JP2006234737A5 - - Google Patents

Claims (5)

1. プローブを被測定物の形状に合わせて移動させることによって、前記被測定物の形状を三次元座標値として検出する三次元座標測定装置であって、
   前記プローブの姿勢を制御するプローブ姿勢制御部と、
   前記被測定物の配置状態を取得して、前記三次元座標値の基準とする基準座標を設定する座標設定部と、
   第１被測定物に設定された第１基準座標を記憶する基準座標記憶部と、
   第２被測定物に設定された第２基準座標を取り込み、前記基準座標記憶部の前記第１基準座標と、前記第２基準座標との角度差を求める角度差検出部と、
   前記第２被測定物の三次元測定に際して、前記プローブの姿勢を前記角度差に応じて姿勢補正する姿勢補正部と
   を備えたことを特徴とする三次元座標測定装置。
2. 請求項１に記載の三次元座標測定装置において、
   前記被測定物を載せるステージを備え、
   前記プローブは、前記ステージの法線方向を軸中心とする水平方向の回動機構を少なくとも備え、
   前記角度差検出部は、前記第１基準座標と前記第２基準座標との前記水平方向の角度差を少なくとも求め、
   前記姿勢補正部は、前記第２被測定物の三次元測定に際して、第１被測定物に合わせて調整された前記プローブを少なくとも前記水平方向の角度差の分だけ姿勢補正する
   ことを特徴とする三次元座標測定装置。
3. 請求項１または請求項２に記載の三次元座標測定装置において、
   予め記憶された複数の姿勢データのうち選択された姿勢データに基づいて、前記プローブ姿勢制御部に姿勢制御を指示するプローブ姿勢選択部を備え、
   前記姿勢補正部は、前記第２被測定物の三次元測定に際して、前記第１被測定物の三次元測定に使用された前記姿勢データに対して前記姿勢補正を実施する
   ことを特徴とする三次元座標測定装置。
4. プローブを被測定物に当接することにより、前記被測定物の形状を三次元座標値として検出する三次元座標測定装置であって、
   前記プローブの姿勢を制御するプローブ姿勢制御部と、
   前記プローブ姿勢制御部によって第１の姿勢に制御された前記プローブによって前記被測定物の配置状態を取得して、前記三次元座標値の基準とする基準座標を設定する座標設定部と、
   前記座標設定部によって第１被測定物に設定された第１基準座標と、前記座標設定部によって第２被測定物に設定された第２基準座標との角度差を求める角度差検出部と、
   前記第２被測定物の三次元測定に際して、前記プローブの前記第１の姿勢を前記角度差に基づく第２の姿勢に補正する姿勢補正部と
   を備えたことを特徴とする三次元座標測定装置。
5. 請求項４に記載の三次元座標測定装置において、
   前記座標設定部は、前記被測定物上に設定された基準点の前記三次元座標値を前記第１の姿勢のプローブによって測定することにより前記配置状態を取得する
   ことを特徴とする三次元座標測定装置。