウ
ェハキャリアを載置する底板と、該底板の一端側に設け
られ、ウェハキャリアの端面に設けられた溝と係合する
係合爪を持つキャリア係止部と、前記底板の他端側に設
けられ、ウェハキャリアの他端面に設けられた溝に傾動
して係合する可動係合板と、該可動係合板をキャリア係
止部側に押圧する付勢手段とからなるようにしたもので
ある。

【０００５】

【実施例】

実施例１ 本発明の実施例１を図面に基づいて説明する。図１は本
発明に係る実施例１のウェハキャリア固定装置の斜視
図、図２は図１の正面図、図３はウェハキャリアがウェ
ハキャリア固定装置に挿入されて固定される順序を示す
図１のＡ−Ａ断面図、図４は本発明に係る可動係合板の
他の実施例を示す斜視図である。

【０００６】図１および図２に示すように、本実施例の
ウェハキャリア固定装置は、底板３と、その底板３の一
端側に立設されたキャリア係止部１と、底板３の他端側
に設けられ、可動係合板２１を有する可動係合部２と、
ウェハキャリアの横方向の移動を制限するように底板３
上に立設された側板４、５により構成されている。

【０００７】キャリア係止部１の上部には、ウェハキャ
リア６の溝６１に係合する爪１１が設けられている。ま
た、キャリア係止部１の外側と底板３の上面の間には、
キャリア係止部１の立設を頑丈にするための補強板１２
が設けられている。一方、可動係合部２には略逆Ｕ字形
の可動係合板２１が設けられ、この可動係合板２１のそ
れぞれの端部２１ａおよび２１ｂの内側には錘２２ａお
よび２２ｂがそれぞれ付設され、この錘２２ａおよび２
２ｂの内側下部には、底板３に固定されたブロック２３
ａおよび２３ｂが設けられ、このブロック２３ａおよび
２３ｂにはピン２４が挿着されている。このピン２４の
両端は錘２２ａおよび２２ｂに貫装され、これら錘２２
ａおよび２２ｂを傾動可能に軸支している。このピン２
４により錘２２ａおよび２２ｂのそれぞれの底面は、可
動係合板２１を底板３に対して直立させた状態のとき、
底板３から若干浮いた状態になるように取り付けられて
いる（図２参照）。

【０００８】錘２２ａおよび２２ｂの上部には回動自在
に設けられたガイドローラー２６を軸着するピン２５が
挿着されている。このピン２５にはガイドローラー２６
の横方向の移動を制限するカラー２７ａおよび２７ｂが
錘２２ａおよび２２ｂとガイドローラー２６の間隙に巻
回されている。

【０００９】底板３の可動係合部２が取り付けられた端
部にはストッパー３１が設けられ、このストッパー３１
に錘２２ａおよび２２ｂの側面が当たることにより、可
動係合板２１の外側への傾倒角度を制限している。

【００１０】底板３には、このウェハキャリア固定装置
を水槽に浸漬し易くするための水抜き穴３ａが多数穿設
されている。また、この底板３の底面には底板３を水槽
の底から僅かに浮いた状態で安定させるための角棒３２
が複数取り付けられている。

【００１１】ウェハキャリアの固定装置全体の材質は、
洗浄後のウェハへの汚染を防止し、かつ装置全体が水槽
の水中に浸漬するためにその比重が１以上である塩化ビ
ニールなどの合成樹脂が望ましい。

【００１２】次に、実施例１の作用について説明する。
まず、ウェハキャリアの固定装置を水槽の水中に浸漬す
る。この際、水槽内の水が底板３の底面から多数の水抜
き穴３ａを通り底板３の上面へと抜けることによりこの
固定装置はスムーズに浸漬され、底板３に取り付けられ
た角棒３２が水槽の底に着き安定される。次に、図３
（ａ）に示すように、キャリア６を片手に持ち、その端
面６３を可動係合部２の可動係合板２１の上面２１ｃに
押し当てることにより、錘２２ａおよび２２ｂがストッ
パー３１に当たるところまで可動係合部２が外側に開
く。この状態でキャリア６を下に降ろしていくと、回動
自在に設けられたガイドローラー２６によりキャリア６
の底が底板３に着く。図３（ｂ）に示すように、キャリ
ア６が底板３に着いたら、キャリア６をキャリア係止部
１の方向へ移動させることにより、キャリア係止部１の
爪１１がキャリア６の溝６１に係合する。図３（ｃ）に
示すように、可動係合部２は錘２２ａおよび２２ｂの作
用により、ピン２４を支点として内側へ傾倒し、可動係
合板２１の上面２１ｃが自動的にキャリア６のもう一方
の溝６２に係合する。これにより、ウェハキャリアは挟
持され水中にしっかりと固定される。

【００１４】この状態で、ウェハをビーカーからキャリ
ア６に移し替え、作業が完了すると、ウェハが装填され
たキャリア６を可動係合部２の方向に移動させることに
より、キャリア係止部１の爪１１がキャリア６の溝６１
からはずれる。次に、キャリア６の端面６３にガイドロ
ーラー２６が押されることにより、可動係合板２１の上
面２１ｃがキャリア６の溝６２からはずれる。これによ
り、ウェハキャリアの固定は解除され、ウェハキャリア
６を水槽の水中から引き上げることができる。尚、これ
らのウェハキャリア６の固定、固定の解除並びに水中か
らの引き上げといった一連の作業を片手で容易に行うこ
とができる。さらに、本実施例の使用方法を水中での作
業で説明したが、大気中で使用できることは勿論であ
る。

【００１５】尚、上記実施例では可動係合板を略逆Ｕ字
形にしているが、これに限定されず、図４のように逆Ｌ
字形のものを２個用いたものや、単に上部に係合爪が設
けられたものでもよい。

【００１６】実施例２ 本発明の実施例２を図面に基づいて説明する。図５は本
発明に係る実施例２のウェハキャリア固定装置の正面図
である。実施例２のウェハキャリア固定装置において
は、可動係合部７の可動係合板７１の端部７１ａおよび
７１ｂ（図示せず。）と側板８１および側板８１（図示
せず。）の間には、実施例１の錘２２ａ、２２ｂに代わ
ってばね７２ａおよび７２ｂ（図示せず。）が取り付け
られている。図５（ａ）に示すように、ウェハキャリア
６を挿入するとウェハキャリア６の端面６３によって可
動係合部７が押し広げられる。図５（ｂ）に示すよう
に、キャリア６が底板８に着きキャリア係止部９方向に
移動されると、キャリア６の溝６１がキャリア係上部９
と係合し、ばね７２ａおよび７１ｂの作用によって可動
係合部７の可動係合板７１がキャリア６の溝６２と係合
して、キャリア６を挟持することができる。

【００１７】

【発明の効果】本発明のウェハキャリア固定装置を用い
て、水中でウェハキャリアへ移し替える作業を行えば次
のような効果がある。 （ａ）ウェハキャリアが浮遊しないので、作業が効率よ
く楽にできる。 （ｂ）正確なウェハの装填作業ができるので、ウェハ同
士の接触やウェハのキャリアへの接触が防止でき、カケ
やチッピングの発生が防止できる。 （ｃ）キャリアの固定装置への取りつけ、取り外しが片
手で動力を使わずにできる。 尚、上記は水中での移し替え作業においての効果を挙げ
たが、大気中での作業においても上記（ｂ）項および
（ｃ）項の効果がある。

【００１８】

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る実施例１のウェハキャリア固定装
置の斜視図である。

【図２】図１の正面図である。

【図３】ウェハキャリアが挿入されて固定される順序を
示す図１のＡ−Ａ断面である。

【図４】本発明に係る可動係合板の他の実施例を示す斜
視図である。

【図５】本発明に係る実施例２のウェハキャリア固定装
置の正面図である。

【符号の説明】

１ キャリア係止部 １１ 爪 １２ 補強板 ２ 可動係合部 ２１ 可動係合板 ２１ａ 端部 ２１ｂ 端部 ２１ｃ 上面 ２２ａ 錘 ２２ｂ 錘 ２３ａ ブロック ２３ｂ ブロック ２４ ピン ２５ ピン ２６ ガイドローラー ２７ａ カラー ２７ｂ カラー ３ 底板 ３ａ 水抜き穴 ３１ ストッパー ３２ 角棒 ４ 側板 ５ 側板 ６ キャリア ６１ 溝 ６２ 溝 ６３ 端面 ７ 可動係合部 ７１ 可動係合板 ７１ａ 端部 ７１ｂ 端部 ７２ａ ばね ７２ｂ ばね ８ 底板 ８１ 側板 ８２ 側板 ９ キャリア係止部

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ウェハキャリアを載置する底板と、該底
   板の一端側に設けられ、ウェハキャリアの端面に設けら
   れた溝と係合する係合爪を持つキャリア係止部と、前記
   底板の他端側に設けられ、ウェハキャリアの他端面に設
   けられた溝に傾動して係合する可動係合板と、該可動係
   合板をキャリア係止部側に押圧する付勢手段とからなる
   ことを特徴とするウェハキャリア固定装置。
2. 【請求項２】 前記可動係合板が略逆Ｕ字形に形成され
   ていることを特徴とする請求項１記載のウェハキャリア
   固定装置。
3. 【請求項３】 前記付勢手段が、前記可動係合板の重心
   をキャリア係止部側に偏心した位置に設けた錘であるこ
   とを特徴とする請求項１記載のウェハキャリア固定装
   置。
4. 【請求項４】 前記付勢手段が、ばねであることを特徴
   とする請求項１記載のウェハキャリア固定装置。
5. 【請求項５】 前記可動係合板の内側に、ウェハキャリ
   アの下端に当接して回転するガイドローラーを設けたこ
   とを特徴とする請求項１記載のウェハキャリア固定装
   置。