JP2018511668A - 接着テープロールの巻き取りレベルの粘着性を低減する方法 - Google Patents

Abstract

本発明は、接着テープのロール（１）の端面の粘着性を低減する方法に関し、プラズマ流（２０）に前駆体（１８）を供給し、前駆体（１８）で富化されたプラズマ流（２０）を使用して、プラズマ工程においてキャリアフィルム（２）を不動態化コート（３）で被覆し、接着テープのロール（１）の端面（４）にその不動態化コーティングされた側の面にキャリアフィルムセクション（５）を配置し、キャリアフィルムセクション（５）を除去し、不動態化コート（６）の少なくとも一部を端面（４）上に残し、端面の粘着性を減少させることを特徴とする。

Description

本発明は、粘着テープのロールの端面粘着性を低減する方法に関する。

感圧接着剤テープの製造においては、基材ウェブが接着剤でしばしばコーティングされ、基材ウェブの幅は５００ｍｍ〜２００ｍｍである。コーティングが行われた後、幅の広い粘着テープロールを所望の作業幅の粘着テープのロールにスリットする。スリット加工の結果、粘着テープロールのスリットエッジで粘着剤が露出する。接着テープのロールの端面全体が接着性を有することがあり、これにより、さらなる加工を行うことが困難になり、さらには製品を展開することが不可能になる。

これらの欠点は、特に、接着テープが、基材ウェブに対して厚い感圧接着剤のコーティングを有する場合に生じる。これらのいわゆる厚層製品の場合、特に、それ自体の粘着特性を有する粘弾性基材ウェブが使用されることも多く、粘着テープのロールの端面全体が事実上スリット領域全体にわたり接着性になる。ロール端面の粘着性の結果として、他の物体との接触は、除去時に粘着テープのロールを破壊または変形させ、それがもはやさらなる使用のために展開されないことを意味する。この欠点は、幅の狭いロールと呼ばれる非常に狭い幅の接着テープの場合に特に顕著である。

さらに、露出した接着剤のロール端面は、特に汚れやほこりが直接の環境に存在する場合には、汚れの危険性が高い。特定の用途では、特にエレクトロニクス分野の透明な接着剤の場合、汚れた粘着テープを使用することはできない。シリコーン処理された紙もしくはフィルムまたは剥離紙もしくは剥離フィルムを側面に置くことは、周知の技術である。これらの剥離フィルムまたは紙は、適切な形状およびサイズで、端面のサイズにダイカットされる。しかしながら、これは非常にコストが掛かり、不便である。さらに、シリコーン処理された剥離ディスクは、接着テープのロールが使用される前に再び取り外されなければならず、使用後に再び交換されなければならず、したがって接着テープのロールの利用は極めて非効率的である。ロールの自動処理では、巻き取り中にロールが汚染されることなく、他の構成要素に粘着することなく、剥離ディスクを取り出し、適切なホルダーに入れる必要がある。

当分野において既知の別の代替法は、例えば、タルクのような個々の顔料を用いた端面の粉末化である。しかしながら、この方法では、粉末化は顔料の噴霧化によって達成されるので、接着テープのロール全体が著しく汚染される。さらに、小さな顔料は接着性化合物に「浸透」するので、その効果は処理後に著しく低下する。光がスリットエッジで拡散的に屈折するので、接着テープの光学特性にも変化がある。これは、特に高い視覚的透明性を有するディスプレイの接着における欠点となる。

国際公開第２００８／０９５６５号には、感圧接着剤テープの端部を不動態化する方法が記載されており、不動態化は、端部の感圧接着剤の物理的または化学的架橋によって行われるか、または、接着効果を有する感圧接着剤中のその構造を物理的もしくは化学的に破壊することによって行われる。これは、側部に架橋剤を適用し、続いてＵＶまたはＩＲ照射、電子照射、ガンマ線照射またはプラズマ処理を行うことによって達成される。開示された架橋剤としては、エポキシド、アミン、イソシアネート、過酸化物、または多官能性シランが含まれる。欠点は、この方法の比較的取扱い性が悪く不便な構成である。

欧州特許第１３７３４２３号明細書には、放射線架橋性アクリレート、アクリレートオリゴマー、およびアクリレートプレポリマーを適用し、電離および電磁放射線を用いて硬化を行うことによって、接着テープのロールの端面の接着剤層を不活性化する方法が記載されている。

米国特許出願公開第２０１０／００４４７５３０号明細書には、放射線硬化性コーティング材料またはホットメルトポリマーが使用される間接的な塗布プロセスを使用して、接着テープのロールの側縁をコーティングする方法が記載されている。

欧州特許出願公開第１１２９７９１Ａ２号明細書には、粘着防止層を低圧プラズマ重合によりウェブ形態の材料に適用し、ウェブ形態のこの材料を、低圧プラズマを保持するプラズマ領域を介して連続的に引き出す、粘着防止コーティングを製造する方法が記載されている。プラズマ重合によって形成された粘着防止コーティングは、特に、粘着テープの裏面および剥離材料のために製造される。

上記で特定した方法は、接着（粘着）テープのロールの端面の粘着性を低減するための限定された有用性のみしか示さない。

国際公開第２００８／０９５６５号 欧州特許第１３７３４２３号明細書 米国特許出願公開第２０１０／００４４７５３０号明細書 欧州特許出願公開第１１２９７９１Ａ２号

したがって、本発明の課題は、接着テープロールの端面の粘着性を減少させるための改良された方法を提供することである。

この目的は、冒頭に特定される方法によって達成され、請求項１に記載の特徴を有する。当該方法は、プラズマジェットを利用し、プラズマジェットで生成されたプラズマ流に前駆体を供給し、前駆体で富化されたプラズマを用いてキャリアフィルムをプラズマ工程において不動態化コートで被覆する。キャリアフィルムセクション（部分）は、不動態化コーティングされた側によって接着テープのロールの端面上に配置され、キャリアフィルムセクションは除去され、不動態化コートの少なくとも一部はロール端面上に残り、粘着性が低減される。記載された方法工程は、好ましくは、列挙された順序で実行される。

図１は、キャリアフィルムに不動態化コートを塗布するためのプラズマジェットを示す。 図２は、不動態化コートが設けられたキャリアフィルムと、接着ロール端面を有する接着テープのロールとを示す。 図３は、図１のロール端面に押し付けられたキャリアフィルムを示す。 図４は、接着テープのロールの端面から再び除去されたキャリアフィルムを示す。

キャリアフィルムセクションは、プラズマコーティングされた後、キャリアフィルムから切り離される。このようにして、簡便な製造技術によって多数のレジスタ内不動態化コートされたキャリアフィルムセクションを製造することができる。

本発明の方法は、ロール端面の粘着性を直接低下させないで、プラズマ工程で製造された不動態化コートを有するキャリアフィルムを最初に提供するという概念を利用する。当該プラズマ工程においては、有利なことに、特に薄く均質な不動態化コートを高レベルの再現性で製造することが可能であった。キャリアフィルムおよび前駆体の材料の選択に依存して、キャリアフィルムから不動態化コートを剥離する容易性が異なることになる。本発明によれば、キャリアフィルムは不動態化コートを伴って粘着性ロール端面上に配置され、不動態化コートの少なくとも一部はロール端面上に存在する感圧接着剤によって剥離され、感圧接着剤と結合する。感圧接着剤と不動態化コートとの間の剥離接着力は、キャリアフィルムと不動態化コートとの間の剥離接着力よりも大きいため、キャリアフィルムセクションの剥離に続いて、不動態化コートの少なくとも一部がロール上の端面に残る。ロールの端面の粘着性は、キャリアフィルムセクションから剥離した不動態化コート部分によって低減される。

本発明の方法において、前駆体はプラズマに供給され、すなわち、処理ガスがプラズマジェットによってプラズマに励起された後に供給される。前駆体で富化された後、キャリアフィルムの表面に向けられるのは、プラズマ流のみである。

その結果、前駆体は、場合によっては前駆体のモノマーを破壊する可能性のあるプラズマジェットの電極先端の強力な交流電磁場、または電気的アーク放電の場合に典型的に形成される熱、またはプラズマジェットの他の励起場に露出されない。さらに、この手段によって電極の汚れが防止される。

前駆体をプラズマに供給するために可能な様々な手段がある。

好ましくは、液体前駆体は、前駆体ユニット中で気化され、次いで、キャリアガスに供給され；前駆体で富化されたキャリアガスが続いてプラズマ流に供給される。

前駆体は、有利には、エアロゾルとしてプラズマ流に供給されてもよい。

前駆体として、シロキサンまたはシロキサン含有化合物の使用が好ましく、特に、前駆体の選択肢としてＨＭＤＳＯ（ヘキサメチルジシロキサン）がである。キャリアフィルムは、有利には１０ｎｍ〜６００ｎｍの厚さの不動態化コートを備えている。したがって、プラズマ工程は、薄い不動態化コートが製造されることを保証し、薄い不動態化コートは、その薄さの特性のために、転写後の粘着テープのロールの機能特性を変化させず、一方、薄い不動態化コートはキャリアフィルムから容易に取り外し可能であり、したがって、ロールの粘着性プライ（粘着性層）に転用される。

キャリアフィルムは、好ましくは、ラミネートローラーまたは類似の装置を用いてロール端面にプレスされる。これは、不動態化コートまたは不動態化コートの転写された部分とロール端面との間に比較的強い接着結合を生成し、したがって、キャリアフィルムがロール端面から除去された後、不動態化コートの少なくとも一部が残るロールの端面の粘着領域に粘着し、その粘着性を低下させる。不動態化コートは、有利にはロールの接着性プライ上のみに転写される。

本発明の方法により、不動態化コートはロール端面に直接形成されるのではなく、最初はキャリアフィルム上に形成され、それにより、この方法をより強固でより効率的にすることを可能にする。

接着テープのロールは、好ましくは幅の広い接着テープロールをスリットすることによって製造される。接着テープのロールは、幅広の接着テープロールからスリットされる。次いで、本発明の方法を接着テープのスリットオフされたロールに適用し；有利なことに、時間を節約するために、幅広の接着テープロールのスリッティングとキャリアフィルムのプラズマコーティングを同時に行うことができる。キャリアフィルムの場合、好ましくは、ＰＥＴ、ＰＶＣ、ＰＣ、ＰＰ、またはＰＥの群からの材料が選択される。これらのプラスチックは安価で入手容易である。

無極性ポリマーがキャリアフィルムの材料として選択されることが特に好ましい、特にシロキサン含有不動態化コートを有する無極性ポリマーは弱い結合のみを形成し、したがって不動態化コートはキャリアフィルムからより容易に分離可能であるからである。

本発明は、４つの図の実施例を参照して説明される：
図１は、キャリアフィルムに不動態化コートを塗布するためのプラズマジェットを示し、
図２は、不動態化コートが設けられたキャリアフィルムと、接着ロール端面を有する接着テープのロールとを示しており、
図３は、図１のロール端面に押し付けられたキャリアフィルムを示し、
図４は、接着テープのロールの端面から再び除去されたキャリアフィルムを示す。

接着テープのロール１の端面粘着性を低減するための本発明の方法は、図１に示すプラズマジェット１０によって不動態コート３を有するキャリアフィルム２を最初に製造することに基づいている。その後、不動態化コート３が設けられたキャリアフィルム２をキャリアフィルムセクション５に切断し、図２に従って、被覆された面に、接着テープのロール１の粘着性端面４に塗布する。

図３に示されるように、キャリアフィルム部５をロール端面４に押し付ける。これは、ラミネートローラー（図示せず）を用いて行うことができる。この操作では、不動態化コート３は、粘着性ロール端面４と密接して圧入される。加圧および不動態化コート３と粘着性ロール端面４との接触の結果、不動態化コートの一部６がロール端面４の粘着性を担う感圧接着剤ウェブ８の縁部に接合し、キャリアフィルム部５が除去された後、キャリアフィルムセクション５から剥がされた不動態化コートの一部６がロール端面４上に残り、図４のロール端面４の粘着性を低下させる。

ここで、ロール端面４とは、巻取ロール１の粘着テープの２つの端面側をいう。粘着テープのロール１は、基材ウェブ７、および、基材ウェブ７の片面に適用された感圧接着剤ウェブ８を有する。基材ウェブ７は、フィルム、布または紙であってもよい。

図２および図３に示される粘着テープのロール１は、一方の面に感圧接着剤でコーティングされた基材ウェブ７を有する。感圧接着剤は、基材ウェブ７の一面を完全にカバーする感圧接着剤ウェブ８を形成する。基材ウェブ７および感圧接着剤ウェブ８は、接着テープ９を形成する。基材ウェブ７は、５００ｍｍ〜２０００ｍｍの幅で作成され提供され、この幅において感圧接着剤で被覆されている。基材ウェブ７は粘着性ウェブ８で巻き取られているので、粘着テープのロール１も同様に５００ｍｍ〜２０００ｍｍの幅を有する。その後、所望の作業幅を有する粘着テープのロール１に非常に幅広の粘着テープロールスリットが入る。スリット加工後、接着テープロール１のスリットエッジ、特に感圧接着剤ウェブ８のスリットエッジに感圧接着剤が露出し、その粘着特性により、さらに加工し、製品として展開されることが困難または不可能になることがある。

図２に示される、接着テープのロール１の実質的に円形の端面側は、ここではロール端面４として示され、基板ウェブ７と感圧接着剤ウェブ８の交互の配列によって区別される。

接着テープのロール１の他の実施形態においては、接着テープ９は、感圧接着剤ウェブ８の厚さに対する基材ウェブ７の厚さの比が非常に小さい。厚膜製品として示されるこの種類の接着テープ９においては、基材ウェブ７に接着特性を有する粘弾性材料を使用するのが一般的であり、したがって、粘着テープのロール１の端面４全体が粘着性である。

ロール端面4の粘着性の結果として、他の物体と接触した後、剥離時の粘着テープのロール１は破壊または変形し、使用のためにもはや使用することができない。これは特に機械的強度が低い狭幅ロールの場合に問題となる。

ロール端面４の粘着性は、不動態化コート６の部分適用によって低減される。この目的のために、図１による第１の方法ステップにおいて、図１に示すように、キャリアフィルム２は、プラズマジェット１０を用いたプラズマ工程によって不動態化コート３で被覆される。プラズマジェット１０は、図１に図示的に示されているが、プロセスガス１２のための少なくとも一つの入り口１１を有する。プロセスガス１２は、空気または窒素またはそれらの混合物であり、電極チップ１３を通過して搬送される。電極チップ１３は、約１０ｋＨｚの周波数で数ｋＶの電圧の高周波交流電圧１４に接続されている。電極チップ１３と対向電極１５との間には、コロナ放電と呼ばれる、強い交流電界が生成され、それによりプラズマジェット１０を通って電極チップ１３を通過したプロセスガス１２をイオン化し、それをプラズマ流２０に変換する。プラズマ流２０は、前駆体ノズル１７を介して前駆体ユニット１７が接続されたプラズマノズル１６を通ってガイドされる。前駆体ユニット１７から気化した前駆体１８がプラズマ流２０に供給される。この例においては、前駆体１８はヘキサメチルジシロキサン（ＨＭＤＳＯ）であり、プロセスガス１２に４０ｇ／時間の速度で供給される。前駆体ノズル１９は、キャリアフィルム２の表面に対して直角に立設され、キャリアフィルム２を回転テーブル（図示せず）上に載せた状態でプラズマノズル１６内に開口している。

キャリアフィルム２の表面の処理は、プラズマジェット１０の放電チャンバまたはプロセスガス流路内の圧力は、より高くてもよいが、大気圧またはそれに近い圧力で行われる。ここでプラズマとは、熱平衡状態ではなく、活性領域内の周囲圧力に近い圧力を有する、電気的に活性化された均一な反応性ガスである大気圧プラズマをいう。一般に、圧力は周囲圧力よりも０．５バール高い。電場における放電およびイオン化工程は、プロセスガスの活性化を引き起こし、ガス成分中に高励起状態が生成される。使用されるガスまたはガス混合物は、プロセスガス１２と呼ばれる。前駆体１８は、ガス状またはエアロゾルとして、プラズマノズル１６内のプロセスガス１２に供給され、このガスは、ガス導管を介して、前駆体ユニット１７と接続され、キャリアフィルム３の表面上に実際の不動態化コーティング３を形成するのは当該前駆体１８である。

例１：
この例においては、ヘキサメチルジシロキサンがプロセスガスに供給され、プロセスガス中で励起され、同時にその反応性を著しく増加させる。その結果、シロキサンは、キャリアフィルム２の表面上に最適に適用され、強固に取り付けられる。この例では、Ｐｌａｓｍａｔｒｅａｔ ＧｍｂＨのＰｌａｓｍａＰｌｕｓプラズマ技術を用いてプラズマ重合層を生成する。

実験システムは、以下のパラメータ、条件、および技術データを含む。
キャリアフィルム１：シリコン処理ＢＯＰＰ
Ｐｌａｓｍａｊｅｔ １０：Ｐｌａｓｍａｔｒｅａｔ ＧｍｂＨ製の発電機ＦＧ ５００１、固定ノズル２１６０２８ＷＥ
前駆体１８：ヘキサメチルジシロキサン（ＨＭＤＳＯ）。
前駆体量：４０ｇ／時間
治療数：１〜３倍
処理速度：プラズマノズル１６の５ｍ／分の適用速度に対応する、キャリアフィルム２を有する回転テーブル８０ｒｐｍ
プラズマノズルの距離
キャリアフィルム２からの１６：１５ｍｍ
ＰＣＴ（パルスサイクルタイム）：１００％

ここでのＢＯＰＰは、二軸延伸ポリプロピレンを表す。ＰＣＴ（Ｐｕｌｓｅ Ｃｙｃｌｅ Ｔｉｍｅ、パルスサイクルタイム）は、プラズマ放電がパルスによって変調されることを意味する。スイッチのＯＮ、ＯＦＦは、電極の耐用年数を改善し、反応種の形成に影響を及ぼす可能性がある。この場合、連続放電で動作する。

キャリアフィルム２のプラズマコーティング（プラズマ被膜）の後、除去されたキャリアフィルムセクション５は、４ｋｇのローラーを用いて粘着テープのロール１の端面４上に積層され、直ちに除去される。除去されたキャリアフィルムセクション５上で、不動態化コート６の転写された部分の補完は、光の屈折の結果として認識可能である。本実施例では、テサ製品ＡＣＸｐｌｕｓ ７０５５について、ロール端面４上の著しく減少した剥離接着性が見出された。接着テープの処理されたロール１は、もはや端面４によって平滑または金属基板に接着せず、変形することなく再びピックアップすることができる。

例２
第２の例は、ベルギーのＶＩＴＯからの間接プラズマプロセスＰｌａｓｍａＬｉｎｅ（登録商標）を使用する。このプラズマ処理は、大気条件下のコロナ技術に基づいてプラスチック表面を仕上げるために開発された。それはＤＢＤ（誘電体バリア放電）システムを構成する。プラズマノズルの１つの構成は、“Ａｔｍｏｓｐｈｅｒｉｃ ＤＢＤ ｐｌａｓｍａ ｐｒｏｃｅｓｓｅｓ ｆｏｒ ｐｒｏｄｕｃｔｉｏｎ ｏｆ ｌｉｇｈｔｗｅｉｇｈｔ ｃｏｍｐｏｓｉｔｅｓ”「軽量複合材料の製造のための大気ＤＢＤプラズマプロセス」（Ｖａｎｇｅｎｅｕｇｄｅｎ ｅｔ ａｌ．， ２０１３， ２１^ｓｔ Ｉｎｔｅｒｎａｔｉｏｎａｌ Ｓｙｍｐｏｓｉｕｍ ｏｎ Ｐｌａｓｍａ Ｃｈｅｍｉｓｔｒｙ （ＩＳＰＣ ２１）， Ｓｕｎｄａｙ ４ Ａｕｇｕｓｔ − Ｆｒｉｄａｙ ９ Ａｕｇｕｓｔ ２０１３， Ｃａｉｒｎｓ Ｃｏｎｖｅｎｔｉｏｎ Ｃｅｎｔｒｅ， Ｑｕｅｅｎｓｌａｎｄ， Ａｕｓｔｒａｌｉａ）に示される。

スロット付きノズルを使用して、線形大気圧プラズマが、対向電極１５を必要とせずに、処理ガス１２を介して処理されるキャリアフィルム２上に吹き出される。プロセスガス流に反応性化学物質を導入すると、キャリアフィルム２の基材の特性を変えることなく、不動態化コート３を形成することができる．ＡＰＴＥＳの場合のプラズマ流２０は、電極チップ１３からの流速によって前方に駆動され、短い距離のちに、キャリアフィルム２にガイドされる。この工程では、被覆されたキャリアフィルム２はシリコン処理されたＢＯＰＰであり、パラメータセットは以下の通りであった：

ノズルの距離
処理のためのＢＯＰＰ：３．５ｍｍ
速度：５ｍ／分
電力：２５００Ｗ
プロセスガス流：９００ｓｌ／分
エアロゾルの種類：ＡＰＴＥＳ
処理回数：５回

ＡＰＴＥＳは３−アミノプロピルトリエトキシシランである。キャリアフィルム２のプラズマ処理の後、キャリアフィルムセクション５は、４ｋｇのローラーで粘着テープのロール１の端面４に積層され、直ちに除去される。不動態化コート６の転写された部分（この場合はプラズマ重合被膜）の補完部分は、光の屈折の結果としてのキャリアフィルムの除去されたセクション５に見ることができる。ｔｅｓａ（登録商標）製品ＡＣＸｐｌｕｓ７０５５により、ロール端面４の剥離接着性が著しく低下することが観察され得る。接着テープの処理されたロール１は、もはや滑らかなまたは金属性の基材上のロール端面４によって付着せず、変形することなく再び選別されることができた。

プラズマ工程において前駆体としてしばしば使用されるモノマーの１つのクラスは、シロキサンである。それらは、ケイ素の骨格と、複数の炭化水素基を有する酸素原子からなる。モノマーパラメータおよび使用されるプラズマパラメータに依存して、可変炭化水素フラクション（ＳｉＯｘＣｙＨｚ）を有する石英様不動態化コート３を堆積させることが可能である。

薄いガラス様コートの形態で製造することができる純粋なＳｉＯｘ不動態化コート３の蒸着（堆積、ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）が好ましい。

不動態化コートの蒸着のためには、以下の多官能性シロキサンが適している：ＨＭＤＳＯ（ヘキサメチルジシロキサン）；ＴＥＯＳ（テトラエトキシシラン）；ＰＤＭＳ（ポリジメチルシロキサン）。プラズマ中で不動態化コートとして頻繁に使用されるＨＭＤＳＯの蒸着の場合、典型的には、水素の存在下で反応して水、ＣＯおよびＣＯ_２を形成する水素および全メチル基の最初の除去が存在する。Ｓｉ−Ｏ−Ｓｉ骨格は、通常、不動態化コート３として石英様ポリマー層のビルディングブロックとして保持される。

キャリアフィルム２としては、原理的には、ＰＥＴフィルム、ＰＶＣフィルム、ＰＣフィルム、ＰＰフィルムまたはＰＥフィルムを含む全てのポリマーフィルムを使用することが可能である。

しかしながら、転写される不動態皮膜３の無極性ポリマーへの定着ははるかに目立たず、不動態皮膜３のロール端面４への転写はより容易である。さらに、シリコン処理されたキャリアフィルム２は、転写を著しく促進し、より少ない消費量で除去することができるという利点があることが明らかになっている。

符号のリスト
１ 接着テープロール
２ キャリアフィルム
３ 不動態化コート
４ ロール端面
５ キャリアフィルムセクション
６ 不動態化コートの独立部分
７ 基材ウェブ
８ 感圧接着性ウェブ
９ 接着テープ
１０ プラズマジェット
１１ 入り口
１２ プロセスガス
１３ 電極チップ
１４ 交流電圧
１５ 対向電極
１６ プラズマノズル
１７ 前駆体ユニット
１８ 前駆体
１９ 前駆体ノズル
２０ プラズマ流

Claims (11)

1. 接着テープのロール（１）の端面の粘着性を低減する方法であって、
   プラズマ流（２０）に前駆体（１８）を供給し、
   前駆体（１８）で富化されたプラズマ流（２０）を使用して、プラズマ工程においてキャリアフィルム（２）を不動態化コート（３）で被覆し、
   接着テープのロール（１）の端面（４）にその不動態化コーティングされた側の面にキャリアフィルムセクション（５）を配置し、
   キャリアフィルムセクション（５）を除去し、不動態化コート（６）の少なくとも一部を端面（４）上に残し、端面の粘着性を減少させる、前記方法。
2. 前記前駆体（１８）が、プラズマノズル（１６）でプラズマ流（２０）に供給され、
   前駆体（１８）で富化されたプラズマ流（２０）が、キャリアフィルム（２）の表面に向けられることを特徴とする請求項１に記載の方法。
3. 液体前駆体（１８）が気化され、次いでキャリアガスに供給されることを特徴とする請求項１または２に記載の方法。
4. シロキサンが前駆体（１８）として使用されることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の方法。
5. ＨＭＤＳＯが前駆体（１８）として使用されることを特徴とする請求項４に記載の方法。
6. 前記キャリアフィルムセクション（５）が端面（４）上にラミネートローラーでプレスされることを特徴とする、請求項１〜５のいずれかに記載の方法。
7. 前記キャリアフィルム（２）が１０ｎｍ〜６００ｎｍの厚さの不動態化コート（３）を備えることを特徴とする、請求項１〜６のいずれかに記載の方法。
8. 前記キャリアフィルム（２）として、ＰＥＴ、ＰＶＣ、ＰＣ、ＰＰ、およびＰＥの群からの材料が選択されることを特徴とする、請求項１〜７のいずれかに記載の方法。
9. 前記キャリアフィルム（２）の材料として、無極性ポリマーが選択されることを特徴とする、請求項１〜８のいずれかに記載の方法。
10. 接着テープの前記ロール（１）が幅広の接着テープロールからスリットすることによって除去されることを特徴とする、請求項１〜９のいずれかに記載の方法。
11. 幅広の接着テープロールが接着テープのロール（１）にスリップしている間に、キャリアフィルム（２）がプラズマコーティングされることを特徴とする、請求項１０に記載の方法。

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