CN109115164A - 表面纹理测量装置、表面纹理测量系统和计算机可读介质 - Google Patents

表面纹理测量装置、表面纹理测量系统和计算机可读介质 Download PDF

Info

Publication number
CN109115164A
CN109115164A CN201810652869.2A CN201810652869A CN109115164A CN 109115164 A CN109115164 A CN 109115164A CN 201810652869 A CN201810652869 A CN 201810652869A CN 109115164 A CN109115164 A CN 109115164A
Authority
CN
China
Prior art keywords
surface texture
posture
measurement
vibration
detector
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN201810652869.2A
Other languages
English (en)
Inventor
阿部信策
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitutoyo Corp
Original Assignee
Mitutoyo Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mitutoyo Corp filed Critical Mitutoyo Corp
Publication of CN109115164A publication Critical patent/CN109115164A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B21/00—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant
    • G01B21/30—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant for measuring roughness or irregularity of surfaces
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B5/00—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques
    • G01B5/28—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques for measuring roughness or irregularity of surfaces
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B17/00—Measuring arrangements characterised by the use of infrasonic, sonic or ultrasonic vibrations
    • G01B17/08—Measuring arrangements characterised by the use of infrasonic, sonic or ultrasonic vibrations for measuring roughness or irregularity of surfaces
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B21/00—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant
    • G01B21/02—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant for measuring length, width, or thickness
    • G01B21/04—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant for measuring length, width, or thickness by measuring coordinates of points
    • G01B21/045—Correction of measurements
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B5/00—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques
    • G01B5/004—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques for measuring coordinates of points
    • G01B5/008—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques for measuring coordinates of points using coordinate measuring machines

Abstract

本发明涉及一种表面纹理测量装置、表面纹理测量系统和计算机可读介质。根据本发明的表面纹理测量装置包括：表面纹理检测组件，用于输出可测量对象的表面纹理的测量结果，其中所述测量结果被识别为在利用检测器的触针追踪所述可测量对象的表面时该触针的移动变化；姿势检测传感器，用于检测作为所述检测器进行测量时的姿势的测量姿势；存储器组件，其预加载有与多个姿势中的各姿势相对应的校正值；以及校正组件，用于将所述测量姿势与所述存储器组件中所存储的多个姿势进行比较、并使用与同所述测量姿势相当的姿势相对应的校正值来校正所述测量结果。

Description

表面纹理测量装置、表面纹理测量系统和计算机可读介质
技术领域
本发明涉及能够根据测量期间的姿势来校正测量值的表面纹理测量装置、表面纹理测量系统和程序。
背景技术
表面纹理测量装置是使用设置有触针的检测器来扫描测量对象的表面、并测量测量对象的表面纹理(例如，粗糙度或起伏等)的装置(参见例如日本特开2011-169616)。具体地，使触针与测量对象的表面(直角坐标系中的XY平面)相接触，然而使该触针例如沿X方向位移，并且在该位移期间，检测器检测由测量对象的表面的凹凸引起的、触针沿垂直方向(Z轴方向)的移动。这种移动贝表示为X轴方向上的位移距离的函数，因而使得能够识别表示表面纹理的各种参数。
由于触针在测量对象的表面的接触基于重力，因此表面纹理测量装置是以水平角度使用该装置为前提而设计的，并且在该前提下确保指定的测量精度。
然而，实际上，小型手持式表面纹理测量装置特别地用于室内和室外的各个位置、并且通常以非水平角度使用。在这种情况下，为了进行精确测量，采用了如下的方法，其中使用粗糙度标准样本以实际测量测量对象的姿势来进行校准测量，并且一旦识别出该姿势的测量误差，就使用该信息来校正测量对象的表面纹理的测量结果。
然而，这种方法需要大量的时间来进行校准测量，并且这种方法甚至不能用于不可以使用粗糙度标准样本进行测量的环境条件。
鉴于以上，可以考虑如下的方法，其中针对可能被测量的姿势而提前进行校准测量，并且存储校正值，然后在测量现场选择并应用针对测量姿势的适当校正值。
然而，根据操作者自己的判断来识别测量现场的测量姿势需要高水平的技能并且不一定是容易的。因此，这种方法容易出现若干问题，诸如操作者不能选择适当校正值，即使在操作者能够选择适当校正值的情况下也需要大量的时间来进行选择，或者作出错误的选择等。
鉴于这些情况，目前在许多情况下，即使以非水平角度进行测量，操作者也必须接受未校正的测量结果。
发明内容
本发明提供了能够在以非水平角度使用表面纹理测量装置的情况下容易且快速地校正测量结果的表面纹理测量装置、表面纹理测量系统和程序。
根据本发明的表面纹理测量装置包括：表面纹理检测组件，用于输出测量对象的表面纹理的测量结果，其中所述测量结果被识别为在利用检测器的触针追踪所述测量对象的表面时该触针的移动变化；姿势检测传感器，用于检测作为所述检测器进行测量时的姿势的测量姿势；存储器组件，其预加载有与多个姿势中的各姿势相对应的校正值；以及校正组件，用于将所述测量姿势与所述存储器组件中所存储的多个姿势进行比较，并使用与同所述测量姿势相当的姿势相对应的校正值来校正所述测量结果。
利用这种结构，使用所述姿势检测传感器来检测在测量所述表面纹理时的姿势，因此可以精确地识别所述测量姿势。另外，可以预加载与多个姿势中的各姿势相对应的校正值，因此可以使用与同所述测量姿势相当的姿势相对应的校正值、并且可以既容易又快速地校正测量结果。
所述姿势检测传感器还可以被安装为能够安装且能够分离。具体地，可以提出如下的系统的实施例：例如将包括所述姿势检测传感器的诸如智能电话等的外部通信机器一体地用作本发明的表面纹理测量装置的姿势检测传感器。
根据该方法，在基于根据传统技术的表面纹理测量装置而使用所述外部通信机器上所配备的姿势检测传感器的情况下，特别是在根据传统技术的表面纹理测量装置已经设置有通信功能的情况下，可以仅通过修改软件来实现其它必需功能的添加，因此能够实现可以较低成本实现与根据本发明的表面纹理测量装置的效果相当的效果的系统。
可以进一步设置用于检测作用于所述检测器上的振动的大小的振动检测传感器，并且所述表面纹理检测组件可被配置为使得在所述表面纹理的测量期间作用于所述检测器上的振动的大小超过预定阈值的情况下、所述表面纹理检测组件停止测量。
所述表面纹理测量装置的属性是通过利用所述检测器的触针追踪所述测量对象的表面并检测在追踪期间所述触针在垂直方向上移动的变化来测量表面纹理。在测量期间，当振动作用于所述检测器上时，这引起所述触针在垂直方向移动的变化并且导致由所述检测器的振动引起的测量结果的误差。鉴于此，当检测到所述检测器的振动并且振动的大小超过所述预定阈值时，可以停止测量，由此排除包括由所述检测器的振动引起的误差的测量结果。
所述振动检测传感器还可以被安装为能够安装且能够拆卸。具体地，可以提出如下的系统的实施例：例如将包括所述振动检测传感器的诸如智能电话等的外部通信机器一体地用作本发明的表面纹理测量装置的振动检测传感器。
根据该方法，在基于根据传统技术的表面纹理测量装置而使用所述外部通信机器上所配备的振动检测传感器的情况下，特别是在根据传统技术的表面纹理测量装置已经设置有通信功能的情况下，可以仅通过修改软件来实现其它必需功能的添加，因此能够实现可以较低成本实现与根据本发明的表面纹理测量装置的效果相当的效果的系统。
根据本发明的表面纹理测量系统包括：表面纹理检测装置，用于在接收到来自外部通信机器的命令时将测量对象的表面纹理的测量结果发送至外部通信机器，其中所述测量结果被识别为在利用检测器的触针追踪所述测量对象的表面时所述触针的移动变化；以及外部通信机器，其紧固至所述表面纹理测量装置。所述外部通信机器包括：姿势检测传感器，用于检测作为所述检测器进行测量时的姿势的测量姿势；存储器组件，其预加载有与多个姿势中的各姿势相对应的校正值；测量控制组件，用于向所述表面纹理测量装置发送要求执行表面纹理测量并发送测量结果的命令；以及校正组件，用于将所述测量姿势与所述存储器组件中所存储的多个姿势进行比较，并使用与同所述测量姿势相当的姿势相对应的校正值来校正从所述表面纹理测量装置接收到的测量结果。
利用这种结构，使用所述姿势检测传感器来检测在测量所述表面纹理时的姿势，因此可以精确地识别所述测量姿势。另外，可以预加载与多个姿势中的各姿势相对应的校正值，因此可以使用与同所述测量姿势相当的姿势相对应的校正值、并且可以既容易又快速地校正测量结果。
另外，在通过使用所述外部通信机器上所配备的姿势检测传感器，基于根据传统技术的表面纹理测量装置来实现该系统的情况下，特别是在根据传统技术的表面纹理测量装置已经设置有通信功能的情况下，可以仅通过修改软件来实现其它必需功能的添加，因此能够以较低的成本实现与根据本发明的表面纹理测量装置的效果相当的效果。
所述外部通信机器还可以包括用于检测作用于所述检测器上的振动的大小的振动检测传感器，并且所述测量控制组件可被配置为使得在所述表面纹理的测量期间作用于所述检测器上的振动的大小超过预定阈值的情况下、所述测量控制组件向所述表面纹理测量装置发送用以停止测量的命令。
所述表面纹理测量装置的属性是通过利用所述检测器的触针追踪所述测量对象的表面并检测在追踪期间所述触针在垂直方向上移动的变化来测量表面纹理。在测量期间，当振动作用于所述检测器上时，这引起所述触针在垂直方向移动的变化并且导致由所述检测器的振动引起的测量结果的误差。鉴于此，当检测到检测器的振动并且振动的大小超过预定阈值时，可以停止测量，由此排除包括由检测器的振动引起的误差的测量结果。
所述测量控制组件和所述校正组件的功能还可以通过程序来描述，并且可以通过执行所述外部通信机器上的程序来实现，其中所述外部通信机器是计算机。
根据本发明的一种表面纹理测量系统，包括：表面纹理测量仪；以及外部通信接口，其能够安装至所述表面纹理测量仪，其中，在接收到来自所述外部通信接口的命令时，所述表面纹理测量仪将可测量对象的表面纹理的测量结果发送至所述外部通信接口，其中所述测量结果被识别为在利用检测器的触针追踪所述可测量对象的表面时所述触针的移动变化，以及所述外部通信接口包括：姿势检测传感器，用于对作为所述检测器进行测量时的姿势的测量姿势进行检测；存储器，其预加载有与多个姿势中的各姿势相对应的校正值；测量控制发送器，用于向所述表面纹理测量仪发送用于要求执行表面纹理测量并发送测量结果的命令；以及校正比较器，用于将所述测量姿势与所述存储器中所存储的多个姿势进行比较，并且使用与同所述测量姿势相当的姿势相对应的校正值来校正从所述表面纹理测量仪接收到的测量结果。
根据本发明的一种有形非暂时性计算机可读介质，其存储用于控制外部通信接口的可执行指令集，所述外部通信接口能够安装至表面纹理测量仪，其中，在接收到来自所述外部通信接口的命令时，所述表面纹理测量仪将可测量对象的表面纹理的测量结果发送至所述外部通信接口，所述测量结果被识别为在利用检测器的触针追踪所述可测量对象的表面时所述触针的移动变化，所述外部通信接口包括用于对作为所述检测器进行测量时的姿势的测量姿势进行检测的姿势检测传感器、以及预加载有与多个姿势中的各姿势相对应的校正值的存储器，所述指令集在被计算机处理器执行时使所述计算机处理器执行包括以下步骤的操作：向所述表面纹理测量仪发送用于要求执行表面纹理测量并发送测量结果的命令；将所述测量姿势与所述存储器中所存储的多个姿势进行比较；以及使用与同所述测量姿势相当的姿势相对应的校正值来校正从所述表面纹理测量仪接收到的测量结果。
附图说明
在以下的详细描述中，利用本发明的典型实施例的非限制性示例的方式参考所述多个附图来进一步地描述本发明，其中，在附图的若干视图中，相同的附图标记表示相同的部件，其中：
图1是表面纹理测量装置100的功能框图；
图2示出表面纹理测量装置100(和800)的典型外视图；
图3示出表面纹理测量装置800的典型内部结构；
图4示出表面纹理测量装置100的典型内部结构；
图5示出计算器810和驱动检测部820分离的示例；
图6是表面纹理测量系统300的功能框图；
图7示出构成表面纹理测量系统300(和400)的表面纹理测量装置和外部通信机器的典型内部结构；
图8示出经由紧固件310将外部通信机器201固定至表面纹理测量装置101的典型方法；以及
图9是表面纹理测量系统400的功能框图。
具体实施方式
这里所示的详情利用示例的方式并且仅用于说明性地讨论本发明的实施例，并且是为了提供被认为是对本发明的原理和概念方面最有用且最容易理解的描述的描述而呈现的。在这方面，没有尝试比对本发明的基本理解所必需的更详细地示出本发明的结构详情，使得使用附图所进行的关于可以如何在实践中实施本发明的形式的描述对于本领域技术人员而言是显而易见的。
第一实施例
功能的描述
图1是根据本发明的表面纹理测量装置(表面纹理测量仪)100的功能框图。
表面纹理测量装置100包括表面纹理检测组件(表面纹理检测器)110、姿势检测传感器(姿势检测器或姿势检测传感器)120、存储器组件(存储器)130、以及校正组件(校正比较器)140。
表面纹理检测组件110输出测量对象(可测量对象)的表面纹理的测量结果，其中这些测量结果被识别为在利用检测器的触针追踪测量对象的表面时该触针的移动变化。
姿势检测传感器120检测在作为检测器进行测量时的姿势的测量姿势。这里，“测量时”基本上表示“测量期间”，但是在测量前后没有显著的姿势变化的情况下，该术语还可以包括测量前和测量后的时间段，只要不存在姿势变化即可。可以使用任何类型的姿势检测传感器120。陀螺仪传感器是姿势检测传感器120的有利示例。
存储器组件130预加载有与多个姿势中的各姿势相对应的校正值。例如，可以获取针对各姿势的校正值，作为通过使用粗糙度标准样本作为测量对象而提前以各种姿势进行表面纹理测量并且将测量结果与粗糙度表面样本的设计值进行比较来识别出的误差。
从提高校正精度的角度来看，利用与尽可能多的姿势相对应的校正值来准备存储器组件130是优选的。然而，以各姿势测量粗糙度标准样本需要一定量的时间和精力，因此实际上针对各姿势的校正值是在运行的基础上添加的。
本发明的表面纹理测量装置100包括姿势检测传感器120，因此可以在以新颖姿势进行测量时精确地识别出该新颖姿势。因此，可以通过重复如下的任务来增强姿势的多样性：通过基于新颖姿势下针对粗糙度标准样本的表面纹理的测量结果来计算校正值，并且将校正值存储在存储器组件130中。
校正组件140将姿势检测传感器120所检测到的测量姿势与存储器组件130中所存储的多个姿势进行比较，并且在存储器组件130包含与同测量姿势相当的姿势相对应的校正值的情况下，校正组件140使用校正值来校正测量结果。
这里，“与测量姿势相当的姿势”表示在当姿势检测传感器120所检测到的测量姿势与存储器组件130中所存储的多个姿势进行比较时、测量姿势和存储器组件130中所存储的给定姿势之间的姿势差异在预定范围内的情况下的该给定姿势。
理想地，在利用提前准备的校正值进行校正的情况下，可以针对任何可想到的姿势准备校正值。然而，实际上，准备与测量姿势完全一致的姿势是极其困难的，而在针对与测量姿势接近的姿势的校正值适用的情况下，可以合理地期望测量精度的改进。
可以根据需要来定义与校正值的适用范围相关联的姿势差异的预定范围。例如，具有准备好的校正值的姿势的数量越少，则各姿势的预定范围被定义得越宽。当然，在范围被设置得如此宽的情况下，校正值不再一定是最佳值，从而导致测量精度改进降低。鉴于此，例如，可能存在如下的对应关系：在即使具有准备好的校正值的姿势的数量较少，也不需要定义宽的范围时，在存在与测量姿势相当的姿势的情况下维持了测量精度的改进，而在不存在与测量姿势相当的姿势的情况下操作者必须接受不允许进行校正的状况。
校正后测量结果可以例如与测量姿势一起存储在存储器组件130中。
在不存在与测量姿势相当的姿势并且不能进行校正的情况下，可以丢弃测量结果，或者将未校正的测量结果与测量姿势一起存储在存储器组件130中。通过即使在不能进行校正的情况下也将测量结果与测量姿势存储在一起，可以比较针对各测量姿势的未校正测量结果，并且在稍后提供针对该测量姿势的校正值时，可以利用新的校正值来校正存储器组件130中所存储的未校正测量结果。
上述的表面纹理测量装置100使用姿势检测传感器来检测在测量表面纹理时的姿势，因此可以精确地识别测量姿势。另外，表面纹理测量装置100预加载有与多个姿势中的各姿势相对应的校正值，因此可以使用与同测量姿势相当的姿势相对应的校正值并且可以既容易又快速地校正测量结果。
表面纹理测量装置100还可以包括用于检测作用于检测器上的振动的大小的振动检测传感器(振动检测器或振动检测传感器)150，并且可被配置为使得在表面纹理的测量期间作用于检测器的振动的大小超过预定阈值的情况下、表面纹理检测组件110停止测量。可以使用任何类型的振动检测传感器150。加速度计是振动检测传感器150的有利示例。
表面纹理测量装置100的属性是通过利用检测器的触针追踪测量对象的表面并检测在追踪期间触针在垂直方向上移动的变化来测量表面纹理。在测量期间，当振动作用于检测器上时，这引起触针在垂直方向移动的变化并且导致由检测器的振动引起的测量结果的误差。鉴于此，当检测到检测器的振动并且振动的大小超过预定阈值时，可以停止测量，由此排除包括由检测器的振动引起的误差的测量结果。
姿势检测传感器120和振动检测传感器150不一定被设置为单独的组件，并且作为替代可以利用具有两者的功能的单个传感器。
实现实际及其中的功能的方法
可以通过将后述的修改并入传统表面纹理测量装置(表面纹理测量仪)800中来实现根据本发明的表面纹理测量装置100。
首先，描述传统表面纹理测量装置800。图2示出传统表面纹理测量装置800的典型外视图，并且图3示出其典型内部结构。
表面纹理测量装置800包括计算器810、以及用于检测测量对象的表面纹理并且将检测信息提供至计算器810的驱动检测部(驱动检测器)820。
计算器810包括控制器811、存储器812、输入部813和显示器814。
控制器811通常是中央处理单元(CPU)，并且通过执行各种程序来控制各种组件。存储器812通常是随机存取存储器(RAM)或硬盘驱动器(HDD)。RAM主要用作控制器811的工作空间，并且HDD主要用作各种程序或数据的存储空间。输入部(输入)813是用于从操作者接收与测量相关的信息的输入的输入组件。按钮或触摸屏显示面板可以例如用作输入部813。显示器814是用于显示测量结果等的显示组件。通用液晶显示面板或触摸屏显示面板可以例如用作显示器814。除了显示器814，还可以设置诸如打印机等的输出部分(输出)，或者代替显示器814，也可以设置诸如打印机等的输出部分(输出)。
驱动检测部820包括设置有驱动轴821a的驱动器821以及设置有触针822a的检测器822。
驱动器821保持驱动轴821a的第二端，其中驱动轴821a的第一端固定至检测装置822，并沿着图2所示的X轴方向驱动驱动轴821a。由此，驱动器821使检测器822在X轴方向上位移，并且还将X轴方向上的位移距离提供至控制器811。触针822a安装至检测器822的最前端。在触针822a与位于XY平面的测量对象的表面相接触的状态下，驱动器821在X轴方向上位移，由此逐次生成触针822a在Z轴方向上的移动，其中该移动由检测器822提供至控制器811。
在具有这种结构的表面纹理测量装置800中，在存储器812中预加载表面纹理检测程序，该程序被写入如下的控制内容，其中基于从输入部813输入的测量指示，驱动驱动器821，使处于触针822a与测量对象的表面相接触的状态下的检测器822在X轴方向上位移，从驱动器821逐次获取X轴方向上的位移距离，另外从检测器822逐次获取与驱动器821的当前位置相对应的、触针822a在Z轴方向上的移动，并且将这些测量结果存储在存储器812中。在将X轴方向上的位移距离和Z轴方向上的移动存储在存储器812中时，Z轴方向上的移动可例如被存储为X轴方向上的位移距离的函数。
控制器811读取并执行表面纹理检测程序，并由此针对各组件执行程序中所述的控制。
与此相对，图4示出根据本发明的表面纹理测量装置100的典型内部结构。表面纹理测量装置100具有如下的结构，其中姿势检测传感器120被添加至表面纹理测量装置800。在表面纹理测量装置100的计算器810和驱动检测部820没有如图2所示地一体化、而是如图5所示地分开设置或者能够分离的情况下，姿势检测传感器120必须安装在设置有检测器822的驱动检测部820上。
图4所示的表面纹理测量装置100的存储器812与图1所示地功能框图中的存储器组件130相当，并且预加载有与多个姿势中的各姿势相对应的校正值。
另外，在存储器812中预加载与表面纹理测量装置800的表面纹理检测程序相同的表面纹理检测程序、以及测量姿势获取程序，该测量姿势获取程序被写入如下的控制内容，其中在表面纹理检测程序的执行期间，该控制内容使要求提供测量姿势的命令被发送至姿势检测传感器120、并且使响应于该命令而提供的测量姿势被存储在存储器812中。
控制器811读取并执行各程序，并由此进行程序中所述的适用于各组件的控制，由此实现图1的功能框图中的表面纹理检测组件110的功能。
在将表面纹理测量结果以及测量时的测量姿势存储在存储器812中时，基于表面纹理检测程序和测量姿势获取程序其中之一的描述，将表面纹理测量结果以及测量时的测量姿势彼此关联并且进行存储。
此外，在存储器812中预加载校正程序，该程序被写入如下的控制内容，其中将姿势检测传感器120所检测到的测量姿势与存储器组件130中预加载的多个姿势进行比较，并且在存储器组件130包含与同测量姿势相当的姿势相对应的校正值的情况下，使用校正值来校正测量结果并将校正后测量结果与测量姿势一起存储在存储器812中。
控制器811读取并执行校正程序，并由此对各组件执行程序中所述的控制，由此实现图1的功能框图中的校正组件140的功能。
在向表面纹理测量装置800添加振动检测传感器150以构成能够在发生振动时执行停止控制的表面纹理测量装置100的情况下，存储器812还预加载有振动检测程序，该程序被写入控制内容以使得该程序待机等待要从振动检测传感器150输入的表示检测到振动的信号、并且在输入信号时基于该信号来识别振动的大小，该程序还判断振动是否大于预定大小并且在振动大于预定大小的情况下使表面纹理检测程序的执行停止。
控制器811读取并执行振动检测程序，并由此对各组件执行程序中所述的控制，由此实现图1的功能框图中的校正组件140的功能。
另外，在表面纹理测量装置100的计算器810和驱动检测部820没有如图2所示地一体化、而是如图5所示地分开设置或者能够分离的情况下，振动检测传感器150必须安装在设置有检测器822的驱动检测部820上。
第二实施例
可以通过向传统表面纹理测量装置800添加新功能来实现根据本发明的表面纹理测量装置100。另一方面，根据本发明的表面纹理测量系统300是如下的系统，其中该系统使得能够通过使用基于传统表面纹理测量装置800的表面纹理测量系统并且实现具有外部通信机器的大部分新功能，来更经济地实现与根据本发明的表面纹理测量装置100的效果相当的效果。
功能的描述
图6是根据本发明的表面纹理测量系统300的功能框图。
表面纹理测量系统300包括表面纹理测量装置(表面纹理测量仪)101以及紧固至该表面纹理测量装置101的外部通信机器(外部通信接口)201。
表面纹理测量装置101包括表面纹理检测组件111，该表面纹理检测组件111在接收到来自外部通信机器201的命令时将测量对象的表面纹理的测量结果发送至外部通信机器201，其中这些测量结果被识别为在利用检测器的触针追踪测量对象的表面时该触针的移动变化。
外部通信机器201包括测量控制组件210、姿势检测传感器120、存储器组件230和校正组件240。
测量控制组件210向表面纹理测量装置101发送要求执行表面纹理测量并发送测量结果的命令。
姿势检测传感器120检测作为检测器进行测量时的姿势的测量姿势。这里，“测量时”基本上表示“测量期间”，但是在测量前后没有显著的姿势变化的情况下，该术语还可以包括测量前和测量后的时间段，只要不存在姿势变化即可。可以使用任何类型的姿势检测传感器120。陀螺仪传感器是姿势检测传感器120的有利示例。
存储器组件230预加载有与多个姿势中的各姿势相对应的校正值。例如，可以获取针对各姿势的校正值，作为通过使用粗糙度标准样本作为测量对象而提前以各种姿势进行表面纹理测量并且将测量结果与粗糙度表面样本的设计值进行比较来识别出的误差。
从提高校正精度的角度来看，利用与尽可能多的姿势相对应的校正值来准备存储器组件230是优选的。然而，以各姿势测量粗糙度标准样本需要一定量的时间和精力，因此实际上针对各姿势的校正值是在运行的基础上添加的。
本发明的表面纹理测量系统300包括姿势检测传感器120，因此可以在以新颖姿势进行测量时精确地识别出该新颖姿势。因此，可以通过重复如下的任务来增强姿势的多样性：通过基于新颖姿势下针对粗糙度标准样本的表面纹理的测量结果来计算校正值，并且将校正值存储在存储器组件230中。
校正组件240将姿势检测传感器120所检测到的测量姿势与存储器组件230中所存储的多个姿势进行比较，并且在存储器组件230包含与同测量姿势相当的姿势相对应的校正值的情况下，校正组件240使用校正值来校正测量结果。
这里，“与测量姿势相当的姿势”表示在当姿势检测传感器120所检测到的测量姿势与存储器组件230中所存储的多个姿势进行比较时、测量姿势和存储器组件230中所存储的给定姿势之间的姿势差异在预定范围内的情况下的该给定姿势。
理想地，在利用提前准备的校正值进行校正的情况下，可以针对任何可想到的姿势准备校正值。然而，实际上，准备与测量姿势完全一致的姿势是极其困难的，而在针对与测量姿势接近的姿势的校正值适用的情况下，可以合理地期望测量精度的改进。
可以根据需要来定义与校正值的适用范围相关联的姿势差异的预定范围。例如，具有准备好的校正值的姿势的数量越少，则各姿势的预定范围被定义得越宽。当然，在范围被设置得如此宽的情况下，校正值不再一定是最佳值，从而导致测量精度改进降低。鉴于此，例如，可能存在如下的对应关系：在即使具有准备好的校正值的姿势的数量较少，也不需要定义宽的范围时，在存在与测量姿势相当的姿势的情况下维持了测量精度的改进，而在不存在与测量姿势相当的姿势的情况下操作者必须接受不允许进行校正的状况。
校正后测量结果可以例如与测量姿势一起存储在存储器组件230中。
在不存在与测量姿势相当的姿势并且不能进行校正的情况下，可以丢弃测量结果，或者将未校正的测量结果与测量姿势一起存储在存储器组件230中。通过即使在不能进行校正的情况下也将测量结果与测量姿势存储在一起，可以比较针对各测量姿势的未校正测量结果，并且在稍后提供针对该测量姿势的校正值时，可以利用新的校正值来校正存储器组件230中所存储的未校正测量结果。
上述的表面纹理测量系统300使用姿势检测传感器120来检测在测量表面纹理时的姿势，因此可以精确地识别测量姿势。另外，表面纹理测量系统300预加载有与多个姿势中的各姿势相对应的校正值，因此可以使用与同测量姿势相当的姿势相对应的校正值并且既容易又快速地校正测量结果。
另外，在通过使用外部通信机器201上所配备的姿势检测传感器120，基于根据传统技术的表面纹理测量装置800来实现表面纹理测量系统300的情况下，特别是在根据传统技术的表面纹理测量装置800已经设置有通信功能的情况下，可以仅通过修改软件来实现其它必需功能的添加，因此能够以较低的成本实现与根据本发明的表面纹理测量装置100的效果相当的效果。
在表面纹理测量系统300中，外部通信机器201还可以包括用于检测作用于表面纹理检测组件111的检测器上的振动的大小的振动检测传感器150，并且外部通信机器201可被配置为使得在表面纹理的测量期间作用于检测器上的振动的大小超过预定阈值的情况下、表面纹理检测组件111停止测量。可以使用任何类型的振动检测传感器150。加速度计是振动检测传感器150的有利示例。
表面纹理检测组件111的属性是通过利用检测器的触针追踪测量对象的表面并检测在追踪期间触针在垂直方向上移动的变化来测量表面纹理。在测量期间，当振动作用于检测器上时，这引起触针在垂直方向移动的变化并且导致由检测器的振动引起的测量结果的误差。鉴于此，当检测到检测器的振动并且振动的大小超过预定阈值时，可以停止测量，由此排除包括由检测器的振动引起的误差的测量结果。
姿势检测传感器120和振动检测传感器150不一定被设置为单独的组件，并且作为替代可以利用具有两者的功能的单个传感器。
实现实际机器中的功能的方法
可以通过组合具有后述结构的外部通信机器201以及将后述的修改并入图3所示的传统表面纹理测量装置800中的表面纹理测量装置101，来实现根据本发明的表面纹理测量系统300。
图7示出构成表面纹理测量系统300的表面纹理测量装置101和外部通信机器201的典型内部结构。
表面纹理测量装置101包括计算器810、以及用于检测测量对象的表面纹理并且将检测信息提供至计算器810的驱动检测部820。
计算器810包括控制器811、存储器812、输入部813、显示器814、以及通信部815。在这些部分中，除通信部815以外的各部分的功能与在图3所示的传统表面纹理测量装置800的描述中分配了相同附图标记的各部分的功能相同，因此省略其说明。
通信部815接收从外部通信机器201发送来的命令，并将该命令提供至控制器811，并且还将控制器811的处理结果发送至外部通信机器201。通信部815可以无偏见地使用任何通信格式(可以是有线的或无线的)。
驱动检测部820包括设置有驱动轴821a的驱动器821以及设置有触针822a的检测器822。这些部分各自的功能与图3所示的传统表面纹理测量装置800的驱动检测部820的功能相同，因此省略其说明。
在具有这种结构的表面纹理测量装置101中，在存储器812中预加载表面纹理检测程序，该程序被写入如下的控制内容，其中在从外部通信机器20接收到测量执行命令时，驱动驱动器821，使处于触针822a与测量对象的表面相接触的状态下的检测器822在X轴方向上位移，从驱动器821逐次获取X轴方向上的位移距离，另外从检测器822逐次获取与驱动器821的当前位置相对应的、触针822a在Z轴方向上的移动，并且将这些测量结果发送至外部通信机器201。在将测量结果发送至外部通信机器201时，可以将Z轴方向上的移动以与X轴方向上的位移距离相关联的形式进行发送，作为X轴方向上的位移距离的函数。
控制器811读取并执行表面纹理检测程序，并由此对各组件执行程序中所述的控制，由此实现图6的功能框图中的表面纹理检测组件111的功能。
另一方面，外部通信机器201包括控制器911、存储器912、输入部913、显示器914、通信部915和姿势检测传感器120。在外部通信机器201是直接或附带设置有这些功能的机器的情况下，可以使用任何通信机器，诸如智能电话等。
然而，由于被设置至外部通信机器201的姿势检测传感器120必须检测表面纹理测量装置101的姿势，因此外部通信机器201必须是可以紧固至表面纹理测量装置101的机器。
可以使用将外部通信机器201紧固在表面纹理测量装置101上的任何方法。例如，如图8所示，表面纹理测量装置101还可以包括可用于紧固外部通信机器201的紧固件310。另外，外部通信机器201还可以包括可用于紧固外部通信机器201的紧固件310。此外，表面纹理测量装置101和外部通信机器201各自所用的单独的紧固件310可以用于紧固外部通信机器201。
另外，在表面纹理测量装置101的计算器810和驱动检测部820没有如图2所示地一体化、而是如图5所示地分开设置或者能够分离的情况下，外部通信机器201必须紧固至设置有检测器822的驱动检测部820。
控制器911通常是中央处理单元(CPU)，并且通过执行各种程序来控制各种组件。存储器912通常是随机存取存储器(RAM)或硬盘驱动器(HDD)。RAM主要用作控制器911的工作空间，并且HDD主要用作各种程序或数据的存储空间。输入部913是用于从操作者接收与测量相关的信息的输入的输入组件。按钮或触摸屏显示面板可以例如用作输入部913。显示器914是用于显示测量结果等的显示组件。通用液晶显示面板或触摸屏显示面板可以例如用作显示器914。除了显示器914，还可以设置诸如打印机等的输出部分(图中未示出)，或者代替显示器914，也可以设置诸如打印机等的输出部分(图中未示出)。通信部915基于控制器911所执行的控制向表面纹理测量装置101发送命令，并且还接收来自表面纹理测量装置101的响应，并将该响应提供至控制器911。通信部915所使用的通信格式是可以与通信部815进行通信的格式。
图7所示的外部通信机器201的存储器912与图6所示地功能框图中的存储器组件230相当，并且预加载有与多个姿势中的各姿势相对应的校正值。
另外，存储器912中还预加载有测量控制程序，该程序被写入如下的控制内容，其中基于从输入部913输入的测量指示，向表面纹理测量装置101发送要求执行表面纹理测量并发送测量结果、并且使从表面纹理测量装置101提供的测量结果被存储在存储器912中的命令。存储器912中还预加载有测量控制程序，该程序被写入如下的控制内容，其中向姿势检测传感器120发送要求提供测量姿势、并且使姿势检测传感器120所提供的测量姿势被存储在存储器912中的命令。
控制器911读取并执行各程序，并由此对各组件执行程序中所述的控制，由此实现图6的功能框图中的测量控制组件210的功能。
在将表面纹理测量结果以及测量时的测量姿势存储在存储器912中时，基于表面纹理检测程序和测量姿势获取程序其中之一的描述，将表面纹理测量结果以及测量时的测量姿势彼此关联并且进行存储。
此外，在存储器912中预加载校正程序，该程序被写入如下的控制内容，其中将姿势检测传感器120所检测到的测量姿势与存储器组件230中预加载的多个姿势进行比较，并且在存储器组件230包含与同测量姿势相当的姿势相对应的校正值的情况下，使用校正值来校正测量结果并将校正后测量结果与测量姿势一起存储在存储器912中。
控制器911读取并执行校正程序，并由此对各组件执行程序中所述的控制，由此实现图6的功能框图中的校正组件240的功能。
在向外部通信机器201添加振动检测传感器150以构成能够在发生振动时执行停止控制的表面纹理测量系统300的情况下，存储器912还预加载有振动检测程序，该程序被写入控制内容以使得该程序待机等待要从振动检测传感器150输入的表示检测到振动的信号、并且在输入信号时基于该信号来识别振动的大小，该程序还判断振动是否大于预定大小并且在振动大于预定大小的情况下使表面纹理检测程序的执行停止。
控制器911读取并执行振动检测程序，并由此针对各组件执行程序中所述的控制。
另外，在表面纹理测量装置101的计算器810和驱动检测部820没有如图2所示地一体化、而是如图5所示地分开设置或者能够分离的情况下，振动检测传感器150必须安装在设置有检测器822的驱动检测部820上。
第三实施例
另一方面，根据第三实施例的表面纹理测量系统400是如下的系统，其中该系统使得能够通过使用基于传统表面纹理测量装置800的表面纹理测量系统并且仅实现具有外部通信机器的姿势检测传感器(和振动检测传感器)，来更经济地实现与根据本发明的表面纹理测量装置100的效果相当的效果。与第二实施例的差异在于，在根据第二实施例的表面纹理测量系统300中，由外部通信机器执行测量控制，而在根据本实施例的表面纹理测量系统400中，由与根据第一实施例的表面纹理测量装置100相同的表面纹理测量装置来执行测量控制。另外，针对与第一实施例的差异，本实施例的不同之处在于姿势检测传感器(和振动检测传感器)能够实质上安装和拆卸。
功能的描述
图9是根据本发明的表面纹理测量系统400的功能框图。
表面纹理测量系统400包括表面纹理测量装置102以及紧固至该表面纹理测量装置102的外部通信机器202。
表面纹理测量装置102包括表面纹理检测组件110、存储器组件130和校正组件140。具体地，表面纹理测量装置102具有如下的结构，即：从图1所示的表面纹理测量装置100中删除姿势检测传感器120。各组件的功能与表面纹理测量装置100中的组件的功能相同，因此省略其说明。
外部通信机器202至少包括姿势检测传感器120。姿势检测传感器120的功能与表面纹理测量装置100中的姿势检测传感器120的功能相同，因此省略其说明。
上述的表面纹理测量系统400使用姿势检测传感器120来检测在测量表面纹理时的姿势，因此可以精确地识别测量姿势。另外，表面纹理测量系统400预加载有与多个姿势中的各姿势相对应的校正值，因此可以使用与同测量姿势相当的姿势相对应的校正值并且既容易又快速地校正测量结果。
另外，在通过使用外部通信机器202上所配备的姿势检测传感器120，基于根据传统技术的表面纹理测量装置800来实现表面纹理测量系统400的情况下，特别是在根据传统技术的表面纹理测量装置800已经设置有通信功能的情况下，可以仅通过修改软件来实现其它必需功能的添加，因此能够以较低的成本实现与根据本发明的表面纹理测量装置100相当的效果。
在表面纹理测量系统400中，外部通信机器202还可以包括用于检测作用于表面纹理检测组件110的检测器上的振动的大小的振动检测传感器150。振动检测传感器150的功能与表面纹理测量装置100中的振动检测传感器的功能相同，因此省略其说明。
表面纹理测量系统400还包括振动检测传感器150并且被配置为在检测器所检测到的振动的大小超过预定阈值的情况下停止测量，由此排除包括由检测器本身的振动引起的错误的测量结果。
姿势检测传感器120和振动检测传感器150无需被设置为单独的组件，并且作为替代可以利用具有两者的功能的单个传感器。
实现实际机器中的功能的方法
可以通过组合具有后述结构的外部通信机器202以及将后述的修改并入图3所示的传统表面纹理测量装置800中的表面纹理测量装置102，来实现根据本发明的表面纹理测量系统400。
图7示出构成表面纹理测量系统400的表面纹理测量装置102和外部通信机器202的典型内部结构。
表面纹理测量装置102包括计算器810、以及用于检测测量对象的表面纹理并且将检测信息提供至计算器810的驱动检测部820。
计算器810包括控制器811、存储器812、输入部813、显示器814、以及通信部815。在这些部分中，除通信部815以外的各部分的功能与在图3所示的传统表面纹理测量装置800的描述中分配了相同附图标记的各部分的功能相同，因此省略其说明。
通信部815基于控制器811所执行的控制向外部通信机器202发送命令，并且还接收来自外部通信机器202的响应，并将该响应提供至控制器811。通信部815可以无偏见地使用任何通信格式(可以是有线的或无线的)。
驱动检测部820包括设置有驱动轴821a的驱动器821以及设置有触针822a的检测器822。这些部分各自的功能与图3所示的传统表面纹理测量装置800的驱动检测部820的功能相同，因此省略其说明。
在具有这种结构的表面纹理测量装置102中，在存储器812中预加载表面纹理检测程序，该程序被写入如下的控制内容，其中基于从输入部813输入的测量指示，驱动驱动器821，使处于触针822a与测量对象的表面相接触的状态下的检测器822在X轴方向上位移，从驱动器821逐次获取X轴方向上的位移距离，另外从检测器822逐次获取与驱动器821的当前位置相对应的、触针822a在Z轴方向上的移动，并且将这些测量结果存储在存储器812中。在将X轴方向上的位移距离和Z轴方向上的移动存储在存储器812中时，Z轴方向上的移动可例如被存储为X轴方向上的位移距离的函数。
存储器812与图9所示的功能框图中的存储器组件130相当，并且预加载有表面纹理检测程序以及与多个姿势中的各姿势相对应的校正值。
另外，存储器812中还预加载了测量姿势获取程序，该测量姿势获取程序被写入如下的控制内容，其中在表面纹理检测程序的执行期间，该控制内容使要求提供测量姿势的命令被发送至外部通信机器202的姿势检测传感器120、并且使响应于该命令从外部通信机器202提供的测量姿势被存储在存储器812中。
控制器811读取并执行各程序，并由此进行程序中所述的适用于各组件的控制，由此实现图9的功能框图中的表面纹理检测组件110的功能。
在将表面纹理测量结果以及测量时的测量姿势存储在存储器812中时，基于表面纹理检测程序和测量姿势获取程序其中之一的描述，将表面纹理测量结果以及测量时的测量姿势彼此关联并且进行存储。
此外，在存储器812中预加载校正程序，该程序被写入如下的控制内容，其中将姿势检测传感器120所检测到的测量姿势与存储器组件130中预加载的多个姿势进行比较，并且在存储器组件130包含与同测量姿势相当的姿势相对应的校正值的情况下，使用校正值来校正测量结果并将校正后测量结果与测量姿势一起存储在存储器812中。
控制器811读取并执行校正程序，并由此对各组件执行程序中所述的控制，由此实现图9的功能框图中的校正组件140的功能。
另一方面，外部通信机器202包括控制器911、存储器912、输入部913、显示器914、通信部915和姿势检测传感器120。在外部通信机器202是直接或附带设置有这些功能的机器的情况下，可以使用任何通信机器，诸如智能电话等。
然而，由于被设置至外部通信机器202的姿势检测传感器120必须检测表面纹理测量装置102的姿势，因此外部通信机器202必须是可以紧固至表面纹理测量装置102的机器。
可以使用将外部通信机器202紧固在表面纹理测量装置102上的任何方法。例如，表面纹理测量装置102还可以包括可用于紧固外部通信机器202的紧固件。另外，外部通信机器202还可以包括可用于紧固外部通信机器202的紧固件。此外，表面纹理测量装置102和外部通信机器202各自所用的单独的紧固件可以用于紧固外部通信机器202。
另外，在表面纹理测量装置102的计算器810和驱动检测部820没有如图2所示地一体化、而是如图5所示地分开设置或者能够分离的情况下，外部通信机器202必须紧固至检测器822被设置至的驱动检测部820。
外部通信机器202的除通信部915以外的各部分的功能与在表面纹理测量系统300的描述中分配了相同附图标记的各部分的功能相同，因此省略其说明。
通信部915接收从表面纹理测量装置102发送来的命令，并将该命令提供至控制器911，并且还将控制器911的处理结果发送至表面纹理测量装置102。通信部915所使用的通信格式是可以与通信部815进行通信的格式。
在以这种方式构成的外部通信机器202中，存储器912中预加载了姿势提供程序，该程序被写入如下的控制内容，其中在从表面纹理测量装置102接收到要求提供测量姿势的命令时，获得姿势检测传感器120所检测到的姿势并将其发送至表面纹理测量装置102。
控制器911读取并执行姿势提供程序，并由此针对各组件执行程序中所述的控制。
另外，在向外部通信机器202添加振动检测传感器150以构成能够在发生振动时执行停止控制的表面纹理测量系统400的情况下，存储器912还预加载有振动信息提供程序，该程序被写入控制内容以使得该程序待机等待要从振动检测传感器150输入的表示检测到振动的信号、并且在输入信号时基于该信号来识别振动的大小、并将包括振动的大小的振动信息发送至表面纹理测量装置102。
另外，表面纹理测量装置102的存储器812还预加载有振动检测程序，该程序被写入控制内容以使得该程序待机等待接收来自外部通信机器的振动信息，并且在接收到振动信息时，程序判断振动是否大于预定大小、并在振动大于预定大小的情况下使表面纹理检测程序的执行停止。
分别地，控制器811读取并执行振动检测程序，并且控制器911读取并执行振动信息提供程序，由此针对各组件执行程序中所述的控制。
另外，在表面纹理测量装置102的计算器810和驱动检测部820没有如图2所示地一体化、而是如图5所示地分开设置或者能够分离的情况下，振动检测传感器150必须安装在检测器822被设置至的驱动检测部820上。
如上所述的本发明不限于上述实施例。这些实施例通过示例的方式提供，并且包括与本发明的权利要求的范围中所列出的技术构思基本上相同的结构、并且实现相同的有益效果的实施例包括在本发明的技术范围内。具体地，在本发明所反映的技术构思的范围内，可以根据需要对本发明进行修改。以这些修改或改进为特征的实施例包括在本发明的技术范围内。
应当注意，前述示例仅仅是为了说明的目的而提供的，并且不以任何方式被解释为限制本发明。虽然已经参考典型实施例描述了本发明，但应当理解，这里所使用的词语是描述和说明的词语，而不是限制的词语。在没有偏离本发明在其各方面的范围和精神的情况下，可以如目前所述地并且如所修改地在所附权利要求书的权限内作出改变。尽管这里已经参考特定结构、材料和实施例描述了本发明，但是本发明并不意图局限于这里所公开的特定情况；相反，本发明延伸到诸如在所附权利要求书的范围内等的所有功能等同结构、方法和用途。
本发明不限于上述实施例，并且在没有偏离本发明的范围的情况下，可以进行各种变化和变型。
相关申请的交叉引用
本申请要求提交于2017年6月23日的日本特开2017-123735的优先权，上述文献的公开内容明确地通过引用而全文并入于此。

Claims (9)

1.一种表面纹理测量装置，包括：
表面纹理检测器，用于输出可测量对象的表面纹理的测量结果，其中所述测量结果被识别为在利用检测器的触针追踪所述可测量对象的表面时所述触针的移动变化；
姿势检测传感器，用于对作为所述检测器进行测量时的姿势的测量姿势进行检测；
存储器，其预加载有与多个姿势中的各姿势相对应的校正值；以及
校正比较器，用于将所述测量姿势与所述存储器中所存储的多个姿势进行比较，并且使用与同所述测量姿势相当的姿势相对应的校正值来校正所述测量结果。
2.根据权利要求1所述的表面纹理测量装置，其中，所述姿势检测传感器被配置为能够安装和拆卸。
3.根据权利要求1所述的表面纹理测量装置，其中，还包括振动检测传感器，所述振动检测传感器用于检测作用于所述检测器上的振动的大小，其中在所述表面纹理的测量期间的振动的大小超过预定阈值的情况下，所述表面纹理检测器停止测量。
4.根据权利要求2所述的表面纹理测量装置，其中，还包括振动检测传感器，所述振动检测传感器用于检测作用于所述检测器上的振动的大小，其中在所述表面纹理的测量期间的振动的大小超过预定阈值的情况下，所述表面纹理检测器停止测量。
5.根据权利要求3所述的表面纹理测量装置，其中，所述振动检测传感器被配置为能够安装和拆卸。
6.根据权利要求4所述的表面纹理测量装置，其中，所述振动检测传感器被配置为能够安装和拆卸。
7.一种表面纹理测量系统，包括：
表面纹理测量仪；以及
外部通信接口，其能够安装至所述表面纹理测量仪，
其中，在接收到来自所述外部通信接口的命令时，所述表面纹理测量仪将可测量对象的表面纹理的测量结果发送至所述外部通信接口，其中所述测量结果被识别为在利用检测器的触针追踪所述可测量对象的表面时所述触针的移动变化，以及
所述外部通信接口包括：
姿势检测传感器，用于对作为所述检测器进行测量时的姿势的测量姿势进行检测；
存储器，其预加载有与多个姿势中的各姿势相对应的校正值；
测量控制发送器，用于向所述表面纹理测量仪发送用于要求执行表面纹理测量并发送测量结果的命令；以及
校正比较器，用于将所述测量姿势与所述存储器中所存储的多个姿势进行比较，并且使用与同所述测量姿势相当的姿势相对应的校正值来校正从所述表面纹理测量仪接收到的测量结果。
8.根据权利要求7所述的表面纹理测量系统，其中，所述外部通信接口还包括振动检测传感器，所述振动检测传感器用于检测作用于所述检测器上的振动的大小，其中在所述表面纹理的测量期间的振动的大小超过预定阈值的情况下，所述测量控制发送器向所述表面纹理测量仪发送用以停止测量的命令。
9.一种有形非暂时性计算机可读介质，其存储用于控制外部通信接口的可执行指令集，所述外部通信接口能够安装至表面纹理测量仪，其中，在接收到来自所述外部通信接口的命令时，所述表面纹理测量仪将可测量对象的表面纹理的测量结果发送至所述外部通信接口，所述测量结果被识别为在利用检测器的触针追踪所述可测量对象的表面时所述触针的移动变化，所述外部通信接口包括用于对作为所述检测器进行测量时的姿势的测量姿势进行检测的姿势检测传感器、以及预加载有与多个姿势中的各姿势相对应的校正值的存储器，所述指令集在被计算机处理器执行时使所述计算机处理器执行包括以下步骤的操作：
向所述表面纹理测量仪发送用于要求执行表面纹理测量并发送测量结果的命令；
将所述测量姿势与所述存储器中所存储的多个姿势进行比较；以及
使用与同所述测量姿势相当的姿势相对应的校正值来校正从所述表面纹理测量仪接收到的测量结果。
CN201810652869.2A 2017-06-23 2018-06-22 表面纹理测量装置、表面纹理测量系统和计算机可读介质 Pending CN109115164A (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2017-123735 2017-06-23
JP2017123735A JP6918599B2 (ja) 2017-06-23 2017-06-23 表面性状測定機、表面性状測定システム及びプログラム

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN109115164A true CN109115164A (zh) 2019-01-01

Family

ID=64567860

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201810652869.2A Pending CN109115164A (zh) 2017-06-23 2018-06-22 表面纹理测量装置、表面纹理测量系统和计算机可读介质

Country Status (4)

Country Link
US (1) US11262179B2 (zh)
JP (1) JP6918599B2 (zh)
CN (1) CN109115164A (zh)
DE (1) DE102018210225A1 (zh)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111307072A (zh) * 2020-02-14 2020-06-19 天津时空经纬测控技术有限公司 测量平台系统和测量系统

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7445845B2 (ja) 2020-05-14 2024-03-08 株式会社東京精密 形状測定機及びその制御方法

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1847787A (zh) * 2005-02-28 2006-10-18 三丰株式会社 表面特性测量仪的平直度校正方法以及表面特性测量仪
CN101166951A (zh) * 2005-04-26 2008-04-23 瑞尼斯豪公司 扫描工件表面的方法
CN101358845A (zh) * 2007-08-03 2009-02-04 三丰株式会社 表面形状测定装置
JP2011169616A (ja) * 2010-02-16 2011-09-01 Mitsutoyo Corp 表面性状測定機
CN103134458A (zh) * 2011-11-29 2013-06-05 株式会社三丰 表面形貌测量设备
CN103322967A (zh) * 2012-03-19 2013-09-25 株式会社三丰 表面纹理测量装置
CN105865292A (zh) * 2015-02-09 2016-08-17 株式会社三丰 检测指示器
WO2016184612A1 (de) * 2015-05-20 2016-11-24 Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh Verfahren zur erfassung dynamischer schwingungen eines rauheitssensors, verfahren zur vermessung der rauheit einer werkstückoberfläche, computerprogrammprodukt sowie messgerät eingerichtet zur durchführung der verfahren

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3254530A (en) * 1962-11-20 1966-06-07 American Gage & Mach Surface roughness tracer head
US6360428B1 (en) * 1998-04-16 2002-03-26 Seagate Technology Llc Glide heads and methods for making glide heads
JP3516630B2 (ja) * 2000-03-29 2004-04-05 株式会社ミツトヨ 形状測定機及び形状測定方法
JP4009152B2 (ja) * 2002-07-09 2007-11-14 株式会社ミツトヨ 表面形状測定装置および表面形状測定方法
JP4968600B1 (ja) * 2011-01-13 2012-07-04 株式会社東京精密 真円度測定装置及びその心ずれ量補正方法
JP5875900B2 (ja) * 2012-03-08 2016-03-02 株式会社ミツトヨ 表面性状測定機、その制御装置およびその調整方法
JP6620559B2 (ja) 2016-01-07 2019-12-18 コニカミノルタ株式会社 電源装置および画像形成装置

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1847787A (zh) * 2005-02-28 2006-10-18 三丰株式会社 表面特性测量仪的平直度校正方法以及表面特性测量仪
CN101166951A (zh) * 2005-04-26 2008-04-23 瑞尼斯豪公司 扫描工件表面的方法
CN101358845A (zh) * 2007-08-03 2009-02-04 三丰株式会社 表面形状测定装置
JP2011169616A (ja) * 2010-02-16 2011-09-01 Mitsutoyo Corp 表面性状測定機
CN103134458A (zh) * 2011-11-29 2013-06-05 株式会社三丰 表面形貌测量设备
CN103322967A (zh) * 2012-03-19 2013-09-25 株式会社三丰 表面纹理测量装置
CN105865292A (zh) * 2015-02-09 2016-08-17 株式会社三丰 检测指示器
WO2016184612A1 (de) * 2015-05-20 2016-11-24 Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh Verfahren zur erfassung dynamischer schwingungen eines rauheitssensors, verfahren zur vermessung der rauheit einer werkstückoberfläche, computerprogrammprodukt sowie messgerät eingerichtet zur durchführung der verfahren

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111307072A (zh) * 2020-02-14 2020-06-19 天津时空经纬测控技术有限公司 测量平台系统和测量系统
CN111307072B (zh) * 2020-02-14 2022-07-29 天津时空经纬测控技术有限公司 测量平台系统和测量系统

Also Published As

Publication number Publication date
US20180372473A1 (en) 2018-12-27
DE102018210225A1 (de) 2018-12-27
JP6918599B2 (ja) 2021-08-11
JP2019007839A (ja) 2019-01-17
US11262179B2 (en) 2022-03-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP3535687B1 (en) Automatic magnetometer calibration for mobile devices
CN104303129B (zh) 用于管理便携式电子装置的屏幕定向的方法
US20130179958A1 (en) Authentication system, authentication method, authentication device, information terminal, program and information recording medium
US20130197862A1 (en) Latency measurement
JP5974171B2 (ja) オフセット推定装置、方法、およびプログラム
CN109115164A (zh) 表面纹理测量装置、表面纹理测量系统和计算机可读介质
US9360966B2 (en) Method for generally continuously calibrating an interactive input system
US20130138378A1 (en) Computing device and method for compensating for perpendicular errors of three-coordinate measuring machines
US20150029164A1 (en) Attachable accessory and method for computer recording of writing
CN202869645U (zh) 基于Android平台手机的便携式振动测量仪
CN102402285B (zh) 信息处理系统
US11715260B2 (en) Offline teaching device, measurement control device, and program
US20120296599A1 (en) Temperature sensing system and method
US10452262B2 (en) Flexible display touch calibration
CN105324635B (zh) 偏移估计装置、偏移估计方法以及程序
CN103439127B (zh) 惯性输入装置运动质量的测量方法、终端和系统
CN102339224A (zh) 用于在指示应用代码的执行中使用的系统和方法
US11620846B2 (en) Data processing method for multi-sensor fusion, positioning apparatus and virtual reality device
CN105183160B (zh) 一种信息处理方法及电子设备
EP3974105A1 (en) Measurement device
US10809797B1 (en) Calibration of multiple sensor modules related to an orientation of a user of the sensor modules
TWI653452B (zh) 感測器測試系統及應用於其上的方法
US9244538B2 (en) Using portable electronic devices for user input
CN108628435A (zh) 虚拟实境系统、移动装置的操作方法、非挥发性计算机可读取记录媒体、虚拟实境处理装置
KR101441289B1 (ko) 휴대 단말의 입력 감도를 고려한 디지털 컨텐츠 제작 방법 및 장치

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
RJ01 Rejection of invention patent application after publication
RJ01 Rejection of invention patent application after publication

Application publication date: 20190101