JP2019007069A - 蒸着マスク - Google Patents
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Abstract
【解決手段】蒸着マスクは、フレームと、前記フレームに保持された金属膜と、を含み、前記金属膜は、第1開口部と、前記第1開口部の周囲に配置された複数の第2開口部を有し、前記第2開口部の最大幅は、前記第1開口部の最大幅よりも小さい。前記複数の第2開口部は、前記第1開口部の輪郭に沿って配置される。第1開口部の輪郭は、円形であってもよい。
【選択図】図3
Description
<蒸着マスクの構成>
図1は、第1実施形態の蒸着マスク100の構成を示す平面図である。蒸着マスク100は、インバー等の金属部材で構成されたフレーム102と、フレーム102に設けられた複数の開口部102aに保持された複数の金属膜104とを備える。
第2実施形態では、金属膜104に形成される開口部の形状を第1実施形態とは異なる形状とした例について説明する。なお、本実施形態では、第1実施形態の蒸着マスク100との構成上の差異に注目して説明を行い、同じ構成については同じ符号を付して説明を省略することがある。
第3実施形態では、金属膜104に形成される開口部の形状を第1実施形態とは異なる形状とした例について説明する。なお、本実施形態では、第1実施形態の蒸着マスク100との構成上の差異に注目して説明を行い、同じ構成については同じ符号を付して説明を省略することがある。
Claims (10)
- フレームと、
前記フレームに保持された金属膜と、
を含み、
前記金属膜は、第1開口部と、前記第1開口部の周囲に配置された複数の第2開口部を有し、
前記第2開口部の最大幅は、前記第1開口部の最大幅よりも小さい、蒸着マスク。 - 前記複数の第2開口部は、前記第1開口部の輪郭に沿って配置される、請求項1に記載の蒸着マスク。
- 前記第1開口部に対し前記複数の第2開口部より外側に配置された複数の第3開口部をさらに有する、請求項1又は2に記載の蒸着マスク。
- 前記複数の第3開口部は、前記複数の第1開口部の輪郭に沿って配置される、請求項3に記載の蒸着マスク。
- 前記複数の第2開口部と前記複数の第3開口部は、前記第1開口部の輪郭に沿って時計回りまたは反時計回りに、互い違いに配置される、請求項3又は4に記載の蒸着マスク。
- 前記複数の第2開口部は、前記第1開口部の縁から、前記第1開口部の最大幅よりも大きい距離だけ離れた位置に配置される、請求項1乃至5のいずれか一項に記載の蒸着マスク。
- 前記第1開口部の輪郭は、円形である、請求項1乃至6のいずれか一項に記載の蒸着マスク。
- 前記金属膜の膜厚は、5〜20μmである、請求項1乃至7のいずれか一項に記載の蒸着マスク。
- 前記第1開口部は、アライメントマークである、請求項1乃至8のいずれか一項に記載の蒸着マスク。
- 前記第1開口部の最大幅は0.5mm以上である、請求項1乃至9のいずれか一項に記載の蒸着マスク。
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