JP2018523816A - 材質認識照明システム及びそれを用いた材質認識方法 - Google Patents
材質認識照明システム及びそれを用いた材質認識方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2018523816A JP2018523816A JP2018502159A JP2018502159A JP2018523816A JP 2018523816 A JP2018523816 A JP 2018523816A JP 2018502159 A JP2018502159 A JP 2018502159A JP 2018502159 A JP2018502159 A JP 2018502159A JP 2018523816 A JP2018523816 A JP 2018523816A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- measurement object
- light
- intensity distribution
- reflected light
- illumination
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000000463 material Substances 0.000 title claims abstract description 108
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 29
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims abstract description 185
- 238000009826 distribution Methods 0.000 claims abstract description 133
- 238000005286 illumination Methods 0.000 claims abstract description 126
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims abstract description 22
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 20
- 239000007787 solid Substances 0.000 claims description 9
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 7
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 6
- 238000000926 separation method Methods 0.000 claims description 5
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 claims 1
- 230000002441 reversible effect Effects 0.000 description 4
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 235000012489 doughnuts Nutrition 0.000 description 2
- 210000002445 nipple Anatomy 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/47—Scattering, i.e. diffuse reflection
- G01N21/4738—Diffuse reflection, e.g. also for testing fluids, fibrous materials
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/47—Scattering, i.e. diffuse reflection
- G01N21/4738—Diffuse reflection, e.g. also for testing fluids, fibrous materials
- G01N21/474—Details of optical heads therefor, e.g. using optical fibres
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/1717—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated with a modulation of one or more physical properties of the sample during the optical investigation, e.g. electro-reflectance
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/55—Specular reflectivity
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F21—LIGHTING
- F21W—INDEXING SCHEME ASSOCIATED WITH SUBCLASSES F21K, F21L, F21S and F21V, RELATING TO USES OR APPLICATIONS OF LIGHTING DEVICES OR SYSTEMS
- F21W2131/00—Use or application of lighting devices or systems not provided for in codes F21W2102/00-F21W2121/00
- F21W2131/40—Lighting for industrial, commercial, recreational or military use
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N2021/1738—Optionally different kinds of measurements; Method being valid for different kinds of measurement
- G01N2021/1742—Optionally different kinds of measurements; Method being valid for different kinds of measurement either absorption or reflection
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/47—Scattering, i.e. diffuse reflection
- G01N2021/4704—Angular selective
- G01N2021/4711—Multiangle measurement
- G01N2021/4716—Using a ring of sensors, or a combination of diaphragm and sensors; Annular sensor
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/47—Scattering, i.e. diffuse reflection
- G01N2021/4733—Discriminating different types of scatterers
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/55—Specular reflectivity
- G01N2021/556—Measuring separately scattering and specular
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2201/00—Features of devices classified in G01N21/00
- G01N2201/06—Illumination; Optics
- G01N2201/062—LED's
- G01N2201/0626—Use of several LED's for spatial resolution
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2201/00—Features of devices classified in G01N21/00
- G01N2201/06—Illumination; Optics
- G01N2201/063—Illuminating optical parts
- G01N2201/0634—Diffuse illumination
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2201/00—Features of devices classified in G01N21/00
- G01N2201/06—Illumination; Optics
- G01N2201/063—Illuminating optical parts
- G01N2201/0638—Refractive parts
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2201/00—Features of devices classified in G01N21/00
- G01N2201/06—Illumination; Optics
- G01N2201/065—Integrating spheres
- G01N2201/0655—Hemispheres
Abstract
Description
前記記録媒体は、RAM、ROM、EEPROM、フラッシュメモリーまたはその他のメモリ技術、CD−ROM、DVDまたはその他の光学ディスク貯蔵装置、磁気カセット、磁気テープ、磁気ディスク貯蔵装置またはその他の磁気貯蔵装置、または所望する情報を貯蔵するに使用されるコンピューターによってアクセスされる任意の他の媒体などを含むことができるが、それに限られるわけではない。
この際、前記光源はLEDを含み、前記LEDから発生された光を前記ディヒューザを通じて拡散することで、均一な入射光を前記測定対象物MTに提供することができる。
一例として、前記方向別入射光0°乃至90°の間の入射角θで入射方向を示し、前記反射光RLの強度は前記方向別入射光の入射角θによって示される。
また、前記第2分布で、“単一方向”(測定対象物の垂直上方)の入射光に対する“複数方向”の反射光のうち特定反射光(例えば、第1分布の特定入射光の方向に対応)の間の相対的な角度は第2角度である。この場合、2つの場合において入射光と反射光は反対の経路を形成するが、相対的角度である第1角度と第2角度は互いに同一である。
具体的に、図2のグラフは、Y軸と並行に単一入射光が前記測定対象物MTが位置した原点0に入射される時、Y軸に対して傾斜した反射角αに反射される反射光の強度を原点0との距離で示した反射光の方向別強度分布を示す。
そのため前記第1照明セクション122はそれぞれ同一の曲率を有する同一の大きさで同一の光量を発生させるように形成され、それによって、前記方向別入射光が各方向によって同一の立体角をカバーし前記測定対象物MTに照射される。
具体的には、前記第1照明セクション122から発生された前記入射光ILが、前記受光部130の光軸と接する前記測定対象物MT上の一点(図2の原点0に対応)に照射される時、前記各第1照明セクション122の大きさによってカバーされる前記入射光ILの立体角は均一であるように形成される。そのために、前記第1照明セクション122は前記測定対象物MTの周辺部から中心部に移動するほど小さいサイズを有してもよい。
前記屈折媒質ユニット123は、前記第1照明セクション122から発生された光を前記測定対象物MTに対してより大きい入射角を有するように屈折させる。
Claims (17)
- 上方にオープンされていて、測定対象物が位置する測定ステージと、
前記測定対象物に対して入射光を照射する複数の照明セクションを含んでいて、前記測定ステージがオープンされている上方で前記測定対象物に対して複数の方向から方向別入射光を前記測定対象物に照射する照射部と、
前記照射部によって照射された前記方向別入射光による前記測定対象物の反射光を獲得する受光部と、
前記受光部で獲得された前記方向別入射光による前記測定対象物の反射光から、単一入射光による前記測定対象物の反射光の方向別強度分布を獲得し、前記反射光の方向別強度分布(intensity distribution)から前記測定対象物の材質を判定する処理部と、を含むことを特徴とする、
材質認識照明システム。 - 前記照射部は、前記測定ステージがオープンされている前記上方の少なくとも一部をカバーする複数の第1照明セクションを含み、前記第1照明セクションはドーム形状の少なくとも一部を形成することを特徴とする請求項1に記載の材質認識照明システム。
- 前記照射部は、前記測定ステージがオープンされている前記上方の少なくとも一部をカバーする複数の第1照明セクションを含み、前記第1照明セクションはプレート形状の少なくとも一部を形成し、前記第1照明セクションから発生された前記入射光が、前記受光部の光軸と接する前記測定対象物上の一点に照射される時、前記第1照明セクションの大きさによってカバーされる前記入射光の立体角が均一であるように、前記第1照明セクションは前記測定対象物の周辺部(solid angle)から中心部に移動するほど小さいサイズを有することを特徴とする請求項1に記載の材質認識照明システム。
- 前記照射部は、前記第1照明セクションの下部に配置され、前記第1照明セクションから発生された光を前記測定対象物に対してより大きい入射角を有するように屈折させる屈折媒質ユニットをさらに含むことを特徴とする請求項3に記載の材質認識照明システム。
- 前記第1照明セクションが形成する形状には少なくとも一部が開口された第1開口部が形成され、前記受光部は、前記第1開口部を通じて前記測定対象物から反射された反射光を受光するように配置されたことを特徴とする請求項2乃至4のいずれか一項に記載の材質認識照明システム。
- 前記照射部は、前記第1開口部を通じて前記測定対象物に入射光を提供し、前記受光部が前記測定対象物の少なくとも一部を含む関心領域(region of interest、ROI)を含んで前記反射光を獲得するように配置される少なくとも一つの第2照明セクションをさらに含むことを特徴とする請求項5に記載の材質認識照明システム。
- 前記第2照明セクションは、プレート形状の少なくとも一部を形成する複数の層から形成されることを特徴とする請求項6に記載の材質認識照明システム。
- 前記少なくとも一つの第2照明セクションが形成する形状には第2開口部が形成され、前記受光部は、前記第2開口部を通じて前記測定対象物から反射された反射光を受光するように配置されたことを特徴とする請求項6に記載の材質認識照明システム。
- 前記照射部は、前記第2開口部を通じて前記測定対象物に入射光を提供する第3照明セクションと、前記反射光を前記受光部に透過させ、前記第3照明セクションから発生された入射光を前記受光部の光軸と同一の光軸で前記測定対象物に提供するように反射するビーム分離ユニットと、をさらに含むことを特徴とする請求項8に記載の材質認識照明システム。
- 前記照明セクションはそれぞれ、ベース基板と、前記ベース基板上に形成された複数の光源と、前記光源の前方に配置され、前記光源から発生された光を拡散させるディヒューザ(diffuser)と、を含むことを特徴とする請求項1に記載の材質認識照明システム。
- 前記受光部は、前記測定対象物の反射光を前記入射光の照射方向に対して均等に受光するように前記測定対象物の垂直上方に反射される反射光を受光することを特徴とする請求項1に記載の材質認識照明システム。
- 前記処理部は、前記反射光の方向別強度分布から前記測定対象物の材質を判定する時、前記反射光の方向別強度分布を形成する鏡面(specular)反射光の第1強度分布及び拡散(diffuse)反射光の第2強度分布から前記測定対象物の材質を判定することを特徴とする請求項1に記載の材質認識照明システム。
- 前記処理部は、前記反射光の方向別強度分布から前記測定対象物の材質を判定する時、前記第1強度分布の面積、前記第2強度分布の面積、前記第1強度分布及び前記第2強度分布の全体面積、前記第1強度分布の反射角、前記第1強度分布の広がり角のうち少なくとも一つのパラメータに基づいて前記測定対象物の材質を判定することを特徴とする請求項12に記載の材質認識照明システム。
- 前記パラメータの値は、反射角‐反射強度座標系上で獲得されることを特徴とする請求項13に記載の材質認識照明システム。
- 測定対象物に向かって複数の方向から照射された方向別入射光による前記測定対象物の反射光を獲得する段階と、
前記方向別入射光による前記測定対象物の反射光から、単一入射光による前記測定対象物の反射光の方向別強度分布を獲得する段階と、
前記反射光の方向別強度分布から前記測定対象物の材質を判定する段階と、を含むことを特徴とする、
照明システムを用いた材質認識方法。 - 前記反射光の方向別強度分布から前記測定対象物の材質を判定する段階において、前記反射光の方向別強度分布を形成する鏡面反射光の第1強度分布及び拡散反射光の第2強度分布から前記測定対象物の材質を判定し、前記第1強度分布の面積、前記第2強度分布の面積、前記第1強度分布及び前記第2強度分布の全体面積、前記第1強度分布の反射角、前記第1強度分布の広がり角のうち少なくとも一つのパラメータに基づいて前記測定対象物の材質を判定することを特徴とする請求項15に記載の照明システムを用いた材質認識方法。
- 請求項15又は16の方法を具現するプログラムを記録した、
コンピューターで判読可能である非一時的記録媒体。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR10-2016-0088759 | 2016-07-13 | ||
KR1020160088759A KR101739696B1 (ko) | 2016-07-13 | 2016-07-13 | 재질인식 조명 시스템 및 이를 이용한 재질인식 방법 |
PCT/KR2017/001482 WO2018012699A1 (ko) | 2016-07-13 | 2017-02-10 | 재질인식 조명 시스템 및 이를 이용한 재질인식 방법 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018523816A true JP2018523816A (ja) | 2018-08-23 |
JP6516918B2 JP6516918B2 (ja) | 2019-05-22 |
Family
ID=59050693
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018502159A Active JP6516918B2 (ja) | 2016-07-13 | 2017-02-10 | 材質認識照明システム及びそれを用いた材質認識方法 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US10161865B2 (ja) |
JP (1) | JP6516918B2 (ja) |
KR (1) | KR101739696B1 (ja) |
DE (1) | DE112017003529T5 (ja) |
WO (1) | WO2018012699A1 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR102090006B1 (ko) * | 2018-08-06 | 2020-03-17 | 주식회사 디딤센서 | 조명 시스템 |
US11282187B2 (en) * | 2019-08-19 | 2022-03-22 | Ricoh Company, Ltd. | Inspection system, inspection apparatus, and method using multiple angle illumination |
DE102021101594B3 (de) * | 2021-01-26 | 2022-01-05 | Carl Zeiss Spectroscopy Gmbh | Messanordnung zum Messen von diffus reflektiertem Licht und von spekular reflektiertem Licht |
Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05203569A (ja) * | 1992-01-28 | 1993-08-10 | Nkk Corp | 亜鉛メッキ鋼板の合金化度測定方法およびその測定装置 |
JPH11311570A (ja) * | 1998-04-28 | 1999-11-09 | Fuji Photo Film Co Ltd | 測光装置及び測光方法 |
JP2000162151A (ja) * | 1998-11-27 | 2000-06-16 | Nkk Corp | 表面疵検査装置 |
JP2002174595A (ja) * | 2000-12-07 | 2002-06-21 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 表面種別識別方法および装置 |
JP2003294622A (ja) * | 2002-04-02 | 2003-10-15 | Nippon Paint Co Ltd | 光輝材含有塗膜の光輝材種類の識別方法 |
JP2006047290A (ja) * | 2004-06-30 | 2006-02-16 | Omron Corp | 基板検査用の画像生成方法、基板検査装置、および基板検査用の照明装置 |
JP2008216059A (ja) * | 2007-03-05 | 2008-09-18 | Kurabo Ind Ltd | プリント配線板の検査装置 |
JP2011171104A (ja) * | 2010-02-18 | 2011-09-01 | Yamakatsu Labo:Kk | 光拡散カバー及び該光拡散カバーを使用してなる照明器具 |
US20130293702A1 (en) * | 2010-11-01 | 2013-11-07 | The Hong Kong Research Institute Of Textiles And Apparel Limited | Multispectral imaging color measurement system and method for processing imaging signals thereof |
WO2016093597A1 (ko) * | 2014-12-08 | 2016-06-16 | 주식회사 고영테크놀러지 | 기판 상에 형성된 부품의 터미널 검사방법 및 기판 검사장치 |
Family Cites Families (28)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61293657A (ja) * | 1985-06-21 | 1986-12-24 | Matsushita Electric Works Ltd | 半田付け外観検査方法 |
EP0687901B1 (en) * | 1988-05-09 | 2003-08-13 | Omron Corporation | Apparatus for and method of displaying results of printed circuit board inspection |
US4917495A (en) * | 1988-12-20 | 1990-04-17 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Portable colorimeter and method for characterization of a colored surface |
JP3072998B2 (ja) * | 1990-04-18 | 2000-08-07 | 株式会社日立製作所 | はんだ付け状態検査方法及びその装置 |
JPH05231837A (ja) * | 1991-12-25 | 1993-09-07 | Toshiba Corp | 形状測定方法及び装置 |
KR100200215B1 (ko) * | 1996-04-08 | 1999-06-15 | 윤종용 | 상관 신경 회로망을 이용한 납땜 검사 장치 및방법 |
KR100345001B1 (ko) * | 1998-08-27 | 2002-07-19 | 삼성전자 주식회사 | 기판 납땜 검사용 조명 및 광학 장치 |
US6207946B1 (en) * | 1998-09-03 | 2001-03-27 | Semiconductor Technologies & Instruments, Inc. | Adaptive lighting system and method for machine vision apparatus |
US6273338B1 (en) * | 1998-09-22 | 2001-08-14 | Timothy White | Low cost color-programmable focusing ring light |
JP2002116143A (ja) * | 2000-10-11 | 2002-04-19 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 材質識別方法 |
US7113313B2 (en) * | 2001-06-04 | 2006-09-26 | Agilent Technologies, Inc. | Dome-shaped apparatus for inspecting a component or a printed circuit board device |
JP2007524807A (ja) * | 2003-02-26 | 2007-08-30 | レイモンド, ジェイ. キャストンガイ, | 球形光散乱及び遠視野位相の測定 |
US7145125B2 (en) * | 2003-06-23 | 2006-12-05 | Advanced Optical Technologies, Llc | Integrating chamber cone light using LED sources |
US7443506B2 (en) * | 2003-11-18 | 2008-10-28 | Octadem Technologies, Inc. | Compact spectral readers for precise color determination |
JP3867724B2 (ja) * | 2004-02-27 | 2007-01-10 | オムロン株式会社 | 表面状態検査方法およびその方法を用いた表面状態検査装置ならびに基板検査装置 |
EP1612569A3 (en) * | 2004-06-30 | 2006-02-08 | Omron Corporation | Method and apparatus for substrate surface inspection using multi-color light emission system |
DE102004034167A1 (de) * | 2004-07-15 | 2006-02-09 | Byk Gardner Gmbh | Vorrichtung zur goniometrischen Untersuchung optischer Oberflächeneigenschaften |
JP2006194799A (ja) * | 2005-01-14 | 2006-07-27 | Canon Inc | 形状と材質の測定方法 |
US7336197B2 (en) * | 2005-03-30 | 2008-02-26 | Delta Design, Inc. | LED lighting system for line scan camera based multiple data matrix scanners |
JP4660692B2 (ja) * | 2005-06-24 | 2011-03-30 | コニカミノルタセンシング株式会社 | ゴニオ測色計及びゴニオ反射特性測定装置 |
EP1790972A1 (fr) * | 2005-11-24 | 2007-05-30 | Schreder | Appareil et méthode pour déterminer les propriétés de réflexion d'une surface |
JP5132982B2 (ja) * | 2007-05-02 | 2013-01-30 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | パターン欠陥検査装置および方法 |
JP2009080044A (ja) * | 2007-09-26 | 2009-04-16 | Konica Minolta Sensing Inc | 光学特性測定装置 |
JP2012063269A (ja) * | 2010-09-16 | 2012-03-29 | Sony Corp | 測定装置及び測定方法 |
EP2728342B2 (de) * | 2012-11-06 | 2019-04-10 | X-Rite Switzerland GmbH | Handmessgerät zur Erfassung des visuellen Eindrucks eines Messobjekts |
KR101437902B1 (ko) * | 2013-02-07 | 2014-09-17 | (주)아이엠에스나노텍 | 엘이디 패키지의 렌즈 외관 검사장치 |
JP6287360B2 (ja) * | 2014-03-06 | 2018-03-07 | オムロン株式会社 | 検査装置 |
DE102016109803B3 (de) * | 2016-05-27 | 2017-07-06 | Eyec Gmbh | Inspektionsvorrichtung und Inspektionsverfahren zur Inspektion des Oberflächenbildes einer einen Prüfling darstellenden Flachsache |
-
2016
- 2016-07-13 KR KR1020160088759A patent/KR101739696B1/ko active IP Right Grant
-
2017
- 2017-02-10 DE DE112017003529.5T patent/DE112017003529T5/de active Pending
- 2017-02-10 WO PCT/KR2017/001482 patent/WO2018012699A1/ko active Application Filing
- 2017-02-10 JP JP2018502159A patent/JP6516918B2/ja active Active
- 2017-02-13 US US15/430,916 patent/US10161865B2/en active Active
-
2018
- 2018-12-21 US US16/229,356 patent/US10451547B2/en active Active
Patent Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05203569A (ja) * | 1992-01-28 | 1993-08-10 | Nkk Corp | 亜鉛メッキ鋼板の合金化度測定方法およびその測定装置 |
JPH11311570A (ja) * | 1998-04-28 | 1999-11-09 | Fuji Photo Film Co Ltd | 測光装置及び測光方法 |
JP2000162151A (ja) * | 1998-11-27 | 2000-06-16 | Nkk Corp | 表面疵検査装置 |
JP2002174595A (ja) * | 2000-12-07 | 2002-06-21 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 表面種別識別方法および装置 |
JP2003294622A (ja) * | 2002-04-02 | 2003-10-15 | Nippon Paint Co Ltd | 光輝材含有塗膜の光輝材種類の識別方法 |
JP2006047290A (ja) * | 2004-06-30 | 2006-02-16 | Omron Corp | 基板検査用の画像生成方法、基板検査装置、および基板検査用の照明装置 |
JP2008216059A (ja) * | 2007-03-05 | 2008-09-18 | Kurabo Ind Ltd | プリント配線板の検査装置 |
JP2011171104A (ja) * | 2010-02-18 | 2011-09-01 | Yamakatsu Labo:Kk | 光拡散カバー及び該光拡散カバーを使用してなる照明器具 |
US20130293702A1 (en) * | 2010-11-01 | 2013-11-07 | The Hong Kong Research Institute Of Textiles And Apparel Limited | Multispectral imaging color measurement system and method for processing imaging signals thereof |
WO2016093597A1 (ko) * | 2014-12-08 | 2016-06-16 | 주식회사 고영테크놀러지 | 기판 상에 형성된 부품의 터미널 검사방법 및 기판 검사장치 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE112017003529T5 (de) | 2019-04-04 |
US20190120759A1 (en) | 2019-04-25 |
US10161865B2 (en) | 2018-12-25 |
JP6516918B2 (ja) | 2019-05-22 |
KR101739696B1 (ko) | 2017-05-25 |
US10451547B2 (en) | 2019-10-22 |
WO2018012699A1 (ko) | 2018-01-18 |
US20180017486A1 (en) | 2018-01-18 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US9679175B2 (en) | Barcode reader ranging using targeting illumination | |
JP6568672B2 (ja) | ビジョンシステムで鏡面上の欠陥を検出するためのシステム及び方法 | |
CN104220838B (zh) | 拍摄装置 | |
CN104822031B (zh) | 用于多位置图像传感器的设备、系统以及方法 | |
US10311271B2 (en) | Diffuse bright field illumination system for a barcode reader | |
KR102514726B1 (ko) | 광 방사원의 적어도 하나의 조명 또는 방사 특성 변수의 조명의 방향 의존성 측정을 위한 방법 및 고니오라디오미터 | |
JP5895305B2 (ja) | 検査用照明装置及び検査用照明方法 | |
CN110006904B (zh) | 自适应漫射照明系统和方法 | |
JP6516918B2 (ja) | 材質認識照明システム及びそれを用いた材質認識方法 | |
US20040239919A1 (en) | Device and method for determining the properties of surfaces | |
US20140354797A1 (en) | Calibration block for measuring warpage, warpage measuring apparatus using the same, and method thereof | |
US20140185136A1 (en) | Multi directional illumination for a microscope and microscope | |
CN108206944A (zh) | 评价发散光式散斑投射器的投影清晰度的方法和系统 | |
JP2000194829A (ja) | 凹凸パターン読取り装置 | |
KR20170080631A (ko) | 조명 시스템, 조명 시스템을 구비한 검사 도구, 및 조명 시스템 동작 방법 | |
US9027836B1 (en) | Barcode reader configured for multi-lens ranging | |
JP6938093B2 (ja) | 検査対象物の境界部を検査する方法及びその検査装置 | |
TWI385361B (zh) | 多種物距組合檢測裝置及檢測方法 | |
KR101996023B1 (ko) | 조명 시스템 | |
CN111512127B (zh) | 确定光谱信息的设备和方法 | |
JP6678901B2 (ja) | 光学特性測定装置および光学特性測定方法 | |
TW202125034A (zh) | 光源裝置及光學檢測系統 | |
CN109632824A (zh) | 用于物体异常检查的物体检查系统 | |
US9322776B2 (en) | Method and system for imaging a target | |
EP4105704A1 (en) | Light irradiation device and sample observation apparatus |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20180112 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20180815 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20180815 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20181219 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20190108 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20190326 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20190402 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20190416 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6516918 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |