JP2018515910A - 基材の表面を処理する組成物、方法及びデバイス - Google Patents
基材の表面を処理する組成物、方法及びデバイス Download PDFInfo
- Publication number
- JP2018515910A JP2018515910A JP2017551102A JP2017551102A JP2018515910A JP 2018515910 A JP2018515910 A JP 2018515910A JP 2017551102 A JP2017551102 A JP 2017551102A JP 2017551102 A JP2017551102 A JP 2017551102A JP 2018515910 A JP2018515910 A JP 2018515910A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- group
- substituted
- treatment composition
- silane
- halogen
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000000203 mixture Substances 0.000 title claims abstract description 273
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims abstract description 187
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 43
- BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N Silane Chemical compound [SiH4] BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 124
- 229910000077 silane Inorganic materials 0.000 claims description 124
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 84
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 claims description 84
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 claims description 84
- 125000000217 alkyl group Chemical group 0.000 claims description 78
- 125000001072 heteroaryl group Chemical group 0.000 claims description 78
- 125000004122 cyclic group Chemical group 0.000 claims description 56
- 125000003118 aryl group Chemical group 0.000 claims description 49
- -1 unsubstituted linear Chemical group 0.000 claims description 45
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims description 41
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 claims description 37
- 150000002367 halogens Chemical class 0.000 claims description 35
- 125000003545 alkoxy group Chemical class 0.000 claims description 34
- SECXISVLQFMRJM-UHFFFAOYSA-N N-Methylpyrrolidone Chemical compound CN1CCCC1=O SECXISVLQFMRJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 32
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 claims description 31
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 claims description 31
- RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N Diethyl ether Chemical compound CCOCC RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 26
- 150000002430 hydrocarbons Chemical class 0.000 claims description 26
- 239000003125 aqueous solvent Substances 0.000 claims description 24
- 229930195733 hydrocarbon Natural products 0.000 claims description 24
- XMGQYMWWDOXHJM-UHFFFAOYSA-N limonene Chemical compound CC(=C)C1CCC(C)=CC1 XMGQYMWWDOXHJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 24
- 238000001035 drying Methods 0.000 claims description 22
- 125000004435 hydrogen atom Chemical group [H]* 0.000 claims description 22
- YMWUJEATGCHHMB-UHFFFAOYSA-N Dichloromethane Chemical compound ClCCl YMWUJEATGCHHMB-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 21
- YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N Toluene Chemical compound CC1=CC=CC=C1 YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 21
- UFWIBTONFRDIAS-UHFFFAOYSA-N Naphthalene Chemical compound C1=CC=CC2=CC=CC=C21 UFWIBTONFRDIAS-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 20
- XMGQYMWWDOXHJM-JTQLQIEISA-N (+)-α-limonene Chemical compound CC(=C)[C@@H]1CCC(C)=CC1 XMGQYMWWDOXHJM-JTQLQIEISA-N 0.000 claims description 19
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N nitrogen Substances N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 19
- KBPLFHHGFOOTCA-UHFFFAOYSA-N 1-Octanol Chemical compound CCCCCCCCO KBPLFHHGFOOTCA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 18
- 150000002170 ethers Chemical class 0.000 claims description 18
- 150000008280 chlorinated hydrocarbons Chemical class 0.000 claims description 17
- 125000003107 substituted aryl group Chemical group 0.000 claims description 17
- 150000001412 amines Chemical class 0.000 claims description 16
- 150000002148 esters Chemical class 0.000 claims description 16
- FTMKAMVLFVRZQX-UHFFFAOYSA-N octadecylphosphonic acid Chemical compound CCCCCCCCCCCCCCCCCCP(O)(O)=O FTMKAMVLFVRZQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 16
- 125000004432 carbon atom Chemical group C* 0.000 claims description 15
- LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N ethylene glycol Natural products OCCO LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 14
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 claims description 14
- 125000000547 substituted alkyl group Chemical group 0.000 claims description 14
- 150000001408 amides Chemical class 0.000 claims description 12
- DIOQZVSQGTUSAI-UHFFFAOYSA-N decane Chemical compound CCCCCCCCCC DIOQZVSQGTUSAI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 12
- SNRUBQQJIBEYMU-UHFFFAOYSA-N dodecane Chemical compound CCCCCCCCCCCC SNRUBQQJIBEYMU-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 12
- RZJRJXONCZWCBN-UHFFFAOYSA-N octadecane Chemical compound CCCCCCCCCCCCCCCCCC RZJRJXONCZWCBN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 12
- NBVXSUQYWXRMNV-UHFFFAOYSA-N fluoromethane Chemical compound FC NBVXSUQYWXRMNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 11
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical group [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 10
- 150000007524 organic acids Chemical group 0.000 claims description 10
- 229910052760 oxygen Chemical group 0.000 claims description 10
- 239000001301 oxygen Chemical group 0.000 claims description 10
- 229920006395 saturated elastomer Polymers 0.000 claims description 10
- UHOVQNZJYSORNB-UHFFFAOYSA-N Benzene Chemical compound C1=CC=CC=C1 UHOVQNZJYSORNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 9
- VLKZOEOYAKHREP-UHFFFAOYSA-N n-Hexane Chemical compound CCCCCC VLKZOEOYAKHREP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 9
- 239000004215 Carbon black (E152) Substances 0.000 claims description 8
- WGCNASOHLSPBMP-UHFFFAOYSA-N hydroxyacetaldehyde Natural products OCC=O WGCNASOHLSPBMP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- 229920002545 silicone oil Polymers 0.000 claims description 8
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 claims description 7
- CXWXQJXEFPUFDZ-UHFFFAOYSA-N tetralin Chemical compound C1=CC=C2CCCCC2=C1 CXWXQJXEFPUFDZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 7
- XMGQYMWWDOXHJM-SNVBAGLBSA-N (-)-α-limonene Chemical compound CC(=C)[C@H]1CCC(C)=CC1 XMGQYMWWDOXHJM-SNVBAGLBSA-N 0.000 claims description 6
- QNLZIZAQLLYXTC-UHFFFAOYSA-N 1,2-dimethylnaphthalene Chemical compound C1=CC=CC2=C(C)C(C)=CC=C21 QNLZIZAQLLYXTC-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- QPUYECUOLPXSFR-UHFFFAOYSA-N 1-methylnaphthalene Chemical compound C1=CC=C2C(C)=CC=CC2=C1 QPUYECUOLPXSFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- HEDRZPFGACZZDS-UHFFFAOYSA-N Chloroform Chemical compound ClC(Cl)Cl HEDRZPFGACZZDS-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- CTQNGGLPUBDAKN-UHFFFAOYSA-N O-Xylene Chemical compound CC1=CC=CC=C1C CTQNGGLPUBDAKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- NEHMKBQYUWJMIP-UHFFFAOYSA-N chloromethane Chemical compound ClC NEHMKBQYUWJMIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- IJOOHPMOJXWVHK-UHFFFAOYSA-N chlorotrimethylsilane Chemical compound C[Si](C)(C)Cl IJOOHPMOJXWVHK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- DCAYPVUWAIABOU-UHFFFAOYSA-N hexadecane Chemical compound CCCCCCCCCCCCCCCC DCAYPVUWAIABOU-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- CBFCDTFDPHXCNY-UHFFFAOYSA-N icosane Chemical compound CCCCCCCCCCCCCCCCCCCC CBFCDTFDPHXCNY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 229940038384 octadecane Drugs 0.000 claims description 6
- TVMXDCGIABBOFY-UHFFFAOYSA-N octane Chemical compound CCCCCCCC TVMXDCGIABBOFY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- BGHCVCJVXZWKCC-UHFFFAOYSA-N tetradecane Chemical compound CCCCCCCCCCCCCC BGHCVCJVXZWKCC-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 239000008096 xylene Substances 0.000 claims description 6
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- QJGQUHMNIGDVPM-UHFFFAOYSA-N nitrogen group Chemical group [N] QJGQUHMNIGDVPM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 125000003368 amide group Chemical group 0.000 claims description 4
- 150000004945 aromatic hydrocarbons Chemical class 0.000 claims description 4
- DBKNGKYVNBJWHL-UHFFFAOYSA-N chloro-dimethyl-octylsilane Chemical compound CCCCCCCC[Si](C)(C)Cl DBKNGKYVNBJWHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 150000008282 halocarbons Chemical class 0.000 claims description 4
- 125000000592 heterocycloalkyl group Chemical group 0.000 claims description 4
- 125000002496 methyl group Chemical group [H]C([H])([H])* 0.000 claims description 4
- 125000004417 unsaturated alkyl group Chemical group 0.000 claims description 4
- UOCLXMDMGBRAIB-UHFFFAOYSA-N 1,1,1-trichloroethane Chemical compound CC(Cl)(Cl)Cl UOCLXMDMGBRAIB-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- ZDPJODSYNODADV-UHFFFAOYSA-N 1,2,3,4-tetramethylnaphthalene Chemical compound C1=CC=CC2=C(C)C(C)=C(C)C(C)=C21 ZDPJODSYNODADV-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- XYTKCJHHXQVFCK-UHFFFAOYSA-N 1,3,8-trimethylnaphthalene Chemical compound CC1=CC=CC2=CC(C)=CC(C)=C21 XYTKCJHHXQVFCK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- QQGYZOYWNCKGEK-UHFFFAOYSA-N 5-[(1,3-dioxo-2-benzofuran-5-yl)oxy]-2-benzofuran-1,3-dione Chemical compound C1=C2C(=O)OC(=O)C2=CC(OC=2C=C3C(=O)OC(C3=CC=2)=O)=C1 QQGYZOYWNCKGEK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- MYEBPIKTOYEQAU-UHFFFAOYSA-N 8,8,8-trichlorooctan-1-amine Chemical compound ClC(CCCCCCCN)(Cl)Cl MYEBPIKTOYEQAU-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 150000001338 aliphatic hydrocarbons Chemical class 0.000 claims description 3
- DZQISOJKASMITI-UHFFFAOYSA-N decyl-dioxido-oxo-$l^{5}-phosphane;hydron Chemical compound CCCCCCCCCCP(O)(O)=O DZQISOJKASMITI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- QHAWVNRKILDJLA-UHFFFAOYSA-N docosylphosphonic acid Chemical compound CCCCCCCCCCCCCCCCCCCCCCP(O)(O)=O QHAWVNRKILDJLA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- SVMUEEINWGBIPD-UHFFFAOYSA-N dodecylphosphonic acid Chemical compound CCCCCCCCCCCCP(O)(O)=O SVMUEEINWGBIPD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- JDPSFRXPDJVJMV-UHFFFAOYSA-N hexadecylphosphonic acid Chemical compound CCCCCCCCCCCCCCCCP(O)(O)=O JDPSFRXPDJVJMV-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- AUHZEENZYGFFBQ-UHFFFAOYSA-N mesitylene Substances CC1=CC(C)=CC(C)=C1 AUHZEENZYGFFBQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 125000001827 mesitylenyl group Chemical group [H]C1=C(C(*)=C(C([H])=C1C([H])([H])[H])C([H])([H])[H])C([H])([H])[H] 0.000 claims description 3
- NJGCRMAPOWGWMW-UHFFFAOYSA-N octylphosphonic acid Chemical compound CCCCCCCCP(O)(O)=O NJGCRMAPOWGWMW-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- WVDDGKGOMKODPV-ZQBYOMGUSA-N phenyl(114C)methanol Chemical compound O[14CH2]C1=CC=CC=C1 WVDDGKGOMKODPV-ZQBYOMGUSA-N 0.000 claims description 3
- 150000003009 phosphonic acids Chemical class 0.000 claims description 3
- BVQJQTMSTANITJ-UHFFFAOYSA-N tetradecylphosphonic acid Chemical compound CCCCCCCCCCCCCCP(O)(O)=O BVQJQTMSTANITJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- XSTXAVWGXDQKEL-UHFFFAOYSA-N Trichloroethylene Chemical group ClC=C(Cl)Cl XSTXAVWGXDQKEL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 125000000753 cycloalkyl group Chemical group 0.000 claims description 2
- WGEFMGVYLIFJQL-UHFFFAOYSA-N icosylphosphonic acid Chemical compound CCCCCCCCCCCCCCCCCCCCP(O)(O)=O WGEFMGVYLIFJQL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 125000004433 nitrogen atom Chemical group N* 0.000 claims description 2
- UBOXGVDOUJQMTN-UHFFFAOYSA-N trichloroethylene Natural products ClCC(Cl)Cl UBOXGVDOUJQMTN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- FOQJQXVUMYLJSU-UHFFFAOYSA-N triethoxy(1-triethoxysilylethyl)silane Chemical compound CCO[Si](OCC)(OCC)C(C)[Si](OCC)(OCC)OCC FOQJQXVUMYLJSU-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 125000000026 trimethylsilyl group Chemical group [H]C([H])([H])[Si]([*])(C([H])([H])[H])C([H])([H])[H] 0.000 claims description 2
- 125000000391 vinyl group Chemical group [H]C([*])=C([H])[H] 0.000 claims description 2
- UEZVMMHDMIWARA-UHFFFAOYSA-M phosphonate Chemical compound [O-]P(=O)=O UEZVMMHDMIWARA-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims 4
- 125000005103 alkyl silyl group Chemical group 0.000 claims 2
- 125000005843 halogen group Chemical group 0.000 claims 2
- QNZFXYOBVJAGNC-UHFFFAOYSA-N 18-dimethylsilyloctadecylphosphonic acid Chemical compound C[SiH](C)CCCCCCCCCCCCCCCCCCP(=O)(O)O QNZFXYOBVJAGNC-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- AHVYPIQETPWLSZ-UHFFFAOYSA-N N-methyl-pyrrolidine Natural products CN1CC=CC1 AHVYPIQETPWLSZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 150000001343 alkyl silanes Chemical class 0.000 claims 1
- 125000005104 aryl silyl group Chemical group 0.000 claims 1
- 125000002463 lignoceryl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 claims 1
- 125000001181 organosilyl group Chemical group [SiH3]* 0.000 claims 1
- ZDHXKXAHOVTTAH-UHFFFAOYSA-N trichlorosilane Chemical compound Cl[SiH](Cl)Cl ZDHXKXAHOVTTAH-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 239000005052 trichlorosilane Substances 0.000 claims 1
- 238000005406 washing Methods 0.000 claims 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 abstract description 32
- 230000002209 hydrophobic effect Effects 0.000 description 58
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 57
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 46
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 43
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 28
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 22
- 239000000460 chlorine Substances 0.000 description 18
- 229910052801 chlorine Inorganic materials 0.000 description 18
- 239000011737 fluorine Chemical group 0.000 description 18
- 229910052731 fluorine Chemical group 0.000 description 18
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 18
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 17
- IAZDPXIOMUYVGZ-UHFFFAOYSA-N Dimethylsulphoxide Chemical compound CS(C)=O IAZDPXIOMUYVGZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 15
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 14
- 150000002431 hydrogen Chemical group 0.000 description 13
- 239000000463 material Substances 0.000 description 13
- 230000008569 process Effects 0.000 description 13
- ZCYVEMRRCGMTRW-UHFFFAOYSA-N 7553-56-2 Chemical group [I] ZCYVEMRRCGMTRW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N Methanol Chemical compound OC OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- WYURNTSHIVDZCO-UHFFFAOYSA-N Tetrahydrofuran Chemical compound C1CCOC1 WYURNTSHIVDZCO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- 229910052794 bromium Inorganic materials 0.000 description 12
- 229910052740 iodine Inorganic materials 0.000 description 12
- 239000011630 iodine Substances 0.000 description 12
- 238000004381 surface treatment Methods 0.000 description 12
- WKBOTKDWSSQWDR-UHFFFAOYSA-N Bromine atom Chemical group [Br] WKBOTKDWSSQWDR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 11
- PXGOKWXKJXAPGV-UHFFFAOYSA-N Fluorine Chemical compound FF PXGOKWXKJXAPGV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 11
- GDTBXPJZTBHREO-UHFFFAOYSA-N bromine Substances BrBr GDTBXPJZTBHREO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 11
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 10
- CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N Acetone Chemical compound CC(C)=O CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N Chlorine atom Chemical compound [Cl] ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N Isopropanol Chemical compound CC(C)O KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- DNIAPMSPPWPWGF-UHFFFAOYSA-N Propylene glycol Chemical compound CC(O)CO DNIAPMSPPWPWGF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- LRHPLDYGYMQRHN-UHFFFAOYSA-N N-Butanol Chemical compound CCCCO LRHPLDYGYMQRHN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 238000005481 NMR spectroscopy Methods 0.000 description 8
- BOTDANWDWHJENH-UHFFFAOYSA-N Tetraethyl orthosilicate Chemical compound CCO[Si](OCC)(OCC)OCC BOTDANWDWHJENH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 238000004380 ashing Methods 0.000 description 8
- 125000001309 chloro group Chemical group Cl* 0.000 description 8
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 8
- 125000001153 fluoro group Chemical group F* 0.000 description 8
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 7
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 7
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 7
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 7
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 7
- ABLZXFCXXLZCGV-UHFFFAOYSA-N Phosphorous acid Chemical class OP(O)=O ABLZXFCXXLZCGV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- MTHSVFCYNBDYFN-UHFFFAOYSA-N diethylene glycol Chemical compound OCCOCCO MTHSVFCYNBDYFN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 6
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 6
- 150000002790 naphthalenes Chemical class 0.000 description 6
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 6
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 239000007795 chemical reaction product Substances 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 239000004615 ingredient Substances 0.000 description 5
- 239000003921 oil Substances 0.000 description 5
- 235000019198 oils Nutrition 0.000 description 5
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 5
- 239000011877 solvent mixture Substances 0.000 description 5
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 5
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- JOOMLFKONHCLCJ-UHFFFAOYSA-N N-(trimethylsilyl)diethylamine Chemical compound CCN(CC)[Si](C)(C)C JOOMLFKONHCLCJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910008484 TiSi Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 4
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 4
- FFUAGWLWBBFQJT-UHFFFAOYSA-N hexamethyldisilazane Chemical compound C[Si](C)(C)N[Si](C)(C)C FFUAGWLWBBFQJT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229960004592 isopropanol Drugs 0.000 description 4
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 4
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 4
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 4
- 239000003791 organic solvent mixture Substances 0.000 description 4
- 238000001020 plasma etching Methods 0.000 description 4
- QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-N Acetic acid Chemical compound CC(O)=O QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N Ozone Chemical compound [O-][O+]=O CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N Titanium nitride Chemical compound [Ti]#N NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 3
- 150000001298 alcohols Chemical class 0.000 description 3
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 3
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 3
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 description 3
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 3
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 3
- 238000001459 lithography Methods 0.000 description 3
- 150000001282 organosilanes Chemical class 0.000 description 3
- 239000000047 product Substances 0.000 description 3
- 239000012487 rinsing solution Substances 0.000 description 3
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 3
- YLQBMQCUIZJEEH-UHFFFAOYSA-N tetrahydrofuran Natural products C=1C=COC=1 YLQBMQCUIZJEEH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- PUPZLCDOIYMWBV-UHFFFAOYSA-N (+/-)-1,3-Butanediol Chemical compound CC(O)CCO PUPZLCDOIYMWBV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- IDQBJILTOGBZCR-UHFFFAOYSA-N 1-butoxypropan-1-ol Chemical compound CCCCOC(O)CC IDQBJILTOGBZCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- JOLQKTGDSGKSKJ-UHFFFAOYSA-N 1-ethoxypropan-2-ol Chemical compound CCOCC(C)O JOLQKTGDSGKSKJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- POAOYUHQDCAZBD-UHFFFAOYSA-N 2-butoxyethanol Chemical compound CCCCOCCO POAOYUHQDCAZBD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ZNQVEEAIQZEUHB-UHFFFAOYSA-N 2-ethoxyethanol Chemical compound CCOCCO ZNQVEEAIQZEUHB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- YEYKMVJDLWJFOA-UHFFFAOYSA-N 2-propoxyethanol Chemical compound CCCOCCO YEYKMVJDLWJFOA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 101710141544 Allatotropin-related peptide Proteins 0.000 description 2
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 2
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N Sulfuric acid Chemical compound OS(O)(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- GJWAPAVRQYYSTK-UHFFFAOYSA-N [(dimethyl-$l^{3}-silanyl)amino]-dimethylsilicon Chemical compound C[Si](C)N[Si](C)C GJWAPAVRQYYSTK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000000996 additive effect Effects 0.000 description 2
- 239000002156 adsorbate Substances 0.000 description 2
- 238000010560 atom transfer radical polymerization reaction Methods 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 150000001721 carbon Chemical group 0.000 description 2
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 2
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 2
- ADTGAVILDBXARD-UHFFFAOYSA-N diethylamino(dimethyl)silicon Chemical compound CCN(CC)[Si](C)C ADTGAVILDBXARD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004205 dimethyl polysiloxane Substances 0.000 description 2
- KZFNONVXCZVHRD-UHFFFAOYSA-N dimethylamino(dimethyl)silicon Chemical compound CN(C)[Si](C)C KZFNONVXCZVHRD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000004090 dissolution Methods 0.000 description 2
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 2
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 2
- 150000002334 glycols Chemical class 0.000 description 2
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 2
- ZXEKIIBDNHEJCQ-UHFFFAOYSA-N isobutanol Chemical compound CC(C)CO ZXEKIIBDNHEJCQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 2
- ZSMNRKGGHXLZEC-UHFFFAOYSA-N n,n-bis(trimethylsilyl)methanamine Chemical compound C[Si](C)(C)N(C)[Si](C)(C)C ZSMNRKGGHXLZEC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VBYLGQXERITIBP-UHFFFAOYSA-N n-[dimethylamino(methyl)silyl]-n-methylmethanamine Chemical compound CN(C)[SiH](C)N(C)C VBYLGQXERITIBP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- KAHVZNKZQFSBFW-UHFFFAOYSA-N n-methyl-n-trimethylsilylmethanamine Chemical compound CN(C)[Si](C)(C)C KAHVZNKZQFSBFW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 2
- 229920000435 poly(dimethylsiloxane) Polymers 0.000 description 2
- 239000001267 polyvinylpyrrolidone Substances 0.000 description 2
- 229920000036 polyvinylpyrrolidone Polymers 0.000 description 2
- 235000013855 polyvinylpyrrolidone Nutrition 0.000 description 2
- 238000011084 recovery Methods 0.000 description 2
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 2
- PISDRBMXQBSCIP-UHFFFAOYSA-N trichloro(3,3,4,4,5,5,6,6,7,7,8,8,8-tridecafluorooctyl)silane Chemical compound FC(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)CC[Si](Cl)(Cl)Cl PISDRBMXQBSCIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000001291 vacuum drying Methods 0.000 description 2
- 125000000545 (4R)-limonene group Chemical group 0.000 description 1
- FRKMPZXDTIUOOX-UHFFFAOYSA-N 1-trimethylsilyloxypent-3-en-2-one Chemical compound C[Si](OCC(C=CC)=O)(C)C FRKMPZXDTIUOOX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GVHIREZHTRULPT-UHFFFAOYSA-N 2-methyl-n-trimethylsilylpropan-2-amine Chemical compound CC(C)(C)N[Si](C)(C)C GVHIREZHTRULPT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AUKCYOUETBBMFV-UHFFFAOYSA-N 3-trimethylsilyl-1,3-oxazolidin-2-one Chemical compound C[Si](C)(C)N1CCOC1=O AUKCYOUETBBMFV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JJOWIQMPCCUIGA-UHFFFAOYSA-N 4-(Trimethylsilyl)morpholine Chemical compound C[Si](C)(C)N1CCOCC1 JJOWIQMPCCUIGA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NDAURKDIFHXVHE-UHFFFAOYSA-N 5-phenyl-1,3,4-oxathiazol-2-one Chemical compound S1C(=O)OC(C=2C=CC=CC=2)=N1 NDAURKDIFHXVHE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NBTZXOSUZBUQFC-UHFFFAOYSA-N CCCCCCCCCCCCCCCCCCP(O)(=O)O[Si](C)(C)CCCCCCCC Chemical compound CCCCCCCCCCCCCCCCCCP(O)(=O)O[Si](C)(C)CCCCCCCC NBTZXOSUZBUQFC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 235000005976 Citrus sinensis Nutrition 0.000 description 1
- 240000002319 Citrus sinensis Species 0.000 description 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N Hydrogen peroxide Chemical compound OO MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AMQJEAYHLZJPGS-UHFFFAOYSA-N N-Pentanol Chemical compound CCCCCO AMQJEAYHLZJPGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BHLZVFFXKTWIJK-UHFFFAOYSA-N N-dimethylsilyl-N-[ethenyl(dimethyl)silyl]ethenamine Chemical compound C[SiH](C)N(C=C)[Si](C)(C)C=C BHLZVFFXKTWIJK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YKFRUJSEPGHZFJ-UHFFFAOYSA-N N-trimethylsilylimidazole Chemical compound C[Si](C)(C)N1C=CN=C1 YKFRUJSEPGHZFJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AEGSWGASBFRXJP-UHFFFAOYSA-N P(O[SiH](C)C)(OCCCCCCCCCCCCCCCCCC)=O Chemical compound P(O[SiH](C)C)(OCCCCCCCCCCCCCCCCCC)=O AEGSWGASBFRXJP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PEGHITPVRNZWSI-UHFFFAOYSA-N [[bis(trimethylsilyl)amino]-dimethylsilyl]methane Chemical compound C[Si](C)(C)N([Si](C)(C)C)[Si](C)(C)C PEGHITPVRNZWSI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JBAKYNJRLAJRNW-UHFFFAOYSA-N [bis(dimethyl-$l^{3}-silanyl)amino]-dimethylsilicon Chemical compound C[Si](C)N([Si](C)C)[Si](C)C JBAKYNJRLAJRNW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000003668 acetyloxy group Chemical group [H]C([H])([H])C(=O)O[*] 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 1
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 1
- 125000001246 bromo group Chemical group Br* 0.000 description 1
- 238000006482 condensation reaction Methods 0.000 description 1
- PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M copper(1+);methylsulfanylmethane;bromide Chemical compound Br[Cu].CSC PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 239000008367 deionised water Substances 0.000 description 1
- 229910021641 deionized water Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- RCJVRSBWZCNNQT-UHFFFAOYSA-N dichloridooxygen Chemical class ClOCl RCJVRSBWZCNNQT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KPUWHANPEXNPJT-UHFFFAOYSA-N disiloxane Chemical class [SiH3]O[SiH3] KPUWHANPEXNPJT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 125000000524 functional group Chemical group 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001307 helium Substances 0.000 description 1
- SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N helium atom Chemical compound [He] SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012456 homogeneous solution Substances 0.000 description 1
- 230000007062 hydrolysis Effects 0.000 description 1
- 238000006460 hydrolysis reaction Methods 0.000 description 1
- 125000002887 hydroxy group Chemical group [H]O* 0.000 description 1
- 238000007654 immersion Methods 0.000 description 1
- 229910001867 inorganic solvent Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000003049 inorganic solvent Substances 0.000 description 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 229910052743 krypton Inorganic materials 0.000 description 1
- DNNSSWSSYDEUBZ-UHFFFAOYSA-N krypton atom Chemical compound [Kr] DNNSSWSSYDEUBZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- 238000004377 microelectronic Methods 0.000 description 1
- 239000003595 mist Substances 0.000 description 1
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 1
- QULMGWCCKILBTO-UHFFFAOYSA-N n-[dimethylamino(dimethyl)silyl]-n-methylmethanamine Chemical compound CN(C)[Si](C)(C)N(C)C QULMGWCCKILBTO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LWFWUJCJKPUZLV-UHFFFAOYSA-N n-trimethylsilylacetamide Chemical compound CC(=O)N[Si](C)(C)C LWFWUJCJKPUZLV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052754 neon Inorganic materials 0.000 description 1
- GKAOGPIIYCISHV-UHFFFAOYSA-N neon atom Chemical compound [Ne] GKAOGPIIYCISHV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052756 noble gas Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002835 noble gases Chemical class 0.000 description 1
- 239000011356 non-aqueous organic solvent Substances 0.000 description 1
- 239000010502 orange oil Substances 0.000 description 1
- 238000009832 plasma treatment Methods 0.000 description 1
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 description 1
- BDERNNFJNOPAEC-UHFFFAOYSA-N propan-1-ol Chemical compound CCCO BDERNNFJNOPAEC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000002572 propoxy group Chemical group [*]OC([H])([H])C(C([H])([H])[H])([H])[H] 0.000 description 1
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 1
- 239000008213 purified water Substances 0.000 description 1
- IUVKMZGDUIUOCP-BTNSXGMBSA-N quinbolone Chemical group O([C@H]1CC[C@H]2[C@H]3[C@@H]([C@]4(C=CC(=O)C=C4CC3)C)CC[C@@]21C)C1=CCCC1 IUVKMZGDUIUOCP-BTNSXGMBSA-N 0.000 description 1
- 239000011541 reaction mixture Substances 0.000 description 1
- 229910052711 selenium Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004756 silanes Chemical class 0.000 description 1
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 1
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- 241000894007 species Species 0.000 description 1
- 238000009987 spinning Methods 0.000 description 1
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 1
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 1
- 238000003786 synthesis reaction Methods 0.000 description 1
- MZLGASXMSKOWSE-UHFFFAOYSA-N tantalum nitride Chemical compound [Ta]#N MZLGASXMSKOWSE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 1
- UBOWNAQTTSJZFQ-UHFFFAOYSA-N tetracosylphosphonic acid Chemical compound CCCCCCCCCCCCCCCCCCCCCCCCP(O)(O)=O UBOWNAQTTSJZFQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
- DENFJSAFJTVPJR-UHFFFAOYSA-N triethoxy(ethyl)silane Chemical compound CCO[Si](CC)(OCC)OCC DENFJSAFJTVPJR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WPSPBNRWECRRPK-UHFFFAOYSA-N trimethyl(1,2,4-triazol-1-yl)silane Chemical compound C[Si](C)(C)N1C=NC=N1 WPSPBNRWECRRPK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MRAZYSAHIPFJGX-UHFFFAOYSA-N trimethyl(1h-pyrazol-5-yl)silane Chemical compound C[Si](C)(C)C1=CC=NN1 MRAZYSAHIPFJGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WLADIVUISABQHN-UHFFFAOYSA-N trimethyl(piperidin-1-yl)silane Chemical compound C[Si](C)(C)N1CCCCC1 WLADIVUISABQHN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NQLVIKZJXFGUET-UHFFFAOYSA-N trimethyl(pyrrolidin-1-yl)silane Chemical compound C[Si](C)(C)N1CCCC1 NQLVIKZJXFGUET-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DSPOVSQQYMUIGB-UHFFFAOYSA-N trimethyl(triazol-2-yl)silane Chemical compound C[Si](C)(C)N1N=CC=N1 DSPOVSQQYMUIGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QHUNJMXHQHHWQP-UHFFFAOYSA-N trimethylsilyl acetate Chemical compound CC(=O)O[Si](C)(C)C QHUNJMXHQHHWQP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QVSRWXFOZLIWJS-UHFFFAOYSA-N trimethylsilyl propanoate Chemical compound CCC(=O)O[Si](C)(C)C QVSRWXFOZLIWJS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000009736 wetting Methods 0.000 description 1
- 229910052724 xenon Inorganic materials 0.000 description 1
- FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N xenon atom Chemical compound [Xe] FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- C09D—COATING COMPOSITIONS, e.g. PAINTS, VARNISHES OR LACQUERS; FILLING PASTES; CHEMICAL PAINT OR INK REMOVERS; INKS; CORRECTING FLUIDS; WOODSTAINS; PASTES OR SOLIDS FOR COLOURING OR PRINTING; USE OF MATERIALS THEREFOR
- C09D4/00—Coating compositions, e.g. paints, varnishes or lacquers, based on organic non-macromolecular compounds having at least one polymerisable carbon-to-carbon unsaturated bond ; Coating compositions, based on monomers of macromolecular compounds of groups C09D183/00 - C09D183/16
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B3/00—Cleaning by methods involving the use or presence of liquid or steam
- B08B3/04—Cleaning involving contact with liquid
- B08B3/10—Cleaning involving contact with liquid with additional treatment of the liquid or of the object being cleaned, e.g. by heat, by electricity or by vibration
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
- B81C—PROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS
- B81C1/00—Manufacture or treatment of devices or systems in or on a substrate
- B81C1/00841—Cleaning during or after manufacture
- B81C1/00849—Cleaning during or after manufacture during manufacture
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C07—ORGANIC CHEMISTRY
- C07F—ACYCLIC, CARBOCYCLIC OR HETEROCYCLIC COMPOUNDS CONTAINING ELEMENTS OTHER THAN CARBON, HYDROGEN, HALOGEN, OXYGEN, NITROGEN, SULFUR, SELENIUM OR TELLURIUM
- C07F7/00—Compounds containing elements of Groups 4 or 14 of the Periodic Table
- C07F7/02—Silicon compounds
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C11—ANIMAL OR VEGETABLE OILS, FATS, FATTY SUBSTANCES OR WAXES; FATTY ACIDS THEREFROM; DETERGENTS; CANDLES
- C11D—DETERGENT COMPOSITIONS; USE OF SINGLE SUBSTANCES AS DETERGENTS; SOAP OR SOAP-MAKING; RESIN SOAPS; RECOVERY OF GLYCEROL
- C11D3/00—Other compounding ingredients of detergent compositions covered in group C11D1/00
- C11D3/16—Organic compounds
- C11D3/162—Organic compounds containing Si
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C11—ANIMAL OR VEGETABLE OILS, FATS, FATTY SUBSTANCES OR WAXES; FATTY ACIDS THEREFROM; DETERGENTS; CANDLES
- C11D—DETERGENT COMPOSITIONS; USE OF SINGLE SUBSTANCES AS DETERGENTS; SOAP OR SOAP-MAKING; RESIN SOAPS; RECOVERY OF GLYCEROL
- C11D3/00—Other compounding ingredients of detergent compositions covered in group C11D1/00
- C11D3/16—Organic compounds
- C11D3/36—Organic compounds containing phosphorus
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02041—Cleaning
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02041—Cleaning
- H01L21/02057—Cleaning during device manufacture
- H01L21/0206—Cleaning during device manufacture during, before or after processing of insulating layers
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02041—Cleaning
- H01L21/02057—Cleaning during device manufacture
- H01L21/02068—Cleaning during device manufacture during, before or after processing of conductive layers, e.g. polysilicon or amorphous silicon layers
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02107—Forming insulating materials on a substrate
- H01L21/02109—Forming insulating materials on a substrate characterised by the type of layer, e.g. type of material, porous/non-porous, pre-cursors, mixtures or laminates
- H01L21/02112—Forming insulating materials on a substrate characterised by the type of layer, e.g. type of material, porous/non-porous, pre-cursors, mixtures or laminates characterised by the material of the layer
- H01L21/02123—Forming insulating materials on a substrate characterised by the type of layer, e.g. type of material, porous/non-porous, pre-cursors, mixtures or laminates characterised by the material of the layer the material containing silicon
- H01L21/02126—Forming insulating materials on a substrate characterised by the type of layer, e.g. type of material, porous/non-porous, pre-cursors, mixtures or laminates characterised by the material of the layer the material containing silicon the material containing Si, O, and at least one of H, N, C, F, or other non-metal elements, e.g. SiOC, SiOC:H or SiONC
- H01L21/02129—Forming insulating materials on a substrate characterised by the type of layer, e.g. type of material, porous/non-porous, pre-cursors, mixtures or laminates characterised by the material of the layer the material containing silicon the material containing Si, O, and at least one of H, N, C, F, or other non-metal elements, e.g. SiOC, SiOC:H or SiONC the material being boron or phosphorus doped silicon oxides, e.g. BPSG, BSG or PSG
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02107—Forming insulating materials on a substrate
- H01L21/02225—Forming insulating materials on a substrate characterised by the process for the formation of the insulating layer
- H01L21/0226—Forming insulating materials on a substrate characterised by the process for the formation of the insulating layer formation by a deposition process
- H01L21/02282—Forming insulating materials on a substrate characterised by the process for the formation of the insulating layer formation by a deposition process liquid deposition, e.g. spin-coating, sol-gel techniques, spray coating
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic Table or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
- H01L21/30—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26
- H01L21/31—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26 to form insulating layers thereon, e.g. for masking or by using photolithographic techniques; After treatment of these layers; Selection of materials for these layers
- H01L21/3105—After-treatment
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C11—ANIMAL OR VEGETABLE OILS, FATS, FATTY SUBSTANCES OR WAXES; FATTY ACIDS THEREFROM; DETERGENTS; CANDLES
- C11D—DETERGENT COMPOSITIONS; USE OF SINGLE SUBSTANCES AS DETERGENTS; SOAP OR SOAP-MAKING; RESIN SOAPS; RECOVERY OF GLYCEROL
- C11D2111/00—Cleaning compositions characterised by the objects to be cleaned; Cleaning compositions characterised by non-standard cleaning or washing processes
- C11D2111/10—Objects to be cleaned
- C11D2111/14—Hard surfaces
- C11D2111/22—Electronic devices, e.g. PCBs or semiconductors
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Wood Science & Technology (AREA)
- Oil, Petroleum & Natural Gas (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
- Detergent Compositions (AREA)
Abstract
Description
本件は、全体が参照により本開示に組み入れられる、2015年4月1日に出願された米国仮出願第62/141657号、及び2016年3月29日に出願された米国特許出願第15/084169号に対する優先権を主張する。
本発明は、処理組成物、及び半導体又はMEMS基材の表面を処理する方法、及び処理組成物を上に含む半導体又はMEMS基材に関する。
本発明の1つの側面において、1種又はそれより多くのシラン含有成分と、1種又はそれより多くのリン含有成分とを含む混合物を反応させることにより形成されたシラン及びリン含有化合物を含む処理組成物であって、シラン含有成分のうちの少なくとも1種が、以下の構造:
X1、X2及びX3は、ハロゲン、アルコキシ基、有機酸基、非置換直鎖、環状及び分岐アルキル基、非置換アリール基、非置換ヘテロアリール基、置換直鎖、環状及び分岐アルキル基、置換アリール基、又は置換ヘテロアリール基であって、ハロゲン置換直鎖、環状及び分岐アルキル、ハロゲン置換アリール基、ハロゲン置換ヘテロアリール基から選択される置換アルキル、アリール、及びヘテロアリール基、エーテル、アミン、エステル及びアミド基からなる群から独立に選択され、ただしX1、X2及びX3のうちの少なくとも1つは、ハロゲン、アルコキシ基又は有機酸基からなる群から選択される。)
を有し;
前記1種又はそれより多くのリン含有成分のうちの少なくとも1種が、以下の構造:
を有し;
任意選択的に1種又はそれより多くの非水性溶媒をさらに含む、処理組成物が提供される。
を有するシラン及びリン含有化合物を含む処理組成物が提供される。
X2及びX3は、ハロゲン、アルコキシ基、有機酸基、水素、又は前記Rのうちのいずれかから独立に選択され、R1及びR2は、水素、非置換直鎖、環状及び分岐アルキル基、非置換アリール基、非置換ヘテロアリール基、置換直鎖、環状及び分岐アルキル基、置換アリール基、又は置換ヘテロアリール基であって、ハロゲン置換直鎖、環状及び分岐アルキル、ハロゲン置換アリール基、又はハロゲン置換ヘテロアリール基から選択される置換アルキル、アリール及びヘテロアリール基、又はエーテル、アミン、エステル、アミド及びアルコキシ基から独立に選択され、ただし窒素又は酸素に結合した水素はない。)
を含む。
を有する1種又はそれより多くのリン含有成分とを含む混合物を反応させることにより形成される。置換された基の例としては、例えばハロゲン置換(例えばフッ素置換、塩素置換、ヨウ素置換、又は臭素置換)直鎖、環状及び分岐アルキル、又はハロゲン置換(例えばフッ素置換、塩素置換、ヨウ素置換、又は臭素置換)アリール基、又はハロゲン置換(例えばフッ素置換、塩素置換、ヨウ素置換、又は臭素置換)ヘテロアリール基が挙げられる。直鎖、環状及び分岐アルキル又はアリール基中、又は該基上で置換されることのできる代替的な基としては、例えばエーテル、アミン、エステル、アミド、アルコキシが挙げられ、ただしケイ素と反応可能な水素はなく、すなわち、窒素又は酸素に結合した水素はない。幾つかの実施態様において、R1及び/又はR2は、上記の置換及び非置換アルキル、アリール及びヘテロアリール基のうちのいずれかにおいて、1〜30個、又は1〜24個、又は1〜20個、又は1〜18個、又は2〜24個、又は4〜30個、又は4〜24個、又は4〜22個、又は6〜24個、又は6〜20個、又は6〜30個、8〜30個、8〜24個、又は10〜30個、又は10〜20個、又は2〜20個、又は10〜24個、又は3〜20個、又は4〜20個、又は4〜18個、又は4〜18個の炭素原子を独立に含むことができる。
が起こることができる。多くの実施態様において、シラン含有成分とリン含有成分との反応は、溶媒の添加あり、又はなしで容器内でシラン含有成分及びリン含有成分を混合した際に、室温にて起こる。任意選択的に、組成物は最大100℃、典型的には80℃に加熱され、及び/又は少なくとも数分間撹拌されることができる。幾つかの実施態様において、反応は、より長く行うことができ、その完了はNMRにより確認することができる。シラン及びリン含有化合物を形成する反応は、処理組成物への溶媒又は他の添加剤の添加前、添加中、及び/又は添加後に起こることができる。1つの実施態様において、シラン及びリン含有化合物(反応生成物)は、アルキルシリルアルキルホスホネートである。シラン及びリン含有化合物(反応生成物)は、典型的には反応より前のリン含有成分と比較して、溶媒への高い溶解度を有し、典型的には溶媒中の単独のリン含有成分よりも、本発明の処理組成物の一部としてより多量のリン含有成分を溶解することを可能にする。知られている溶媒への単独のリン含有成分の溶解度は、室温にて約0.01質量%以下であった。本発明の処理組成物において、シラン及びリン含有化合物は、リン含有成分の増加した溶解度を有し、幾つかの場合において、同じ溶媒への未反応のリン含有成分の溶解度と比較して約2倍以上、又は約3倍以上、又は4倍以上、又は5倍以上である。
図1の工程S101は、処理タンク3への現像液を用いたパターンの現像、それに次ぐフォトレジストの下の層のエッチング、及びエッチングプロセス後のフォトレジストの除去の後に、パターン化された基材(ウェハ)1を導入することを含む。(本開示に記載の工程は、エッチング工程前又は後に起こることができ、又は代替的な実施態様において、本発明の処理組成物により基材をコーティングするより前に、エッチング工程はない)。図2に示されるように、基材を、基材保持区画2により保持しつつ、導入することができる。
P=2γ(cosθ)/空間 (式1)
により表される。
以下は、本発明の処理組成物の形成の記載である:
1.96gのクロロジメチルオクチルシラン及び3.20gのオクタデシルホスホン酸(ODPA)を50mLガラスバイアル内で混合した。バイアルのキャップは緩く閉じられていた。バイアルを、加熱のためにシリコーンオイルのバス内に置き、オイルバス温度を4時間、90℃に上げた。温度が上昇した際、固体は液体に溶解し、オイルバス温度は、4時間、90℃にて維持された。混合物を次いで冷却し、IPAに溶解させ、ろ過した(存在する場合には、未反応のODPAを除去する操作)。無色の固体をIPA蒸発により溶液から再結晶し、固体をNMR分析(300MHz Bruker NMR)に供した。1H NMR(CD3OD)δ:0.0(s,6H、Si(CH3)2 0.55(t,J=7Hz、2H、C1CH2)、0.92(t,J=7Hz、6H、C8及びC18’CH2)、1.2‐1.5(m,42H、C2〜C7及びC3’〜C17’CH2)、1.5‐1.8(m,4H、C1’及び 2’CH2)。NMRは図6に示される。以下の構造は、構造に対するピーク帰属を示す。
処理又は疎水性膜形成性組成物は、以下の表に示された量で成分を組み合わせ、室温にて成分を混合することにより製造された。本発明の疎水性膜形成性組成物による、対象の基材の疎水性の変化は、以下のブランケット基材を用いて試験された:
O3プラズマ4分により損傷を受けた、損傷を受けた低k膜(Air Products DEMS C8又はDEMS ATRP)。
TEOS(Silicon Valley Microelectoronics(SVM)から購入:7000Å厚さ、未ドープ未圧縮)
DI水による静的接触角(c/a)をゴニオメーターシステム(Rame‐Hart、Succasunna、NJ)により測定した。3回の測定を各片の表面で実施した。測定の算術平均が報告される。
表V及びVIの比較例は、オクタデシルホスホン酸をNMPに溶解させる試みを示す。150mlビーカーを用いた。成分を表に示された温度にて撹拌しつつ、ビーカーに加えた。ビーカー中の混合物の外観を撹拌の20時間後に記録した。室温にて99.98グラムのNMPに溶解したオクタデシルホスホン酸の最大量は0.18グラムであった。
表VII及びVIIIIの例は、オクタデシルホスホン酸の1‐オクタノールを含む溶媒への溶解を示す。150mlビーカーを用いた。成分を表に示された温度にて撹拌しつつ、ビーカーに加えた。ビーカー中の混合物の外観を撹拌の20時間後に記録した。透明な溶液は、溶媒がオクタデシルホスホン酸を溶解させたことを示す。表VII及びVIIIの例に関して記録された結果は、1‐オクタノールが、オクタデシルホスホン酸に関して、NMPに対する良好な溶媒であることを示す。オクタノールは、NMP単独と比較して、溶液により多くの量のオクタデシルホスホン酸を溶解させる他の知られている溶媒との溶媒混合物中で用いることができる。オクタノールと組み合わせて用いることのできる溶媒としては、制限されないが、上記の有機溶媒のいずれか、並びにグリコールエーテル、プロピレングリコール、及びNMPが挙げられる。
Claims (23)
- 1種又はそれより多くのシラン含有成分と、1種又はそれより多くのリン含有成分とを含む混合物を反応させることにより形成されたシラン及びリン含有化合物を含む処理組成物であって、シラン含有成分のうちの少なくとも1種が、以下の構造:
X1、X2及びX3は、ハロゲン、アルコキシ基、有機酸基、非置換直鎖、環状及び分岐アルキル基、非置換アリール基、非置換ヘテロアリール基、置換直鎖、環状及び分岐アルキル基、置換アリール基、又は置換ヘテロアリール基であって、ハロゲン置換直鎖、環状及び分岐アルキル、ハロゲン置換アリール基、ハロゲン置換ヘテロアリール基から選択される置換アルキル、アリール、及びヘテロアリール基、エーテル、アミン、エステル及びアミド基からなる群から独立に選択され、ただしX1、X2及びX3のうちの少なくとも1つは、ハロゲン、アルコキシ基又は有機酸基からなる群から選択される。)
を有し;
前記1種又はそれより多くのリン含有成分のうちの少なくとも1種が、以下の構造:
を有し;
任意選択的に1種又はそれより多くの非水性溶媒をさらに含む、処理組成物。 - 前記シラン及びリン含有化合物が、以下の構造:
X2及びX3は、ハロゲン、アルコキシ基、有機酸基、水素、又は非置換直鎖、環状及び分岐アルキル基、非置換アリール基、非置換ヘテロアリール基、置換直鎖、環状及び分岐アルキル基、置換アリール基、又は置換ヘテロアリール基であって、ハロゲン置換直鎖、環状及び分岐アルキル、ハロゲン置換アリール基、ハロゲン置換ヘテロアリール基から選択される置換アルキル、アリール、及びヘテロアリール基、エーテル、アミン、エステル及びアミド基からなる群から独立に選択され、ただし前記X2、X3及びR中に窒素又は酸素に結合した水素はなく;R1及びR2は、水素、非置換直鎖、環状及び分岐アルキル基、非置換アリール基、非置換ヘテロアリール基、置換直鎖、環状及び分岐アルキル基、置換アリール基、又は置換ヘテロアリール基であって、ハロゲン置換直鎖、環状及び分岐アルキル、ハロゲン置換アリール基、又はハロゲン置換ヘテロアリール基から選択される置換アルキル、アリール、及びヘテロアリール基、エーテル、アミン、エステル、アミド及びアルコキシ基から独立に選択される。)
を含む、請求項1に記載の処理組成物。 - さらに、前記X1、X2又はX3のうちの少なくとも1つがハロゲンである、請求項1に記載の処理組成物。
- さらに、前記X1、X2又はX3のうちの1つ、及び1つだけがハロゲンである、請求項1に記載の処理組成物。
- さらに、X2、X3及びRが、非置換アルキル、アリール及びヘテロアリール基、又はフッ素置換アルキル、アリール及びヘテロアリール基から独立に選択される、請求項1、2又は4に記載の処理組成物。
- 構造(0)の前記シラン含有成分が、アルキル基が独立に1〜30個の炭素であって、炭素に結合した幾つか又は全ての水素と置換されたハロゲンを有することができる炭素を含み、アルコキシ基が任意のC1〜C8アルコキシ基であることができ、アルコキシ基中の幾つか又は全ての水素と置換されたハロゲンを含むことができる、アルコキシジメチルアルキルシラン、ジアルコキシメチルアルキルシラン、トリアルコキシアルキルシラン、クロロジメチルアルキルシラン、ジクロロメチルアルキルシラン、トリクロロアルキルシラン、アルコキシジエチルアルキルシラン、ジアルコキシエチルアルキルシラン、トリアルコキシアルキルシラン、クロロジエチルアルキルシラン、ジクロロエチルアルキルシランからなる群から選択される、請求項1に記載の処理組成物。
- 前記Rが7〜30個の炭素を含む、請求項1、2、4又は5のいずれか1項に記載の処理組成物。
- 前記R1が、置換及び非置換アルキル、アリール及びヘテロアリール基のいずれかにおいて、4〜30個の炭素原子を含む、請求項1、2、4、5又は7のいずれか1項に記載の処理組成物。
- 構造(4)の前記リン含有成分が、オクタデシルホスホン酸、オクチルホスホン酸、デシルホスホン酸、ドデシルホスホン酸、テトラデシルホスホン酸、ヘキサデシルホスホン酸、エイコシルホスホン酸、ドコシルホスホン酸、及びテトラコシルホスホン酸からなる群から選択される、請求項1、3、4又は6のいずれか1項に記載の処理組成物。
- 構造(4)の前記1種又はそれより多くのリン含有成分と反応する量より過剰の構造(0)の前記1種又はそれより多くのシラン含有成分を含む、請求項1、3、4、6又は9のいずれか1項に記載の処理組成物。
- シリコーンオイル、3,3’,4,4’‐オキシジフタル酸二無水物、ベンジルアルコール、1‐オクタノール、NMP、グリコールエーテル、C1~40脂肪族炭化水素;C1~40芳香族炭化水素、置換ナフタレン、d‐リモネン、l‐リモネン、dl‐リモネン、橙皮油、ジペンテン、ハロゲン化炭化水素、フッ素化炭化水素、構造(0)のシラン含有成分、及びこれらの混合物からなる群から選択される1種又はそれより多くの前記非水性溶媒をさらに含む、請求項1〜10のいずれか1項に記載の処理組成物。
- 構造(0)のシラン含有成分、シリコーンオイル、ヘキサン、オクタン、デカン、ドデカン、テトラデカン、ヘキサデカン、オクタデカン、イコサン、ベンゼン、トルエン、キシレン、メシチレン、ナフタレン、メチルナフタレン、ジメチルナフタレン、トリメチルナフタレン、テトラメチルナフタレン、テトラヒドロナフタレン、d‐リモネン、l‐リモネン、dl‐リモネン、橙皮油、ジペンテン、塩化メチレン、クロロホルム、1,1,1‐トリクロロエタン、トリクロロエチレン;フルオロクロロ炭化水素、フルオロクロロカーボン、クロロ炭化水素、フルオロ炭化水素、フルオロカーボン、クロロカーボン;フルオロクロロ炭化水素と炭化水素、フルオロクロロ炭化水素、フルオロクロロカーボン、クロロ炭化水素、フルオロ炭化水素、フルオロカーボン、又はクロロカーボンとのエーテル;フルオロクロロカーボンと炭化水素、フルオロクロロ炭化水素、フルオロクロロカーボン、クロロ炭化水素、フルオロ炭化水素、フルオロカーボン、又はクロロカーボンとのエーテル;クロロ炭化水素と炭化水素、フルオロクロロ炭化水素、フルオロクロロカーボン、クロロ炭化水素、フルオロ炭化水素、フルオロカーボン、又はクロロカーボンとのエーテル;フルオロ炭化水素と炭化水素、フルオロクロロ炭化水素、フルオロクロロカーボン、クロロ炭化水素、フルオロ炭化水素、フルオロカーボン、又はクロロカーボンとのエーテル;フルオロカーボンと炭化水素、フルオロクロロ炭化水素、フルオロクロロカーボン、クロロ炭化水素、フルオロ炭化水素、フルオロカーボン、又はクロロカーボンとのエーテル;クロロカーボンと炭化水素、フルオロクロロ炭化水素、フルオロクロロカーボン、クロロ炭化水素、フルオロ炭化水素、フルオロカーボン、又はクロロカーボンとのエーテル;及びこれらの混合物からなる群から選択される1種又はそれより多くの非水性溶媒をさらに含む、請求項1〜11のいずれか1項に記載の処理組成物。
- 構造(0)の前記1種又はそれより多くのシラン含有成分が、クロロトリメチルシラン、クロロジメチルオクチルシラン、トリクロロオクチルアミン、ビス(トリエトキシシリル)エタン、及び(トリデカフルオロ‐1,1,2,2‐テトラヒドロオクチル)トリクロロシランからなる群から選択される、請求項1、3、4、6、9、10、11又は12のいずれか1項に記載の処理組成物。
- 前記処理組成物が:組成物の全質量を基準として、(i)0.01〜99.999質量%の1種又はそれより多くの構造(0)のシラン含有成分;(ii)0.001〜60質量%の1種又はそれより多くの構造(4)のリン含有成分;及び(iii)0〜99.989質量%の非水性溶媒((i)に含まれる構造(0)のシラン含有成分を除く)を含む、請求項1、3、4、6、9、10、11又は12のいずれか1項に記載の処理組成物。
- 前記処理組成物が:組成物の全質量を基準として、(i)40〜99.999質量%の1種又はそれより多くの構造(0)のシラン含有成分;(ii)0.001〜10質量%の1種又はそれより多くの構造(4)のリン含有成分;及び(iii)0〜50質量%の非水性溶媒((i)に含まれる構造(0)のシラン含有成分を除く)を含む、請求項1、3、4、6、9、10、11又は12のいずれか1項に記載の処理組成物。
- 前記処理組成物が:組成物の全質量を基準として、(i)0.01〜49.999質量%の1種又はそれより多くの構造(0)のシラン含有成分;(ii)0.001〜10質量%の1種又はそれより多くの構造(4)のリン含有成分;及び(iii)50〜99.989質量%の非水性溶媒((i)に含まれる構造(0)のシラン含有成分を除く)を含む、請求項1に記載の処理組成物。
- 前記シラン及びリン含有化合物が、アルキルシリルアルキルホスホネート、アリールシリルアルキルホスホネート、アルキルシリルアリールホスホネート、アリールシリルアリールホスホネート、ヘテロアリールシリルアルキルホスホネート、アルキルシリルヘテロアリールホスホネート、ヘテロアリールシリルヘテロアリールホスホネート、アリールシリルヘテロアリールホスホネート、及びヘテロアリールシリルアリールホスホネートからなる群から選択される、請求項1〜16のいずれか1項に記載の処理組成物。
- 前記シラン及びリン含有化合物が、ジメチルシリルオクタデシルホスホネートを含む、請求項1〜17のいずれか1項に記載の処理組成物。
- オクタノール及びオクタデシルホスホン酸を含む、処理組成物。
- 請求項1〜20のいずれか1項に記載の処理組成物を含む基材。
- 基材の表面の少なくとも一部を、請求項1〜20のいずれか1項に記載の処理組成物と接触させる工程を含む、基材の表面を処理する方法。
- 前記基材を洗浄する工程;前記接触させる工程より前の、1種又はそれより多くの任意選択の前すすぎ組成物による、1つ又はそれより多くの前すすぎ工程において前記基材を前すすぎする工程;1種又はそれより多くの任意選択の後すすぎ組成物による、1つ又はそれより多くの任意選択の後すすぎ工程において前記基材を後すすぎする工程;及び前記基材を乾燥させる工程から選択される1つ又はそれより多くの任意選択の追加の工程をさらに含む、請求項22に記載の方法。
Applications Claiming Priority (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US201562141657P | 2015-04-01 | 2015-04-01 | |
US62/141,657 | 2015-04-01 | ||
US15/084,169 US9976037B2 (en) | 2015-04-01 | 2016-03-29 | Composition for treating surface of substrate, method and device |
US15/084,169 | 2016-03-29 | ||
PCT/US2016/025558 WO2016161289A1 (en) | 2015-04-01 | 2016-04-01 | Composition for treating surface of substrate, method and device |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018515910A true JP2018515910A (ja) | 2018-06-14 |
JP6626121B2 JP6626121B2 (ja) | 2019-12-25 |
Family
ID=57007380
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017551102A Active JP6626121B2 (ja) | 2015-04-01 | 2016-04-01 | 基材の表面を処理する組成物、方法及びデバイス |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9976037B2 (ja) |
JP (1) | JP6626121B2 (ja) |
KR (1) | KR102031814B1 (ja) |
CN (1) | CN107810261A (ja) |
SG (1) | SG11201708073YA (ja) |
TW (1) | TWI603976B (ja) |
WO (1) | WO2016161289A1 (ja) |
Families Citing this family (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6454245B2 (ja) * | 2014-10-21 | 2019-01-16 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板液処理方法及び基板液処理装置並びに基板液処理プログラムを記憶したコンピュータ読み取り可能な記憶媒体 |
JP2016139774A (ja) * | 2015-01-23 | 2016-08-04 | 富士フイルム株式会社 | パターン処理方法、半導体基板製品の製造方法およびパターン構造の前処理液 |
JP6419053B2 (ja) * | 2015-10-08 | 2018-11-07 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理方法および基板処理装置 |
TWI673230B (zh) | 2017-01-16 | 2019-10-01 | 昇佳電子股份有限公司 | 微機電裝置的製造方法 |
JP7452782B2 (ja) * | 2017-03-24 | 2024-03-19 | フジフイルム エレクトロニック マテリアルズ ユー.エス.エー., インコーポレイテッド | 表面処理方法およびそのための組成物 |
KR102441238B1 (ko) * | 2017-09-14 | 2022-09-08 | 주식회사 이엔에프테크놀로지 | 실리콘 질화막에 대한 선택적 에칭을 위한 식각 조성물 및 이를 이용한 식각 방법 |
KR102457243B1 (ko) * | 2017-12-21 | 2022-10-21 | 주식회사 이엔에프테크놀로지 | 실리콘 질화막 식각 조성물 |
JP7384332B2 (ja) | 2018-01-05 | 2023-11-21 | フジフイルム エレクトロニック マテリアルズ ユー.エス.エー., インコーポレイテッド | 表面処理組成物及び表面処理方法 |
KR102079016B1 (ko) * | 2018-02-08 | 2020-02-19 | 인하대학교 산학협력단 | 첨가제를 포함하는 고불소화 포토레지스트용 불소계 현상 용매 및 이를 이용한 유기 발광 다이오드 디스플레이 제조방법 |
KR102084164B1 (ko) * | 2018-03-06 | 2020-05-27 | 에스케이씨 주식회사 | 반도체 공정용 조성물 및 반도체 공정 |
US20190374982A1 (en) * | 2018-06-06 | 2019-12-12 | Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd. | Method for treating substrate and rinsing liquid |
WO2020004047A1 (ja) * | 2018-06-27 | 2020-01-02 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板洗浄方法、基板洗浄システムおよび記憶媒体 |
KR102460326B1 (ko) * | 2018-06-28 | 2022-10-31 | 오씨아이 주식회사 | 실리콘 기판 식각 용액 |
US20200035494A1 (en) * | 2018-07-30 | 2020-01-30 | Fujifilm Electronic Materials U.S.A., Inc. | Surface Treatment Compositions and Methods |
US11094527B2 (en) | 2018-10-10 | 2021-08-17 | International Business Machines Corporation | Wet clean solutions to prevent pattern collapse |
CN112011657A (zh) * | 2019-05-31 | 2020-12-01 | 劳力士有限公司 | 用于浸渍基材,特别是表带,的组合物 |
KR20230001961A (ko) * | 2021-06-29 | 2023-01-05 | 세메스 주식회사 | 기판 처리 방법 및 기판 처리 시스템 |
KR102655599B1 (ko) * | 2023-07-17 | 2024-04-08 | 와이씨켐 주식회사 | 반도체 패턴 쓰러짐 방지용 코팅 조성물 및 이를 이용하여 코팅된 패턴 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010192879A (ja) * | 2009-01-21 | 2010-09-02 | Central Glass Co Ltd | シリコンウェハ用洗浄剤 |
JP2013118347A (ja) * | 2010-12-28 | 2013-06-13 | Central Glass Co Ltd | ウェハの洗浄方法 |
WO2014092424A1 (ko) * | 2012-12-12 | 2014-06-19 | 영창케미칼 주식회사 | 커패시터 쓰러짐 방지용 코팅 조성물 |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7410820B2 (en) | 2004-01-05 | 2008-08-12 | Texas Instruments Incorporated | MEMS passivation with phosphonate surfactants |
US7883738B2 (en) * | 2007-04-18 | 2011-02-08 | Enthone Inc. | Metallic surface enhancement |
EP2355139B1 (en) | 2008-11-28 | 2018-03-14 | Sony Corporation | Method of manufacturing a thin film transistor |
EP2417142B1 (en) * | 2009-04-06 | 2014-07-23 | Georgia Tech Research Corporation | Electronic devices comprising novel phosphonic acid surface modifiers |
US8182646B2 (en) | 2009-09-30 | 2012-05-22 | Federal-Mogul Corporation | Substrate and rubber composition and method of making the composition |
EP2507186B1 (en) | 2009-12-04 | 2014-11-12 | Oclaro Technology Limited | Surface treatments and coatings |
WO2012027667A2 (en) | 2010-08-27 | 2012-03-01 | Advanced Technology Materials, Inc. | Method for preventing the collapse of high aspect ratio structures during drying |
EP3353249A4 (en) * | 2015-09-23 | 2019-05-15 | 3M Innovative Properties Company | COMPOSITION WITH SILANES AND METHOD FOR PRODUCING A TREATED ARTICLE |
-
2016
- 2016-03-29 US US15/084,169 patent/US9976037B2/en active Active
- 2016-04-01 KR KR1020177031487A patent/KR102031814B1/ko active IP Right Grant
- 2016-04-01 CN CN201680030221.0A patent/CN107810261A/zh active Pending
- 2016-04-01 WO PCT/US2016/025558 patent/WO2016161289A1/en active Application Filing
- 2016-04-01 JP JP2017551102A patent/JP6626121B2/ja active Active
- 2016-04-01 SG SG11201708073YA patent/SG11201708073YA/en unknown
- 2016-04-01 TW TW105110601A patent/TWI603976B/zh active
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010192879A (ja) * | 2009-01-21 | 2010-09-02 | Central Glass Co Ltd | シリコンウェハ用洗浄剤 |
JP2013118347A (ja) * | 2010-12-28 | 2013-06-13 | Central Glass Co Ltd | ウェハの洗浄方法 |
WO2014092424A1 (ko) * | 2012-12-12 | 2014-06-19 | 영창케미칼 주식회사 | 커패시터 쓰러짐 방지용 코팅 조성물 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TW201636355A (zh) | 2016-10-16 |
TWI603976B (zh) | 2017-11-01 |
KR102031814B1 (ko) | 2019-10-14 |
CN107810261A (zh) | 2018-03-16 |
JP6626121B2 (ja) | 2019-12-25 |
US20160289455A1 (en) | 2016-10-06 |
WO2016161289A1 (en) | 2016-10-06 |
SG11201708073YA (en) | 2017-10-30 |
KR20170135889A (ko) | 2017-12-08 |
US9976037B2 (en) | 2018-05-22 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6626121B2 (ja) | 基材の表面を処理する組成物、方法及びデバイス | |
TWI813614B (zh) | 表面處理組成物及方法 | |
WO2012090779A1 (ja) | ウェハの洗浄方法 | |
TWI425002B (zh) | Protective film forming liquid | |
US8828144B2 (en) | Process for cleaning wafers | |
US9748092B2 (en) | Liquid chemical for forming protecting film | |
US9496131B2 (en) | Liquid chemical for forming protecting film | |
US20070251551A1 (en) | Removal of high-dose ion-implanted photoresist using self-assembled monolayers in solvent systems | |
JP4977508B2 (ja) | ダメージの入った多孔性誘電体の処理方法 | |
US20170062203A1 (en) | Method of Preparing Liquid Chemical for Forming Protective Film | |
JP2008513552A (ja) | 処理剤物質 | |
TW202016280A (zh) | 表面處理組成物及方法 | |
WO2018193841A1 (ja) | ウェハの表面処理方法及び該方法に用いる組成物 | |
JP2008538013A (ja) | 溶媒系中の自己組織化単分子膜を用いた高線量イオン注入フォトレジストの除去 | |
JP2019080009A (ja) | ウェハの洗浄方法 | |
WO2013069499A1 (ja) | ウェハの表面処理方法及び表面処理液、並びに、窒化ケイ素含有ウェハ用の表面処理剤、表面処理液、及び表面処理方法 | |
JP6098741B2 (ja) | ウェハの洗浄方法 | |
WO2019138870A1 (ja) | 撥水性保護膜形成用薬液、及びウェハの表面処理方法 | |
US20230265362A1 (en) | Rinsing solution, method of treating substrate, and method of manufacturing semiconductor device | |
KR20070090199A (ko) | 반도체 적용을 위한 선택적 제거용 화학 물질 및 이를 생산및 사용하는 방법 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20171017 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20181022 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20181113 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20190212 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20190513 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20191029 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20191128 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6626121 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |