JP2019007839A - 表面性状測定機、表面性状測定システム及びプログラム - Google Patents
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Abstract
Description
〔各機能の説明〕
図1に本発明の表面性状測定機100の機能ブロック図を示す。
本発明の表面性状測定機100は、従来の表面性状測定機800に以下で説明する変更を加えることで実現することができる。
本発明の表面性状測定機100は、従来の表面性状測定機800自体に新たな機能を追加することで実現される。一方、本発明の表面性状測定システム300は、従来の表面性状測定機800をベースにしつつ、新たな機能の多くを外部通信機器が実装するものを利用して、より経済的に本発明の表面性状測定機100と同等の効果を得ることを可能とするシステムである。
図6に本発明の表面性状測定システム300の機能ブロック図を示す。
本発明の表面性状測定システム300は、図3に示す従来の表面性状測定機800に以下で説明する変更を加えた表面性状測定機101と、以下で説明する構成を備える外部通信機器201と、を組み合わせることで実現することができる。
<第3実施形態>
図9に本発明の表面性状測定システム400の機能ブロック図を示す。
本発明の表面性状測定システム400は、図3に示す従来の表面性状測定機800に以下で説明する変更を加えた表面性状測定機102と、以下で説明する構成を備える外部通信機器202と、を組み合わせることで実現することができる。
110、111…表面性状検出手段
120…姿勢検出センサ
130、230…記憶手段
140、240…補正手段
150…振動検出センサ
201、202…外部通信機器
210…測定制御手段
300、400…表面性状測定システム
310…固定手段
810…演算部
811、911…制御部
812、912…記憶部
813、913…入力部
814、914…表示部
815、915…通信部
820…駆動検出部
821…駆動部
821a…駆動軸
822…検出器
822a…触針
Claims (7)
- 検出器の触針により測定対象物の表面のトレースを実行した際の、前記触針の変位の推移として把握される、前記測定対象物の表面性状の測定結果を出力する表面性状検出手段と、
前記検出器の測定時における姿勢である測定姿勢を検出する姿勢検出センサと、
複数の姿勢のそれぞれに対応する補正値を予め記憶する記憶手段と、
前記測定姿勢と前記記憶手段に記憶された前記複数の姿勢とを照合し、前記測定姿勢に相当する姿勢に対応する補正値により前記測定結果を補正する補正手段と、
を備える表面性状測定機。 - 前記姿勢検出センサは、着脱可能に実装されることを特徴とする請求項1に記載の表面性状測定機。
- 前記検出器が受ける振動の大きさを検出する振動検出センサを更に備え、
前記表面性状検出手段は、前記表面性状の測定中に前記振動の大きさが所定の閾値を越えた場合には測定を停止する、
ことを特徴とする請求項1又は2に記載の表面性状測定機。 - 前記振動検出センサは、着脱可能に実装されることを特徴とする請求項3に記載の表面性状測定機。
- 外部通信機器からのコマンドの受信を契機に検出器の触針により測定対象物の表面のトレースを実行した際の、前記触針の変位の推移として把握される、前記測定対象物の表面性状の測定結果を前記外部通信機器に送信する表面性状測定機と、
前記表面性状測定機に固定される外部機器と、
を備える表面性状測定システムであって、
前記外部通信機器は、
前記検出器の測定時における姿勢である測定姿勢を検出する姿勢検出センサと、
複数の姿勢のそれぞれに対応する補正値を予め記憶する記憶手段と、
前記表面性状測定機に対して前記表面性状の測定の実行及び前記測定結果の送信を要求するコマンドを送信する測定制御手段と、
前記測定姿勢と前記記憶手段に記憶された前記複数の姿勢とを照合し、前記測定姿勢に相当する姿勢に対応する補正値により前記表面性状測定機から受信した前記測定結果を補正する補正手段と、
を備える
ことを特徴とする表面性状測定システム。 - 前記外部通信機器は、
前記検出器が受ける振動の大きさを検出する振動検出センサを更に備え、
前記測定制御手段は、前記表面性状の測定中に前記振動の大きさが所定の閾値を越えた場合に測定を停止させるコマンドを前記表面性状測定機に送信する
ことを特徴とする請求項5に記載の表面性状測定システム。 - コンピュータを、請求項5に記載の測定制御手段及び補正手段として機能させるためのプログラム。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2021179380A (ja) * | 2020-05-14 | 2021-11-18 | 株式会社東京精密 | 形状測定機及びその制御方法 |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN111307072B (zh) * | 2020-02-14 | 2022-07-29 | 天津时空经纬测控技术有限公司 | 测量平台系统和测量系统 |
JP7509668B2 (ja) * | 2020-12-03 | 2024-07-02 | 株式会社ミツトヨ | 測定システムおよびプログラム |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000310527A (ja) * | 1999-04-27 | 2000-11-07 | Mitsutoyo Corp | 表面性状測定機 |
JP2006234756A (ja) * | 2005-02-28 | 2006-09-07 | Mitsutoyo Corp | 表面性状測定機の真直度補正方法および表面性状測定機 |
JP2011169616A (ja) * | 2010-02-16 | 2011-09-01 | Mitsutoyo Corp | 表面性状測定機 |
JP2016161514A (ja) * | 2015-03-05 | 2016-09-05 | 株式会社ミツトヨ | 測定プローブ |
Family Cites Families (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3254530A (en) * | 1962-11-20 | 1966-06-07 | American Gage & Mach | Surface roughness tracer head |
US6360428B1 (en) * | 1998-04-16 | 2002-03-26 | Seagate Technology Llc | Glide heads and methods for making glide heads |
JP3516630B2 (ja) * | 2000-03-29 | 2004-04-05 | 株式会社ミツトヨ | 形状測定機及び形状測定方法 |
JP4009152B2 (ja) * | 2002-07-09 | 2007-11-14 | 株式会社ミツトヨ | 表面形状測定装置および表面形状測定方法 |
GB0508395D0 (en) * | 2005-04-26 | 2005-06-01 | Renishaw Plc | Method for scanning the surface of a workpiece |
JP5192196B2 (ja) * | 2007-08-03 | 2013-05-08 | 株式会社ミツトヨ | 表面形状測定装置 |
JP4968600B1 (ja) * | 2011-01-13 | 2012-07-04 | 株式会社東京精密 | 真円度測定装置及びその心ずれ量補正方法 |
JP5823266B2 (ja) * | 2011-11-29 | 2015-11-25 | 株式会社ミツトヨ | 表面性状測定機 |
JP5875900B2 (ja) * | 2012-03-08 | 2016-03-02 | 株式会社ミツトヨ | 表面性状測定機、その制御装置およびその調整方法 |
JP6030320B2 (ja) * | 2012-03-19 | 2016-11-24 | 株式会社ミツトヨ | 表面性状測定機 |
JP6447997B2 (ja) * | 2015-02-09 | 2019-01-09 | 株式会社ミツトヨ | テストインジケータ |
DE102015209193A1 (de) * | 2015-05-20 | 2016-11-24 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Verfahren zur Erfassung dynamischer Schwingungen eines Rauheitssensors, Verfahren zur Vermessung der Rauheit einer Werkstückoberfläche, Computerprogrammprodukt sowie Messgerät eingerichtet zur Durchführung der Verfahren. |
JP6620559B2 (ja) | 2016-01-07 | 2019-12-18 | コニカミノルタ株式会社 | 電源装置および画像形成装置 |
-
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Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000310527A (ja) * | 1999-04-27 | 2000-11-07 | Mitsutoyo Corp | 表面性状測定機 |
JP2006234756A (ja) * | 2005-02-28 | 2006-09-07 | Mitsutoyo Corp | 表面性状測定機の真直度補正方法および表面性状測定機 |
JP2011169616A (ja) * | 2010-02-16 | 2011-09-01 | Mitsutoyo Corp | 表面性状測定機 |
JP2016161514A (ja) * | 2015-03-05 | 2016-09-05 | 株式会社ミツトヨ | 測定プローブ |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2021179380A (ja) * | 2020-05-14 | 2021-11-18 | 株式会社東京精密 | 形状測定機及びその制御方法 |
JP7445845B2 (ja) | 2020-05-14 | 2024-03-08 | 株式会社東京精密 | 形状測定機及びその制御方法 |
Also Published As
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