JP2018522287A - 露光装置 - Google Patents

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Abstract

光源（１）と、照明モジュール（２）と、マスクステージ（５）と、投射対物レンズモジュールと、撮像位置調整モジュール（４）と、ウェハステージ（６）と、を含む露光装置が開示されている。これらは、光の伝播方向に沿って順次配列している。撮像位置調整モジュール（４）は、それぞれ配列された複数の調整エレメント（４１０）を含む。投射対物レンズモジュールは、複数の調整エレメント（４１０）のそれぞれに対応する撮視野をそれぞれ有する複数の投射対物レンズ（３）を含む。撮像位置調整モジュール（４）は、投射対物レンズモジュールにより形成された画像における並進移動、倍率、焦点面、他の調整を行うことによって、投射対物レンズ（３）の画像品質と視野のステッチ品質を十分に保証する。投射対物レンズモジュールは、撮像位置調整のためのコンポーネント又はメカニズムを含まないことから、簡易になる。【選択図】図１

Description

本発明は、集積回路（ＩＣｓ）の製造に関し、特に、露光装置に関する。
フラットパネルディスプレイの技術は、ますますサイズを増大させるデバイスと共に急速に開発されつつある。大きな視野（ＦｏＶ）を伴う対物レンズを用いる露光は、増大させる結果を引き起こすことができる。しかし、対物レンズの光学系のための視野の拡大は、デザイン、製造性、他の側面における難易度が増大する。要求される大きな視野は、代わりに、一定の方法によって配列された、複数のサブ対物レンズの、同サイズの複数の視野をステッチングすることによって、成し得る。使用するサブ対物レンズの数は、要求される視野のサイズによって決定される。このアプローチは、大きな視野のニーズを満たすことができるものの、光学プロセッシングと製造難易度とを減少させ、高い互換性とフレキシビリティとを供給する。
複数のサブ対物レンズをステッチングするために、サブ対物レンズのそれぞれと他のファクターとの許容誤差との組み合わせとパフォーマンスによって、個々のサブ対物レンズの撮像位置は、理論上の位置から逸脱することがある。特に、大きなサイズのマスクは、重力による変形が生じ、この変形は、感光性基板の表面プロファイルの逸脱を引き起こすことがある。撮像視野をそれぞれ理想的な場所に位置させるため、ステッチングする全ての視野のパフォーマンスを保証するために、撮像視野の位置を調整する分散調整メカニズムを伴って、複数のサブ対物レンズのそれぞれを供給する。
スキャン方向に関して直交する方向において、隣接した投射視野同士の他端が互いに重複し、スキャン方向における所定量の転置によって、前方向にステップする隣接した投射視野を生成する複数の投射光学系を備えたスキャニング方式の露光装置（スキャナー）は、複数のレンズを伴うスキャニング露光装置（マルチレンズスキャナー装置）と呼ばれる。そのようなマルチレンズスキャナー装置において、マスクは、それぞれの光領域に対応する複数の投射光学系が感光性基板の上のマスクにパターンを露光するため、通過した複数のスリット形状の光領域に照らされ、感光性基板とともに同時にスキャンされる。
従来技術に開示された露光装置では、焦点面の調整は、光学経路、又は対物側のプレート郡に設けられた直角反射器(リフレクター)を移動させることにより、成し得る。また、画像の水平移動は、Ｘ、Ｙ方向に関してそれぞれ対物側に２つの並列した板を回転させることにより、可能にさせる。そのうえ、倍率調整は、アフォーカル光学系を構成する画像側の３つのハーフレンズのうち１つを動かすことにより、行うことができる。しかし、同時に、焦点調整システムを用いて、オフセットしなければならない焦点面において変化を引き起こす。別の露光装置では、倍率調整は、反射屈折する光路中に位置する２つのレンズを構成する焦点系の軸移動によって成し得る。また、焦点面の調整は、画像側に配置する３つのレンズを構成する焦点系の移動によって、可能となる。
上記論述の通り、ステッチングした対物レンズの視野について良好な品質を保証するため、通常の露光システムは、画像面の位置調整を可能にするため、対物レンズをステッチングする調整メカニズムを採用する。対物レンズの構造をさらに複雑化させ、それらの間のスペースを狭小化する。特に、これらの調整メカニズムは、修理とメンテナンスとを要求する、それぞれモータをベースとしたアクチュエーションシステムによって駆動される。対物レンズにおけるそれらの置換は、修理とメンテナンス作業を行いにくくさせる。
本発明に係る露光装置は、対物レンズにおける調整メカニズムが空間を占有する課題を解決する。
この課題を解決するため、本発明に係る露光装置は、
光の伝播方向に沿って順次配列するように、光源と、照明モジュールと、マスクステージと、投射対物レンズモジュールと、撮像位置調整モジュールと、ウェハステージと、を含み、
前記撮像位置調整モジュールは、それぞれ配列された複数の調整エレメントを含み、
前記投射対物レンズモジュールは、前記複数の調整エレメントのそれぞれ１つに対応する撮像視野をそれぞれ有する複数の投射対物レンズを含む。
好ましくは、前記複数の調整エレメントのそれぞれは、光学系と、モータベースアクチュエーションシステムと、制御システムと、を含み、
前記制御システムは、前記複数の投射対物レンズのうち１つに対応する前記撮像視野を変化するように、前記モータベースアクチュエーションシステムによって、前記光学系を調整する。
好ましくは、前記光学系は、平行な入射面と出射面とを備え、
前記複数の調整エレメントのそれぞれは、前記複数の投射対物レンズのうち１つに対応する後方作動距離内において配列される。
好ましくは、前記複数の調整エレメントのそれぞれの前記光学系は、対応する前記投射対物レンズの光軸に一致する光軸と、前記対応する前記投射対物レンズの前記撮像視野よりも大きな開放口とを備える。
好ましくは、前記光学系は、第１のレンズと、第２のレンズと、第３のレンズと、第４のレンズと、を含み、
前記第１のレンズは、第１の平面と、第１の曲面と、を備え、
前記第２のレンズは、前記第１の曲面と対向する第２の曲面と、第３の曲面と、を備え、
前記第３のレンズは、前記第３の曲面と対向する第４の曲面と、第１の斜面と、を備え、
前記第４のレンズは、第２の斜面と、第２の平面と、を備え、
前記第２の斜面は、前記第１の斜面に対して近傍、かつ、平行に配列され、
前記第２の平面は、前記第１の平面に対して平行に配列される。
好ましくは、前記光学系は、前記第１のレンズと、前記第２のレンズと、前記第３のレンズと、前記第４のレンズのうち、隣接したレンズ同士の少なくとも１つの相対位置を調整することにより、前記複数の投射対物レンズの１つに対応する焦点面、倍率、並進移動の少なくとも１つに調整されるように設けられている。
好ましくは、前記光学系は、前記光の前記伝播方向に沿ってこの順に設けられた前記第１のレンズと前記第２のレンズと前記第３のレンズと前記第４のレンズとを備え、又は、前記光の前記伝播方向に沿ってこの順に設けられた前記第４のレンズと前記第３のレンズと前記第２のレンズと前記第１のレンズとを備える。
好ましくは、前記第１のレンズは、平凸レンズ、又は平凹レンズである。
好ましくは、前記第３のレンズは、平凸レンズ、又は平凹レンズである。
好ましくは、前記第２のレンズは、両凸レンズ、両凹レンズ、又は、メニスカスレンズである。
好ましくは、前記第１のレンズ、前記第２のレンズ、前記第３のレンズ、及び前記第４のレンズは、それぞれ、完全円形レンズ、又は、完全円形レンズの一部分である。
好ましくは、前記第１の曲面は、前記第２の曲面の曲率半径と同じ曲率半径を有し、前記第３の曲面は、前記第４の曲面の曲率半径と同じ曲率半径を有する。
好ましくは、前記第１の曲面は、前記第４の曲面の曲率半径と同じ曲率半径を有する。
好ましくは、前記第１の曲面と、前記第２の曲面と、前記第３の曲面と、前記第４の曲面とは、200mm-2000mmの範囲内の曲率半径を有する。
好ましくは、前記第１の斜面と、前記第２の斜面とは、0.5°-10°の範囲内の楔角度を有する。
好ましくは、前記光学系は、少なくとも１枚の平行プレートと、少なくとも１枚の楔状プレートと、少なくとも２枚の、分離された一対のアフォーカル系レンズとを備える。
好ましくは、前記光学系は、冷却システムを備える。
好ましくは、前記複数の調整エレメントは、機械的、かつ、相互に接続されて、一体化している。
好ましくは、前記複数の調整エレメントは、一体フレームを用いることによって機械的、かつ、相互に接続されて、一体化している。
本発明は、従来技術と比較して、以下の優位性を備える。
１）撮像位置調整モジュールは、投射対物レンズモジュールから分離しつつ、空間的に独立している。
２）撮像位置調整モジュールは、システムの組み立てを容易にし、投射対物レンズの複雑さを減じる。特に、独立した撮像位置調整モジュールの修理とメンテナンスとが容易になる。
３）撮像位置調整モジュールは、投射対物レンズモジュールによって形成された画像における並進移動と、倍率と、焦点面と、他の調整とを可能にし、投射対物レンズの、ステッチングされた視野（ＦｏＶ）の品質を保証する。投射対物レンズモジュールは、撮像位置調整のためのコンポーネント又はメカニズムを含まなくても、投射撮像のみを行うことができる。また、視野のステッチングは、機械的な方法によって成しうる。これは、投射対物レンズの複雑さを低下させる。
図１は、本発明に係る露光装置の構成模式図である。 図２は、本発明に係る露光装置における撮像位置調整モジュールの構成模式図である。 図３は、本発明に係る露光装置における調整エレメントの構成模式図である。 図４は、本発明の実施形態１に係る調整エレメントの構成模式図である。 図５は、本発明の実施形態１に係る調整エレメントの構成模式図である。 図６は、本発明の実施形態１に係る焦点面の調整方法を示す模式図である。 図７は、本発明の実施形態１に係る倍率の調整方法を示す模式図である。 図８は、本発明の実施形態１に係る並進調整方法を示す模式図である。 図９は、本発明の実施形態１に係る並進調整方法を示す模式図である。 図１０は、本発明の実施形態１に係る撮像位置調整モジュールの構成模式図である。 図１１は、本発明の実施形態２に係る調整エレメントにおける光学系の構成模式図である。
本発明の詳細な実施形態は、上記した本発明の目的、特徴、及び優位性を明白にさせるため、添付された図を参照しながら、以下により詳細に記載される。なお、図面は、実施形態を説明するにあたって、利便性と明確性とを促進する目的のみに、大きく簡略化した形式で供給され、この形式は、スケールを必ずしも表わすものでない。
図１に示すように、本発明に係る露光装置は、光源１と、照明モジュール２と、マスクステージ５と、投射対物レンズモジュールと、撮像位置調整モジュール４と、ウェハステージ６とを備える。
投射対物レンズモジュールは、複数の同一の投射対物レンズ３から構成され、複数の同一の投射対物レンズ３は、第１の方向（Ｘ方向）、及び第２の方向（Ｙ方向）に配列されているため、複数の視野（ＦｏＶｓ）がステッチングされて、大きく連続的な視野（ＦｏＶ）になる。図２、及び図３に示すように、撮像位置調整モジュール４は、独立した複数の同一の調整エレメント４１０を含む。換言すれば、撮像位置調整モジュール４は、独立した複数の同一の調整エレメント４１０から構成される。調整エレメント４１０は、調整エレメント４１０が投射対物レンズ３の複数の視野のうち１つ１つの位置に対応するように、投射対物レンズ３のそれと同じ１つの方法を用いてステッチされる。
光源１から発せられた紫外線（ＵＶ）は、照明モジュール２によって、分割、均質化等の処理をされる。これによって、（マスクステージ５に位置する）選択したマスクの領域に放射する複数の照明ビームを形成する。その後、複数の投射対物レンズ３と、撮像位置調整モジュール４とによって、（ウェハステージ６に位置する）基板の領域に対する所定の倍率で所定のマスク領域において画像パターンを形成する。完全に連続した画像は、マスクステージ５とウェハステージ６とを、投射対物レンズ３と調整エレメント４１０とに対して、スキャン方向（Ｙ方向）に動かすことにより、基板上に形成することができる。
好ましくは、図３に強調して示すように、調整エレメント４１０は、それぞれ、光学系４１１を含み、同様に、光学系４１１に対応するモータベースアクチュエーションシステム（モータをベースとしたアクチュエーションシステム）４１２と、制御システム４１３とを含む。調整エレメント４１０は、それぞれ、投射対物レンズ３の１つに対応する視野（ＦｏＶ）における焦点面、倍率、並進移動を個々に調整することができる。
詳細には、モーターベースアクチュエーションシステム４１２は、制御システム４１３の制御下における光学系４１１におけるコンポーネントを駆動し、これによって、形成した撮像位置を修正することができる。調整エレメント４１０における光学系４１１は、アフォーカル系、すなわち、平行な入射面と出射面とを備える系として設計されている。この検討のため、調整エレメント４１０は、それらの画像品質のパラメータに影響を与えないように、撮像位置と色収差とのみを修正するように、投射対物レンズ３の後方作動距離内において配列させる。焦点面と色収差との修正量は、投射対物レンズ３の設計を考慮した上で、それらを補償したり、調和したりさせる。結果として、投射対物レンズ３の撮像パフォーマンスに対する影響は、無視してもよい。さらに、光学系４１１は、調整エレメント４１０に対応する投射対物レンズ３の光軸に一致する。さらに、光学系４１１は、投射対物レンズ３の撮像視野よりも大きな開放口を備えるため、投射対物レンズ３のＦｏＶｓの類似性を伴う、調整エレメント４１０の複数の視野（ＦｏＶｓ）はステッチされ、ステッチされたそれらに沿う方向（Ｘ方向）に関して、隣り合う調整エレメント４１０の中心（複数の光軸）間の距離は、互いに隣接するそれらの複数の視野（ＦｏＶｓ）において、有効長さよりも短い。好ましくは、露光装置の複雑さは、組立位置におけるアフォーカル系の比較的ルーズな必要な要件のために、さらに減少する。
好ましくは、複数の調整エレメント４１０は、例えば、露光装置の安定性を増加させるために、フレームを一体的に用いて、機械的に一緒に組み立てるとよい。代わりに、調整エレメント４１０は、特殊な接続方法によって一構造体となるように接続してもよい。
さらに、撮像位置調整モジュール４は、各調整エレメント４１０における個々の制御システム４１３を調和する単一の独立制御ユニット（図示略）を採用することができる。このケースでは、各調整エレメント４１０におけるモーターベースアクチュエーションシステム４１２は、独立制御ユニットから受け取り、修正された指示に基づいて、コンポーネントの動きに影響を与える。撮像位置調整モジュール４は、投射対物レンズ３の位置する環境下においてモーターベースアクチュエーションシステム４１２によって生成される熱衝撃を減少させるために、各調整エレメント４１０のための単一の冷却システム、又は各冷却システムを提供する。
本発明の投射対物レンズモジュールは、画像調整メカニズムをその内部に含むので、撮像位置調整モジュール４は、投射対物レンズ３から空間的に独立するように設けられている。これは、投射対物レンズ３に影響を与えることなく、撮像位置調整モジュール４をハンドリングすることのみによって、露光装置の撮像位置調整コンポーネント、又はモーターベースアクチュエーションシステムの修理とメンテナンスとを行うことができる。特に、アフォーカル系の組み立て精度の要件は、厳しくなく、調整エレメント４１０の１つ又は複数を直接的に置き換えることは可能であり、露光装置の修理とメンテナンスとを容易に行うことができる。
投射対物レンズ３は、それぞれ、調整メカニズムを持たないので、投射対物レンズ３の設計におけるモータの修理とメンテナンスとのためにスペースを考慮する必要が無い。これによって、投射対物レンズ３の機械的設計を容易にする。さらに、総合的な密閉デザインが、投射対物レンズ３の高い安定性と信頼性とを保証するために、採用してもよい。
本発明の露光装置によって実施される露光プロセスでは、マスクステージ５とウェハステージ６とのスキャン方向（Ｙ方向）に沿う協調動作と同時に、投射対物レンズモジュールは、照明モジュール２からの光をマスクのパターン領域上に指向させる。そのため、当該領域内のパターンは、基板の上で同じ倍率で撮像される。同時に、撮像位置調整モジュール４は、投射対物レンズの撮像位置の差異（ずれ）、基板とマスクとの機械加工公差、自重変形により生じた撮像視野の焦点ぼけや、並進や倍率の変化を含むエラーを修正するための指示を、独立した制御ユニットから受ける。この指示は、各調整エレメント４１０が、それら自体の撮像視野（ＦｏＶ）の調整曲線に追従することに基づく。また、基板における良好な露光パターンを形成できるように、正確かつ首尾一貫した撮像位置を保証するため、リアルタイム調整を行うためである。
実施形態１
図４、及び図５に示すように、この実施形態では、各光学系４１１は、それらの反対（対向する）側に平行な表面（すなわち、光入射面と光出射面）を備えるアフォーカル系である。特に、各光学系は、平面側と球面側とを有する第１のレンズ１０１と、２つの球面側とを有する第２のレンズ１０２と、球面側と平面楔状側とを有する第３のレンズ１０３と、１枚の楔状板である第４のレンズ１０４とを備える。
光学系４１１は、図４、又は図５に示すような湾曲面に限定されることなく、光が、順次、第１のレンズ１０１、第２のレンズ１０２、第３のレンズ１０３、第４のレンズ１０４を通過して、又は、光が、順次、第４のレンズ１０４、第３のレンズ１０３、第２のレンズ１０２、第１のレンズ１０１を通過するような方法で設けられている。さらに、光学系４１１は、図４に示すような方法で設けてもよいし、図４の構成に対して転回（倒立、又は逆さに）してもよい。
好ましくは、第１のレンズ１０１と、第３のレンズ１０３とは、それぞれ、平凸レンズ、又は平凹レンズとして選択される。第２のレンズ１０２は、両凸レンズ、両凹レンズ、又は、メニスカスレンズ（凹凸レンズ）として実施してもよい。第１のレンズ１０１、第２のレンズ１０２、第３のレンズ１０３、第４のレンズ１０４は、それぞれ、完全円形レンズ、又は、完全円形レンズの一部分である。
好ましくは、第１のレンズ１０１の球面は、第１のレンズ１０１に対向する第２のレンズ１０２の球面の曲率半径と同じ、又は近い曲率半径を有する。第２のレンズ１０２の別の球面は、第３のレンズ１０３の球面の曲率半径と同じ、又は近い曲率半径を有する。第１のレンズ１０１の球面の曲率半径は、第３のレンズ１０３の球面曲率半径と同じ、又は異なる。
図６及び図７に示すように、第４のレンズ１０４は、楔状表面に対して平行な方向に沿って移動したとき、光路における厚みは、増大し、又は減少し、調整エレメント４１０における光路長が変化する結果を引き起こし、これによって焦点面が変化する。ここで、第４のレンズ１０４は、焦点面の調整により生じる画像の水平移動を避けることと同じように、第３のレンズ１０３と第４のレンズ１０４との間のエアギャップを残存したまま、移動する。
焦点面の調整の感度は、第３のレンズ１０３、第４のレンズ１０４の楔状表面の楔角度に比例し、第４のレンズ１０４の材料の反射係数に比例する。要求される調整の感度は、調整範囲と正確性について光学系の要件に応じて、材料と楔角とを適当に選択することによって、到達することができる。
図７に示すように、光学系の倍率は、第１のレンズ１０１と第２のレンズ１０２との間のエアギャップ、及び第２のレンズ１０２と第３のレンズ１０３との間のエアギャップの少なくとも一方を変更することによって、変化してもよい。さらに、エアギャップにおける変化により生じる焦点面における変化は、倍率調整が他の影響から自由になるように、楔表面に平行な方向に沿って第４のレンズ１０４を移動させる手段によって、防止することができる。
倍率調整の感度は、１つ又は複数のエアギャップに関係し、エアギャップのそれぞれの感度は、隣接する２つのレンズ（すなわち、第１のレンズ１０１と第２のレンズ１０２、又は、第２のレンズ１０２と第３のレンズ１０３）の材料と半径に関係する。それゆえ、仕上がった調整エレメント４１０のため、感度の違いを、複数のエアギャップの少なくとも１つを調整することによって得ることができる。本発明によれば、複数のレンズの曲率半径と材料とは、異なる感度を有する２つのエアギャップを選択してもよい。このようにして、感度の差は、さらに大きい感度のギャップと、さらに小さい感度のギャップとの少なくとも一方を調整することによって、様々な応用のために成し遂げられる。
図８及び図９に示すように、撮像位置調整モジュール４は、全体として、１枚の平行プレートのように機能する。Ｘ軸周りに回転するとき、Ｙ方向に撮像を移動することができる。また、Ｙ軸周りに回転するとき、Ｘ方向に画像を並進移動することができる。図８に示すように、撮像面は、Ｙ軸に関する撮像位置調整モジュール４の回転に応じて、距離ｄＸ移動し、Ｘ軸に関する撮像位置調整モジュール４の回転に応じて、距離ｄＹ移動する。並進調整の感度は、４つのレンズの総合的な反射係数と、４つのレンズの厚みの和に比例する。同様に、様々な感度は、複数のレンズの材料と厚みとを適切に選択することによって、得られる。
好ましくは、４つのレンズは、高い紫外線透過性を有する材料からなる。最適な機械的制御と他の感度とは、第１のレンズ１０１、第２のレンズ１０２、第３のレンズ１０３の曲率半径200mm-2000mmの範囲内で、かつ、第３のレンズ１０３及び第４のレンズ１０４の楔面の楔角度0.5°-10°の範囲内であることによって、到達することができる。
図１０は、撮像位置調整モジュール４が採り得る一構成を示す。撮像位置調整モジュール４は、投射対物レンズモジュールの最後の光学エレメントと基板との間に設けられた。各調整エレメント４１０は、独立して調整を行うことができ、全体としてメンテナンスと交換とを行うことができる。具体的には、６つの調整ユニット４１０は、シングルサポートフレーム４２０において統合され、サポート機能と冷却能力とを有する。シングルサポートフレーム４２０は、露光装置のメイン構造に結合されたため、撮像位置調整モジュール４が、全体的に保証され、メインの構成に統合された。
表１に、各調整エレメント４１０におけるレンズの詳細データをまとめた。倍率調整は、モータにより駆動された第２のレンズ１０２の軸移動によって行うことができる。焦点面の調整は、モータの力とレールとによる傾斜方向に沿った第４のレンズ１０４の移動によって行うことができる。
Figure 2018522287
実施形態２
この実施形態では、図１１に示すように、各調整エレメント４１０において、光学系４１１は、画像の並進の調整のため、平行プレート４０５、及び平行プレート４０６の少なくとも一つと、焦点面の調整のため、２つのウェッジプレート４０１、４０２と、倍率の調整のため、２枚に分離された一対のアフォーカル系レンズ４０３、４０４とから構成する、又は、実施形態１における、第２のレンズ１０２、第３のレンズ１０３の間に２つの平行プレートによって構成する。すなわち、本発明によれば、光学系４１１におけるレンズの選択と構成とは、実際のニーズと、投射対物レンズ同士が機能する距離とに応じて、可能とする。当然、構成品を形成するものに関係無く、焦点面、倍率、並進調整は、いずれか１つに同時、又は別々に行ってもよい。
要約すると、本発明の露光装置は、投射対物レンズモジュールによって形成された画像における並進移動と、倍率と、焦点面と、他の調整とを行うことを通じて、投射対物レンズ３の画像クオリティとステッチ品質とを十分に保証する撮像位置調整モジュール４をさらに含む。投射対物レンズモジュールは、撮像位置調整のメカニズムとコンポーネントを含まなくても、投射撮像のみを行うことができる。視野のステッチングは、機械的な方法によって成し得る。よって、投射対物レンズモジュールの複雑さを減じ、撮像位置調整モジュールの容易化を修理とメンテナンスをし得る。
そこから、精神とスコープから離れることなく、技術分野に属する通常の知識によって、本発明の様々な改良と変形を行うことができることが明らかである。適宜、全ての改良と変形は、もし、添付したクレームのスコープとそれらとの均等の範囲内にある場合、発明のスコープに包含されることを意図する。

Claims (19)

  1. 光の伝播方向に沿って順次配列するように、光源と、照明モジュールと、マスクステージと、投射対物レンズモジュールと、撮像位置調整モジュールと、ウェハステージと、を含み、
    前記撮像位置調整モジュールは、それぞれ配列された複数の調整エレメントを含み、
    前記投射対物レンズモジュールは、前記複数の調整エレメントのそれぞれ１つに対応する撮像視野をそれぞれ有する複数の投射対物レンズを含む、
    露光装置。
  2. 前記複数の調整エレメントのそれぞれは、光学系と、モータベースアクチュエーションシステムと、制御システムと、を含み、
    前記制御システムは、前記複数の投射対物レンズのうち１つに対応する前記撮像視野を変化するように、前記モータベースアクチュエーションシステムによって、前記光学系を調整する、
    請求項１に記載の露光装置。
  3. 前記光学系は、平行な入射面と出射面とを備え、
    前記複数の調整エレメントのそれぞれは、前記複数の投射対物レンズのうち１つに対応する後方作動距離内において配列される、
    請求項２に記載の露光装置。
  4. 前記複数の調整エレメントのそれぞれの前記光学系は、対応する前記投射対物レンズの光軸に一致する光軸と、前記対応する前記投射対物レンズの前記撮像視野よりも大きな開放口とを備える、
    請求項２に記載の露光装置。
  5. 前記光学系は、第１のレンズと、第２のレンズと、第３のレンズと、第４のレンズと、を含み、
    前記第１のレンズは、第１の平面と、第１の曲面と、を備え、
    前記第２のレンズは、前記第１の曲面と対向する第２の曲面と、第３の曲面と、を備え、
    前記第３のレンズは、前記第３の曲面と対向する第４の曲面と、第１の斜面と、を備え、
    前記第４のレンズは、第２の斜面と、第２の平面と、を備え、
    前記第２の斜面は、前記第１の斜面に対して近傍、かつ、平行に配列され、
    前記第２の平面は、前記第１の平面に対して平行に配列される、
    請求項２に記載の露光装置。
  6. 前記光学系は、前記第１のレンズと、前記第２のレンズと、前記第３のレンズと、前記第４のレンズのうち、隣接したレンズ同士の少なくとも１つの相対位置を調整することにより、前記複数の投射対物レンズの１つに対応する焦点面、倍率、並進移動の少なくとも１つに調整されるように設けられている、
    請求項５に記載の露光装置。
  7. 前記光学系は、前記光の前記伝播方向に沿ってこの順に設けられた前記第１のレンズと前記第２のレンズと前記第３のレンズと前記第４のレンズとを備え、又は、前記光の前記伝播方向に沿ってこの順に設けられた前記第４のレンズと前記第３のレンズと前記第２のレンズと前記第１のレンズとを備える、
    請求項５に記載の露光装置。
  8. 前記第１のレンズは、平凸レンズ、又は平凹レンズである、
    請求項５に記載の露光装置。
  9. 前記第３のレンズは、平凸レンズ、又は平凹レンズである、
    請求項５に記載の露光装置。
  10. 前記第２のレンズは、両凸レンズ、両凹レンズ、又は、メニスカスレンズである、
    請求項５に記載の露光装置。
  11. 前記第１のレンズ、前記第２のレンズ、前記第３のレンズ、及び前記第４のレンズは、それぞれ、完全円形レンズ、又は、完全円形レンズの一部分である、
    請求項５に記載の露光装置。
  12. 前記第１の曲面は、前記第２の曲面の曲率半径と同じ曲率半径を有し、
    前記第３の曲面は、前記第４の曲面の曲率半径と同じ曲率半径を有する、
    請求項５に記載の露光装置。
  13. 前記第１の曲面は、前記第４の曲面の曲率半径と同じ曲率半径を有する、
    請求項５に記載の露光装置。
  14. 前記第１の曲面と、前記第２の曲面と、前記第３の曲面と、前記第４の曲面とは、200mm-2000mmの範囲内の曲率半径を有する、
    請求項５に記載の露光装置。
  15. 前記第１の斜面と、前記第２の斜面とは0.5°-10°の範囲内の楔角度を有する、
    請求項５に記載の露光装置。
  16. 前記光学系は、少なくとも１枚の平行プレートと、少なくとも１枚の楔状プレートと、少なくとも２枚の、分離された一対のアフォーカル系レンズとを備える、
    請求項２に記載の露光装置。
  17. 前記光学系は、冷却システムを備える、
    請求項２に記載の露光装置。
  18. 前記複数の調整エレメントは、機械的、かつ、相互に接続されて、一体化した、
    請求項１に記載の露光装置。
  19. 前記複数の調整エレメントは、一体フレームを用いることによって機械的、かつ、相互に接続されて、一体化した、
    請求項１に記載の露光装置。
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