JP2018538396A5

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Publication number: JP2018538396A5
Application number: JP2018527885A
Authority: JP
Filing date: 2016-11-30
Publication date: 2019-11-21
Anticipated expiration: 2036-11-30

Claims

それぞれ式（Ｉ）の単量体に由来する、式（ＩＡ）で表される１つ以上の個別の第１繰り返し単位；

（式中、

は、他の繰り返し単位と結合が発生する位置を示し、
ｍは、０、１又は２の整数であり、
Ｒ_１、Ｒ_２、Ｒ_３、Ｒ_４は、それぞれ独立に、水素、直鎖又は分岐の（Ｃ_１−Ｃ_１６）アルキル、ヒドロキシ（Ｃ_１−Ｃ_１２）アルキル、パーフルオロ（Ｃ_１−Ｃ_１２）アルキル、（Ｃ_３−Ｃ_１２）シクロアルキル、（Ｃ_６−Ｃ_１２）ビシクロアルキル、（Ｃ_７−Ｃ_１４）トリシクロアルキル、（Ｃ_６−Ｃ_１０）アリール、（Ｃ_６−Ｃ_１０）アリール（Ｃ_１−Ｃ_３）アルキル、パーフルオロ（Ｃ_６−Ｃ_１０）アリール、パーフルオロ（Ｃ_６−Ｃ_１０）アリール（Ｃ_１−Ｃ_３）アルキル、（Ｃ_５−Ｃ_１０）ヘテロアリール、（Ｃ_５−Ｃ_１０）ヘテロアリール（Ｃ_１−Ｃ_３）アルキル、ヒドロキシ、（Ｃ_１−Ｃ_１２）アルコキシ、（Ｃ_３−Ｃ_１２）シクロアルコキシ、（Ｃ_６−Ｃ_１２）ビシクロアルコキシ、（Ｃ_７−Ｃ_１４）トリシクロアルコキシ、−（ＣＨ_２）_ａ−（Ｏ−（ＣＨ_２）_ｂ）_ｃ−Ｏ−（Ｃ_１−Ｃ_４）アルキル（ａ、ｂ、ｃは１〜４の整数）、（Ｃ_６−Ｃ_１０）アリールオキシ（Ｃ_１−Ｃ_３）アルキル、（Ｃ_５−Ｃ_１０）ヘテロアリールオキシ（Ｃ_１−Ｃ_３）アルキル、（Ｃ_６−Ｃ_１０）アリールオキシ、（Ｃ_５−Ｃ_１０）ヘテロアリールオキシ、（Ｃ_１−Ｃ_６）アシルオキシ、ハロゲンである）、及び、
式（ＩＩ）の単量体に由来する、式（ＩＩＡ）で表される第２繰り返し単位；

（式中、
Ｒ_５及びＲ_６は、それぞれ独立に、水素及びメチルから選択され、
Ｒ _７は、メチル、エチル、ｎ−プロピル及びｎ−ブチルから選択され、
Ｒ _８は、水素である）
を含む、重合体、
活性光線に露光されたとき酸を発生する光酸発生剤、
活性光線に露光されたとき塩基を発生する光塩基発生剤、並びに、
キャリア溶媒
を含み、
組成物が活性光線に露光されたとき発生する酸を中和するのに十分な量で発生する塩基が存在することを特徴とする、組成物。
前記重合体は、式（ＩＩ）の単量体に由来する、式（ＩＩＢ）で表される個別の第２繰り返し単位をさらに含むことを特徴とする、請求項１に記載の組成物。

（式中、Ｒ_５及びＲ_６は、請求項１に記載のとおり）
前記重合体は、式（ＩＡ）で表される１つ以上の個別の繰り返し単位を含み、
ｍは０であり、
Ｒ_１、Ｒ_２、Ｒ_３、Ｒ_４は独立に、水素、メチル、エチル、直鎖又は分岐の（Ｃ_１−Ｃ_１２）アルキル、フェニル（Ｃ_１−Ｃ_３）アルキル、−（ＣＨ_２）_ａ−（Ｏ−（ＣＨ_２）_ｂ）_ｃ−Ｏ−（Ｃ_１−Ｃ_４）アルキル（ただし、ａは１又は２、ｂは２〜４、Ｃは２又は３）からなる群より選択されることを特徴とする、請求項１に記載の組成物。
前記重合体において、Ｒ_５及びＲ_６は、それぞれ、水素であり、Ｒ_７は、メチル及びエチルから選択されることを特徴とする、請求項１に記載の組成物。
前記重合体は、
５−ヘキシルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン；
５−オクチルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン；
５−デシルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン；
５−（（２−（２−メトキシエトキシ）エトキシ）メチル）ビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン；
１−（ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−２−イル）−２，５，８，１１−テトラオキサドデカン；
５−ベンジルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン；
５−フェネチルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エンからなる群より選択される単量体由来の１つ以上の第１繰り返し単位を有することを特徴とする、請求項１に記載の組成物。
前記重合体は、
無水マレイン酸；
２−メチル−無水マレイン酸（３−メチルフラン−２，５−ジオン）；
２，３−ジメチル−無水マレイン酸（３，４−ジメチルフラン−２，５−ジオン）
からなる群より選択される単量体由来の第２繰り返し単位を有することを特徴とする、請求項１に記載の組成物。
前記重合体は、
５−フェネチルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン（ＰＥＮＢ）と無水マレイン酸との共重合体（５０：５０モル比）（無水マレイン酸繰り返し単位はメタノールで開環）；
５−フェネチルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン（ＰＥＮＢ）と無水マレイン酸との共重合体（５０：５０モル比）（無水マレイン酸繰り返し単位はエタノールで開環）；
５−フェネチルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン（ＰＥＮＢ）と無水マレイン酸との共重合体（５０：５０モル比）（無水マレイン酸繰り返し単位はｎ−ブタノールで開環）
からなる群より選択されることを特徴とする、請求項１に記載の組成物。
前記光酸発生剤は、
（ｐ−イソプロピルフェニル）（ｐ−メチルフェニル）−ヨードニウムテトラキス（ペンタフルオロフェニル）ボレート；
（２−（４−メトキシナフタレン−１−イル）−２−オキソエチル）ジメチルスルホニウムテトラキス（パーフルオロフェニル）ボレート；
ビス（４−（（４−アセチルフェニル）チオ）フェニル）（４−（フェニルチオ）シクロヘキシル）スルホニウムトリス（（トリフルオロメチル）スルホニル）メタニド；
１，３−ジオキソ−１Ｈ−ベンゾ［ｄｅ］イソキノリン−２（３Ｈ）−イルトリフルオロメタンスルホネート（ＮＩＴ）；
１，３−ジオキソ−１Ｈ−ベンゾ［ｄｅ］イソキノリン−２（３Ｈ）−イル１，１，２，２，３，３，４，４，４−ノナフルオロブタン−１−スルホネート
からなる群より選択されることを特徴とする、請求項１に記載の組成物。
前記光塩基発生剤は、
式（ＶＩ）の化合物、

式（ＶＩＩ）の化合物、

式（ＶＩＩＩ）の化合物、

式（ＩＸＡ）の化合物、

式（ＩＸＢ）の化合物、

式（ＩＸＣ）の化合物、

（式中、Ｒ_１５、Ｒ_１６、Ｒ_１７は同一であるか異なっており、それぞれ独立に、水素、直鎖又は分岐の（Ｃ_１−Ｃ_１６）アルキル、（Ｃ_６−Ｃ_１０）アリール、（Ｃ_６−Ｃ_１０）アリール（Ｃ_１−Ｃ_３）アルキル、ヒドロキシ、ハロゲン、直鎖又は分岐の（Ｃ_１−Ｃ_１２）アルコキシ、（Ｃ_６−Ｃ_１０）アリールオキシからなる群より選択され、
Ｒ_１８及びＲ_１９は、それぞれ独立に、水素、直鎖又は分岐の（Ｃ_１−Ｃ_８）アルキル、（Ｃ_６−Ｃ_１０）アリールからなる群より選択されるか、又は、Ｒ_１８及びＲ_１９は、それらが結合した窒素原子と共に５〜７員の単環又は６〜１２員の二環を形成し、前記環は、Ｏ又はＮより選択される１つ以上の追加のヘテロ原子を任意に含有してもよく、また、前記環は、直鎖又は分岐の（Ｃ_１−Ｃ_８）アルキル、（Ｃ_６−Ｃ_１０）アリール、ハロゲン、ヒドロキシ、直鎖又は分岐の（Ｃ_１−Ｃ_８）アルコキシ、（Ｃ_６−Ｃ_１０）アリールオキシで置換されていてもよい）からなる群より選択されることを特徴とする、請求項１に記載の組成物。
前記光塩基発生剤は、
式（ＶＩ）の化合物、

式（ＶＩＩＩ）の化合物、

（式中、Ｒ_１５、Ｒ_１６、Ｒ_１７は同一であるか異なっており、それぞれ独立に、水素、メチル、エチル、ｎ−プロピル、ｉｓｏ−プロピル、ｎ−ブチル、フェニルからなる群より選択され、
Ｒ_１８及びＲ_１９は、それぞれ独立に、水素、メチル、エチル、ｎ−プロピル、ｉｓｏ−プロピル、ｎ−ブチルからなる群より選択されるか、又は、Ｒ_１８及びＲ_１９は、それらが結合した窒素原子と共にピリジン環又はピリミジニル環を形成する）からなる群より選択されることを特徴とする、請求項９に記載の組成物。
前記光塩基発生剤は、
２−ベンジル−２−（ジメチルアミノ）−１−（４−モルホリノフェニル）ブタン−１−オン；
２−（ジメチルアミノ）−２−（４−メチルベンジル）−１−（４−モルホリノフェニル）ブタン−１−オン；
１−（９，１０−ジオキソ−９，１０−ジヒドロアントラセン−２−イル）エチルシクロヘキシルカルバメート；
１−（９，１０−ジオキソ−９，１０−ジヒドロアントラセン−２−イル）エチル１Ｈ−イミダゾール−１−カルボキシレート；及び
１−（９，１０−ジオキソ−９，１０−ジヒドロアントラセン−２−イル）エチルピリミジン−１（６Ｈ）−カルボキシレートからなる群より選択されることを特徴とする、請求項１に記載の組成物。
前記組成物は、
グリセロールのポリ（オキシプロピレン）エポキシドエーテルのトリグリシジルエーテル；
トリメチロールプロパントリグリシジルエーテル；
ビスフェノールＡエピクロロヒドリン系エポキシ樹脂；
ポリプロピレングリコールエピクロロヒドリン系エポキシ樹脂；
ビス（４−（オキシラン−２−イルメトキシ）フェニル）メタン；
ｐ−ｔｅｒｔ−ブチルフェノールのグリシジルエーテル；
ポリエチレングリコールジグリシジルエーテル；
ポリプロピレングリコールジグリシジルエーテル；及び
これらを組み合わせた混合物からなる群より選択されるエポキシ樹脂をさらに含むことを特徴とする、請求項１に記載の組成物。
前記溶媒は、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（ＰＧＭＥＡ）、γ−ブチロラクトン（ＧＢＬ）、Ｎ−メチルピロリドン（ＮＭＰ）、及びこれらを組み合わせた混合物からなる群より選択されることを特徴とする、請求項１に記載の組成物。
前記組成物は、
接着促進剤；
抗酸化剤；
界面活性剤；
熱酸発生剤又は熱塩基発生剤；及び
これらを組み合わせた混合物からなる群より選択される１種以上の添加剤をさらに含むことを特徴とする、請求項１に記載の組成物。
（ｉ）請求項１に記載の組成物を基板に塗布して被覆膜を形成するステップ、（ｉｉ）所望のパターンのマスクを通じて前記被覆膜を露光するステップ、（ｉｉｉ）アルカリ現像剤で現像して露光された部分を溶解及び除去して、前記所望のパターンを得るステップ、（ｉｖ）前記所望のパターンを加熱するステップを含むことを特徴とする、硬化物形成方法。
請求項１の組成物を硬化して得られる硬化物。
１ＭＨｚで３．２以下の誘電率を有する請求項１６の硬化物を含むことを特徴とする、光電子デバイス又はマイクロ電子デバイス。