JP2018526608A5 - - Google Patents

Claims (14)

1. 製造処理ツールからの排ガス流を処理するための除害装置であって、
   処理チャンバを少なくとも部分的に定め、前記排ガス流の処理のために前記処理チャンバ内に導入されるように処理物質が通過する多孔質要素と、
   前記処理物質が前記多孔質要素を通過して前記処理チャンバに入る時に前記処理物質を加熱する前記多孔質要素を加熱する赤外線エネルギを放出するように作動可能な赤外線加熱デバイスと、
   を含むことを特徴とする装置。
2. 前記赤外線加熱デバイスは、前記多孔質要素の面の付近に位置決めされて前記多孔質要素の前記面を加熱することを特徴とする請求項１に記載の除害装置。
3. 前記多孔質要素の前記面の付近にプレナムを定める外壁を含み、
   前記処理物質は、前記プレナムから前記多孔質要素に与えられ、前記赤外線加熱デバイスは、前記プレナム内に位置付けられる、
   ことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の除害装置。
4. 前記外壁は、入射赤外線エネルギを前記多孔質要素に向けて反射するように反射性であることを特徴とする請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の除害装置。
5. 前記多孔質要素は、前記多孔質要素の前記面の付近にプレナムを定め、前記処理物質は、前記プレナムから前記多孔質要素に与えられ、前記赤外線加熱デバイスは、前記プレナム内に位置付けられることを特徴とする請求項１から請求項４のいずれか１項に記載の除害装置。
6. 前記赤外線加熱デバイスを取り囲むパージガスを供給するように作動可能なパージガス入口を含むことを特徴とする請求項１から請求項５のいずれか１項に記載の除害装置。
7. 前記多孔質要素の前記面は、入射赤外線エネルギの不均一吸収を与えるように構成されることを特徴とする請求項１から請求項６のいずれか１項に記載の除害装置。
8. 前記多孔質要素は、前記面から前記処理チャンバへの不均一な熱伝達を与えるように構成されることを特徴とする請求項１から請求項７のいずれか１項に記載の除害装置。
9. 前記赤外線加熱デバイスは、不均一な赤外線エネルギ放出を与えるように構成されることを特徴とする請求項１から請求項８のいずれか１項に記載の除害装置。
10. 前記多孔質要素の前記面にわたって加熱する赤外線エネルギを放出するように位置決めされた複数の前記赤外線加熱デバイスを含むことを特徴とする請求項１から請求項９のいずれか１項に記載の除害装置。
11. 前記排ガス流を前記処理チャンバまで搬送するための少なくとも１つの入口を含み、
    少なくとも１つの赤外線加熱デバイスが、各入口の付近に位置付けられる、
    ことを特徴とする請求項１から請求項１０のいずれか１項に記載の除害装置。
12. 放出赤外線エネルギを変化させるように前記赤外線加熱デバイスを制御するように作動可能なコントローラを含むことを特徴とする請求項１から請求項１１のいずれか１項に記載の除害装置。
13. 前記コントローラは、低減された排ガス流が流れる間は放出赤外線エネルギを低減すること、前記製造処理ツールの処理が行われない間は放出赤外線エネルギを停止すること、及び前記排ガス流の組成に基づいて放出赤外線エネルギを変化させることのうちの少なくとも１つを実行するように作動可能であることを特徴とする請求項１２に記載の除害装置。
14. 排ガス流の処理のための処理チャンバを少なくとも部分的に定める多孔質要素に処理物質を通す段階と、
    前記処理物質が前記多孔質要素を通過して前記処理チャンバに入る時に前記処理物質を加熱する前記多孔質要素を加熱するために赤外線加熱デバイスを使用して赤外線エネルギを放出する段階と、
    を含むことを特徴とする方法。