WO2016093597A1 - 기판 상에 형성된 부품의 터미널 검사방법 및 기판 검사장치 - Google Patents

기판 상에 형성된 부품의 터미널 검사방법 및 기판 검사장치 Download PDF

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WO2016093597A1
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전계훈
권달안
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주식회사 고영테크놀러지
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    • G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G—PHYSICS
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    • G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/302—Contactless testing
    • G01R31/305—Contactless testing using electron beams
    • G01R31/306—Contactless testing using electron beams of printed or hybrid circuits
    • G—PHYSICS
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    • G01R31/50—Testing of electric apparatus, lines, cables or components for short-circuits, continuity, leakage current or incorrect line connections
    • G01R31/66—Testing of connections, e.g. of plugs or non-disconnectable joints
    • G—PHYSICS
    • G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06T—IMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
    • G06T7/00—Image analysis

Definitions

  • the present invention relates to a terminal inspection method of a component, and more particularly to a terminal inspection method of a component formed on a substrate.
  • PCB printed circuit board
  • various circuit components such as a circuit pattern, a connection pad part, and a driving chip electrically connected to the connection pad part are provided on the printed circuit board. Are fitted.
  • the terminal end portion has a problem of poor reflection of light and measurement noise, thereby degrading accuracy and reliability.
  • the size of a component is small, for example, a component mounted in a notebook, a smart pad, and a mobile phone, the size of the component is very small compared to the size of the pixel according to the resolution of the camera photographing the image. There is a problem.
  • the problem to be solved by the present invention is to provide a terminal inspection method of a component that can accurately set the boundary of the terminal of the component formed on the substrate.
  • Another object of the present invention is to provide a substrate inspection apparatus capable of accurately setting the boundary of a terminal of a component formed on a substrate.
  • Terminal inspection method of a component is irradiated with light to obtain the three-dimensional shape information of the inspection object to the inspection object to receive the reflected light to obtain a first image, each different Illuminating the inspection object with at least two or more lights having a color and receiving reflected light to obtain a second image, obtaining brightness information from the obtained first image, and obtaining a color from the obtained second image Acquiring information and acquiring at least a portion of a boundary of the terminal of the inspection object using the obtained brightness information and the color information.
  • acquiring brightness information from the obtained first image and acquiring color information from the acquired second image may generate a composite image by synthesizing the first image and the second image. And acquiring the brightness information and the color information from the composite image.
  • the light for obtaining the three-dimensional shape information of the inspection object may be irradiated with a first inclination angle based on a normal perpendicular to the plane of the inspection object, at least two or more lights having different colors And at least a first color light and a second color light having a color different from the first color light, wherein the first color light is irradiated at a second inclination angle smaller than the first inclination angle, and the second color light is It may be irradiated with a third inclination angle greater than the first inclination angle.
  • the inspection comprising a terminal of the inspection object on the composite image of the first and second images
  • An area in which the color of the pixel changes from the first color to another color in a direction from one boundary of the terminal to another boundary in the inspection area (hereinafter referred to as a “reference direction”) is set. Detecting a change in color information for each pixel and a change in brightness information for each pixel in the section; and among the boundaries of the terminal based on a change in color information for each pixel and a change in brightness information for each pixel. Obtaining at least a portion.
  • the color and the brightness may be set to a normalized quantitative value for each pixel, and the change of the color and the change of the brightness may include a change in color value for each pixel and brightness for each pixel along the reference direction. It may be a change in value.
  • the first color is red
  • the change in color increases in the section along the reference direction
  • the change in brightness decreases in the section along the reference direction
  • the boundary of the terminal is the The increase trend line according to the change of the color value of each pixel and the decrease trend line according to the change of the brightness value of each pixel may be determined.
  • the terminal inspection method of the component may further include obtaining height data from the first image and modifying the brightness information by using the height data.
  • the obtaining of at least a part of the boundary of the terminal of the inspection object by using the obtained brightness information and the color information may include the boundary of the terminal of the inspection object by using the modified brightness information and the color information. At least some of the information may be obtained.
  • the brightness information in the step of modifying the brightness information using the height data, the brightness information may be set to zero when the height data is less than or equal to a reference height.
  • a substrate inspection apparatus includes a projection unit, an illumination unit, an image acquisition unit, and a processing unit.
  • the projection unit irradiates the inspection object with light for obtaining three-dimensional shape information of the inspection object.
  • the illumination unit irradiates the inspection object with at least two or more lights having different colors.
  • the image acquisition unit receives a light emitted from the projection unit reflected by the inspection object to obtain a first image, and receives a light emitted from the illumination unit reflected by the inspection object to obtain a second image. .
  • the image obtaining unit obtains brightness information from the obtained first image, obtains color information from the second image obtained by the image obtaining unit, and uses the obtained brightness information and color information to obtain the inspection object. Obtain at least some of the boundaries of the terminal.
  • the processor may generate a composite image by synthesizing the first image and the second image, and obtains the brightness information and the color information from the synthesized image.
  • At least one projection unit may be disposed to irradiate light for obtaining three-dimensional shape information of the inspection object with a first inclination angle based on a normal line perpendicular to a plane of the inspection object, and the illumination unit
  • the inspection object may include a second lighting unit for irradiating a third inclination angle greater than the first inclination angle of the projection unit.
  • the processing unit may be set on a composite image of the first and second images and in a test area including a terminal of the test object, from the one boundary of the terminal to the other boundary (hereinafter referred to as “reference”).
  • Direction is set according to the change of the color of the pixel from the first color to another color, and based on the change of the pixel information and the brightness information of each pixel in the interval, At least some of the boundaries may be obtained.
  • the color and the brightness may be set to a normalized quantitative value for each pixel, the change in color and the change in brightness of the color value per pixel according to the reference direction It may be a change and a change in brightness value for each pixel.
  • the first color is red
  • the change in color increases in the section along the reference direction
  • the change in brightness decreases in the section along the reference direction
  • the boundary of the terminal is the The increase trend line according to the change of the color value of each pixel and the decrease trend line according to the change of the brightness value of each pixel may be determined.
  • the processor is configured to obtain height data from the first image, modify the brightness information using the height data, and use the modified brightness information and color information to define a boundary of a terminal of the inspection object. At least some of the information may be obtained.
  • the processor may set the brightness information to 0 when the height data is less than or equal to a reference height.
  • the present invention it is possible to obtain high accuracy and reliability by acquiring brightness information and color information from the image and color image for acquiring the three-dimensional shape information of the inspection object, and obtaining the terminal boundary from the inspection object. This can improve the accuracy and reliability of the inspection.
  • the terminal boundary of the inspection object may be obtained from the data obtained by quantifying the brightness information and the color information for each pixel of the image, and the graph according to the change of the color value of each pixel and the change of the brightness value of each pixel.
  • the 3D shape information may be obtained from the image for obtaining the 3D shape information of the inspection object, but also used to extract the brightness information, thereby enabling efficient data utilization.
  • FIG. 1 is a conceptual diagram showing a substrate inspection apparatus according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 2 is a flowchart illustrating a method of inspecting a terminal of a component according to an exemplary embodiment of the present invention.
  • FIG. 3 is a flowchart illustrating an embodiment of a process of obtaining a terminal boundary in FIG. 2.
  • FIG. 4 is a conceptual diagram illustrating a process of obtaining a terminal boundary of FIG. 3.
  • FIG. 5 is an image illustrating a composite image of the inspection area illustrated in FIG. 4.
  • FIG. 6 is a graph illustrating a change in color and lightness in the section shown in FIG. 5.
  • FIGS. 7 and 8 are conceptual diagrams for explaining a change in color of each pixel and a change in brightness of each pixel of FIGS. 5 and 6.
  • first and second may be used to describe various components, but the components should not be limited by the terms. The terms are used only for the purpose of distinguishing one component from another.
  • the first component may be referred to as the second component, and similarly, the second component may also be referred to as the first component.
  • FIG. 1 is a conceptual diagram showing a substrate inspection apparatus according to an embodiment of the present invention.
  • the substrate inspecting apparatus 100 may include a projection unit 110, an illumination unit 120, an image acquisition unit 130, a processing unit 140, and the like.
  • the substrate inspection apparatus 100 may be provided for inspection of a terminal of a component that is an inspection object 10.
  • the terminal of the inspection object 10 means one end of the part, and may be formed as one or several.
  • the projection unit 110 irradiates the inspection object 10 with light for obtaining three-dimensional shape information of the inspection object 10.
  • the inspection object 10 may include a component formed on the substrate 20.
  • the substrate 20 may be disposed on a stage 30.
  • the projection unit 110 may irradiate the grid pattern light n times toward the inspection object 10, and use a grid transfer mechanism or a liquid crystal display device to irradiate the phase shifted grid pattern light.
  • the grid pattern can be transferred n times.
  • the image acquisition unit 130 to be described later may obtain a grid pattern image according to the grid pattern light irradiated as described above.
  • the projection unit 110 irradiates light for obtaining three-dimensional shape information of the inspection object 10 in a direction perpendicular to the plane of the inspection object 10 or is inclined based on a normal line perpendicular to the plane. For example, as shown in FIG. 1, it can irradiate with the 1st inclination-angle a1.
  • the projection unit 110 may be arranged in plurality.
  • the four projections 110 may be spaced at equal intervals, respectively, at a position that divides the circumference into four when the projection object 10 is planarly observed.
  • the plurality of projection units 110 may be disposed at a predetermined position, and irradiate the grid pattern light toward the inspection object 10 at a predetermined inclination angle, respectively.
  • the illumination unit 120 irradiates the inspection object 10 with at least two or more lights having different colors to obtain a color image of the inspection object 10.
  • the lighting unit 120 may include a first lighting unit 122, a second lighting unit 124, and a third lighting unit 126.
  • the first illumination unit 122 may irradiate the inspection object 10 with the first color light at a second inclination angle a2, and the second illumination unit 124 may have a third inclination angle a3.
  • the second color light may be irradiated onto the inspection object 10, and the third lighting unit 126 may irradiate the inspection object 10 with a third color light at a fourth inclination angle a4.
  • the second inclination angle a2 is smaller than the first inclination angle a1 of the projection units 110
  • the third inclination angle a3 and the fourth inclination angle a4 are the first inclination angles of the projection units 110. It is larger than one inclination angle a1.
  • the first, second and third color lights have different colors, for example, may have colors of red, green and blue, respectively.
  • the first lighting unit 122, the second lighting unit 124 and the third lighting unit 126 may each have a ring shape, for example, LED (LED) lighting is arranged in succession, each ring-shaped Monochromatic illumination can be generated.
  • LED LED
  • the first lighting unit 122 may set the second inclination angle a2 to 0 degrees or almost 0 degrees (eg, 0 degrees to 10 degrees) so as to irradiate the inspection object 10 almost vertically.
  • the first lighting unit 122 may be coaxial illumination with respect to the image acquisition unit 130.
  • the first lighting unit 122 may not have a ring shape, and the first lighting unit 122 may be disposed around the image acquisition unit 130 according to the appropriateness of the mechanical arrangement design.
  • a mirror or beam splitter or the like that changes the optical path may be employed to irradiate light generated at 122 vertically downward.
  • the inclination angle of the light emitted from the first lighting unit 122 may be set to 90 degrees or nearly 90 degrees (for example, 85 degrees to 95 degrees) based on a normal to the plane of the inspection object 10.
  • the second inclination angle a2 irradiated to the inspection object 10 via the mirror or the beam splitter may be set to 0 degrees or almost 0 degrees (for example, 0 degrees to 10 degrees) in the same manner as described above. Can be.
  • the image obtaining unit 130 receives light reflected from the projection unit 110 and reflected by the inspection object 10 to obtain a first image, and is irradiated from the illumination unit 120 to inspect the inspection object. Receive the light reflected by 10 to obtain a second image.
  • the image acquisition unit 130 may include, for example, a camera for image acquisition.
  • the image acquisition unit 130 may be configured with at least one to acquire the image in an inclined state based on a direction perpendicular to the plane of the inspection object 10 or a normal line perpendicular to the plane.
  • each image acquirer 130 may acquire at least one first image and a second image by including at least one camera in a direction perpendicular to a plane and at least one camera in an inclined state.
  • the first image may include a grid pattern image according to the grid pattern light, and for example, by applying a known bucket algorithm to the plurality of grid pattern images, Three-dimensional shape information can be obtained.
  • the second image is an image acquired using at least two color lights, and is a planar color image of the inspection object 10.
  • the processor 140 obtains brightness information from the first image acquired by the image acquirer 130, and obtains color information from the second image obtained by the image acquirer 130.
  • the first image acquired through the image acquirer 130 may be converted into a monochrome image or a monochrome image through image processing.
  • a black and white image may be generated through image processing that averages a plurality of grid pattern images.
  • the processor 140 may obtain brightness information from the first image.
  • the first image may be used to obtain three-dimensional shape information by applying a method such as, for example, a known bucket algorithm.
  • a method such as, for example, a known bucket algorithm.
  • efficient data utilization may be possible.
  • the second image acquired through the image acquisition unit 110 is an image obtained using at least two color lights
  • the second image includes color information. Accordingly, the processor 140 may obtain color information from the second image.
  • the processor 140 obtains at least a portion of a boundary of the terminal of the inspection object 10 by using the obtained brightness information and color information.
  • the brightness information and the color information mean information on brightness and color among hue, saturation, and brightness, which are three attributes of color.
  • the hue, saturation and lightness can be quantified for digital image processing.
  • the hue, saturation and lightness may be expressed as HSI, HSV, HSL, etc., where H means hue and S means saturation.
  • I, V, and L represent lightness, and mean intensity, value, and lightness, respectively.
  • the processor 140 may synthesize the first image and the second image to generate a synthesized image, and obtain the brightness information and the color information from the synthesized image.
  • the processor 140 may be an apparatus capable of performing the above-described image processing, and may include, for example, an embedded SW driver, a computer, and the like that perform the corresponding image processing.
  • the processor 140 may control operations of the components, that is, the projection units 110, the lighting unit 120, and the image acquisition unit 130.
  • the processor 140 may obtain height data from the first image and modify the brightness information using the height data.
  • the height data may include an image representing a height distribution, a distribution map representing a height distribution, a height value itself for each location, and the like.
  • the processor 140 may modify the brightness information to 0 when the height data is less than or equal to a reference height. That is, since the portion corresponding to the height equal to or less than the predetermined reference height in the obtained brightness information is likely to be a region that actually exists outside the terminal area, such as a shadow area, the brightness information at this time may be set to zero.
  • the obtained brightness information may be, for example, any one of intensity, value, and lightness, and may be modified in another form when the brightness information is modified.
  • the obtained brightness information is intensity
  • the brightness information may be modified in the form of value.
  • the image processing using the histogram can be used when correcting the above brightness information.
  • the processor 140 may acquire at least a part of the boundary of the terminal of the inspection object by using the modified brightness information and color information.
  • FIG. 2 is a flowchart illustrating a method of inspecting a terminal of a component according to an exemplary embodiment of the present invention.
  • the projection unit 110 irradiates the inspection object 10 with the grid pattern light for obtaining three-dimensional shape information of the inspection object 10
  • the image acquisition unit 130 is The grid patterned light may receive the light reflected by the inspection object 10 to obtain a first image.
  • light for acquiring three-dimensional shape information of the inspection object 10 may be irradiated at a first inclination angle a1 based on a normal line perpendicular to the plane of the inspection object.
  • the illumination unit 120 irradiates the inspection object 10 with at least two or more lights having different colors
  • the image acquisition unit 130 is the color light is the inspection object 10 Receives the light reflected by the to obtain a second image.
  • the lights may include first color light, second color light, and third color light of different colors, and the first color light may be formed of a material smaller than the first inclination angle a1.
  • the second color light and the third color light may be irradiated at a second inclination angle a2, and the second color light and the third color light may be irradiated at a third inclination angle a1 and a fourth inclination angle a4 larger than the first inclination angle a1, respectively.
  • the first, second and third color lights are red light, green light and blue light, respectively.
  • the process of acquiring the first image (S110) and the process of acquiring the second image (S120) are not limited thereto. Therefore, after acquiring the second image, the first image may be acquired, and the plurality of first images and the plurality of second images may be alternately obtained.
  • the first image and the second image may be synthesized to generate a synthesized image, and then the brightness information and the color information may be obtained from the synthesized image.
  • predetermined image processing may be performed on the first and second images or the composite image acquired as described above to easily and accurately obtain the image brightness information and the color information.
  • the first image or the black-and-white image generated by averaging the first images may be assigned a brightness value above a predetermined reference height and a brightness value of 0 below the reference height.
  • the brightness information may be enhanced or corrected.
  • the color information may be enhanced by weighting the R, G, B values or H, S, V values shown in the second image or the composite image.
  • the process of acquiring brightness information and color information (S130) and the process of acquiring at least a portion of the terminal boundary (S140) may be performed by the processor 140.
  • FIG. 3 is a flowchart illustrating an example of a process of obtaining a terminal boundary in FIG. 2, and FIG. 4 is a conceptual diagram illustrating a process of obtaining a terminal boundary of FIG. 3.
  • an inspection area IA is set on a composite image of the first and second images (S142).
  • the inspection area IA is set to include the terminal 10a of the component that is the inspection object 10.
  • the color of the pixel is along the direction (hereinafter referred to as a “reference direction”) RD from one side boundary B1 of the terminal to the other side boundary B2 in the inspection area IA.
  • a section that changes from color to another color is set (S144).
  • FIG. 5 is an image showing a composite image of the inspection area shown in FIG. 4, and FIG. 6 is a graph showing a change in color and brightness in the section shown in FIG. 5.
  • a section CS in which a red corresponding to the first color is changed to another color in one line in the inspection area IA may be set.
  • a change in color information for each pixel and a change in brightness information for each pixel is detected in the section (S146).
  • the change in color and the change in brightness may be a change in color value for each pixel and a change in brightness value for each pixel according to the reference direction RD.
  • the color and the brightness may be set to a normalized quantitative value for each pixel.
  • hue, lightness, and saturation may be expressed as HSI, HSV, HSL, and the like.
  • HSV hue, lightness, and saturation
  • HSL hue, lightness, and saturation
  • V value
  • FIGS. 7 and 8 are conceptual diagrams for explaining a change in color of each pixel and a change in brightness of each pixel of FIGS. 5 and 6.
  • the solder 40 formed adjacent to the terminal 10a of the component in the case of the solder 40 formed adjacent to the terminal 10a of the component, light irradiated with a small inclination angle based on a normal perpendicular to the plane of the inspection object 10. Few incident on the image acquisition unit 130, and a lot of light irradiated at a large inclination angle is incident on the image acquisition unit 130. Accordingly, the first color light emitted from the first illumination unit 122 of the illumination unit 120 is incident to the image acquisition unit 130 least.
  • the terminal end which is the boundary of the terminal 10a of the component. Accordingly, the terminal end may be regarded as a point where the first color of the first color light that is irradiated onto the inspection object 10 at the smallest inclination angle changes rapidly on the second image.
  • the plurality of color lights of the lighting unit 120 may not be detected as desired due to scattering of light, and each color may not be clearly distinguished from the second image due to lack of light. Therefore, it is difficult to determine the terminal end of the component only by changing the color, and the result may be inaccurate.
  • the first image acquired by the projection unit 110 may compensate for this problem.
  • the first image or the converted image of the first image by the projection unit 110 for acquiring three-dimensional shape information of the inspection object 10 appears brightly in the terminal 10a of the part according to the height, Appears dark.
  • the projection unit 110 may irradiate the grid pattern light toward the inspection object 10 at a predetermined inclination angle, and may be obtained through the image acquisition unit 130.
  • the first image may be converted into a monochrome image or a monochromatic image through image processing.
  • the image processed and converted as described above appears bright at the terminal 10a of the part and darker at the periphery according to the height, and thus, a point where the brightness is sharply changed from a high brightness portion to a low portion in the converted image is regarded as a terminal end. can do.
  • the hue is the reference direction RD.
  • the terminal end which is the boundary of the terminal 10a, may be determined by the point where the increasing trend line corresponding to the change in color value of each pixel meets the decreasing trend line according to the change in brightness value of each pixel. Therefore, the boundary of the terminal of the component can be found in sub-pixel units, and even when the size of the component is small, more accurate boundary of the terminal of the component can be obtained.
  • the terminal ends may be determined for each line on the XY coordinate system of FIG. 5, that is, the Y coordinate, and the boundary of the terminal end may be set using the determined terminal ends.
  • the terminal ends according to the Y coordinate may be obtained by using a method such as a least square method.
  • the boundary of the terminal of the component determined as described above may be used to inspect whether the terminal of the component is defective.
  • the terminal inspection method of the component may further include obtaining height data from the first image and correcting the brightness information by using the height data.
  • the height data may include an image representing a height distribution, a distribution map representing a height distribution, a height value itself for each location, and the like.
  • the brightness information at this time may be set to zero. That is, since the portion corresponding to the height equal to or less than the predetermined reference height in the obtained brightness information is likely to be a region that actually exists outside the terminal area, such as a shadow area, the brightness information at this time may be set to zero.
  • the obtained brightness information may be, for example, any one of intensity, value, and lightness, and may be modified in another form when the brightness information is modified.
  • the brightness information obtained is intensity
  • the brightness information may be modified in a value form.
  • the image processing using the histogram can be used when correcting the above brightness information.
  • the terminal inspection method and the substrate inspection apparatus of the components as described above by obtaining brightness information and color information from the image and color image for obtaining the three-dimensional shape information of the inspection object by obtaining the terminal boundary of the inspection object therefrom High accuracy and reliability can be obtained, thereby improving the accuracy and reliability of the inspection.
  • the terminal boundary of the inspection object may be obtained from the data obtained by quantifying the brightness information and the color information for each pixel of the image, and the graph according to the change of the color value of each pixel and the change of the brightness value of each pixel.
  • the 3D shape information may be obtained from the image for obtaining the 3D shape information of the inspection object, but also used to extract the brightness information, thereby enabling efficient data utilization.

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Abstract

기판 검사장치는 투영부, 조명부, 이미지 획득부 및 처리부를 포함한다. 투영부는 검사대상물의 3차원 형상 정보를 획득하기 위한 광을 검사대상물에 조사한다. 조명부는 각기 다른 컬러를 갖는 적어도 2개 이상의 광들을 검사대상물에 조사한다. 이미지 획득부는 투영부로부터 조사되어 검사대상물에 의해 반사된 광을 수신하여 제1 이미지를 획득하고, 조명부로부터 조사되어 검사대상물에 의해 반사된 광들을 수신하여 제2 이미지를 획득한다. 처리부는 획득된 제1 이미지로부터 명도 정보를 획득하고, 이미지 획득부에서 획득된 제2 이미지로부터 색상 정보를 획득하고, 획득된 명도 정보 및 색상 정보를 이용하여 검사대상물의 터미널의 경계 중 적어도 일부를 획득한다. 이에 따라, 검사의 정확성 및 신뢰성을 향상시킬 수 있다.

Description

기판 상에 형성된 부품의 터미널 검사방법 및 기판 검사장치
본 발명은 부품의 터미널 검사방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 기판 상에 형성된 부품의 터미널 검사방법에 관한 것이다.
일반적으로, 전자장치 내에는 적어도 하나의 인쇄회로기판(printed circuit board; PCB)이 구비되며, 이러한 인쇄회로기판 상에는 회로 패턴, 연결 패드부, 상기 연결 패드부와 전기적으로 연결된 구동칩 등 다양한 회로 부품들이 장착되어 있다.
이러한 부품들은 각 부품의 터미널(terminal)들이 인쇄회로기판의 패드에 솔더링(soldering)되는 방식으로 장착되고, 장착된 후에는 부품이 인쇄회로기판에 제대로 솔더링되었는지 검사할 필요가 있다. 이러한 검사 시, 검사의 정확도를 높이기 위하여 부품의 터미널 영역과 솔더 영역을 명확하게 구분하는 것이 중요하다. 상기 영역들을 명확히 구분하기 위해서 상기 부품의 터미널 영역의 경계, 예를 들면, 부품의 터미널 엔드(terminal end)를 찾는 것이 중요하다.
종래에는 2차원 영상에서 부품의 터미널 엔드를 찾는 방법, 높이값을 측정한 후 기준 높이 이상을 문턱값(threshold)으로 하여 이진화한 후 직사각형 피팅(rectangle fitting)을 실시하여 터미널 엔드를 찾는 방법 등이 채용되어 왔다.
그러나, 터미널 엔드 부분은 빛의 난반사가 심하고 측정 노이즈(noise)가 존재하여 정확도와 신뢰성이 떨어지는 문제가 있다. 또한, 예를 들어 노트북, 스마트 패드 및 핸드폰 등에 탑재되는 부품과 같이 부품의 크기가 작은 경우에는, 영상을 촬영하는 카메라의 해상도에 따른 픽셀의 크기에 비해 부품의 크기가 매우 작으므로, 오차가 가중되는 문제가 있다.
따라서, 본 발명이 해결하고자 하는 과제는, 기판 상에 형성된 부품의 터미널의 경계를 정확하게 설정할 수 있는 부품의 터미널 검사방법을 제공하는 것이다.
본 발명이 해결하고자 하는 다른 과제는, 기판 상에 형성된 부품의 터미널의 경계를 정확하게 설정할 수 있는 기판 검사장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 예시적인 일 실시예에 따른 부품의 터미널 검사방법은 검사대상물의 3차원 형상 정보를 획득하기 위한 광을 상기 검사대상물에 조사하고 반사된 광을 수신하여 제1 이미지를 획득하고, 각기 다른 컬러를 갖는 적어도 2개 이상의 광들을 상기 검사대상물에 조사하고 반사된 광들을 수신하여 제2 이미지를 획득하는 단계, 획득된 상기 제1 이미지로부터 명도 정보를 획득하고, 획득된 상기 제2 이미지로부터 색상 정보를 획득하는 단계 및 획득된 상기 명도 정보 및 상기 색상 정보를 이용하여 상기 검사대상물의 터미널의 경계 중 적어도 일부를 획득하는 단계를 포함한다.
일 실시예로, 상기 획득된 상기 제1 이미지로부터 명도 정보를 획득하고, 획득된 상기 제2 이미지로부터 색상 정보를 획득하는 단계는, 상기 제1 이미지 및 상기 제2 이미지를 합성하여 합성 이미지를 생성하는 단계 및 상기 합성 이미지로부터 상기 명도 정보 및 상기 색상 정보를 획득하는 단계를 포함할 수 있다.
일 실시예로, 상기 검사대상물의 3차원 형상 정보를 획득하기 위한 광은 상기 검사대상물의 평면에 수직한 법선을 기준으로 제1 경사각으로 조사될 수 있고, 각기 다른 컬러를 갖는 적어도 2개 이상의 광들은 적어도 제1 컬러광 및 상기 제1 컬러광과 다른 컬러를 갖는 제2 컬러광을 포함하되, 상기 제1 컬러광은 상기 제1 경사각보다 작은 제2 경사각으로 조사되고, 상기 제2 컬러광은 상기 제1 경사각보다 큰 제3 경사각으로 조사될 수 있다.
상기 획득된 상기 명도 정보 및 상기 색상 정보를 이용하여 상기 검사대상물의 터미널의 경계 중 적어도 일부를 획득하는 단계는, 상기 제1 및 제2 이미지들의 합성 이미지 상에 상기 검사대상물의 터미널을 포함하는 검사영역을 설정하는 단계, 상기 검사영역 내에서 상기 터미널의 일측 경계로부터 타측 경계를 향하는 방향(이하, “기준 방향”이라 함)을 따라 상기 픽셀의 색상이 상기 제1 컬러에서 다른 컬러로 변화하는 구간을 설정하는 단계, 상기 구간 내에서 픽셀별 색상 정보의 변화 및 픽셀별 명도 정보의 변화를 검출하는 단계 및 상기 픽셀별 색상 정보의 변화 및 상기 픽셀별 명도 정보의 변화를 기초로 상기 터미널의 경계 중 적어도 일부를 획득하는 단계를 포함할 수 있다.
상기 색상 및 상기 명도는 각각의 픽셀에 대해서 정규화된(normalized) 정량적인 값으로 설정될 수 있고, 상기 색상의 변화 및 상기 명도의 변화는 상기 기준 방향에 따른 픽셀별 색상값의 변화 및 픽셀별 명도값의 변화일 수 있다.
예를 들면, 상기 제1 컬러는 적색이고, 상기 색상의 변화는 상기 기준 방향에 따라 상기 구간에서 증가하고, 상기 명도의 변화는 상기 기준 방향에 따라 상기 구간에서 감소하며, 상기 터미널의 경계는 상기 픽셀별 색상값의 변화에 따른 증가 추세선과 상기 픽셀별 명도값의 변화에 따른 감소 추세선이 만나는 점으로 결정될 수 있다.
상기 부품의 터미널 검사방법은, 상기 제1 이미지로부터 높이 데이터를 획득하는 단계 및 상기 높이 데이터를 이용하여 상기 명도 정보를 수정하는 단계를 더 포함할 수 있다. 이때, 상기 획득된 상기 명도 정보 및 상기 색상 정보를 이용하여 상기 검사대상물의 터미널의 경계 중 적어도 일부를 획득하는 단계는, 상기 수정된 명도 정보 및 상기 색상 정보를 이용하여 상기 검사대상물의 터미널의 경계 중 적어도 일부를 획득할 수 있다. 일 실시예로, 상기 높이 데이터를 이용하여 상기 명도 정보를 수정하는 단계에서, 상기 높이 데이터에서 기준 높이 이하인 경우 상기 명도 정보를 0으로 설정할 수 있다.
본 발명의 예시적인 일 실시예에 따른 기판 검사장치는 투영부, 조명부, 이미지 획득부 및 처리부를 포함한다. 상기 투영부는 검사대상물의 3차원 형상 정보를 획득하기 위한 광을 상기 검사대상물에 조사한다. 상기 조명부는 각기 다른 컬러를 갖는 적어도 2개 이상의 광들을 상기 검사대상물에 조사한다. 상기 이미지 획득부는 상기 투영부로부터 조사되어 상기 검사대상물에 의해 반사된 광을 수신하여 제1 이미지를 획득하고, 상기 조명부로부터 조사되어 상기 검사대상물에 의해 반사된 광들을 수신하여 제2 이미지를 획득한다. 상기 이미지 획득부는 획득된 상기 제1 이미지로부터 명도 정보를 획득하고, 상기 이미지 획득부에서 획득된 상기 제2 이미지로부터 색상 정보를 획득하고, 상기 획득된 명도 정보 및 색상 정보를 이용하여 상기 검사대상물의 터미널의 경계 중 적어도 일부를 획득한다.
일 실시예로, 상기 처리부는 상기 제1 이미지 및 상기 제2 이미지를 합성하여 합성 이미지를 생성하고, 상기 합성 이미지로부터 상기 명도 정보 및 상기 색상 정보를 획득할 수 있다.
일 실시예로, 상기 투영부는 적어도 하나가 배치되어 상기 검사대상물의 3차원 형상 정보를 획득하기 위한 광을 상기 검사대상물의 평면에 수직한 법선을 기준으로 제1 경사각으로 조사할 수 있고, 상기 조명부는 제1 컬러를 갖는 제1 컬러광을 상기 검사대상물에 상기 투영부의 제1 경사각보다 작은 제2 경사각으로 조사하는 제1 조명부 및 상기 제1 컬러와 다른 제2 컬러를 갖는 제2 컬러광을 상기 검사대상물에 상기 투영부의 제1 경사각보다 큰 제3 경사각으로 조사하는 제2 조명부를 포함할 수 있다.
예를 들면, 상기 처리부는 상기 제1 및 제2 이미지들의 합성 이미지 상에 설정되며 상기 검사대상물의 터미널을 포함하는 검사영역 내에서, 상기 터미널의 일측 경계로부터 타측 경계를 향하는 방향(이하, “기준 방향”이라 함)을 따라 상기 픽셀의 색상이 상기 제1 컬러에서 다른 컬러로 변화하는 구간을 설정하고, 상기 구간 내에서 픽셀별 색상 정보의 변화 및 픽셀별 명도 정보의 변화를 기초로 상기 터미널의 경계 중 적어도 일부를 획득할 수 있다.
일 실시예로, 상기 색상 및 상기 명도는 각각의 픽셀에 대해서 정규화된(normalized) 정량적인 값으로 설정될 수 있고, 상기 색상의 변화 및 상기 명도의 변화는 상기 기준 방향에 따른 픽셀별 색상값의 변화 및 픽셀별 명도값의 변화일 수 있다.
예를 들면, 상기 제1 컬러는 적색이고, 상기 색상의 변화는 상기 기준 방향에 따라 상기 구간에서 증가하고, 상기 명도의 변화는 상기 기준 방향에 따라 상기 구간에서 감소하며, 상기 터미널의 경계는 상기 픽셀별 색상값의 변화에 따른 증가 추세선과 상기 픽셀별 명도값의 변화에 따른 감소 추세선이 만나는 점으로 결정될 수 있다.
일 실시예로, 상기 처리부는, 상기 제1 이미지로부터 높이 데이터를 획득하고 상기 높이 데이터를 이용하여 상기 명도 정보를 수정하며, 상기 수정된 명도 정보 및 색상 정보를 이용하여 상기 검사대상물의 터미널의 경계 중 적어도 일부를 획득할 수 있다. 상기 처리부는, 상기 높이 데이터를 이용하여 상기 명도 정보를 수정할 때, 상기 높이 데이터에서 기준 높이 이하인 경우 상기 명도 정보를 0으로 설정할 수 있다.
본 발명에 따르면, 검사대상물의 3차원 형상 정보를 획득하기 위한 이미지와 컬러 이미지로부터 각각 명도 정보 및 색상 정보를 획득하여 이로부터 검사대상물의 터미널 경계를 획득함으로써 높은 정확성과 신뢰성을 확보할 수 있으며, 이에 따라 검사의 정확성 및 신뢰성을 향상시킬 수 있다.
또한, 상기 명도 정보 및 상기 색상 정보를 이미지의 픽셀별로 정량화한 데이터로부터 상기 검사대상물의 터미널 경계를 획득할 수 있고, 상기 픽셀별 색상값의 변화에 따른 그래프와 상기 픽셀별 명도값의 변화에 따른 그래프의 교점으로 터미널 엔드를 결정함으로써, 부품의 터미널의 경계를 서브픽셀 단위로 찾을 수 있고 부품의 크기가 작은 경우에도 보다 정확한 부품의 터미널의 경계를 획득할 수 있다.
또한, 검사대상물의 3차원 형상 정보를 획득하기 위한 이미지로부터 3차원 형상 정보를 획득할 수 있을 뿐만 아니라 명도 정보의 추출에도 활용함으로써, 효율적인 데이터 활용이 가능할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 의한 기판 검사장치를 나타낸 개념도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 의한 부품의 터미널 검사방법을 나타낸 흐름도이다.
도 3은 도 2에서 터미널 경계를 획득하는 과정의 일 실시예를 나타낸 흐름도이다.
도 4는 도 3의 터미널 경계를 획득하는 과정을 설명하기 위한 개념도이다.
도 5는 도 4에 도시된 검사영역에 대한 합성 이미지를 나타낸 이미지이다.
도 6은 도 5에 도시된 구간에서 색상 및 명도의 변화를 나타낸 그래프이다.
도 7 및 도 8은 도 5 및 도 6의 픽셀별 색상의 변화 및 픽셀별 명도의 변화를 설명하기 위한 개념도들이다.
본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.
제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성 요소는 제2 구성 요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성 요소도 제1 구성 요소로 명명될 수 있다.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예들을 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 갖는다.
일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥상 가지는 의미와 일치하는 의미를 갖는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
이하, 첨부한 도면들을 참조하여, 본 발명의 바람직한 실시예들을 보다 상세하게 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 의한 기판 검사장치를 나타낸 개념도이다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 의한 기판 검사장치(100)는 투영부(110), 조명부(120), 이미지 획득부(130) 및 처리부(140) 등을 포함할 수 있다. 상기 기판 검사장치(100)는 검사대상물(10)인 부품의 터미널의 검사를 위해 제공될 수 있다. 이때, 상기 검사대상물(10)의 터미널은 상기 부품의 일 단부를 의미하며, 하나로 형성될 수도 있고 여러 개로 형성될 수도 있다.
상기 투영부(110)는 검사대상물(10)의 3차원 형상 정보를 획득하기 위한 광을 상기 검사대상물(10)에 조사한다.
상기 검사대상물(10)은 기판(20) 상에 형성된 부품을 포함할 수 있다. 상기 기판(20)은 스테이지(stage)(30) 상에 배치될 수 있다.
일 실시예로, 상기 투영부(110)는 상기 검사대상물(10)을 향하여 격자패턴광을 n번 조사할 수 있으며, 위상천이된 격자패턴광을 조사하기 위하여 격자이송기구를 이용하거나 액정표시장치를 이용하여 격자패턴을 n번 이송할 수 있다. 후술하는 이미지 획득부(130)에서는 상기와 같이 조사된 격자패턴광에 따른 격자패턴 이미지를 획득할 수 있다.
상기 투영부(110)는 상기 검사대상물(10)의 3차원 형상 정보를 획득하기 위한 광을 상기 검사대상물(10)의 평면에 수직한 방향으로 조사하거나, 평면에 수직한 법선을 기준으로 경사지게 조사할 수 있고, 예를 들면, 도 1에 도시된 바와 같이, 제1 경사각(a1)으로 조사할 수 있다.
상기 투영부(110)는 복수로 배치될 수 있다. 일 실시예로, 4개의 투영부(110)들이 상기 검사대상물(10)을 평면적으로 관측할 때 원주 둘레를 4분할하는 위치에 각각 등간격으로 이격되어 배치될 수 있다.
이와 같이, 상기 투영부(110)는 소정의 위치에 복수로 배치되어서, 각각 상기 검사대상물(10)을 향하여 격자패턴광을 일정한 경사각으로 조사할 수 있다.
상기 조명부(120)는 상기 검사대상물(10)의 컬러 이미지를 획득하기 위하여, 각기 다른 컬러를 갖는 적어도 2개 이상의 광들을 상기 검사대상물(10)에 조사한다.
일 실시예로, 상기 조명부(120)는 제1 조명부(122), 제2 조명부(124) 및 제3 조명부(126)를 포함할 수 있다.
예를 들면, 상기 제1 조명부(122)는 제2 경사각(a2)으로 제1 컬러광을 상기 검사대상물(10)에 조사할 수 있고, 상기 제2 조명부(124)는 제3 경사각(a3)으로 제2 컬러광을 상기 검사대상물(10)에 조사할 수 있으며, 상기 제3 조명부(126)는 제4 경사각(a4)으로 제3 컬러광을 상기 검사대상물(10)에 조사할 수 있다.
여기서, 상기 제2 경사각(a2)은 상기 투영부(110)들의 제1 경사각(a1)보다 작고, 상기 제3 경사각(a3) 및 상기 제4 경사각(a4)은 상기 투영부(110)들의 제1 경사각(a1)보다 크다. 상기 제1, 제2 및 제3 컬러광들은 서로 다른 컬러들을 가지며, 예를 들면, 각각 적색, 녹색 및 청색의 컬러를 가질 수 있다.
상기 제1 조명부(122), 상기 제2 조명부(124) 및 상기 제3 조명부(126)는 각각 링 형상을 가질 수 있으며, 예를 들면, 엘이디(LED) 조명이 연속적으로 배치되어 각각 링 형상의 단색 조명을 발생시킬 수 있다.
한편, 상기 제1 조명부(122)는 상기 검사대상물(10)을 거의 수직으로 조사하도록, 상기 제2 경사각(a2)을 0도 또는 거의 0도(예컨대, 0도~10도)로 설정할 수 있다. 이 경우, 상기 제1 조명부(122)는 상기 이미지 획득부(130)에 대해서 동축(coaxial) 조명이 될 수 있다. 또한, 상기 제1 조명부(122)는 링 형상을 갖지 않을 수 있으며, 기구적 배치 설계의 적정성에 따라 상기 제1 조명부(122)는 상기 이미지 획득부(130)의 주위에 배치시키고 상기 제1 조명부(122)에서 발생된 광을 수직 하방으로 조사하도록 광경로를 변경하는 미러(mirror) 혹은 빔스플리터(beam splitter) 등을 채용할 수 있다. 이 경우, 상기 제1 조명부(122)에서 출사되는 광의 경사각은 상기 검사대상물(10)의 평면에 수직한 법선을 기준으로 90도 또는 거의 90도(예컨대, 85도~95도)로 설정할 수 있고, 상기 미러 혹은 빔스플리터를 경유하여 상기 검사대상물(10)로 조사되는 상기 제2 경사각(a2)은 앞서 설명한 경우와 동일하게 0도 또는 거의 0도(예컨대, 0도~10도)로 설정될 수 있다.
상기 이미지 획득부(130)는 상기 투영부(110)들로부터 조사되어 상기 검사대상물(10)에 의해 반사된 광을 수신하여 제1 이미지를 획득하고, 상기 조명부(120)로부터 조사되어 상기 검사대상물(10)에 의해 반사된 광들을 수신하여 제2 이미지를 획득한다. 상기 이미지 획득부(130)는, 예를 들면, 이미지 획득을 위한 카메라를 포함할 수 있다.
이러한 상기 이미지 획득부(130)는 적어도 하나로 구성되어 상기 검사대상물(10)의 평면에 수직한 방향 또는 평면에 수직한 법선을 기준으로 경사진 상태에서 상기 이미지를 획득할 수 있다.
예를 들어, 각 이미지 획득부(130)는 평면에 수직한 방향에 적어도 하나, 경사진 상태에 적어도 하나의 카메라를 구비하여 적어도 하나의 제1 이미지 및 제2 이미지를 획득할 수 있다.
상기 제1 이미지는 상기 격자패턴광에 따른 격자패턴 이미지를 포함할 수 있으며, 복수의 격자패턴 이미지들에, 예를 들면, 주지의 버킷 알고리즘(bucket algorithm)을 적용하여 상기 검사대상물(10)의 3차원 형상 정보를 획득할 수 있다.
상기 제2 이미지는 적어도 2개의 컬러광들을 이용하여 획득한 이미지로서, 상기 검사대상물(10)의 평면 컬러 이미지이다.
상기 처리부(140)는 상기 이미지 획득부(130)에서 획득된 상기 제1 이미지로부터 명도 정보를 획득하고, 상기 이미지 획득부(130)에서 획득된 상기 제2 이미지로부터 색상 정보를 획득한다.
상기 이미지 획득부(130)를 통해 획득된 상기 제1 이미지는 이미지 처리를 통해 흑백 이미지 또는 단색 이미지로 변환될 수 있다. 예를 들면, 상기 제1 이미지가 격자패턴 이미지일 경우, 복수의 격자패턴 이미지들을 평균화하는 이미지 처리를 통해 흑백 이미지를 생성할 수 있다. 이에 따라, 상기 처리부(140)는 상기 제1 이미지로부터 명도 정보를 획득할 수 있다. 이때, 상기 제1 이미지는, 예를 들면, 주지의 버킷 알고리즘(bucket algorithm)과 같은 방식을 적용함으로써 3차원 형상 정보를 획득하기 위해서도 활용될 수 있음은 물론이다. 이에 더하여, 상기 제1 이미지는 상기와 같이 명도 정보의 추출에도 활용될 수 있으므로, 효율적인 데이터 활용이 가능할 수 있다.
상기 이미지 획득부(110)를 통해 획득된 상기 제2 이미지는 적어도 2개의 컬러광들을 이용하여 획득된 이미지이므로 컬러 정보를 포함한다. 이에 따라, 상기 처리부(140)는 상기 제2 이미지로부터 색상 정보를 획득할 수 있다.
상기 처리부(140)는 상기 획득된 명도 정보 및 색상 정보를 이용하여 상기 검사대상물(10)의 터미널의 경계 중 적어도 일부를 획득한다.
한편, 상기 명도 정보 및 상기 색상 정보는 색의 3속성인 색상(hue), 채도(chroma or saturation) 및 명도(brightness) 중 명도와 색상에 관한 정보를 의미한다. 상기 색상, 채도 및 명도는 디지털 이미지 처리를 하기 위하여 정량화될 수 있다. 예를 들면, 상기 색상, 채도 및 명도는 HSI, HSV, HSL 등과 같이 표현될 수 있으며, H는 hue, S는 saturation을 의미한다. 또한, I, V, L은 명도를 나타내며, 각각 intensity, value, lightness를 의미한다.
상기 처리부(140)는 상기 제1 이미지 및 상기 제2 이미지를 합성하여 합성 이미지를 생성하고, 상기 합성 이미지로부터 상기 명도 정보 및 상기 색상 정보를 획득할 수도 있다.
상기 처리부(140)는 상기와 같은 이미지 처리 등을 수행할 수 있는 장치일 수 있으며, 예를 들면, 해당 이미지 처리 프로세싱을 수행하는 임베디드 SW 구동부, 컴퓨터 등을 포함할 수 있다. 상기 처리부(140)는 상기한 구성요소들, 즉, 상기 투영부(110)들, 상기 조명부(120), 상기 이미지 획득부(130) 등의 동작을 제어할 수도 있다.
한편, 상기 처리부(140)는, 상기 제1 이미지로부터 높이 데이터를 획득하고 상기 높이 데이터를 이용하여 상기 명도 정보를 수정할 수 있다. 예를 들면, 상기 높이 데이터는 높이 분포를 나타내는 이미지, 높이 분포를 나타내는 분포 맵(map), 위치별 높이값 자체 등을 포함할 수 있다.
예를 들면, 상기 처리부(140)가 상기 높이 데이터를 이용하여 상기 명도 정보를 수정할 때, 상기 높이 데이터에서 기준 높이 이하인 경우 상기 명도 정보를 0으로 설정하는 방식으로 수정할 수 있다. 즉, 획득된 상기 명도 정보에서 기 설정된 기준 높이 이하의 높이에 해당하는 부분은 그림자 영역과 같이 실제로 터미널 영역의 외부에 존재하는 영역일 가능성이 높으므로, 이때의 명도 정보는 0으로 설정할 수 있다.
또한, 획득된 상기 명도 정보는, 예를 들면, intensity, value, lightness 중 어느 하나의 형태일 수 있는데, 상기 명도 정보의 수정 시 다른 형태로 수정될 수 있다. 예를 들면, 획득된 상기 명도 정보가 intensity인 경우, 상기 명도 정보는 value 형태로 수정될 수 있다.
한편, 위와 같은 명도 정보의 수정 시에 히스토그램을 이용한 이미지 처리를 활용할 수 있다.
상기 처리부(140)는 상기 수정된 명도 정보 및 색상 정보를 이용하여 상기 검사대상물의 터미널의 경계 중 적어도 일부를 획득할 수 있다.
이하, 일 예로 상기와 같은 기판 검사장치(100)를 이용하여, 상기 기판(20) 상에 형성된 부품(10)의 터미널을 검사하기 위한 방법을 도면을 참조로 상세하게 설명한다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 의한 부품의 터미널 검사방법을 나타낸 흐름도이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 먼저 3차원 형상 정보 획득을 위한 광의 조사에 따른 제1 이미지를 획득한다(S110).
일 실시예로, 상기 투영부(110)는 상기 검사대상물(10)의 3차원 형상 정보를 획득하기 위한 격자패턴광을 상기 검사대상물(10)에 조사하고, 상기 이미지 획득부(130)는 상기 격자패턴광이 상기 검사대상물(10)에 의해 반사된 광을 수신하여 제1 이미지를 획득할 수 있다.
도 1에서 설명한 바와 같이, 상기 검사대상물(10)의 3차원 형상 정보를 획득하기 위한 광은 상기 검사대상물의 평면에 수직한 법선을 기준으로 제1 경사각(a1)으로 조사될 수 있다.
이어서, 각기 다른 컬러광들의 조사에 따른 제2 이미지 획득한다(S120).
일 실시예로, 상기 조명부(120)는 각기 다른 컬러를 갖는 적어도 2개 이상의 광들을 상기 검사대상물(10)에 조사하고, 상기 이미지 획득부(130)는 상기 컬러광들이 상기 검사대상물(10)에 의해 반사된 광들을 수신하여 제2 이미지를 획득할 수 있다.
도 1에서 설명한 바와 같이, 상기 광들은 서로 다른 컬러의 제1 컬러광, 제2 컬러광 및 제3 컬러광을 포함할 수 있고, 상기 제1 컬러광은 상기 제1 경사각(a1)보다 작은 제2 경사각(a2)으로 조사되고, 상기 제2 컬러광 및 상기 제3 컬러광은 각각 상기 제1 경사각(a1)보다 큰 제3 경사각(a1) 및 제4 경사각(a4)으로 조사될 수 있다. 일 실시예로, 상기 제1, 제2 및 제3 컬러광들은 각각 적색광, 녹색광 및 청색광이다.
한편, 상기 제1 이미지를 획득하는 과정(S110) 및 상기 제2 이미지를 획득하는 과정(S120)은 그 순서에 한정되지 않는다. 따라서, 제2 이미지를 획득한 후 제1 이미지를 획득할 수도 있으며, 복수의 제1 이미지들 및 복수의 제2 이미지들을 교대로 획득할 수도 있다.
다음으로, 제1 및 제2 이미지들로부터 각각 명도 정보 및 색상 정보를 획득한다(S130).
이때, 먼저 상기 제1 이미지 및 상기 제2 이미지를 합성하여 합성 이미지를 생성하고, 이어서 상기 합성 이미지로부터 상기 명도 정보 및 상기 색상 정보를 획득할 수도 있다.
한편, 상기와 같이 획득된 제1 및 제2 이미지들 또는 상기 합성 이미지는 이미지 상기 명도 정보 및 상기 색상 정보를 용이하고 정확하게 획득하기 위해서 소정의 이미지 처리가 수행될 수 있다. 예를 들면, 상기 제1 이미지 또는 상기 제1 이미지들을 평균화하여 생성된 흑백 이미지는 기 설정된 기준 높이 이상에 대해서 명도값을 부여하고 상기 기준 높이 미만에 대해서는 명도값을 0으로 설정하는 등의 방법으로 상기 명도 정보를 강화(enhancement) 또는 수정할 수 있다. 또한, 상기 제2 이미지 또는 상기 합성 이미지에 나타난 R, G, B 값 또는 H, S, V 값에 가중치를 주는 등의 방법으로 상기 색상 정보를 강화할 수 있다.
이어서, 획득된 상기 명도 정보 및 상기 색상 정보를 이용하여 터미널 경계 중 적어도 일부를 획득한다(S140).
상기와 같이 명도 정보 및 색상 정보를 획득하는 과정(S130) 및 터미널 경계 중 적어도 일부를 획득하는 과정(S140)은 상기 처리부(140)에서 수행할 수 있다.
도 3은 도 2에서 터미널 경계를 획득하는 과정의 일 실시예를 나타낸 흐름도이고, 도 4는 도 3의 터미널 경계를 획득하는 과정을 설명하기 위한 개념도이다.
도 1, 도 3 및 도 4를 참조하면, 먼저 상기 제1 및 제2 이미지들의 합성 이미지 상에 검사영역(IA)을 설정한다(S142).
상기 검사영역(IA)은 상기 검사대상물(10)인 부품의 터미널(10a)을 포함하도록 설정된다.
이어서, 상기 검사영역(IA) 내에서 상기 터미널의 일측 경계(B1)로부터 타측 경계(B2)를 향하는 방향(이하, “기준 방향”이라 함)(RD)을 따라 상기 픽셀의 색상이 상기 제1 컬러에서 다른 컬러로 변화하는 구간을 설정한다(S144).
도 5는 도 4에 도시된 검사영역에 대한 합성 이미지를 나타낸 이미지이고, 도 6은 도 5에 도시된 구간에서 색상 및 명도의 변화를 나타낸 그래프이다.
도 5 및 도 6을 참조하면, 상기 검사영역(IA) 내의 어느 한 라인에서 상기 제1 컬러에 해당하는 적색이 다른 컬러로 변화하는 구간(CS)을 설정할 수 있다. 편의상 도 5에 도시된 바와 같이 이미지의 좌표계(XY)를 정의할 때, 예를 들면, Y=y1에 해당하는 픽셀 라인에서 적색이 다른 컬러로 변화하는 구간은 X=x1, X=x2, X=x3에 대응되는 픽셀 구간이다.
다시 도 1, 도 3 및 도 4를 참조하면, 다음으로, 상기 구간 내에서 픽셀별 색상 정보의 변화 및 픽셀별 명도 정보의 변화를 검출한다(S146). 상기 색상의 변화 및 상기 명도의 변화는 상기 기준 방향(RD)에 따른 픽셀별 색상값의 변화 및 픽셀별 명도값의 변화일 수 있다.
상기 색상 및 상기 명도는 각각의 픽셀에 대해서 정규화된(normalized) 정량적인 값으로 설정될 수 있다. 예를 들면, 도 1에서 설명된 바와 같이, 색상, 명도 및 채도는 HSI, HSV, HSL 등과 같이 표현될 수 있다. 일 실시예로, 도 6에서는 HSV를 이용하여 정량화되며, 상기 색상은 H(hue), 상기 명도는 V(value)로 정량화되어 있다.
이어서, 상기 픽셀별 색상 정보의 변화 및 상기 픽셀별 명도 정보의 변화를 기초로 상기 터미널의 경계 중 적어도 일부를 획득한다(S148).
도 7 및 도 8은 도 5 및 도 6의 픽셀별 색상의 변화 및 픽셀별 명도의 변화를 설명하기 위한 개념도들이다.
도 1 및 도 7을 참조하면, 상기 부품의 터미널(10a)의 경우, 상기 검사대상물(10)의 평면에 수직한 법선을 기준으로 작은 경사각으로 조사된 광이 상기 이미지 획득부(130)에 많이 입사되고, 큰 경사각으로 조사된 광이 상기 이미지 획득부(130)에 적게 입사된다. 이에 따라, 상기 조명부(120)에서 가장 큰 경사각으로 광이 조사되는 상기 제1 조명부(122)에서 조사된 제1 컬러광이 상기 이미지 획득부(130)에 가장 많이 입사된다.
반면, 도 1 및 도 8을 참조하면, 상기 부품의 터미널(10a)에 인접하여 형성된 솔더(40)의 경우, 상기 검사대상물(10)의 평면에 수직한 법선을 기준으로 작은 경사각으로 조사된 광이 상기 이미지 획득부(130)에 적게 입사되고, 큰 경사각으로 조사된 광이 상기 이미지 획득부(130)에 많이 입사된다. 이에 따라, 상기 조명부(120)의 제1 조명부(122)에서 조사된 제1 컬러광이 상기 이미지 획득부(130)에 가장 적게 입사된다.
이와 같이, 상기 부품의 터미널(10a)의 경계인 터미널 엔드에서 급격한 색상의 변화가 발생할 수 있다. 따라서, 가장 작은 경사각으로 상기 검사대상물(10)에 조사되는 상기 제1 컬러광의 제1 컬러가 상기 제2 이미지 상에서 급격하게 변하는 지점을 터미널 엔드로 간주할 수 있다.
한편, 상기 조명부(120)의 복수의 컬러광들은 빛의 산란으로 인해 원하는 대로 검출되지 않을 수 있고, 광량의 부족으로 인해 상기 제2 이미지에서 각 컬러가 명확히 구분되지 않을 수 있다. 따라서, 상기 색상의 변화만으로 상기 부품의 터미널 엔드를 결정하는 것은 어려움이 있고, 그 결과도 부정확할 수 있다.
상기 투영부(110)에 의해 획득된 제1 이미지가 이러한 문제점을 보완할 수 있다.
상기 검사대상물(10)의 3차원 형상 정보를 획득하기 위한 상기 투영부(110)에 의한 제1 이미지 또는 상기 제1 이미지의 변환 이미지는 높이에 따라 상기 부품의 터미널(10a)에서 밝게 나타나고 주변에서 어둡게 나타난다.
예를 들면, 상기 투영부(110)는, 도 1에서 설명한 바와 같이, 상기 검사대상물(10)을 향하여 격자패턴광을 일정한 경사각으로 조사할 수 있으며, 상기 이미지 획득부(130)를 통해 획득된 상기 제1 이미지는 이미지 처리를 통해 흑백 이미지 또는 단색광 이미지로 변환될 수 있다. 상기와 같이 이미지 처리되어 변환된 이미지는 높이에 따라 상기 부품의 터미널(10a)에서 밝게 나타나고 주변에서 어둡게 나타나므로, 상기 변환된 이미지에서 명도가 높은 부분에서 낮은 부분으로 급격히 변하는 지점을 터미널 엔드로 간주할 수 있다.
따라서, 앞서 설명한 색상 정보의 변화에 더하여 명도 정보의 변화를 이용함에 의해 터미널 엔드와 같은 상기 부품의 터미널(10a)의 경계의 적어도 일부를 결정할 수 있다.
다시 도 5 및 도 6을 참조하면, 일 예로 상기 제1 컬러가 적색일 때, 상기 검사영역(IA) 내의 어느 한 라인에서 설정된 구간(CS)에서, 상기 색상(hue)은 상기 기준 방향(RD)에 따라 상기 구간(CS)에서 증가하고, 상기 명도(value)는 상기 기준 방향(RD)에 따라 상기 구간(CS)에서 감소한다.
구체적으로, 상기 구간(CS)에서, 상기 픽셀별 색상은 X=x1에서 H=h1으로 나타나다가, X=x2, X=x3으로 증가함에 따라 H=h2, H=h3로 증가하고, 상기 픽셀별 명도는 X=x1에서 V=v1으로 나타나다가, X=x2, X=x3으로 증가함에 따라 V=v2, V=v3로 감소한다.
이러한 두 개의 그래프들의 교점은 X=xt에서 형성되는데, 상기 색상 정보의 변화 및 상기 명도 정보의 변화를 모두 고려하면, 상기 교점을 상기 부품의 터미널 엔드라 추정할 수 있다.
이와 같이, 상기 터미널(10a)의 경계인 터미널 엔드는 상기 픽셀별 색상값의 변화에 따른 증가 추세선과 상기 픽셀별 명도값의 변화에 따른 감소 추세선이 만나는 점으로 결정될 수 있다. 따라서, 부품의 터미널의 경계를 서브픽셀(sub-pixel) 단위로 찾을 수 있고, 부품의 크기가 작은 경우에도 보다 정확한 부품의 터미널의 경계를 획득할 수 있다.
한편, 도 5의 XY 좌표계 상에서 라인별, 즉 Y 좌표에 따라 상기 터미널 엔드들을 결정하고, 결정된 터미널 엔드들을 이용하여 터미널 엔드의 경계를 설정할 수 있다. 이 경우, Y 좌표에 따른 상기 터미널 엔드들을 최소제곱법과 같은 방법을 이용하여 터미널 엔드의 경계를 획득할 수 있다.
상기와 같이 결정된 부품의 터미널의 경계를 이용하여 상기 부품의 터미널의 불량 여부를 검사할 수 있다.
한편, 상기 부품의 터미널 검사방법은, 상기 제1 이미지로부터 높이 데이터를 획득하는 단계 및 상기 높이 데이터를 이용하여 상기 명도 정보를 수정하는 단계를 더 포함할 수 있다. 예를 들면, 상기 높이 데이터는 높이 분포를 나타내는 이미지, 높이 분포를 나타내는 분포 맵, 위치별 높이값 자체 등을 포함할 수 있다.
예를 들면, 상기 높이 데이터를 이용하여 상기 명도 정보를 수정하는 단계에서, 상기 높이 데이터에서 기준 높이 이하인 경우 상기 명도 정보를 0으로 설정하는 방식으로 수정할 수 있다. 즉, 획득된 상기 명도 정보에서 기 설정된 기준 높이 이하의 높이에 해당하는 부분은 그림자 영역과 같이 실제로 터미널 영역의 외부에 존재하는 영역일 가능성이 높으므로, 이때의 명도 정보는 0으로 설정할 수 있다.
또한, 획득된 상기 명도 정보는, 예를 들면, intensity, value, lightness 중 어느 하나의 형태일 수 있는데, 상기 명도 정보의 수정 시 다른 형태로 수정될 수 있다. 예를 들면, 획득된 상기 명도 정보가 intensity인 경우, 상기 명도 정보는 value 형태로 수정될 수 있다.
한편, 위와 같은 명도 정보의 수정 시에 히스토그램을 이용한 이미지 처리를 활용할 수 있다.
이에 따라, 상기 획득된 상기 명도 정보 및 상기 색상 정보를 이용하여 터미널 경계 중 적어도 일부를 획득하는 단계(S140)는, 상기 수정된 명도 정보 및 상기 색상 정보를 이용하여 상기 검사대상물의 터미널의 경계 중 적어도 일부를 획득할 수 있다.
상기와 같은 부품의 터미널 검사방법 및 기판 검사장치에 따르면, 검사대상물의 3차원 형상 정보를 획득하기 위한 이미지와 컬러 이미지로부터 각각 명도 정보 및 색상 정보를 획득하여 이로부터 검사대상물의 터미널 경계를 획득함으로써 높은 정확성과 신뢰성을 확보할 수 있으며, 이에 따라 검사의 정확성 및 신뢰성을 향상시킬 수 있다.
또한, 상기 명도 정보 및 상기 색상 정보를 이미지의 픽셀별로 정량화한 데이터로부터 상기 검사대상물의 터미널 경계를 획득할 수 있고, 상기 픽셀별 색상값의 변화에 따른 그래프와 상기 픽셀별 명도값의 변화에 따른 그래프의 교점으로 터미널 엔드를 결정함으로써, 부품의 터미널의 경계를 서브픽셀 단위로 찾을 수 있고 부품의 크기가 작은 경우에도 보다 정확한 부품의 터미널의 경계를 획득할 수 있다.
또한, 검사대상물의 3차원 형상 정보를 획득하기 위한 이미지로부터 3차원 형상 정보를 획득할 수 있을 뿐만 아니라 명도 정보의 추출에도 활용함으로써, 효율적인 데이터 활용이 가능할 수 있다.
앞서 설명한 본 발명의 상세한 설명에서는 본 발명의 바람직한 실시예들을 참조하여 설명하였지만, 해당 기술분야의 숙련된 당업자 또는 해당 기술분야에 통상의 지식을 갖는 자라면 후술될 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 기술 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있을 것이다.　 따라서, 전술한 설명 및 아래의 도면은 본 발명의 기술사상을 한정하는 것이 아닌 본 발명을 예시하는 것으로 해석되어야 한다.

Claims (16)

  1. 검사대상물의 3차원 형상 정보를 획득하기 위한 광을 상기 검사대상물에 조사하고 반사된 광을 수신하여 제1 이미지를 획득하고, 각기 다른 컬러를 갖는 적어도 2개 이상의 광들을 상기 검사대상물에 조사하고 반사된 광들을 수신하여 제2 이미지를 획득하는 단계;
    획득된 상기 제1 이미지로부터 명도 정보를 획득하고, 획득된 상기 제2 이미지로부터 색상 정보를 획득하는 단계; 및
    획득된 상기 명도 정보 및 상기 색상 정보를 이용하여 상기 검사대상물의 터미널의 경계 중 적어도 일부를 획득하는 단계를 포함하는 부품의 터미널 검사방법.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 획득된 상기 제1 이미지로부터 명도 정보를 획득하고, 획득된 상기 제2 이미지로부터 색상 정보를 획득하는 단계는,
    상기 제1 이미지 및 상기 제2 이미지를 합성하여 합성 이미지를 생성하는 단계; 및
    상기 합성 이미지로부터 상기 명도 정보 및 상기 색상 정보를 획득하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 부품의 터미널 검사방법.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 검사대상물의 3차원 형상 정보를 획득하기 위한 광은 상기 검사대상물의 평면에 수직한 법선을 기준으로 제1 경사각으로 조사되고,
    각기 다른 컬러를 갖는 적어도 2개 이상의 광들은 적어도 제1 컬러광 및 상기 제1 컬러광과 다른 컬러를 갖는 제2 컬러광을 포함하되, 상기 제1 컬러광은 상기 제1 경사각보다 작은 제2 경사각으로 조사되고, 상기 제2 컬러광은 상기 제1 경사각보다 큰 제3 경사각으로 조사되는 것을 특징으로 하는 부품의 터미널 검사방법.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 획득된 상기 명도 정보 및 상기 색상 정보를 이용하여 상기 검사대상물의 터미널의 경계 중 적어도 일부를 획득하는 단계는,
    상기 제1 및 제2 이미지들의 합성 이미지 상에 상기 검사대상물의 터미널을 포함하는 검사영역을 설정하는 단계;
    상기 검사영역 내에서 상기 터미널의 일측 경계로부터 타측 경계를 향하는 방향(이하, “기준 방향”이라 함)을 따라 상기 픽셀의 색상이 상기 제1 컬러에서 다른 컬러로 변화하는 구간을 설정하는 단계;
    상기 구간 내에서 픽셀별 색상 정보의 변화 및 픽셀별 명도 정보의 변화를 검출하는 단계; 및
    상기 픽셀별 색상 정보의 변화 및 상기 픽셀별 명도 정보의 변화를 기초로 상기 터미널의 경계 중 적어도 일부를 획득하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 부품의 터미널 검사방법.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 색상 및 상기 명도는 각각의 픽셀에 대해서 정규화된(normalized) 정량적인 값으로 설정되고, 상기 색상의 변화 및 상기 명도의 변화는 상기 기준 방향에 따른 픽셀별 색상값의 변화 및 픽셀별 명도값의 변화인 것을 특징으로 하는 부품의 터미널 검사방법.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 제1 컬러는 적색이고, 상기 색상의 변화는 상기 기준 방향에 따라 상기 구간에서 증가하고, 상기 명도의 변화는 상기 기준 방향에 따라 상기 구간에서 감소하며,
    상기 터미널의 경계는 상기 픽셀별 색상값의 변화에 따른 증가 추세선과 상기 픽셀별 명도값의 변화에 따른 감소 추세선이 만나는 점으로 결정되는 것을 특징으로 하는 부품의 터미널 검사방법.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 제1 이미지로부터 높이 데이터를 획득하는 단계; 및
    상기 높이 데이터를 이용하여 상기 명도 정보를 수정하는 단계를 더 포함하고,
    획득된 상기 명도 정보 및 상기 색상 정보를 이용하여 상기 검사대상물의 터미널의 경계 중 적어도 일부를 획득하는 단계는,
    상기 수정된 명도 정보 및 상기 색상 정보를 이용하여 상기 검사대상물의 터미널의 경계 중 적어도 일부를 획득하는 것을 특징으로 하는 부품의 터미널 검사방법.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 높이 데이터를 이용하여 상기 명도 정보를 수정하는 단계에서,
    상기 높이 데이터에서 기준 높이 이하인 경우 상기 명도 정보를 0으로 설정하는 것을 특징으로 하는 부품의 터미널 검사방법.
  9. 검사대상물의 3차원 형상 정보를 획득하기 위한 광을 상기 검사대상물에 조사하는 투영부;
    각기 다른 컬러를 갖는 적어도 2개 이상의 광들을 상기 검사대상물에 조사하는 조명부;
    상기 투영부로부터 조사되어 상기 검사대상물에 의해 반사된 광을 수신하여 제1 이미지를 획득하고, 상기 조명부로부터 조사되어 상기 검사대상물에 의해 반사된 광들을 수신하여 제2 이미지를 획득하는 이미지 획득부; 및
    상기 이미지 획득부에서 획득된 상기 제1 이미지로부터 명도 정보를 획득하고, 상기 이미지 획득부에서 획득된 상기 제2 이미지로부터 색상 정보를 획득하고, 상기 획득된 명도 정보 및 색상 정보를 이용하여 상기 검사대상물의 터미널의 경계 중 적어도 일부를 획득하는 처리부를 포함하는 기판 검사장치.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 처리부는 상기 제1 이미지 및 상기 제2 이미지를 합성하여 합성 이미지를 생성하고, 상기 합성 이미지로부터 상기 명도 정보 및 상기 색상 정보를 획득하는 것을 특징으로 하는 기판 검사장치.
  11. 제9항에 있어서,
    상기 투영부는 적어도 하나가 배치되어 상기 검사대상물의 3차원 형상 정보를 획득하기 위한 광을 상기 검사대상물의 평면에 수직한 법선을 기준으로 제1 경사각으로 조사하고,
    상기 조명부는,
    제1 컬러를 갖는 제1 컬러광을 상기 검사대상물에 상기 투영부의 제1 경사각보다 작은 제2 경사각으로 조사하는 제1 조명부; 및
    상기 제1 컬러와 다른 제2 컬러를 갖는 제2 컬러광을 상기 검사대상물에 상기 투영부의 제1 경사각보다 큰 제3 경사각으로 조사하는 제2 조명부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 검사장치.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 처리부는 상기 제1 및 제2 이미지들의 합성 이미지 상에 설정되며 상기 검사대상물의 터미널을 포함하는 검사영역 내에서, 상기 터미널의 일측 경계로부터 타측 경계를 향하는 방향(이하, “기준 방향”이라 함)을 따라 상기 픽셀의 색상이 상기 제1 컬러에서 다른 컬러로 변화하는 구간을 설정하고, 상기 구간 내에서 픽셀별 색상 정보의 변화 및 픽셀별 명도 정보의 변화를 기초로 상기 터미널의 경계 중 적어도 일부를 획득하는 것을 특징으로 하는 기판 검사장치.
  13. 제12항에 있어서,
    상기 색상 및 상기 명도는 각각의 픽셀에 대해서 정규화된(normalized) 정량적인 값으로 설정되고, 상기 색상의 변화 및 상기 명도의 변화는 상기 기준 방향에 따른 픽셀별 색상값의 변화 및 픽셀별 명도값의 변화인 것을 특징으로 하는 기판 검사장치.
  14. 제13항에 있어서,
    상기 제1 컬러는 적색이고, 상기 색상의 변화는 상기 기준 방향에 따라 상기 구간에서 증가하고, 상기 명도의 변화는 상기 기준 방향에 따라 상기 구간에서 감소하며,
    상기 터미널의 경계는 상기 픽셀별 색상값의 변화에 따른 증가 추세선과 상기 픽셀별 명도값의 변화에 따른 감소 추세선이 만나는 점으로 결정되는 것을 특징으로 하는 기판 검사장치.
  15. 제9항에 있어서,
    상기 처리부는, 상기 제1 이미지로부터 높이 데이터를 획득하고 상기 높이 데이터를 이용하여 상기 명도 정보를 수정하며, 상기 수정된 명도 정보 및 색상 정보를 이용하여 상기 검사대상물의 터미널의 경계 중 적어도 일부를 획득하는 것을 특징으로 하는 기판 검사장치.
  16. 제15항에 있어서,
    상기 처리부는, 상기 높이 데이터를 이용하여 상기 명도 정보를 수정할 때, 상기 높이 데이터에서 기준 높이 이하인 경우 상기 명도 정보를 0으로 설정하는 것을 특징으로 하는 기판 검사장치.
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