WO2024038533A1 - 光源ユニット、照明ユニット、露光装置、及び露光方法 - Google Patents

光源ユニット、照明ユニット、露光装置、及び露光方法 Download PDF

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WO2024038533A1
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WO
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optical system
light
light source
light emitting
illumination
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Application number
PCT/JP2022/031191
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English (en)
French (fr)
Inventor
岩永正也
川戸聡
Original Assignee
株式会社ニコン
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    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/20Exposure; Apparatus therefor

Definitions

  • It relates to a light source unit, a lighting unit, an exposure device, and an exposure method.
  • liquid crystal display panels have been widely used as display elements for personal computers, televisions, etc.
  • a liquid crystal display panel is manufactured by forming a circuit pattern of thin film transistors on a plate (glass substrate) using a photolithography method.
  • an exposure device is used that projects and exposes an original pattern formed on a mask onto a photoresist layer on a plate via a projection optical system (for example, Patent Document 1). .
  • the light source unit includes a light source array in which a plurality of light source elements having light emitting parts that emit light are arranged on a two-dimensional plane, and an enlarged image of the light emitting part of each of the light source elements.
  • the magnifying optical system is a double-sided telecentric optical system that magnifies and projects at a magnification M
  • the arrangement pitch of the light source elements is p
  • the length of one side of the light emitting surface of the light emitting section is is a
  • the maximum output angle of the light whose radiation intensity is higher than Lambertian radiation out of the light emitted from the light emitting part is ⁇
  • the maximum output angle of the light output from the magnifying optical system is ⁇
  • the magnification is M satisfies the condition p/a ⁇ M ⁇ sin ⁇ /sin ⁇ .
  • the illumination unit includes the light source unit and an illumination optical system that guides the light emitted from the light source unit to the irradiated object.
  • the illumination unit includes a plurality of the above-mentioned light source units and a combining optical element that combines the light emitted from the plurality of light source units, and the combined light emitted from the combining optical element.
  • an illumination optical system that guides the light to the irradiated object.
  • an exposure apparatus includes the illumination unit and a projection optical system that projects a pattern image of the irradiated object illuminated by the illumination unit onto a photosensitive substrate.
  • an exposure method is an exposure method using the above exposure apparatus, comprising: illuminating the irradiated object with the illumination unit; and using the projection optical system with the irradiated object. and projecting a pattern image of the body onto the photosensitive substrate.
  • configurations of the embodiments described below may be modified as appropriate, and at least a portion thereof may be replaced with other components.
  • the configuration elements whose arrangement is not particularly limited are not limited to the arrangement disclosed in the embodiments, but can be arranged at a position where the function can be achieved.
  • FIG. 1 is a schematic diagram showing the configuration of an exposure apparatus according to the first embodiment.
  • FIG. 2 is a schematic diagram showing the configuration of the lighting unit according to the first embodiment.
  • FIG. 3(A) is a plan view schematically showing the configurations of the first and second light source arrays
  • FIG. 3(B) is a diagram schematically showing the internal configurations of the first and second light source units. It is.
  • FIG. 4 is a graph showing an example of the relationship between the angle of incidence on the dichroic mirror and the illuminance.
  • FIG. 5 is a graph showing an example of the light distribution characteristics of the light emitting part of the LED chip.
  • FIGS. 6A and 6B are diagrams illustrating an enlarged image formed on a predetermined surface in the second embodiment.
  • FIG. 7(A) and FIG. 7(B) are diagrams showing simulation results.
  • FIG. 1 is a diagram schematically showing the configuration of an exposure apparatus 10 according to the first embodiment.
  • the exposure apparatus 10 drives the mask MSK and the glass substrate (hereinafter referred to as "substrate") P in the same direction and at the same speed with respect to the projection optical system PL, thereby transferring the pattern formed on the mask MSK onto the substrate P.
  • This is a scanning stepper (scanner) that transfers images onto the image.
  • the substrate P is a rectangular glass substrate used, for example, in a liquid crystal display device (flat panel display), and has at least one side length or diagonal length of 500 mm or more.
  • the direction in which the mask MSK and substrate P are driven during scanning exposure is the X-axis direction
  • the direction in the horizontal plane perpendicular to this is the Y-axis direction, which is orthogonal to the X-axis and the Y-axis.
  • the direction of rotation is defined as the Z-axis direction
  • the directions of rotation (tilt) around the X-axis, Y-axis, and Z-axis are defined as ⁇ x, ⁇ y, and ⁇ z directions, respectively.
  • the exposure apparatus 10 includes an illumination system IOP, a mask stage MST that holds a mask MSK, a projection optical system PL, a body 70 that supports these, a substrate stage PST that holds a substrate P, a control system for these, and the like.
  • the control system centrally controls each component of the exposure apparatus 10.
  • the body 70 includes a base (vibration isolator) 71, columns 72A, 72B, an optical surface plate 73, a support 74, and a slide guide 75.
  • the base (vibration isolation table) 71 is placed on the floor F, isolates vibrations from the floor F, and supports the columns 72A, 72B, etc.
  • Columns 72A and 72B each have a frame shape, and column 72A is arranged inside column 72B.
  • the optical surface plate 73 has a flat plate shape and is fixed to the ceiling of the column 72A.
  • the support body 74 is supported on the ceiling of the column 72B via a slide guide 75.
  • Slide guide 75 includes an air ball lifter and a positioning mechanism, and positions support body 74 (that is, mask stage MST, which will be described later) at an appropriate position in the X-axis direction with respect to optical surface plate 73.
  • the illumination system IOP is arranged above the body 70.
  • the illumination system IOP irradiates the mask MSK with illumination light IL.
  • the detailed configuration of the illumination system IOP will be described later.
  • Mask stage MST is supported by support body 74.
  • a mask MSK having a pattern surface (lower surface in FIG. 1) on which a circuit pattern is formed is fixed to the mask stage MST by, for example, vacuum suction (or electrostatic suction).
  • Mask stage MST is driven with a predetermined stroke in the scanning direction (X-axis direction) by a drive system including, for example, a linear motor, and is also slightly driven in the non-scanning direction (Y-axis direction and ⁇ z direction).
  • Positional information (including rotational information in the ⁇ z direction) of mask stage MST in the XY plane is measured by an interferometer system.
  • the interferometer system irradiates a length measurement beam onto a movable mirror (or mirror-finished reflective surface (not shown)) provided at the end of mask stage MST, and receives reflected light from the movable mirror. Measure the position of mask stage MST.
  • the measurement results are supplied to a control device (not shown), and the control device drives mask stage MST via a drive system according to the measurement results of the interferometer system.
  • Projection optical system PL is supported by optical surface plate 73 below mask stage MST (-Z side).
  • the projection optical system PL is configured similarly to the projection optical system disclosed in, for example, U.S. Pat. 7), and forms a rectangular image field whose longitudinal direction is the Y-axis direction.
  • four projection optical units 100 are arranged at predetermined intervals in the Y-axis direction, and the remaining three projection optical units 100 are spaced apart from the four projection optical units 100 on the +X side and at predetermined intervals in the Y-axis direction. It is located in As each of the plurality of projection optical units 100, for example, one that forms an erect normal image with a double-sided telecentric, equal-magnification system is used.
  • the plurality of projection areas of the projection optical units 100 arranged in a staggered manner are collectively referred to as an exposure area.
  • the illumination light IL When the illumination region on the mask MSK is illuminated by the illumination light IL from the illumination system IOP, the illumination light IL that has passed through the mask MSK illuminates the circuit pattern of the mask MSK in the illumination region through the projection optical system PL.
  • a projected image (partially erected image) is formed in an irradiation area (exposure area (conjugate to the illumination area)) on the substrate P arranged on the image plane side of the projection optical system PL.
  • a resist sensitizer
  • the mask stage MST and substrate stage PST are driven synchronously, that is, the mask MSK is driven in the scanning direction (X-axis direction) with respect to the illumination area (illumination light IL), and the substrate P is moved into the exposure area (illumination light IL). By driving in the same scanning direction, the substrate P is exposed and the pattern of the mask MSK is transferred onto the substrate P.
  • the substrate stage PST is arranged on a base (vibration isolation table) 71 below (-Z side) the projection optical system PL.
  • a substrate P is held on substrate stage PST via a substrate holder (not shown).
  • Position information in the XY plane of substrate stage PST (including rotation information (yawing amount (rotation amount ⁇ z in the ⁇ z direction), pitching amount (rotation amount ⁇ x in the ⁇ x direction), rolling amount (rotation amount ⁇ y in the ⁇ y direction)) is measured by an interferometer system.
  • the interferometer system irradiates a length measurement beam from an optical surface plate 73 onto a movable mirror (or a mirror-finished reflective surface (not shown)) provided at the end of the substrate stage PST, and collects the reflected light from the movable mirror. By receiving light, the position of substrate stage PST is measured.
  • the measurement results are supplied to a control device (not shown), and the control device drives substrate stage PST according to the measurement results of the interferometer system.
  • the exposure apparatus 10 performs alignment measurement (eg, EGA, etc.) prior to exposure, and uses the results to expose the substrate P according to the following procedure.
  • mask stage MST and substrate stage PST are synchronously driven in the X-axis direction.
  • the control device moves (steps) substrate stage PST to a position corresponding to the second shot area.
  • scanning exposure is performed for the second shot area.
  • the control device transfers the pattern of the mask MSK to all shot areas on the substrate P by repeating stepping between shot areas of the substrate P and scanning exposure for the shot areas.
  • the illumination system IOP includes a plurality of illumination units 90 corresponding to each of the plurality of projection optical units 100 included in the projection optical system PL.
  • FIG. 2 is a diagram schematically showing the configuration of the lighting unit 90.
  • the illumination unit 90 includes a first light source unit OPU1, a second light source unit OPU2, and an illumination optical system 80.
  • the first light source unit OPU1 includes a first light source array 20A and a first enlarging optical system 30A
  • the second light source unit OPU2 includes a second light source array 20B and a second enlarging optical system 30B. , is provided.
  • FIG. 3(A) is a plan view schematically showing the configurations of the first light source array 20A and the second light source array 20B.
  • the first light source array 20A includes, for example, a plurality (5 ⁇ 5 in FIG. 3A) of LED (Light Emitting Diode) chips 23A arranged on a substrate 21A. The number of LED chips 23A may be changed as necessary.
  • Each of the plurality of LED chips 23A has a light emitting section 231A, and the peak wavelength of light emitted from the light emitting section 231A is within the range of 380 to 390 nm. That is, the light emitting section 231A is an ultraviolet LED (UV LED).
  • UV LED ultraviolet LED
  • the peak wavelength of the light emitted from the light emitting section 231A is 385 nm.
  • the light emitting surface of the light emitting section 231A is square, and the length of one side thereof is a1.
  • the LED chips 23A are arranged at a pitch P1.
  • the pitch P1 is the distance between the centers of adjacent LED chips 23A.
  • the second light source array 20B includes, for example, a plurality of (5 ⁇ 5 in FIG. 3A) LED chips 23B arranged on a substrate 21B.
  • the number of LED chips 23B may be changed as necessary.
  • Each of the plurality of LED chips 23B has a light emitting section 231B, and the peak wavelength of light emitted from the light emitting section 231B is within the range of 360 to 370 nm. That is, the light emitting section 231B is a UV LED. More preferably, the peak wavelength of the light emitted from the light emitting section 231B is 365 nm.
  • the light emitting surface of the light emitting section 231B is square, and the length of one side thereof is a2.
  • the LED chips 23B are arranged at a pitch P2.
  • the arrangement pitch P1 of the LED chips 23A and the arrangement pitch P2 of the LED chips 23B may be the same or different. Further, the length a1 of one side of the light emitting surface of the light emitting section 231A and the length a2 of one side of the light emitting surface of the light emitting section 231B may be the same or different. Note that the LED chips 23A and 23B may be arranged, for example, on a heat sink instead of on the substrate.
  • FIG. 3(B) is a diagram schematically showing the internal configurations of the first light source unit OPU1 and the second light source unit OPU2. Note that since the internal configurations of the first light source unit OPU1 and the second light source unit OPU2 are the same, the configuration of the first light source unit OPU1 will be described here as a representative.
  • the two directions in which the LED chips 23A are arranged are referred to as the X1 direction and the Y1 direction.
  • the X1 direction and the Y1 direction are orthogonal.
  • the direction perpendicular to the X1 direction and the Y1 direction is defined as the Z1 direction.
  • the Z1 direction is approximately parallel to the optical axis OA of light emitted by the light emitting section 231A.
  • FIG. 3(B) for clarity of the drawing, only four LED chips 23A lined up in a row along the Y1 direction are shown.
  • the first enlarging optical system 30A is an enlarging optical system for forming an enlarged image of the light emitting portion 231A of each LED chip 23A on a predetermined plane PP.
  • the first enlarging optical system 30A includes a plurality of lens sections 31A arranged to correspond to the arrangement of the LED chips 23A.
  • Each of the lens sections 31A is a double-sided telecentric optical system that enlarges and projects the light emitting section 231A at a magnification M1.
  • each lens section 31A includes four plano-convex lenses, but is not limited to this; each lens section 31A may include, for example, two biconvex lenses, It may also include three biconvex lenses. Further, each lens portion 31A may include, for example, a plano-convex lens and a biconvex lens.
  • the enlarged images of the plurality of light emitting sections 231A (231B) substantially touch each other on the predetermined plane PP.
  • the illumination optical system 80 includes a first condensing optical system (first optical system) 81A including a first dichroic mirror DM1, and a second condensing optical system (second optical system) 81B. , a second dichroic mirror DM2, an imaging optical system 83, a fly-eye lens FEL, an aperture stop 85, and a condenser optical system 84.
  • the first condensing optical system 81A forms a pupil of an enlarged image of the light emitting section 231A formed by the first enlarging optical system 30A. That is, the rear focal position of the first condensing optical system 81A is the position of the pupil.
  • the first condensing optical system 81A includes a first dichroic mirror DM1 in the middle of the optical path, and reflects at least a portion of the light having a peak wavelength of 385 nm. As a result, the light beam enters the second dichroic mirror DM2.
  • the first condensing optical system 81A may be configured without the first dichroic mirror DM1, and in that case, the arrangement of the first light source unit OPU1 and each lens of the first condensing optical system 81A may be changed. The arrangement may be appropriately adjusted so that the light beam is incident on the second dichroic mirror DM2. Further, the first condensing optical system 81A may be composed of one lens, or may be composed of a lens group including a plurality of lenses.
  • the second condensing optical system 81B forms a pupil of an enlarged image of the light emitting section 231B formed by the second enlarging optical system 30B. That is, the rear focal position of the second condensing optical system 81B is the position of the pupil.
  • the second condensing optical system 81B may be composed of one lens, or may be composed of a lens group including a plurality of lenses.
  • the second dichroic mirror DM2 transmits at least part of the light with a peak wavelength of 385 nm and reflects at least part of the light with a peak wavelength of 365 nm. Thereby, a composite image is formed in which the pupil image formed by the first condensing optical system 81A and the pupil image formed by the second condensing optical system 81B are superimposed.
  • the second dichroic mirror DM2 superimposes and synthesizes the pupil image formed by the first condensing optical system 81A and the pupil image formed by the second condensing optical system 81B. form an image. That is, the second dichroic mirror DM2 is arranged at a position that is the rear focal position of the first condensing optical system 81A and the rear focal position of the second condensing optical system 81B. Thereby, the second dichroic mirror DM2 is illuminated by Koehler illumination with the light emitted from the first light source unit OPU1 and the light emitted from the second light source unit OPU2.
  • the second dichroic mirror DM2 does not necessarily have to be arranged at the rear focal position of the first condensing optical system 81A, but is the rear focal position of the second condensing optical system 81B. , may be arranged so as to be located near the respective rear focal positions.
  • the term “nearby” means within ⁇ 100 mm from the rear focal position along the optical axis, preferably within ⁇ 50 mm, and more preferably ⁇ 20 mm. Note that the signs here are positive for the direction in which the light from the light source travels along the optical axis, and negative for the opposite direction.
  • FIG. 4 is a graph showing an example of the relationship between the angle of incidence on the dichroic mirror and the illuminance.
  • the horizontal axis represents the angle of incidence on the dichroic mirror
  • the vertical axis represents the illuminance of reflected light.
  • the illuminance on the vertical axis is defined as 1, which is the illuminance of reflected light when the light is incident on the dichroic mirror at the designed incident angle ⁇ .
  • the incident angle of the light beam to the dichroic mirror is about the designed incident angle ⁇ ⁇ 8°. This results in a change in illuminance of 3% or more.
  • the angle of incidence of the light beam on the dichroic mirror is within the range of the designed incidence angle ⁇ 4°, and the change in illuminance can be kept to 1% or less.
  • the difference between the illuminance of the light incident on the second dichroic mirror DM2 and the illuminance of the light reflected on the second dichroic mirror DM2 is reduced. Therefore, it is possible to realize illumination light IL having high brightness and less uneven illuminance.
  • the incident angle ⁇ of the light from the second condensing optical system 81B to the second dichroic mirror DM2 is set to 35°.
  • the incident angle ⁇ of 35° means that the incident angle ⁇ is within the range of 35° ⁇ 5°.
  • the incident angle ⁇ is preferably 25° or more and less than 45°, more preferably 25° or more and 42° or less, and even more preferably 35° ⁇ 5°.
  • the second dichroic mirror DM2 can reflect with high efficiency the light beam of the pupil image formed by the second condensing optical system 81B.
  • the illumination unit 90 includes a detector DT10 for monitoring light with a peak wavelength of 385 nm, a detector DT20 for monitoring light with a peak wavelength of 365 nm, and a detector DT20 for monitoring light with a peak wavelength of 385 nm and a peak wavelength of 365 nm.
  • a detector DT30 is provided for monitoring the light.
  • the detector DT10 detects the illuminance of the light with a peak wavelength of 385 nm reflected by the first dichroic mirror DM1.
  • the detector DT20 detects the illuminance of the light having a peak wavelength of 365 nm reflected by the second dichroic mirror DM2.
  • the detector DT30 detects the illuminance of the 385 nm light unintentionally reflected by the second dichroic mirror DM2 and the illuminance of the 365 nm light unintentionally transmitted by the second dichroic mirror DM2.
  • the detection results of the detectors DT10 to DT30 are output to a control device (not shown), and the control device outputs the LED chips 23A of the first light source unit OPU1 and the second light source unit OPU2, respectively, based on the detection results of the detectors DT10 to DT30. and controls the value of the current supplied to 23B.
  • the imaging optical system 83 is a double-sided telecentric optical system that projects the composite image synthesized by the second dichroic mirror DM2 at the same magnification onto the incident end of the fly's eye lens FEL. Note that the imaging optical system 83 may reduce and project the composite image synthesized by the second dichroic mirror DM2 onto the incident end of the fly's eye lens FEL.
  • the fly's eye lens FEL is constructed by densely arranging a large number of lens elements each having, for example, positive refractive power, vertically and horizontally so that their optical axes are parallel to the reference optical axis AX.
  • Each lens element constituting the fly's eye lens FEL has a rectangular cross section similar to the shape of the illumination field to be formed on the mask MSK (and thus the shape of the exposure area to be formed on the substrate P).
  • the light beam incident on the fly's eye lens FEL is wavefront-divided by a large number of lens elements, and one light source image is formed at or near the rear focal plane (output surface) of each lens element. That is, a substantial surface light source, ie, a secondary light source, consisting of a large number of light source images is formed at or near the rear focal plane (output surface) of the fly's eye lens FEL.
  • a light beam from a secondary light source formed at or near the rear focal plane (output surface) of the fly's eye lens FEL enters an aperture stop 85 arranged near it.
  • the rear focal plane (output surface) of the fly's eye lens FEL is optically conjugate with the first light source array 20A and the second light source array 20B.
  • the aperture stop 85 is arranged at a position that is optically approximately conjugate with the entrance pupil plane of the projection optical unit 100, and has a variable aperture for defining the range that contributes to the illumination of the secondary light source.
  • the aperture stop 85 changes the aperture diameter of the variable aperture to determine the ⁇ value (the aperture of the secondary light source image on the pupil plane relative to the aperture diameter of the pupil plane of the projection optical unit 100) that determines the illumination condition. ratio) to the desired value.
  • the light from the secondary light source passes through the aperture diaphragm 85 and, after being condensed by the condenser optical system 84, illuminates the mask MSK in which a predetermined pattern is formed in a superimposed manner.
  • the lighting unit 90 includes a first light source array 20A in which a plurality of LED chips 23A are arranged, each having a light emitting section 231A that emits light with a peak wavelength of 385 nm, and a first light source array 20A in which a plurality of LED chips 23A are arranged.
  • 23A a first enlarging optical system 30A that forms an enlarged image of each light emitting unit 231A; a first condensing optical system 81A that forms a pupil of an enlarged image formed by the first enlarging optical system 30A; Equipped with.
  • the illumination unit 90 forms an enlarged image of a second light source array 20B in which a plurality of LED chips 23B having a light emitting part 231B that emits light with a peak wavelength of 365 nm is arranged, and the light emitting part 231B of each of the LED chips 23B. It includes a second enlarging optical system 30B and a second condensing optical system 81B that forms a pupil of an enlarged image formed by the second enlarging optical system 30B.
  • the illumination unit 90 has a second condensing optical system 81A that superimposes the pupil image formed by the first condensing optical system 81A and a pupil image formed by the second condensing optical system 81B to form a composite image. It is equipped with a dichroic mirror DM2.
  • the light flux of the pupil image formed by the first condensing optical system 81A and the light flux of the pupil image formed by the second condensing optical system 81B illuminate the second dichroic mirror DM2. 4, compared to the case where the second dichroic mirror DM2 is used for critical illumination, it is possible to realize illumination light IL having higher luminance and less uneven illuminance.
  • the first enlarging optical system 30A is a lens array having a plurality of lens parts 31A arranged to correspond to each of the light emitting parts 231A
  • the second enlarging optical system 30B is a lens array having a plurality of lens sections 31B arranged so as to correspond to each of the light emitting sections 231B.
  • the lens sections 31A of the first enlarging optical system 30A each enlarge and project the light emitting section 231A at a magnification of (array pitch P1 of the LED chips 23A)/(length a1 of one side of the light emitting surface of the light emitting section 231A). It is a double-sided telecentric optical system.
  • each lens section 31B of the second enlarging optical system 30B projects the light emitting section 231B in an enlarged manner at a magnification of (array pitch P2 of the LED chips 23B)/(length a2 of one side of the light emitting surface of the light emitting section 231B). It is a double-sided telecentric optical system. Thereby, it is possible to form a surface light source in which the enlarged images of the plurality of light emitting parts 231A (231B) are substantially in contact with each other on the predetermined plane PP.
  • the illumination unit 90 includes a fly-eye lens FEL that outputs a light beam of a composite image synthesized by the second dichroic mirror DM2 as a light beam with a uniform illuminance distribution, and a second dichroic mirror DM2. and a double-sided telecentric imaging optical system 83 that projects the synthesized image onto the incident end of the fly's eye lens FEL at the same magnification.
  • the mask MSK can be uniformly illuminated.
  • the incident angle of the light beam of the pupil image formed by the second condensing optical system 81B to the second dichroic mirror DM2 is 35°. Therefore, the light beam of the pupil image formed by the second condensing optical system 81B can be reflected with high efficiency.
  • the light with a peak wavelength of 385 nm emitted from the first light source unit OPU1 is reflected by the first dichroic mirror DM1 and made to enter the second dichroic mirror DM2.
  • the dichroic mirror DM1 may be omitted and the light having a peak wavelength of 385 nm emitted from the first light source unit OPU1 may be made to directly enter the second dichroic mirror DM2.
  • the light emitting section 231A of the LED chip 23A emits light with a peak wavelength of 385 nm
  • the light emitting section 231B of the LED chip 23B emits light with a peak wavelength of 365 nm.
  • the light emitting section 231A may emit light with a peak wavelength of 365 nm
  • the light emitting section 231B of the LED chip 23B may emit light with a peak wavelength of 385 nm.
  • the first dichroic mirror DM1 reflects at least part of the light with a peak wavelength of 365 nm
  • the second dichroic mirror DM2 transmits at least part of the light with a peak wavelength of 365 nm
  • the second dichroic mirror DM2 transmits at least part of the light with a peak wavelength of 385 nm. What is necessary is just to be comprised so that at least a part of may be reflected.
  • the wavelengths of the light emitted by the first light source unit OPU1 and the second light source unit OPU2 are not limited to those described above, and the first light source unit OPU1 and the second light source unit OPU2 may be The light source unit OPU1 and the second light source unit OPU2 may be configured.
  • the first light source unit OPU1 may emit light with a peak wavelength of 405 nm
  • the second light source unit OPU2 may emit light with a peak wavelength of 385 nm.
  • the first light source unit OPU1 may emit light with a peak wavelength of 395 nm
  • the second light source unit OPU2 may emit light with a peak wavelength of 385 nm.
  • the combination of the wavelength of the light emitted from the first light source unit OPU1 and the wavelength of the light emitted from the second light source unit OPU2 is not limited to these examples. Note that if the combination of the wavelength of the light emitted by the first light source unit OPU1 and the wavelength of the light emitted by the second light source unit OPU2 is a combination other than that of the first embodiment, dichroic dichroic may be used as appropriate depending on the wavelength used. It is preferable to change the material of the mirror.
  • the second embodiment differs from the first embodiment in the magnifications M1 and M2 of the light emitting sections 231A and 231B by the first magnification optical system 30A and the second magnification optical system 30B.
  • FIG. 5 is a graph showing an example of the light distribution characteristics of the light emitting section 231A of the LED chip 23A.
  • the solid line indicates the theoretical light distribution characteristics (Lambert radiation) of the light emitting section 231A
  • the dotted line indicates the measurement results obtained by actually measuring the radiation intensity of the light emitted from the light emitting section 231A. This is a curve approximated by a sixth-order polynomial.
  • the radiant intensity of light in the range where the emission angle is greater than -50° and less than 50° is higher than the radiant intensity of Lambertian radiation, and the emission angle is -50°.
  • the radiant intensity of light in the range below 50° and the range above 50° is lower than the radiant intensity of Lambertian radiation.
  • the light emitted from the light emitting section 231A has a range of emission angles in which the radiation intensity is higher than the radiation intensity of Lambertian radiation. Therefore, by using the light whose emission angle is within the range (in the example of FIG. 5, ⁇ 50°) out of the light emitted from the light emitting unit 231A, the light emitted from the first light source unit OPU1 can be It is thought that brightness can be improved.
  • the magnification M1 when the first enlarging optical system 30A enlarges and projects the light emitting section 231A is set so as to satisfy the following formula (1). P1/a1 ⁇ M1 ⁇ sin ⁇ 1 /sin ⁇ 1 ...(1)
  • P1 is the arrangement pitch of the LED chips 23A
  • a1 is the length of one side of the light emitting surface of the light emitting part 231A
  • ⁇ 1 is the radiation intensity of the light emitted from the light emitting part 231A that is higher than Lambertian radiation.
  • the maximum emission angle of light, ⁇ 1 is the maximum emission angle of light emitted from the first enlarging optical system 30A.
  • sin ⁇ 1 is a value that makes the ratio ( ⁇ ) of the numerical aperture of the illumination optical system 80 to the numerical aperture of the projection optical unit 100 to 1.
  • magnification M2 when the second enlarging optical system 30B enlarges and projects the light emitting section 231B is set so as to satisfy the following formula (2).
  • P2 is the arrangement pitch of the LED chips 23B
  • a2 is the length of one side of the light emitting surface of the light emitting part 231B
  • ⁇ 2 is the radiation intensity of the light emitted from the light emitting part 231B that is higher than Lambertian radiation.
  • the maximum output angle of light, ⁇ 2 is the maximum output angle of light output from the second enlarging optical system 30B.
  • sin ⁇ 2 is a value that makes the ratio ( ⁇ ) of the numerical aperture of the illumination optical system 80 to the numerical aperture of the projection optical unit 100 to 1.
  • the peripheral portions of the light emitting surfaces of the light emitting parts 231A and 231B are enlarged at the predetermined surface PP.
  • the enlarged images of the areas except for will touch each other. This point will be explained.
  • FIGS. 6(A) and 6(B) are diagrams illustrating an enlarged image formed on the predetermined plane PP in the second embodiment. More specifically, FIG. 6(A) is a plan view showing the arranged LED chips 23A, and FIG. 6(B) is a plan view showing an enlarged image formed on the predetermined plane PP. To simplify the diagram, the explanation will be made using 2 ⁇ 2 rows of LED chips 23A.
  • the peripheral part of the light emitting surface of the light emitting part 231A of the LED chip 23A is defined as a peripheral region 231b, and the region excluding the peripheral region 231b is defined as a central region 231a.
  • the enlarged images MI1 of the central region 231a touch each other in the predetermined plane PP, as shown in FIG.
  • the enlarged image MI2 of the light emitting portion 231A including the light emitting portion 231a and the peripheral area 231b is formed such that the enlarged image MI2 partially overlaps with the light emitting portion 231A.
  • a surface light source is formed on the predetermined surface PP by light whose radiation intensity is higher than Lambertian radiation. Therefore, it is possible to increase the intensity of light emitted from the first light source unit OPU1 and the second light source unit OPU2.
  • a surface light source is formed by light emitted from a region (central region 231a) that emits light with a radiation intensity higher than Lambertian radiation among the light emitting surfaces of the light emitting parts 231A and 231B, so that the first light source The intensity of light emitted from the unit OPU1 and the second light source unit OPU2 can be increased.
  • FIG. 7(A) is a diagram showing the simulation results.
  • the horizontal axis shows the magnification
  • FIG. 7(A) it was confirmed that by making the magnification M1 larger than P1/a1, the illuminance was improved more than when the magnification M1 was set to P1/a1.
  • FIG. 7(B) is a diagram showing the simulation results.
  • the horizontal axis is the magnification
  • magnifications M1 and M2 it is possible to form a secondary light source with light whose radiation intensity is higher than Lambertian radiation, so that the light emitted from the first light source unit OPU1 and the second light source unit OPU2 is This makes it possible to increase the intensity of light.
  • the positional deviation of the LED chips 23A and 23B may occur. Due to the positional shift, the illuminance of the first light source array 20A and the second light source array 20B may decrease.
  • the magnification M1 and the magnification M2 larger than P1/a1 and P2/a2, respectively, it is possible to use only the inner regions of the light emitting surfaces of the light emitting sections 231A and 231B (regions excluding the peripheral portions). Therefore, even if the LED chips 23A and 23B are misaligned, a decrease in illuminance of the first light source array 20A and the second light source array 20B can be suppressed.
  • sin ⁇ 1 and sin ⁇ 2 are values that make the ratio ( ⁇ ) of the numerical aperture of the illumination optical system 80 to the numerical aperture of the projection optical unit 100 to 1.
  • Exposure device 20A First light source array 20B Second light source array 23A, 23B LED chips 231A, 231B Light emitting section 30A First enlarging optical system 30B Second enlarging optical system 31A, 31B Lens section 81A First condensing light Optical system 81B Second condensing optical system 80 Illumination optical system 90 Illumination unit 100 Projection optical unit OPU1 First light source unit OPU2 Second light source unit PL Projection optical system FEL Fly eye lens DM2 Second dichroic mirror

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Abstract

光源ユニットは、光を出射する発光部を有する光源素子を2次元平面上に複数配列した光源アレイと、前記光源素子の各々の前記発光部の拡大像を形成する拡大光学系と、を備え、前記拡大光学系は、倍率Mで拡大投影する両側テレセントリックな光学系であり、前記光源素子の配列ピッチをp、前記発光部の発光面の一辺の長さをa、前記発光部から出射する前記光のうちランバート放射よりも放射強度が高くなる光の最大出射角度をα、前記拡大光学系から出射する光の最大出射角度をθとした場合、前記倍率Mは、p/a<M≦sinα/sinθの条件を満たす。

Description

光源ユニット、照明ユニット、露光装置、及び露光方法
 光源ユニット、照明ユニット、露光装置、及び露光方法に関する。
 近年、パソコンやテレビ等の表示素子として、液晶表示パネルが多用されている。液晶表示パネルは、プレート(ガラス基板)上にフォトリソグラフィの手法で薄膜トランジスタの回路パターンを形成することによって製造される。このフォトリソグラフィ工程のための装置として、マスク上に形成された原画パターンを、投影光学系を介してプレート上のフォトレジスト層に投影露光する露光装置が用いられている(例えば、特許文献1)。
 一般に、上述の露光装置を含む様々な光学装置に適用することのできる高輝度な面光源の実現が求められている。
特開2000-21712号公報
 第1の開示の態様によれば、光源ユニットは、光を出射する発光部を有する光源素子を2次元平面上に複数配列した光源アレイと、前記光源素子の各々の前記発光部の拡大像を形成する拡大光学系と、を備え、前記拡大光学系は、倍率Mで拡大投影する両側テレセントリックな光学系であり、前記光源素子の配列ピッチをp、前記発光部の発光面の一辺の長さをa、前記発光部から出射する前記光のうちランバート放射よりも放射強度が高くなる光の最大出射角度をα、前記拡大光学系から出射する光の最大出射角度をθとした場合、前記倍率Mは、p/a<M≦sinα/sinθの条件を満たす。
 第2の開示の態様によれば、照明ユニットは、上記光源ユニットと、前記光源ユニットから出射された光を被照射体に導く照明光学系と、を備える。
 第3の開示の態様によれば、照明ユニットは、複数の上記光源ユニットと、複数の前記光源ユニットから出射された光を合成する合成光学素子を含み、前記合成光学素子から出射された合成光を被照射体に導く照明光学系と、を備える。
 第4の開示の態様によれば、露光装置は、上記照明ユニットと、前記照明ユニットにより照明される前記被照射体のパターン像を感光性基板上に投影する投影光学系と、を備える。
 第5の開示の態様によれば、露光方法は、上記露光装置を用いた露光方法であって、前記照明ユニットにより前記被照射体を照明することと、前記投影光学系を用いて前記被照射体のパターン像を前記感光性基板へ投影することと、を含む。
 なお、後述の実施形態の構成を適宜改良しても良く、また、少なくとも一部を他の構成物に代替させても良い。更に、その配置について特に限定のない構成要件は、実施形態で開示した配置に限らず、その機能を達成できる位置に配置することができる。
図1は、第1実施形態に係る露光装置の構成を示す概略図である。 図2は、第1実施形態に係る照明ユニットの構成を示す概略図である。 図3(A)は、第1及び第2の光源アレイの構成を概略的に示す平面図であり、図3(B)は、第1及び第2光源ユニットの内部構成を概略的に示す図である。 図4は、ダイクロイックミラーへの入射角度と照度との関係の一例を示すグラフである。 図5は、LEDチップの発光部の配光特性の一例を示すグラフである。 図6(A)及び図6(B)は、第2実施形態において所定面に形成される拡大像について説明する図である。 図7(A)及び図7(B)は、シミュレーション結果を示す図である。
《第1実施形態》
 第1実施形態に係る露光装置10について、図1~図4に基づいて説明する。
(露光装置の構成)
 まず、図1を用いて第1実施形態に係る露光装置10の構成について説明する。図1は、第1実施形態に係る露光装置10の構成を概略的に示す図である。
 露光装置10は、マスクMSKとガラス基板(以下、「基板」と呼ぶ)Pとを投影光学系PLに対して同一方向に同一速度で駆動することで、マスクMSKに形成されたパターンを基板P上に転写するスキャニング・ステッパ(スキャナ)である。基板Pは、例えば液晶表示装置(フラットパネルディスプレイ)に用いられる矩形のガラス基板であり、少なくとも一辺の長さ又は対角長が500mm以上である。
 以下においては、走査露光の際にマスクMSK及び基板Pが駆動される方向(走査方向)をX軸方向とし、これに直交する水平面内での方向をY軸方向、X軸及びY軸に直交する方向をZ軸方向、X軸、Y軸、及びZ軸回りの回転(傾斜)方向をそれぞれθx、θy、及びθz方向とする。
 露光装置10は、照明系IOP、マスクMSKを保持するマスクステージMST、投影光学系PL、これらを支持するボディ70、基板Pを保持する基板ステージPST、及びこれらの制御系等を備える。制御系は、露光装置10の構成各部を統括制御する。
 ボディ70は、ベース(防振台)71、コラム72A,72B、光学定盤73、支持体74、及びスライドガイド75を備える。ベース(防振台)71は、床F上に配置され、床Fからの振動を除振してコラム72A,72B等を支持する。コラム72A,72Bはそれぞれ枠体形状を有し、コラム72Bの内側にコラム72Aが配置されている。光学定盤73は、平板形状を有し、コラム72Aの天井部に固定されている。支持体74は、コラム72Bの天井部にスライドガイド75を介して支持されている。スライドガイド75は、エアボールリフタと位置決め機構とを備え、支持体74(すなわち後述するマスクステージMST)を光学定盤73に対してX軸方向の適当な位置に位置決めする。
 照明系IOPは、ボディ70の上方に配置されている。照明系IOPは、照明光ILをマスクMSKに照射する。照明系IOPの詳細な構成については、後述する。
 マスクステージMSTは、支持体74に支持されている。マスクステージMSTには、回路パターンが形成されたパターン面(図1における下面)を有するマスクMSKが、例えば真空吸着(あるいは静電吸着)により固定されている。マスクステージMSTは、例えばリニアモーターを含む駆動系により走査方向(X軸方向)に所定のストロークで駆動されるとともに、非走査方向(Y軸方向及びθz方向)に微少駆動される。
 マスクステージMSTのXY平面内の位置情報(θz方向の回転情報を含む)は、干渉計システムにより計測される。干渉計システムは、マスクステージMSTの端部に設けられた移動鏡(又は鏡面加工された反射面(不図示))に測長ビームを照射し、移動鏡からの反射光を受光することにより、マスクステージMSTの位置を計測する。その計測結果は制御装置(不図示)に供給され、制御装置は、干渉計システムの計測結果に従って、駆動系を介してマスクステージMSTを駆動する。
 投影光学系PLは、マスクステージMSTの下方(-Z側)において、光学定盤73に支持されている。投影光学系PLは、例えば米国特許第5,729,331号明細書に開示された投影光学系と同様に構成され、マスクMSKのパターン像の投影領域が例えば千鳥状に配置された複数(例えば7)の投影光学ユニット100(マルチレンズ投影光学ユニット)を含み、Y軸方向を長手方向とする矩形形状のイメージフィールドを形成する。ここでは、4つの投影光学ユニット100がY軸方向に所定間隔で配置され、残りの3つの投影光学ユニット100が、4つの投影光学ユニット100から+X側に離間して、Y軸方向に所定間隔で配置されている。複数の投影光学ユニット100のそれぞれとして、例えば両側テレセントリックな等倍系で正立正像を形成するものが用いられる。なお、千鳥状に配置された投影光学ユニット100の複数の投影領域をまとめて露光領域と呼ぶ。
 照明系IOPからの照明光ILによってマスクMSK上の照明領域が照明されると、マスクMSKを透過した照明光ILにより、投影光学系PLを介して、その照明領域内のマスクMSKの回路パターンの投影像(部分正立像)が、投影光学系PLの像面側に配置される基板P上の照射領域(露光領域(照明領域に共役))に形成される。ここで、基板Pの表面にはレジスト(感応剤)が塗布されている。マスクステージMSTと基板ステージPSTとを同期駆動する、すなわちマスクMSKを照明領域(照明光IL)に対して走査方向(X軸方向)に駆動するとともに、基板Pを露光領域(照明光IL)に対して同じ走査方向に駆動することで、基板Pが露光されて基板P上にマスクMSKのパターンが転写される。
 基板ステージPSTは、投影光学系PLの下方(-Z側)のベース(防振台)71上に配置されている。基板ステージPST上に、基板Pが、基板ホルダ(不図示)を介して保持されている。
 基板ステージPSTのXY平面内の位置情報(回転情報(ヨーイング量(θz方向の回転量θz)、ピッチング量(θx方向の回転量θx)、ローリング量(θy方向の回転量θy))を含む)は、干渉計システムによって計測される。干渉計システムは、光学定盤73から基板ステージPSTの端部に設けられた移動鏡(又は鏡面加工された反射面(不図示))に測長ビームを照射し、移動鏡からの反射光を受光することにより、基板ステージPSTの位置を計測する。その計測結果は制御装置(不図示)に供給され、制御装置は、干渉計システムの計測結果に従って基板ステージPSTを駆動する。
 露光装置10では、露光に先立ってアライメント計測(例えば、EGA等)を行い、その結果を用いて、以下の手順で、基板Pを露光する。まず、制御装置の指示に従い、マスクステージMST及び基板ステージPSTをX軸方向に同期駆動する。これにより、基板P上の1つめのショット領域への走査露光を行う。1つめのショット領域に対する走査露光が終了すると、制御装置は、基板ステージPSTを2つめのショット領域に対応する位置へ移動(ステッピング)する。そして、2つめのショット領域に対する走査露光を行う。制御装置は、同様に、基板Pのショット領域間のステッピングとショット領域に対する走査露光とを繰り返して、基板P上の全てのショット領域にマスクMSKのパターンを転写する。
(照明系IOPの構成)
 次に、本実施形態における照明系IOPの構成について説明する。照明系IOPは、投影光学系PLが備える複数の投影光学ユニット100それぞれに対応する複数の照明ユニット90を備える。
 図2は、照明ユニット90の構成を概略的に示す図である。図2に示すように、照明ユニット90は、第1光源ユニットOPU1と、第2光源ユニットOPU2と、照明光学系80と、を備える。
(光源ユニットの構成)
 第1光源ユニットOPU1は、第1の光源アレイ20Aと、第1の拡大光学系30Aと、を備え、第2光源ユニットOPU2は、第2の光源アレイ20Bと、第2の拡大光学系30Bと、を備える。
 図3(A)は、第1の光源アレイ20A及び第2の光源アレイ20Bの構成を概略的に示す平面図である。第1の光源アレイ20Aは、例えば基板21A上に配列された複数(図3(A)では、5×5)のLED(Light Emitting Diode)チップ23Aを備える。LEDチップ23Aの個数は必要に応じて適宜変更してもよい。複数のLEDチップ23Aは各々、発光部231Aを有し、当該発光部231Aから出射する光のピーク波長は380~390nmの範囲内にある。すなわち、発光部231Aは、紫外線LED(UV LED)である。発光部231Aから出射する光のピーク波長は385nmであることがより好ましい。発光部231Aの発光面は正方形であり、その一辺の長さはa1である。LEDチップ23Aは、ピッチP1で配列されている。ピッチP1は、隣り合うLEDチップ23Aの中心間の距離である。
 第2の光源アレイ20Bは、例えば基板21B上に配列された複数(図3(A)では、5×5)のLEDチップ23Bを備える。LEDチップ23Bの個数は必要に応じて適宜変更してもよい。複数のLEDチップ23Bは各々、発光部231Bを有し、当該発光部231Bから出射する光のピーク波長は360~370nmの範囲内にある。すなわち、発光部231Bは、UV LEDである。発光部231Bから出射する光のピーク波長は365nmであることがより好ましい。発光部231Bの発光面は正方形であり、その一辺の長さはa2である。LEDチップ23Bは、ピッチP2で配列されている。
 LEDチップ23Aの配列ピッチP1と、LEDチップ23Bの配列ピッチP2とは、同一でもよいし、異なっていてもよい。また、発光部231Aの発光面の一辺の長さa1と、発光部231Bの発光面の一辺の長さa2と、は、同一でもよいし、異なっていてもよい。なお、LEDチップ23Aおよび23Bは、基板上ではなく、例えばヒートシンク上に配列されていてもよい。
 図3(B)は、第1光源ユニットOPU1及び第2光源ユニットOPU2の内部構成を概略的に示す図である。なお、第1光源ユニットOPU1及び第2光源ユニットOPU2の内部構成は同一であるため、ここでは、第1光源ユニットOPU1の構成を代表して説明する。ここでLEDチップ23Aが配列された2方向を、X1方向及びY1方向とする。X1方向とY1方向とは直交している。また、X1方向及びY1方向に直交する方向をZ1方向とする。Z1方向は、発光部231Aが出射する光の光軸OAと略平行である。図3(B)では、図面の明瞭化のために、Y1方向に沿って一列に並んだ4つのLEDチップ23Aだけを示している。
 図3(B)に示すように、第1の拡大光学系30Aは、各LEDチップ23Aの発光部231Aの拡大像を所定面PPにそれぞれ形成するための拡大光学系である。第1の拡大光学系30Aは、LEDチップ23Aの配列と対応するように配列された複数のレンズ部31Aを備える。レンズ部31Aは各々、発光部231Aを、倍率M1で拡大投影する両側テレセントリックな光学系である。
 本実施形態において各レンズ部31Aは、4枚の平凸レンズを備えているが、これに限定されるものではなく、各レンズ部31Aは、例えば2枚の両凸レンズを備えていてもよいし、3枚の両凸レンズを備えていてもよい。また、各レンズ部31Aは、例えば、平凸レンズと両凸レンズとを備えていてもよい。
 本実施形態では、レンズ部31Aは、倍率M1=(LEDチップ23Aの配列ピッチP1)/(発光部231Aの発光面の一辺の長さa1)で発光部231Aを拡大投影する。一方、第2の拡大光学系30Bが備えるレンズ部31Bは、倍率M2=(LEDチップ23Bの配列ピッチP2)/(発光部231Bの発光面の一辺の長さa2)で発光部231Bを拡大投影する。これにより、複数の発光部231A(231B)の拡大像は、所定面PPにおいて互いにほぼ接する。
(照明光学系80の構成)
 再び図2を参照し、照明光学系80の構成について説明する。照明光学系80は、第1のダイクロイックミラーDM1を含んで構成される第1の集光光学系(第1の光学系)81Aと、第2の集光光学系(第2の光学系)81Bと、第2のダイクロイックミラーDM2と、結像光学系83と、フライアイレンズFELと、開口絞り85と、コンデンサー光学系84と、を備える。
 第1の集光光学系81Aは、第1の拡大光学系30Aによって形成される発光部231Aの拡大像の瞳を形成する。すなわち、第1の集光光学系81Aの後側焦点位置が瞳の位置となる。第1の集光光学系81Aは、光路の途中に第1のダイクロイックミラーDM1を有し、ピーク波長385nmの光の少なくとも一部を反射する。これにより、第2のダイクロイックミラーDM2に光束が入射する。なお、第1の集光光学系81Aは、第1のダイクロイックミラーDM1を備えない構成としてもよく、その場合は、第1光源ユニットOPU1の配置と第1の集光光学系81Aの各レンズの配置を適宜調整して第2のダイクロイックミラーDM2に光束が入射するように構成すればよい。また、第1の集光光学系81Aは、1枚のレンズで構成されていてもよいし、複数枚のレンズを含むレンズ群で構成されていてもよい。
 第2の集光光学系81Bは、第2の拡大光学系30Bによって形成される発光部231Bの拡大像の瞳を形成する。すなわち、第2の集光光学系81Bの後側焦点位置が瞳の位置となる。第2の集光光学系81Bは、1枚のレンズで構成されていてもよいし、複数枚のレンズを含むレンズ群で構成されていてもよい。
 第2のダイクロイックミラーDM2は、ピーク波長385nmの光の少なくとも一部を透過し、ピーク波長365nmの光の少なくとも一部を反射する。これにより、第1の集光光学系81Aによって形成された瞳像と、第2の集光光学系81Bによって形成された瞳像とを重ね合わせた合成像が形成される。
 本実施形態において、第2のダイクロイックミラーDM2は、第1の集光光学系81Aによって形成された瞳像と、第2の集光光学系81Bによって形成された瞳像と、を重ね合わせて合成像を形成する。すなわち、第2のダイクロイックミラーDM2は、第1の集光光学系81Aの後側焦点位置であって、第2の集光光学系81Bの後側焦点位置である位置に配置される。これにより、第2のダイクロイックミラーDM2は、第1光源ユニットOPU1から出射した光と、第2光源ユニットOPU2から出射した光と、にケーラー照明される。ケーラー照明することにより、第1の集光光学系81Aによって形成された瞳像の光束の照度変化及び第2の集光光学系81Bによって形成された瞳像の光束の照度変化を小さくすることができる。なお、第2のダイクロイックミラーDM2は、必ずしも第1の集光光学系81Aの後側焦点位置であって、第2の集光光学系81Bの後側焦点位置である位置に配置されなくともよく、それぞれの後側焦点位置の近傍に位置するように配置されてもよい。ここで、近傍とは、後側焦点位置から光軸に沿って±100mm以内のことをいい、±50mm以内であることが好ましく、±20mmであることがより好ましい。なお、ここでの符号は、光源からの光が光軸に沿って進む方向をプラスとし、その反対方向をマイナスとしている。
 図4は、ダイクロイックミラーへの入射角度と照度との関係の一例を示すグラフである。図4において、横軸は、ダイクロイックミラーへの入射角度を示し、縦軸は反射光の照度を示している。縦軸の照度は、光がダイクロイックミラーに設計入射角度αで入射したときの反射光の照度を1としている。
 図4に示すように、ダイクロイックミラーをクリティカル照明した場合(すなわち、光源の像をダイクロイックミラーの位置に結像させた場合)、光束のダイクロイックミラーへの入射角度は設計入射角度α±8°程度の範囲となり、3%以上の照度変化が発生してしまう。一方、ダイクロイックミラーをケーラー照明した場合、光束のダイクロイックミラーへの入射角度は設計入射角度α±4°程度の範囲となり、照度変化を1%以下とすることができる。このように、第2のダイクロイックミラーDM2をケーラー照明することによって、第2のダイクロイックミラーDM2に入射した光の照度と、第2のダイクロイックミラーDM2に反射された光の照度との差を小さくすることができるため、高い輝度を有しかつ照度ムラが少ない照明光ILを実現することができる。
 本実施形態では、第2の集光光学系81Bからの光の第2のダイクロイックミラーDM2への入射角度θを35°としている。入射角度θが35°とは、入射角度θが35°±5°の範囲内にあることを意味する。なお、入射角度θは、25°以上45°未満が好ましく、25°以上42°以下がより好ましく、35°±5°がさらに好ましい。これにより、第2のダイクロイックミラーDM2が、第2の集光光学系81Bによって形成された瞳像の光束を高い効率で反射できる。
 図2に戻り、照明ユニット90には、ピーク波長385nmの光をモニタリングするための検出器DT10と、ピーク波長365nmの光をモニタリングするための検出器DT20と、ピーク波長385nmの光とピーク波長365nmの光とをモニタリングするための検出器DT30と、が設けられている。
 具体的には、検出器DT10は、第1のダイクロイックミラーDM1に反射されたピーク波長385nmの光の照度を検出する。検出器DT20は、第2のダイクロイックミラーDM2に反射されたピーク波長365nmの光の照度を検出する。検出器DT30は、第2のダイクロイックミラーDM2により意図せず反射された385nmの光の照度と、第2のダイクロイックミラーDM2が意図せず透過した365nmの光の照度と、を検出する。
 検出器DT10~DT30の検出結果は不図示の制御装置に出力され、制御装置は検出器DT10~DT30の検出結果に基づいて、第1光源ユニットOPU1及び第2光源ユニットOPU2がそれぞれ備えるLEDチップ23A及び23Bに供給する電流の値等を制御する。
 結像光学系83は、第2のダイクロイックミラーDM2が合成した合成像をフライアイレンズFELの入射端に等倍投影する両側テレセントリックな光学系である。なお、結像光学系83は、第2のダイクロイックミラーDM2が合成した合成像をフライアイレンズFELの入射端に縮小投影してもよい。
 フライアイレンズFELは、たとえば正の屈折力を有する多数のレンズエレメントをその光軸が基準光軸AXと平行になるように縦横に且つ稠密に配列することによって構成されている。フライアイレンズFELを構成する各レンズエレメントは、マスクMSK上において形成すべき照野の形状(ひいては基板P上において形成すべき露光領域の形状)と相似な矩形状の断面を有する。
 したがって、フライアイレンズFELに入射した光束は多数のレンズエレメントにより波面分割され、各レンズエレメントの後側焦点面(出射面)またはその近傍には1つの光源像がそれぞれ形成される。すなわち、フライアイレンズFELの後側焦点面(出射面)またはその近傍には、多数の光源像からなる実質的な面光源すなわち二次光源が形成される。フライアイレンズFELの後側焦点面(出射面)またはその近傍に形成された二次光源からの光束は、その近傍に配置された開口絞り85に入射する。なお、本実施形態においてフライアイレンズFELの後側焦点面(出射面)と、第1の光源アレイ20A及び第2の光源アレイ20Bとは、光学的に共役である。
 開口絞り85は、投影光学ユニット100の入射瞳面と光学的にほぼ共役な位置に配置され、二次光源の照明に寄与する範囲を規定するための可変開口部を有する。そして、開口絞り85は、可変開口部の開口径を変化させることにより、照明条件を決定するσ値(投影光学ユニット100の瞳面の開口径に対するその瞳面上での二次光源像の口径の比)を所望の値に設定する。開口絞り85を介した二次光源からの光は、コンデンサー光学系84の集光作用を受けた後、所定のパターンが形成されたマスクMSKを重畳的に照明する。
 以上、詳細に説明したように、第1実施形態に係る照明ユニット90は、ピーク波長385nmの光を出射する発光部231Aを有するLEDチップ23Aを複数配列した第1の光源アレイ20Aと、LEDチップ23Aの各々の発光部231Aの拡大像を形成する第1の拡大光学系30Aと、第1の拡大光学系30Aによって形成される拡大像の瞳を形成する第1の集光光学系81Aと、を備える。また、照明ユニット90は、ピーク波長365nmの光を出射する発光部231Bを有するLEDチップ23Bを複数配列した第2の光源アレイ20Bと、LEDチップ23Bの各々の発光部231Bの拡大像を形成する第2の拡大光学系30Bと、第2の拡大光学系30Bによって形成される拡大像の瞳を形成する第2の集光光学系81Bと、を備える。さらに、照明ユニット90は、第1の集光光学系81Aによって形成された瞳像と、第2の集光光学系81Bによって形成された瞳像と、を重ね合わせて合成像を形成する第2のダイクロイックミラーDM2を備える。
 第1の集光光学系81Aによって形成された瞳像の光束と、第2の集光光学系81Bによって形成された瞳像の光束と、が第2のダイクロイックミラーDM2をケーラー照明するので、図4において説明したように、第2のダイクロイックミラーDM2をクリティカル照明する場合と比較して、高い輝度を有しかつ照度ムラが少ない照明光ILを実現することができる。
 また、本第1実施形態において、第1の拡大光学系30Aは、発光部231Aの各々に対応するように配置された複数のレンズ部31Aを有するレンズアレイであり、第2の拡大光学系30Bは、発光部231Bの各々に対応するように配置された複数のレンズ部31Bを有するレンズアレイである。そして、第1の拡大光学系30Aのレンズ部31Aは各々、発光部231Aを、(LEDチップ23Aの配列ピッチP1)/(発光部231Aの発光面の一辺の長さa1)の倍率で拡大投影する両側テレセントリックな光学系である。また、第2の拡大光学系30Bのレンズ部31Bは各々、発光部231Bを、(LEDチップ23Bの配列ピッチP2)/(発光部231Bの発光面の一辺の長さa2)の倍率で拡大投影する両側テレセントリックな光学系である。これにより、複数の発光部231A(231B)の拡大像が所定面PPにおいて互いにほぼ接する面光源を形成できる。
 また、本第1実施形態において、照明ユニット90は、第2のダイクロイックミラーDM2が合成した合成像の光束を均一な照度分布の光束にして出射するフライアイレンズFELと、第2のダイクロイックミラーDM2が合成した合成像をフライアイレンズFELの入射端に等倍投影する両側テレセントリックな結像光学系83と、を備える。これにより、マスクMSKを均一に照明することができる。
 また、本第1実施形態において、第2の集光光学系81Bにより形成された瞳像の光束の第2のダイクロイックミラーDM2への入射角度は、35°である。これにより、第2の集光光学系81Bにより形成された瞳像の光束を高い効率で反射することができる。
 なお、上記第1実施形態において、第1光源ユニットOPU1から出射されたピーク波長385nmの光を第1のダイクロイックミラーDM1に反射させて第2のダイクロイックミラーDM2に入射させていたが、第1のダイクロイックミラーDM1を省略し、第1光源ユニットOPU1から出射されたピーク波長385nmの光を第2のダイクロイックミラーDM2に直接入射させてもよい。
 また、上記第1実施形態では、LEDチップ23Aの発光部231Aがピーク波長385nmの光を出射し、LEDチップ23Bの発光部231Bがピーク波長365nmの光を出射していたが、LEDチップ23Aの発光部231Aがピーク波長365nmの光を出射し、LEDチップ23Bの発光部231Bがピーク波長385nmの光を出射してもよい。この場合、第1のダイクロイックミラーDM1が、ピーク波長365nmの光の少なくとも一部を反射し、第2のダイクロイックミラーDM2が、ピーク波長365nmの光の少なくとも一部を透過し、ピーク波長385nmの光の少なくとも一部を反射するように構成すればよい。
 なお、第1光源ユニットOPU1及び第2光源ユニットOPU2が出射する光の波長は上述したものに限られず、360~440nmの範囲内にピーク波長を有する光を出射するLEDチップを適宜組み合わせて第1光源ユニットOPU1と第2光源ユニットOPU2を構成してもよい。例えば、第1光源ユニットOPU1がピーク波長405nmの光を出射し、かつ、第2光源ユニットOPU2がピーク波長385nmの光を出射するように構成してもよい。また、第1光源ユニットOPU1がピーク波長395nmの光を出射し、かつ、第2光源ユニットOPU2がピーク波長385nmの光を出射するように構成してもよい。第1光源ユニットOPU1から出射する光の波長と第2光源ユニットOPU2が出射する光の波長の組み合わせは、これらの例示には限られない。なお、第1光源ユニットOPU1が出射する光の波長と第2光源ユニットOPU2が出射する光の波長の組み合わせを、本第1実施形態以外の組み合わせとする場合は、使用する波長に応じて適宜ダイクロイックミラーの材料を変更することが好ましい。
《第2実施形態》
 次に、第2実施形態について説明する。第2実施形態は、第1の拡大光学系30A及び第2の拡大光学系30Bによる発光部231A及び231Bの拡大倍率M1及びM2が第1実施形態と異なる。
(LEDチップについて)
 図5は、LEDチップ23Aの発光部231Aの配光特性の一例を示すグラフである。図5において、実線は、発光部231Aの理論上の配光特性(ランバート(Lambert)放射)を示し、点線は、発光部231Aから出射される光の放射強度を実際に計測し、計測結果を6次多項式で近似した曲線である。
 図5の例では、発光部231Aから出射する光のうち、出射角度が-50°よりも大きく50°未満の範囲の光の放射強度がランバート放射の放射強度よりも高く、出射角度が-50°以下の範囲及び50°以上の範囲の光の放射強度がランバート放射の放射強度よりも低くなっている。このように、発光部231Aから出射する光には、その放射強度がランバート放射の放射強度よりも高くなる出射角度の範囲が存在する。したがって、発光部231Aから出射される光のうち出射角度が当該範囲内(図5の例では、±50°の範囲)の光を使用することで、第1光源ユニットOPU1から出射される光の輝度を向上させることができると考えられる。
 そこで、第2実施形態では、第1の拡大光学系30Aが発光部231Aを拡大投影するときの倍率M1を以下の式(1)を満たすように設定する。
 P1/a1<M1≦sinα/sinθ          ・・・(1)
 ここで、P1は、LEDチップ23Aの配列ピッチ、a1は、発光部231Aの発光面の一辺の長さ、αは発光部231Aから出射される光のうちランバート放射よりも放射強度が高くなる光の最大出射角度、θは、第1の拡大光学系30Aから出射する光の最大出射角度である。なお、sinθは、投影光学ユニット100の開口数に対する照明光学系80の開口数の比(σ)を1にする値である。なお、図3におけるX1方向でのLEDチップ23Aの配列ピッチP1及び発光部231Aの発光面の一辺の長さa1と、Y1方向でのLEDチップ23Aの配列ピッチP1及び発光部231Aの発光面の一辺の長さa1とが異なる場合は、X1方向とY1方向のそれぞれにおいて式(1)を満たすように設定すればよい。
 また、第2の拡大光学系30Bが発光部231Bを拡大投影するときの倍率M2を以下の式(2)を満たすように設定する。
 P2/a2<M2≦sinα/sinθ          ・・・(2)
 ここで、P2は、LEDチップ23Bの配列ピッチ、a2は、発光部231Bの発光面の一辺の長さ、αは発光部231Bから出射される光のうちランバート放射よりも放射強度が高くなる光の最大出射角度、θは、第2の拡大光学系30Bから出射する光の最大出射角度である。なお、sinθは、投影光学ユニット100の開口数に対する照明光学系80の開口数の比(σ)を1にする値である。なお、図3におけるX1方向でのLEDチップ23Bの配列ピッチP2及び発光部231Bの発光面の一辺の長さa2と、Y1方向でのLEDチップ23Bの配列ピッチP2及び発光部231Bの発光面の一辺の長さa2とが異なる場合は、X1方向とY1方向のそれぞれにおいて式(2)を満たすように設定すればよい。
 このような式(1)を満たす倍率M1及び式(2)を満たす倍率M2で発光部231A及び231Bをそれぞれ拡大することにより、所定面PPでは、発光部231A及び231Bの発光面のうち周縁部を除いた領域の拡大像が互いに接することとなる。この点について説明する。
 図6(A)及び図6(B)は、第2実施形態において所定面PPに形成される拡大像について説明する図である。より具体的には、図6(A)は、配列されたLEDチップ23Aを示す平面図であり、図6(B)は、所定面PPに形成される拡大像を示す平面図である。図の簡略化のため、2×2列のLEDチップ23Aを用いて説明する。
 図6(A)に示すように、LEDチップ23Aの発光部231Aの発光面のうち、周縁部を周縁領域231bと定義し、周縁領域231bを除く領域を中央領域231aと定義する。この場合、式(1)を満たす倍率M1で発光部231Aの拡大像を形成すると、図6(B)に示すように、所定面PPにおいて、中央領域231aの拡大像MI1が互いに接し、中央領域231aと周縁領域231bとを含む発光部231Aの拡大像MI2は一部が重なるように、拡大像が形成される。
 式(1)及び(2)をそれぞれ満たす倍率M1及びM2で発光部231A及び231Bをそれぞれ拡大することで、放射強度がランバート放射よりも高くなる光によって、所定面PPに面光源を形成することができるため、第1光源ユニットOPU1及び第2光源ユニットOPU2から出射される光の強度を高めることが可能となる。言い換えると、発光部231A及び231Bの発光面のうち、放射強度がランバート放射よりも高い光を出射する領域(中央領域231a)から出射された光によって面光源が形成されることにより、第1光源ユニットOPU1及び第2光源ユニットOPU2から出射される光の強度を高めることができる。
[シミュレーション1]
 第1の拡大光学系30Aによる発光部231Aの拡大倍率M1を変えて、第1の拡大光学系30Aによって形成された拡大像の所定面での照度をシミュレーションした。シミュレーション条件は以下のとおりである。
  LEDチップ23A:日亜化学工業株式会社製NVSU233B
  発光部231Aの発光面の一辺の長さ:1.4mm
  配列ピッチP1:4mm
  α:50°
  θ:8°
 この場合、倍率M1の条件は、4mm/1.4mm=2.9<M1≦sin50°/sin8°=5.5である。そこで、倍率M1=2.79、倍率M1=3.6倍の場合について、照度をシミュレーションした。
 図7(A)は、シミュレーション結果を示す図である。図7(A)において、横軸は倍率を示し、縦軸は、倍率M1=2.79のときの照度を1としたときの照度比率である。図7(A)に示すように、倍率M1をP1/a1よりも大きくすることにより、倍率M1をP1/a1とした場合よりも照度が向上することが確かめられた。
[シミュレーション2]
 シミュレーション1で使用したLEDチップ23Aとは異なるLEDチップ23Aを用いて、シミュレーション1と同様に倍率M1を変更して照度をシミュレーションした。シミュレーション条件は以下のとおりである。
  LEDチップ23A:日亜化学工業株式会社製NWSU333B
  発光部231Aの発光面の一辺の長さ:1.9mm
  配列ピッチP1:7mm
  α:50°
  θ:8°
 この場合、倍率M1の条件は、7mm/1.9mm=3.68<M1≦sin50°/sin8°=5.5である。そこで、倍率M1=3.68、倍率M1=4.38、倍率M1=4.65の場合について、照度をシミュレーションした。
 図7(B)は、シミュレーション結果を示す図である。図7(B)において、横軸は倍率であり、縦軸は、倍率M1=4.38のときの照度を1としたときの照度比率である。図7(B)に示すように、倍率M1をP1/a1よりも大きくすることにより、倍率M1をP1/a1とした場合よりも照度が向上することが確かめられた。
 以上、詳細に説明したように、第2実施形態によれば、第1の拡大光学系30Aが発光部231Aを拡大投影するときの倍率M1は、P1/a1<M1≦sinα/sinθを満たし、第2の拡大光学系30Bが発光部231Bを拡大投影するときの倍率M2は、P2/a2<M2≦sinα/sinθを満たす。
 このように倍率M1及びM2を規定することで、放射強度がランバート放射よりも高くなる光によって、二次光源を形成することができるため、第1光源ユニットOPU1及び第2光源ユニットOPU2から出射される光の強度を高めることが可能となる。
 また、第1の光源アレイ20A及び第2の光源アレイ20Bの製造工程において、LEDチップ23A及び23Bを基板に配置するときに、LEDチップ23A及び23Bの位置ずれが生じる場合がある。位置ずれにより、第1の光源アレイ20A及び第2の光源アレイ20Bの照度が低下する場合がある。本実施形態では、倍率M1及び倍率M2をP1/a1及びP2/a2よりもそれぞれ大きくすることによって、発光部231A,231Bの発光面の内側の領域(周縁部を除く領域)のみを使用することができるため、LEDチップ23A及び23Bが位置ずれしても、第1の光源アレイ20A及び第2の光源アレイ20Bの照度低下を抑制することができる。
 また、第2実施形態において、sinθおよびsinθは、投影光学ユニット100の開口数に対する照明光学系80の開口数の比(σ)を1にする値である。これにより、露光装置10において要求される開口数に応じた輝度の照明光ILを実現することができる。
 上述した実施形態は本発明の好適な実施の例である。但し、これに限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々変形実施可能である。
10 露光装置
20A 第1の光源アレイ
20B 第2の光源アレイ
23A,23B LEDチップ
231A,231B 発光部
30A 第1の拡大光学系
30B 第2の拡大光学系
31A,31B レンズ部
81A 第1の集光光学系
81B 第2の集光光学系
80 照明光学系
90 照明ユニット
100 投影光学ユニット
OPU1 第1光源ユニット
OPU2 第2光源ユニット
PL 投影光学系
FEL フライアイレンズ
DM2 第2のダイクロイックミラー

Claims (10)

  1.  光を出射する発光部を有する光源素子を2次元平面上に複数配列した光源アレイと、
     前記光源素子の各々の前記発光部の拡大像を形成する拡大光学系と、
    を備え、
     前記拡大光学系は、倍率Mで拡大投影する両側テレセントリックな光学系であり、
     前記光源素子の配列ピッチをp、前記発光部の発光面の一辺の長さをa、前記発光部から出射する前記光のうちランバート放射よりも放射強度が高くなる光の最大出射角度をα、前記拡大光学系から出射する光の最大出射角度をθとした場合、前記倍率Mは、p/a<M≦sinα/sinθの条件を満たす、
    光源ユニット。
  2.  前記発光部は、紫外線発光ダイオードである、
    請求項1に記載の光源ユニット。
  3.  前記発光部から出射する光のピーク波長は、360~370nmの範囲内または380~390nmの範囲内にある、
    請求項1または請求項2に記載の光源ユニット。
  4.  光源から出射された光を被照射体に導く照明光学系と、前記照明光学系により照明される前記被照射体のパターンの像を感光性基板上に投影する投影光学系とを有する露光装置に用いられ、
     前記sinθは、前記投影光学系の開口数に対する前記照明光学系の開口数の比を1にする値である、
    請求項1から請求項3のいずれか一項に記載の光源ユニット。
  5.  請求項1から請求項3のいずれか一項に記載の光源ユニットと、
     前記光源ユニットから出射された光を被照射体に導く照明光学系と、
    を備える照明ユニット。
  6.  複数の請求項1から請求項3のいずれか一項に記載の光源ユニットと、
     複数の前記光源ユニットから出射された光を合成する合成光学素子を含み、前記合成光学素子から出射された合成光を被照射体に導く照明光学系と、
    を備える照明ユニット。
  7.  請求項5または請求項6に記載の照明ユニットと、
     前記照明ユニットにより照明される前記被照射体のパターン像を感光性基板上に投影する投影光学系と、
    を備える露光装置。
  8.  前記感光性基板は、少なくとも一辺の長さ又は対角長が500mm以上である、
    請求項7に記載の露光装置。
  9.  前記sinθは、前記投影光学系の開口数に対する前記照明光学系の開口数の比を1にする値である、
    請求項7または請求項8に記載の露光装置。
  10.  請求項7から請求項9のいずれか一項に記載の露光装置を用いた露光方法であって、
     前記照明ユニットにより前記被照射体を照明することと、
     前記投影光学系を用いて前記被照射体のパターン像を前記感光性基板へ投影することと、
    を含む露光方法。
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