JP2021513581A - 接着のためのケイ素ベースの保護フィルム、その製造方法及びその利用 - Google Patents

Abstract

接着剤のためのケイ素ベースの保護フィルム、その製造方法及びその利用。保護フィルムであって、シリコーンに基づき、１００ｎｇ／ｃｍ２以下、好ましくは、５０以下、好ましくは、２０ｎｇ／ｃｍ２以下、及び更により好ましくは、１０ｎｇ／ｃｍ２未満である抽出可能なシリコーンのレベルを有する前記保護フィルムを特徴とする、接着性又は自己接着性の要素用のケイ素ベースの保護フィルム、それらの製造の方法、及びそれらの利用。

Description

発明の詳細な説明

〔技術分野〕
本発明は、ケイ素ベースの保護フィルム、特にシリコーンに基づいた保護フィルムに関する。より詳細には、本発明は、接着性又は自己接着性のためのポリシロキサンに基づいた保護フィルムであって、剥離コーティングの少なくとも１つの層を有する紙又はプラスチック基材を任意に備える。本発明はまた、接着性又は自己接着性の要素（adhesive or self-adhesive element）と、上述の少なくとも１つの保護フィルムとを備えるアセンブリに関する。

接着剤は、様々なタイプのものであってよい。電子用途において、接着剤は、典型的にはアクリレートに基づくが、これに限定されず、好ましくは電子グレードのものである。他の場合において、使用前にタッチスクリーンに貼る外部フィルムは、シリコーン接着剤によって、接着性又は自己接着性が与えられる。医療用デバイス等の他の用途において、接着性又は自己接着性は、かなりシリコーンに基づいており、特に、それに限定されないが、医療用グレードの接着性又は自己接着性である。

本発明はさらに、その利用及びその製造の方法に関する。

〔発明の技術的背景〕
したがって、第１の態様において、本発明は、接着性又は自己接着性の要素用のケイ素ベースの保護フィルムに関する。

接着性又は自己接着性の要素は、様々な形態であってよい。区別は、第１の接着性又は自己接着性の面、及び、接着性ではない第２の面を備える接着性又は自己接着性の要素と、接着性又は自己接着性を有する第１の及び第２の面を備える接着性又は自己接着性要素との間でされるだろう。

これらの接着剤は、好ましくは感圧接着剤又は自己接着剤であり、それらの用途に応じた様々な性質のものである。電子分野において、接着剤は、アクリル酸／アクリレートの性質を有するが、医療分野は、一般にシリコーンの接着剤又は自己接着剤を好む。それらは、耐熱性及び耐寒性、電気絶縁性に優れ、特に安全性及び信頼性に優れている。シリコーンに基づいた感圧接着テープは、除去が容易であるが、広範囲の表面上において良好な接着特性を有する。それらは、例えば、マスキング用接着剤、特殊接着剤、保護フィルム、両面接着テープ、及びラベルにおいて見られる。

医療用のシリコーンに基づく接着性又は自己接着性の医療装置は、皮膚上に配置されることが意図される接着性電極、パッチ及び皮内の接着剤、ならびに接着性又は自己接着性の包帯などの様々な形態であってもよい。

接着性又は自己接着性を有する第１の面及び第２の「非接着性」面を備える接着性又は自己接着性の要素について、接着剤又は自己接着剤のコーティングは、ラベルを形成する紙、プラスチック又はポリマー基材、織布又は不織布、及び医療用デバイス（例えば、医療用包帯など）等の様々な種類の基材に塗布されてもよい。

商業的に供給される接着性又は自己接着性の要素が実質的に平面である場合、それらは、一般に、「非接着性」基材、すなわち、非接着性コーティングが塗布される紙又はプラスチック又はポリマーに基づいた基材上に適用される。非接着性コーティングを有するこれらの基材は、医療用のシリコーンに基づいた接着性又は自己接着性の医療用デバイス等の、シリコーンに基づいた多くの接着性又は自己接着性の要素に塗布された剥離可能な層（「剥離ライナー」と呼ばれる）という形式の保護フィルムを形成する。

したがって、例えば医療用のような、シリコーンに基づいた接着剤又は自己接着剤のためのケイ素ベースの保護フィルムのための多数の用途が存在する。

これらの接着性又は自己接着性の要素が接着剤のロールとして市販されている場合、ある種の医療用包帯、保護フィルムのロールは、必ずしもそうではないが、「非接着性」基材上に塗布されてもよい。接着性又は自己接着性の面は、接着性要素の第２の非接着性面上に配置される場合もある。この場合、保護フィルムを形成する非接着性コーティングは、接着性又は自己接着性の要素が接着剤又は自己接着剤でコーティングされる前又は後に、接着性又は自己接着性の要素の第２の「非接着性」面上に直接、塗布されてもよい。

接着性又は自己接着性を有する第１の面、及び接着性又は自己接着性を有する第２の面を備える接着性又は自己接着性の要素（両面の接着性又は自己接着性の要素）を得るために、接着性又は自己接着性のコーティングは、紙基材、プラスチック又はポリマーの基材、織布又は不織布の基材などの様々な種類の基材上に、又は基材に貼る前の保護フィルム上にさえも塗布されてもよい。

商業的に供給される両面接着性又は自己接着性の要素が、実質的に平面である場合、それらは一般に、２つの「非接着性」基材の間（すなわち、非接着性コーティングが塗布される紙又はプラスチック又はポリマーに基づいた基材の上）に配置される。これらの非接着性基材は、多くの接着性要素上に貼られた剥離可能層（「剥離ライナー」と呼ばれる）の形態の保護フィルムを形成する。

これらの両面接着性又は自己接着性の要素が接着剤のロール、特定の医療用包帯、保護フィルムの特定のロールとして市販されている場合、それらは、「非接着性」基材上に塗布されてもよい。前記「非接着性」基材は、保護フィルムを形成する基材の両面に、また剥離可能な層の形態でも非接着性コーティングを有する基材を備える。

したがって、接着性又は自己接着性の要素用のケイ素ベースの保護フィルムには、多数の用途が存在する。

本発明の意味において、低い接着性を有する表面は、「非接着性」と呼ぶ。この接着性は、低い接着性で表面と接触させられる第２の表面に対して特徴付けられる。

〔従来技術〕
基材上に塗布される接着性要素用のケイ素ベースの保護フィルムは、例えば、一般にシリコーン層からなる、接着剤を一時的に保護するためのフィルム等として知られている。このシリコーン層は、基材に弱い接着性を与える。後者は、接着剤が物体上に塗布される前に、接着剤を保護することを可能にする。シリコーン層は、基材（紙又はプラスチック）の表面で熱的に又はＵＶによって架橋されてもよく、液相中で化学的に蒸着（湿式化学蒸着）されてもよく、プラズマによって補助された気相中で化学的に蒸着（プラズマ補助化学蒸着）されてもよく、フッ素及び／又はケイ素を含有する化合物又はモノマーの反応によって補助された気相中で化学的に蒸着されてもよく、粉末を使用するコーティング（粉末コーティング）によって補助された気相中で化学的に蒸着されてもよい。

残念ながら、接着剤の一時的な保護のためのこれらの従来のフィルムは、接着剤を使用可能な特定の電子用途（例えば、ハードディスク、又は光学グレードの接着剤によって位置決めされたタッチスクリーンなど）において、基材上に塗布されたシリコーンが接着剤に部分的に転写され、後者を許容できないほど汚染し、電子部品を妨害するため使用されない。

基材上に塗布される、接着性または自己接着性の医療デバイス用のシリコーンに基づく保護フィルムは、例えば、一般に、シリコーン層からなる接着剤を一時的に保護するためのフィルムなどとして知られている。しかしながら、接着剤の一時的な保護のためのこれらのフィルムは、アクリル接着剤又はゴムとしか適合しない。

基材に塗布された接着性または自己接着性の医療用デバイスのためのフルオロシリコーンに基づいた保護フィルムは、例えばシリコーンに基づいた、接着剤を一時的に保護するためのフィルムなどとして知られている。

このシリコーン層又はフルオロシリコーン層は、基材に低い接着性を与える。後者は、接着剤が物体又は本体に塗布される前に、接着剤を保護することを可能にする。シリコーン層は、基材（紙又はプラスチック）の表面で熱的に又はＵＶによって架橋されてもよく、液相中で化学的に蒸着（湿式化学蒸着）され、プラズマによって補助された気相中で化学的に蒸着（プラズマ補助化学蒸着）されてもよく、フッ素及び／又はケイ素を含有する化合物又はモノマーの反応によって補助された気相中で化学的に蒸着されてもよく、粉末を使用するコーティング（粉末コーティング）によって補助された気相中で化学的に蒸着されてもよい。

最も一般的に使用される処理技術は、シリコーンコーティングに基づく湿式蒸着からなる。このタイプの処理は、２つのステップ、すなわち、エマルジョンを堆積させることからなる処理の第１のステップと、形成された表面コーティングを乾燥させることからなる第２のステップとで実行される。形成されたこのシリコーン層はまた、基材に低接着性を付与し、物体上に塗布される前に接着剤を保護することができる。

残念ながら、これらのタイプの処理では多くの問題に生じる。例えば、以下のような問題があり得る：蒸着法は、時には長時間を要し、多くの中間ステップを必要とする。エネルギー消費量が多い。シリコーンコーティングに基づくいくつかの化学的な処理は、有機溶媒を含み、したがって環境に適合しない；他の処理は、接着剤へ移動する危険性がある乳化剤を使用する水相エマルジョンを用いる。そのような表面コーティングを有する基材が、接着剤のための基材として、例えばラベルのための基材として用いられる場合、例えば、シリコーン材料が接着剤上へ転写される可能性がかなりある。そのような移動は、接着剤の接着性を低減させる。また、例えば、シリコーン材料がコーティングと接触する任意の表面上に転写される可能性がかなりある。そのような移動は、望ましくない汚染を引き起こす。

あるいは、例えばシリコーンに基づく自己接着性要素などの、自己接着性の要素の存在下において、保護フィルムから自己接着性の要素上へのシリコーン材料の転写は、一方では、自己接着性要素の接着性を低下させることができるが、接着性又は自己接着性の要素と、ケイ素ベースの材料とを反応させ得る。実際、シリコーン化された接着性又は自己接着性の要素は、架橋剤、触媒、及びシリコーンから形成され、反応が完了しないこともしばしばである。その場合、シリコーンベースの接着剤又は自己接着剤と保護フィルムとの間に化学結合が生成するため、自己接着性の要素上へのシリコーン材料の転写は、制御されない、及び／又は望ましくない反応生成物を生成し得る。自己接着性の要素上へのシリコーン材料の転写は、自己接着性要素の剥離性を低下させるか、又は消滅さえさせる。このことは、特に面倒な医療分野、より正確には医療装置の分野における主要な欠点を示している（論文「薬物送達及び医療デバイス設計のための剥離ライナーの選択」−Ｅｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ ３６０ Ｍｅｄｉａ Ｓｏｌｕｔｉｏｎｓ Ａｕｇｕｓｔ ２０１７を参照のこと）。

これは、電子産業で使用される保護フィルムと、皮膚に適用される包帯、パッチ、及び電極などの医療デバイスとの両方に適用される。後者の場合、コントロールされていない反応は、免疫反応またはアレルギー反応を引き起こしたり、製品と医療部門との不適合を引き起こしたりする可能性がある。さらに、包帯を形成する自己接着性の要素上におけるシリコーン材料の剥離は、包帯の下の創傷中にシリコーン材料を剥離する可能性があり、これもちろん望ましくない。

したがって、接着性要素の接着剤の品質を低下させないように、シリコーンの剥離が低い保護フィルムが一般に必要とされている。また、シリコーン樹脂による汚染を回避しなければならない、医療分野及び電子分野において、医療用シリコーンに基づく接着性又は自己接着性の医療デバイスが特に必要とされている。実際、ラベルによる完成状態の電子部品の汚染、クリーンルームの大気の汚染、シリコーンによる創傷の汚染、又は自己接着剤の基材と保護フィルムから潜在的に剥離されるシリコーンとの間の制御されない反応の発生は、全く望ましくない。

シリコーンを含まない接着剤を一時的に保護するためのフィルムもある。これらのシリコーンを含まないフィルムは、環境の汚染又はシリコーンを用いた接着剤の汚染の危険性を示さないが、残念ながら、それらは過剰な剥離力を有し、「ジッピー（ｚｉｐｐｙ）」効果（ジャーキー剥離）を有し、これはユーザにとって不快である。

〔発明の概要〕
本発明は特に、冒頭に述べたような接着性又は自己接着性の要素用のシリコーンに基づく、特にポリシロキサンに基づく、保護フィルムを提供し、シリコーンをベースとし、前記保護フィルムは、ケイ素ベースであり、モノマー又はオリゴマーの形態で剥離し、不揮発性（ＩＤＥＭＡ標準 Ｍ７−９８「不揮発性の残留物（ＮＶＲ）としての有機コンタミネーション」、ＥＣＳＳ−Ｑ−ＳＴ−７０−０５Ｃ「赤外分光法による表面の有機コンタミネーションの同定」、Ｓｅａｇａｔｅ ２０８０００３２−００１ Ｒｅｖ Ｃ． ＆ ２０８０００１４−００１ Ｒｅｖ Ｇ、Ｗｅｓｔｅｒｎ Ｄｉｇｉｔａｌ ２０９２−７７２１４１ Ｒｅｖ ＡＤ ＆ ２０９２−７７１８８８ Ｒｅｖ ＡＣ）、又は揮発性（ＩＤＥＭＡ標準 Ｍ１１−９９「ダイナミックヘッドスペース分析による一般的ガス抜き試験手順」、Ｓｅａｇａｔｅ ２０８０００２０−００１ Ｒｅｖ Ｎ、Ｗｅｓｔｅｒｎ Ｄｉｇｉｔａｌ ２０９２−００１０２６ Ｒｅｖ ＡＣ ＆ ２０９２−７７１８８８ Ｒｅｖ ＡＣ）のどちらかであるシリコーンの量によって測定される、抽出可能なシリコーンの量が１００ｎｇ／ｃｍ^２以下、好ましくは、５０以下、好ましくは、２０ｎｇ／ｃｍ^２以下、及び更により好ましくは、１０ｎｇ／ｃｍ^２未満、好ましくは５ｎｇ／ｃｍ^２未満である、前記保護フィルムを特徴とする。

例えば、それは、医療用デバイスのためのシリコーンベースの接着剤又は自己接着剤のための医療グレードのポリシロキサンをベースとする保護フィルムであってもよく、又は例えば接着剤を通して拡散されるであろう医薬物質に対して比較的不活性のままである。

実際、本発明によれば、転写による汚染が特に少ない保護フィルムを供給することが可能であり、他の困難を引き起こす有機又はフッ化分子を使用する必要なしに、改善された剥離特性を有するシリコーンに頼る可能性を提供することが明らかになった。

さらに、シリコーンをベースとする保護フィルムの利用は、有利には保護フィルムが貼られる基材に疎水性を付与することを可能にし、電子分野だけでなく医療分野においても使用することを可能にし、接着性要素の品質を長時間、維持する。

本発明の接着性又は自己接着性の要素用のケイ素ベースの保護フィルムは、疎水性でありながら、低い表面エネルギー及び低い接着性（いわゆる「剥離」効果）の両方を有し、抽出可能なシリコーンをほとんど剥離しない。したがって、本発明の保護フィルムのこれらの特性のユニークな組み合わせは、保護フィルム（疎水性の非接着性の基材）と、接着剤又は自己接着剤で製造された基材（例えば、特に電子グレードである、ラベル、接着テープ、両面接着剤、保護フィルム、特に医療グレードである、皮膚と接触するようにアレンジされた、接着テープ又は包帯、パッチ、電極又は包帯など）との間の接着力を有するので、より高い要件を伴う分野（例えば、電子分野）に適用可能である。また、シリコーンに基づく感圧接着剤及び自己接着剤にも特に適している。

本発明によれば、抽出可能なシリコーンの量を測定する場合、我々は、保護フィルムの確定した表面サンプルをヘキサンでリンス後（ＩＤＥＭＡ標準 Ｍ７−９８「不揮発性の残留物（ＮＶＲ）としての有機コンタミネーション」、又はＥＣＳＳ−Ｑ−ＳＴ−７０−０５Ｃ「赤外分光法による表面の有機コンタミネーションの同定」、Ｓｅａｇａｔｅ ２０８０００３２−００１ Ｒｅｖ Ｃ． ＆ ２０８０００１４−００１ Ｒｅｖ Ｇ、Ｗｅｓｔｅｒｎ Ｄｉｇｉｔａｌ ２０９２−７７２１４１ Ｒｅｖ ＡＤ ＆ ２０９２−７７１８８８ Ｒｅｖ ＡＣ）、又は、保護フィルムの確定した表面サンプルをガス抜きすることによって（ＩＤＥＭＡ標準 Ｍ１１−９９「ダイナミックヘッドスペース分析による一般的ガス抜き試験手順」、Ｓｅａｇａｔｅ ２０８０００２０−００１ Ｒｅｖ Ｎ、Ｗｅｓｔｅｒｎ Ｄｉｇｉｔａｌ ２０９２−００１０２６ Ｒｅｖ ＡＣ ＆ ２０９２−７７１８８８ Ｒｅｖ ＡＣ）、剥離されたシリコーンの量（特にモノマー又はオリゴマーの形態）を測定する。

本発明による保護フィルムは、既存の基材、例えば既存の接着性テープの面に塗布することができる保護フィルムであり、又は紙、織布若しくは不織布、又はプラスチックからなる基材を含んでもよい。

本発明の好ましい実施形態において、接着性又は自己接着性の要素用のシリコーンベースの保護フィルムは、標準ＦＴＭ１０に従って測定されたＴｅｓａ（商標）７４７５の接着剤で測定された２Ｎ／２５ｍｍ以下の剥離力を有する。

本発明の別の好ましい実施形態において、接着性又は自己接着性の要素用のケイ素ベースの保護フィルムは、標準ＦＴＭ１１に従って測定して、８０％以上の残留接着力を有する。

実際、本発明によるフィルムは、接着性又は自己接着性の性能を損なわないという特性を有する。残留接着力、すなわち、接着剤の一時的保護のためにフィルムに暴露した後の接着剤の接着力は、接着剤の初期接着力の８０％以上である（接着剤の一時的保護のためにフィルムと接触する前）。

本発明のさらに別の好ましい実施形態において、接着性又は自己接着性の要素用のケイ素ベースの保護フィルムは、ＸＰＳ／ＥＳＣＡ技術に従って測定された窒素量が、１ａｔ％（ａｔｏｍｉｃ％）以下である。

これらの値は、通常の検出（検出角度θ＝０°）において３００μ×７００μｍの領域上に単色化したＡｌ‐Ｋα源（２２５Ｗ）を有するＮｏｖａ‐Ｋｒａｔｏｓ（商標）型の装置を用いた調査スペクトルから測定した。これらの状態における分析の深さは、１０ｎｍより小さい。

本発明に従った変形例において、接着性又は自己接着性の要素用のケイ素ベースの保護フィルムは、互いの上部に堆積された一連のシリコーンベースの層から形成される。

有利には、本発明による接着性又は自己接着性の要素用のケイ素ベースの保護フィルムにおいて、各シリコーン層は、５ｎｍ〜１００ｎｍの間、好ましくは１０ｎｍ〜６０ｎｍの間、さらにより好ましくは１０ｎｍ〜３０ｎｍの厚さを有する。

好ましくは、本発明による接着性又は自己接着性の要素用のケイ素ベースの保護フィルムが５ｎｍ〜１００ｎｍの間、好ましくは１０ｎｍ〜６０ｎｍの間、より好ましくは１０ｎｍ〜３０ｎｍの間の厚さを有する。

実際、シリコーン層の厚さが不十分である場合、層は、基材を均一に覆わず、その結果、剥離力及びジッピー効果が増加し、厚さが過剰である場合、シリコーンの総量が大きくなりすぎるため（最悪の場合に転写可能なシリコーンの総量が層の厚さに比例することは既知である）、汚染及び／又は転写のリスクが増加する。厚さは、１０ｎｍ〜６０ｎｍの間であることが好ましく、１０ｎｍ〜３０ｎｍであることがさらに好ましい。５ｎｍ未満では、堆積物は、不均一であり、望ましくない急激な剥離（ジッピー効果）を引き起こす。また、厚みが薄すぎると接着力は、大きくなる。３０ｎｍの厚さを超えると、必要とされる層の品質はそれ以上改善されないが、転写可能なシリコーンの総量は不必要に大きくなる。

本発明の特定の実施形態において、接着性又は自己接着性の要素用のケイ素ベースの保護フィルムは、ＫｒｕｓｓＤＳＡ２５装置で測定された水の静的接触角が９０°より大きい、好ましくは９５°より大きい、さらにより好ましくは１００°より大きい、少なくとも１つの表面を有する。

本発明のさらに別の特定の実施形態において、接着性又は自己接着性の要素用のケイ素ベースの保護フィルムは、オーエン及びウェント（Ｏｗｅｎｓ ＆ Ｗｅｎｄｔ）のモデルに従った２種類の液体（水及びジヨードメタン）の接触角の測定から計算し、３０ｍＮ／ｍ未満、好ましくは２５ｍＮ／ｍ未満、さらにより好ましくは２０ｍＮ／ｍ未満の表面エネルギーを有する。

本発明はまた、本発明に従った接着性又は自己接着性の要素用の少なくとも１つのケイ素ベースの保護フィルム、及び接着性又は自己接着性を有する第１の面を備える接着性又は自己接着性の要素を備えるアセンブリに関する。

より詳細には、本発明に従ったアセンブリにおいて、保護フィルムの形態の接着性又は自己接着性の特性を有する前記第１の面に貼り付けられた前記保護フィルムは、剥離可能である。

さらにより好ましくは、本発明に従ったアセンブリにおいて、前記接着性又は自己接着性の要素は、接着性又は自己接着性の特性を有する第１の面と、第２の非接着性の面とを有し、前記保護フィルムは、前記第２の非接着性の面に貼られる。

本発明によるアセンブリの変形において、前記接着性又は自己接着性の要素は、第２のケイ素ベースの保護フィルムが任意選択で貼られる接着性又は自己接着性を有する第２の面を有する。

本発明による別の実施形態において、前記接着性要素は、ラベルである。

本発明によるさらに別の実施形態において、前記接着性要素は、接着性又は自己接着性の医療デバイスであり、接着性又は自己接着性の医療用包帯、例えば、シリコーン化した、パッチ、皮膚と接触することが意図される接着性の電極である。

本発明はまた、紙、織布若しくは不織布、又はプラスチックの基材上に残るように意図された少なくとも１つのシリコーンベースのコーティング層を備えた、接着性又は自己接着性の要素用のケイ素ベースの保護フィルムを製造する方法に関する。

接着性又は自己接着性の要素用の保護フィルムを製造する方法は、従来技術から公知である。

例えば、３０〜５０００Ｈｚの間のスイッチング周波数でパルス状に５〜５０ｋＶの交流電圧を有する低周波反応器（２〜１００ｋＨｚ）を用いるプラズマ処理の方法は、国際公開公報ＷＯ２０１６／０７１２５６から知られている。これらのパルスは、従来のプラズマ（パルス化されていない）による処理とは対照的に、剥離層の特性の変更を誘発することを可能にする。

国際公開公報ＷＯ２０１６／０７１２５６は、基材と、シリコーンに基づいた化合物の長いリストに基づくが、フッ化アルカン及びポリオレフィン、カルバメート、ワックス及びそれらの混合物などの他の分子にも基づく剥離層とを含む保護フィルムを記載している。国際公開公報ＷＯ２０１５／０１９０６３又は国際公開公報ＷＯ２０１５／０１９０６２は、同様の保護フィルムを記載している。

しかしながら、この特許は、接着剤のためのシリコーンに基づいた保護フィルムから抽出可能なシリコーンのレベル及び保護フィルムの分離後の接着剤の残留接着性に関して沈黙している。

したがって、抽出可能なシリコーンのレベルが低い、接着性又は自己接着性の要素用のケイ素ベースの保護フィルムを製造するための方法を同定することが依然として必要とされている。

本発明は、基材の表面を疎水性及び非接着性にすることを可能にする表面の堆積物の特定の分野に関する。表面処理のための既存の方法において、遭遇する上述の問題に対処する間、低い表面エネルギー及び低い接着性（いわゆる「剥離」効果）の両方を有する、基材の表面上に疎水性を有するコーティングの堆積の効率的な実行のための新規な方法を有することが望ましい。実際、いくつかの技術分野において、特に接着剤のフィルムの分野において、これらの２つの特性が有利に組み合わされ、疎水性非接着性の基材（すなわち、本発明に従った表面処理の方法の後に得られる基材）と、接着剤の基材、例えば、医療用シリコーンに基づくラベル又は接着剤又は自己接着剤の医療装置との間の接着力の制御された減少を可能にする。さらに、この方法を移動するプラスチックフィルム上で実施することが可能でなければならない。

本発明による方法は、以下のステップ、
ａ）前記保護フィルムを形成するプラズマコーティングセルにおける基材の供給源から前記保護フィルムの回収ポイントに前記基材を移動するステップ、
ｂ）環状特性基を含むシロキサンから選択された少なくとも１つのシリコーン前駆体の存在下で、希ガス又はそれらの混合物から選択されたプラズマガスの誘電バリア（ＤＢＤ）によって制御された放電によって、少なくとも一つの前記プラズマガスから成る雰囲気が存在するチャンバー内のプラズマ蒸着に、前記基材の第１の面を曝露するステップ、
ｃ）前記プラズマにおける前記シリコーン前駆体から前記シリコーンベースのコーティングを形成するステップ、
ｄ）前記少なくとも一つのシリコーンベースのコーティング層を備える前記保護フィルムを回収するステップ、
を備えることを特徴とする。

この問題は、本発明に従って、移動する基材、特に、処理領域を通過する可塑性又は半硬質ポリマーフィルム又は紙の表面処理方法によって解決される。より正確には、それは、基材がガス混合物中において、生成されたプラズマにさらされ、それが、特に前述の表面上に堆積物を形成することによって、この基材の表面状態の改質をもたらす方法である。

本発明は特に、潜在的に大気圧に近い圧力で実施することができ、ロール中のポリマーフィルムの連続的な表面の処理に適した方法（「ロールツーロール」タイプの方法）に関する。

本発明の方法は、前記基材の少なくとも１つの表面が環状特性基を含むシロキサンから選択される少なくとも１つのケイ素前駆体の存在下で、プラズマガス（希ガスから選択される）の大気圧で、誘電体バリア（ＤＢＤ＝誘電体バリア放電、それ自体は、知られている技術）によって制御される放電に曝されて、前記移動する基材上に前記コーティングを形成するステップを含む。

本発明に従った方法によって処理されたフィルムは、その外面（すなわち、基材と接していない表面）に、コーティングされていないフィルムよりも小さい接着力を有し、堆積パラメータを用いることにより、前記接着力を調節することができる。

環状特性基を含むシロキサンから選択される、チャンバー内のプラズマ中に噴霧される希ガス及び前駆体からなるプラズマ形成大気の組み合わせは、特に驚くべきことに、非常に低レベルの抽出可能な物質を有するケイ素ベースの保護フィルムを得ることを可能にする。

有利には、本発明に従って、前記プラズマガスは、アルゴン又はヘリウムであり、好ましくはアルゴンである。

本発明の有利な実施形態では、前記シリコーン前駆体は、シクロシロキサンである。

本発明の特定の有利な実施形態において、前記シリコーン前駆体は、シクロアルキルシロキサン、好ましくはシクロメチルシロキサンである。

有利には、前記シリコーン前駆体は、デカメチルシクロペンタシロキサン（ＣＡＳ番号５４１‐０２‐６）又はオクタメチルシクロテトラシロキサン（ＣＡＳ番号５５６‐６７‐２）、ヘキサメチルシクロトリシロキサン（ＣＡＳ番号５４１‐０５‐９）、ドデカメチルシクロヘキサシロキサン（ＣＡＳ番号５４０‐９７‐６）、又はこれらの２つ以上の混合物である。

有利には、本発明の製造方法において、前記チャンバー内の前記ガス雰囲気の酸素含有量が、５０ｐｐｍｖ以下、好ましくは２０ｐｐｍｖ以下、さらに好ましくは１０ｐｐｍｖ以下である。

本発明に従った方法の好ましい実施形態において、前記基材が１０〜６０ｍ／分の間、好ましくは１０〜５０ｍ／分の間、好ましくは２０〜４０ｍ／分、有利には２５〜４０ｍ／分、非常に有利には３０〜４０ｍ／分の基材移動速度で移動する。

有利には、本発明に従った製造方法において、前記プラズマ蒸着の蒸着時間は、４秒以下、好ましくは２秒以下、さらにより好ましくは１秒以下である。

非常に好ましくは、処理は、後処理なしに、単一の経路で実施される。これは、マシンの生産性（機械時間の単位当たりの処理面積の単位で表される）を最大にし、方法の操業コストを最小にするのに役立つ。

これにより、高速の移動が可能となり、非常に薄い層が得られる。移動速度が速いことは、高い生産性（機械時間当たりの処理面積の単位で表される）を意味し、したがって、方法の操業費用が低い。薄い厚さは、一方では、処理される表面積の単位当たりの前駆体分子の消費が少ないこと（これは、この方法の操業コストを最小限にすることに役立つ）、他方では、層が意図されるように使用される場合、接着剤上に理論的に転写され得る表面積の単位当たりのシリコーンの総量が少ないことを意味する。

本発明の好ましい実施形態において、チャンバー内の前記ガス雰囲気は、大気圧±１００Ｐａである。

ここで、「大気圧に近い圧力」は、数十〜１００Ｐａ程度を超えない差圧（正又は負）だけ大気圧と異なる圧力を意味する。より正確には、前記チャンバー内の圧力が最大で±１００Ｐａだけ大気圧と異なることが好ましい。

本発明の好適な実施形態において、前記放電は、低周波数であり、好ましくは電力密度が０．１０Ｗ／ｃｍ^２〜１０Ｗ／ｃｍ^２の間、より好ましくは０．１５〜８Ｗ／ｃｍ^２の間、より具体的には０．２〜５Ｗ／ｃｍ^２、又はさらに好ましくは０．２５Ｗ／ｃｍ^２〜０．８Ｗ／ｃｍ^２、よりさらに好ましくは０．３５Ｗ／ｃｍ^２〜０．７Ｗ／ｃｍ^２の間である。面積の単位は、電極の累積的な面積を示す。

最後に、本発明は、接着性又は自己接着性を有する第１の面を含む接着性又は自己接着性の要素を有する本発明による保護フィルムの利用に関する。

本発明に従った変形例において、本発明が最後に、本発明に従ったシリコーンに基づいた接着性又は自己接着性を用いる、シリコーンをベースとする接着性又は自己接着性の要素用のポリシロキサンに基づいた保護フィルムの利用、例えば、シリコーンをベースとする感圧接着剤、又は接着剤が配置される第１の接着剤の面を備える接着の医療デバイスの利用に関する。

好ましい利用において、保護フィルムは、第１の面と接触する剥離可能な保護フィルムの形態である。

本発明に従った特定の用途において、前記接着性要素は、接着性又は自己接着性の特性を備えた第１の面と、第２の非接着性の面とを有し、前記保護フィルムは、前記第２の非接着性の面に貼り付けられる。

本発明に従った別の特定の利用において、前記接着性要素は、第２のシリコーンベースの保護フィルムが任意に貼り付けられる接着性又は自己接着性を有する第２の面を有する。

特に好ましい利用において、前記接着性要素は、ラベル、両面接着テープ、シリコーンに基づいた感圧保護フィルムである。

別の特に好ましい利用において、前記接着性又は自己接着性の医療用デバイスは、接着性又は自己接着性の医療用包帯、例えば、シリコーン化された、パッチ、皮膚と接触することが意図される接着性の電極である。

好ましくは、前述の利用は、クリーンルーム内で行われる。また、本発明の製造方法は、クリーンルーム内で行ってもよい。

さらに、本発明の保護フィルムは、従来の技術（ガンマ線滅菌、気体媒体中、ＵＶなど）によって滅菌してもよい。

〔発明の説明〕
本発明の他の特徴、詳細、及び利点は、非限定的である以下の説明、ならびに実施例及び添付の図面を参照することによって、より明らかになるであろう。

特に断らない限り、ｐｐｍ（百万分率）で与えられるガスの濃度は、体積によるｐｐｍ（ｐｐｍｖ）である。

本発明によると、基材は、大気圧でプラズマに曝される。プラズマは、以下で特定する、１つ以上のシロキサン前駆体を含むプラズマガス（Ｈｅ、Ａｒ）中で生成される。基材をプラズマ及び前駆体の分子に暴露すると、基材の表面上に薄い堆積物が形成される。この薄い堆積物は、接着性要素用の保護フィルムに、低接着性及び非常に少量の抽出可能なシリコーンを付与する。さらに、この堆積物は、それを備える保護フィルムへの接着剤のその後の接着を著しく低下させない。

本発明の保護フィルムの製造方法において、大気圧でのプラズマ蒸着により、したがって、基材上に非接着性の層を作製し、保護フィルム（剥離ライナー）を形成することができる。

本発明の方法は、誘電体バリア放電（ＤＢＤ）が行われる反応器内で実施してもよい。

有利には、基材は、ロールツーロールモードで処理領域を通って移動する。

好ましい実施形態において、処理反応器がロールツーロールＤＢＤタイプであり、典型的には、以下の構成要素を備える：
適切な誘電体コーティングを施した処理円筒（例えば、直径４００ｍｍ、長さ８００ｍｍ）。この円筒は、５〜２００ｍ／分の間の範囲で選択された速度で、処理電極の下で処理されるべき可塑性フィルムを推進する。

処理円筒の上方に配置され、電極と、ガスを注入するためのデバイスを備える処理チャンバー；電極に隣接する注入デバイスは、電極の前及び処理されるフィルムの表面上に、１つ又は複数のガス（すなわち、不活性ガス、プラズマガス、前駆体、キャリアガス、任意のドーピングガス）を直接注入することを可能にする。

電極は、可変電力（０．１〜１０Ｗ／ｃｍ^２）の低周波ＨＶ発生器（通常、１〜数十ｋＨｚ）に接続される。電力密度は、０．１０Ｗ／ｃｍ^２〜１０Ｗ／ｃｍ^２、より好ましくは０．１５〜８Ｗ／ｃｍ^２、より具体的には０．２〜５Ｗ／ｃｍ^２、さらには０．２５Ｗ／ｃｍ^２〜０．８Ｗ／ｃｍ^２、さらにより好ましくは０．３５Ｗ／ｃｍ^２〜０．７Ｗ／ｃｍ^２である。面積の単位は電極の累積的な面積を示す。

処理チャンバー内の抽出システムは、プラズマガス、および、プラズマ内で生成され、堆積物に変換されない任意の副生成物を排気することを可能にする。プラズマガスは、プラズマを発生させるが、これは大気圧での放電の特異な特徴である。キャリアガスは、前駆体（モノマー）と共に注入される。ドーパントは、不活性ガス、プラズマガス、及びキャリアガスに対して少量注入されてもよい。不活性ガス、プラズマガス及び／又はキャリアガスは、同一であっても異なっていてもよく、アルゴン及び／又はヘリウムであってもよい。

有利には、不活性化処理の大気は、５０ｐｐｍ未満、好ましくは２０ｐｐｍ未満、さらにより好ましくは１０ｐｐｍ未満の酸素量で処理反応器中に維持される。

この種の反応器は、例えば、本出願人名義の特許出願である国際公開公報ＷＯ２０１６／１７０２４２に例として記載されている。

電極の活性表面と、処理ロール上で電極の下を移動するフィルムとの間のギャップは、プラズマの安定性及び均一性を保証するために、非常に正確に調整されなければならず、２つの必要な条件は、許容可能な３次元均一性を有する薄い堆積物を得るためである。一例として、フィルムと電極の活性表面との間の距離を１ｍｍに設定する場合、この距離は、±０．２ｍｍの標準偏差で有利に安定である。

前駆体は、有利には放電中に直接注入され、これは電極間の後者の濃度を最大にすることを可能にする。これは、単一の経路における処理を可能にすることに有用である。放電中の高濃度の前駆体は、一般に、プラズマ中での粉末の形成をもたらし、これらの粉末は、生成物を使用不可能にし、反応器のメンテナンスにおいて多くの問題を引き起こす。ガス速度が高いと、プラズマ中の前駆体分子の滞留時間を短縮することが可能であり、これは粉末の形成を回避する。したがって、高濃度の前駆体で作業することが可能であり、これにより、粉末を形成することなく単一の経路で蒸着を行うことが可能になる。

また、形成された保護フィルムがプラズマに曝されると、薄層の性能が低下することにも留意されたい。したがって、いくつかの経路での蒸着は、必ずしも望ましいものではない。

一例として、国際公開公報ＷＯ２０１６／１７０２４２に記載されているタイプの反応器において、以下のパラメータを使用した：
前駆体の流量は、好ましくは８ｇ／ｈ〜１４ｇ／ｈの間であり、より好ましくは８．５ｇ／ｈ〜１３ｇ／ｈの間である。１０ｇ／ｈの値で良好な結果が得られるが、５ｇ／ｈ又は２０ｇ／ｈの値で、結果はより劣る。基材の速度は、好ましくは３ｍ／分〜８ｍ／分の間であり、好ましくは３．５ｍ／分〜８．５ｍ／分の間であるが、２ｍ／分又は１０ｍ／分の値で、結果はより劣る。電力は、好ましくは４５０Ｗ〜７００Ｗの間であり、より好ましくは５００Ｗ〜６５０Ｗの間であるが、３００Ｗ又は９００Ｗの値で、結果はより劣る。プラズマガスは、アルゴンであることが好ましい。

本発明の文脈において、前駆体は、環状特性基を備えるシロキサン、例えばシクロアルキルシロキサン等、好ましくはシクロメチルシロキサンであるべきである。本発明者らは、驚くべきことに、直鎖アルキルシロキサン（したがって環状特性基を含まない）は満足のいく結果を与えないが、シクロアルキルシロオキサン（特にシクロメチルシロキサン）などの環状特性基を含むシロキサンの使用は、本発明が取り組もうとする問題を解決することを可能にすることを発見した。

有利には、前記シリコーン前駆体がデカメチルシクロペンタシロキサン（ＣＡＳ番号５４１−０２−６）若しくはオクタメチルシクロテトラシロキサン（ＣＡＳ番号５５６−６７−２）、ヘキサメチルシクロトリシロキサン（ＣＡＳ番号５４１−０５−９）、ドデカメチルシクロヘキサシロキサン（ＣＡＳ番号５４０−９７−６）、又はこれらの２つ以上の混合物である。

〔実施例〕
〔実施例１〕
表面の処理は、アルゴンプラズマ中、大気圧で薄層を堆積させることによって行った。プラズマガスは、アルゴンであった。以下の表１は、本発明の保護フィルムを形成するためのＰＥＴ基材上で得られた最良の結果を示す。詳細には、処理したＰＥＴの保護フィルムを除去した後、接着剤の剥離力及び残留接着力を測定した。

数種類のオルガノシロキサンモノマーを、１００〜１００００ｐｐｍ（体積比）の範囲のモノマーの割合で、ケイ素ベースの剥離層の堆積物を生成するために使用した：
・ＤＭＣＰＳ＝デカメチルシクロペンタシロキサン、ＣＡＳ番号５４１−０２−６；
・ＯＭＣＴＳ＝オクタメチルシクロテトラシロキサン、ＣＡＳ番号５５６−６７−２；
・ＯＴＥＳ＝トリエトキシ（オクチル）シラン、ＣＡＳ番号２９４３−７５−１
・ＨＭＤＳＯ＝ヘキサメチルジシロキサン、ＣＡＳ番号１０７−４６−０；
２種類のＯＨ又はＮＨ官能化した反応性シリコーン前駆体モノマー（シルマー（Ｓｉｌｍｅｒ（商標）））もまた、１００〜５０００ｐｐｍの範囲のモノマーの割合で、シリコーンに基づいた薄い堆積物を作製するために使用した。これらのモノマーの商品名は、シルマー（Ｓｉｌｍｅｒ（商標））ＮＨ Ｄｉ−８及びシルマー（Ｓｉｌｍｅｒ（商標））ＯＨ Ａ０ ＵＰ（Ｓｉｌｔｅｃｈ社によって供給される）である。それらは、直鎖状ポリアルキルシロキサンである。より正確にはシルマー（Ｓｉｌｍｅｒ（商標））ＮＨ Ｄｉ−８は、ＮＨ末端基を備える直鎖アミノポリジメチルシロキサン（分子量約８６０〜９４０）であり、シルマー（Ｓｉｌｍｅｒ（商標））ＯＨ Ａ０ ＵＰは、プロピルヒドロキシ末端官能基（分子量約２８０）を有するポリジメチルシロキサンである。

比較のために、非シリコーン型モノマー（ドデシルビニルエーテル、ＣＡＳ番号７６５−１４−０）を、１００ｐｐｍのモノマーの割合で、ケイ素フリーの剥離剤の堆積物を作製するために調査した。フルオロシリコーンタイプの単量体も試験した。

最良の結果は、６０ｇ／ｈのＤＭＣＰＳが導入された６００Ｗアルゴンプラズマを用いて２０ｍ／分で処理した６００ｍｍの幅を有するＰＥＴフィルム（「ＤＭＣＰＳ」と呼ばれるサンプル）で得られたが、以上のように、前処理はおそらく実施することができるが、この場合、優れた結果を可能にしながらも必要ではなかった。同じ好ましい方法は、紙及びＢＯＰＰフィルム上で実施され、優れた結果を得た。

表１は、本発明に従って製造されたサンプルについて測定された保護フィルムの特性をまとめたものである。

この表において：
「ジッピー」は、接着剤が保護フィルムからジャーキリー（ｊｅｒｋｉｌｙ）に剥離することを示す；
θ_{ｗａｔｅｒ}は、Ｋｒｕｓｓ社製ＤＳＡ２５装置で測定した水の静的接触角である；
Ｅｓは、オーエン及びウェント（Ｏｗｅｎｓ ＆ Ｗｅｎｄｔ）のモデルに従って、２種類の液体（水及びジヨードメタン）の接触角度の測定から計算された表面エネルギーである；
Ｆｐ７４７５は、ＡＲ１０００装置を用いて標準ＦＴＭ１０に従って測定したＴＥＳＡ７４７５接着剤の剥離力である；
Ｆｐ ＭＤ１５は、ＪＤＣ社（テネシー、米国）によって供給されるＭＤ１５接着剤（電子分野における適用のための超純粋アクリル接着剤）の剥離力である。

ＡＲ Ｎｉｔｔｏ ３１ｂは、標準ＦＴＭ１１に従って洗浄されたガラスプレート上で測定された接着剤Ｎｉｔｔｏ ３１ｂの残留接着力である。この接着剤は、残留接着力の測定のために当業者によって使用されている。

ＦＩＮＡＴ（Ｉｎｔｅｒｎａｔｉｏｎａｌ Ｆｅｄｅｒａｔｉｏｎ ｏｆ Ｍａｎｕｆａｃｔｕｒｅｒｓ ａｎｄ Ｐｒｏｃｅｓｓｏｒｓ ｏｆ Ａｄｈｅｓｉｖｅｓ ａｎｄ Ｈｅａｔ−ｓｅａｌｉｎｇ Ａｄｈｅｓｉｖｅｓ ｏｎ ｐａｐｅｒ ａｎｄ ｏｔｈｅｒ ｓｕｂｓｔｒａｔｅｓ）によって、当業者によく知られている標準ＦＴＭ１０及びＦＴＭ１１が発行されている：
・ＦＴＭ１０「自己接着剤のラミネートのためのシリコーン被覆基材の品質：剥離力（３００ｍｍ／分）」、
・ＦＴＭ１１「自己接着剤のラミネートのためのシリコーン被覆基材の品質：その後の接着性」。

表２は、大気圧でプラズマを用いて処理した３つのサンプル中の炭素、酸素、ケイ素及び窒素の測定結果（原子百分率）を示す。これらの値は、通常の検出（検出角度θ＝０°）において３００μ×７００μｍの領域上に単色化したＡｌ−Ｋα源（２２５Ｗ）を用いるＮｏｖａ‐Ｋｒａｔｏｓ（商標）型の装置を用いた試験スペクトルから測定した。これらの状態における分析の深さは、１０ｎｍ未満である。

なお、サンプル「ＤＭＣＰＳ アルゴン １」は、表１のサンプル「ＤＭＣＰＳ」に相当することに留意されたい。サンプル「ＤＭＣＰＳ 窒素」は、前駆体ＤＭＣＰＳを含む窒素プラズマを用いて調製された：この層は、窒素を含む。そのＦｐ値は、非常に高い。サンプル「ＤＭＣＰＳ アルゴン ２」は、サンプル「ＤＭＣＰＳ アルゴン」と同様の状態で調製されたが、１０ｎｍ未満の厚さを有する：ＸＰＳスペクトルは、基材によるシグナルへの寄与を明らかにし、したがって、示される濃度は、本発明の方法によって堆積された層の組成を反映しない。

抽出可能な残留シロキサンの含有量を、モノマーであるＤＭＣＰＳを使用して、本発明の方法によって処理したプラスチックフィルムのサンプルについて測定した。残留シロキサンの含有量を測定するために、処理した５０ｃｍ^２の領域をｎ−ヘキサンでリンスし、液体相をＺｎＳｅ板上で濃縮し、フーリエ変換赤外分光法（ＦＴＩＲ）（分解能４ｃｍ^−１、８スキャン、ミラースピード０．２０ｃｍ／ｓ）によって分析した。シロキサン含有量は、シロキサンのスペクトルバンド特性の強度（２００９年３月６日付けのＥＣＳＳ−Ｑ−ＳＴ−７０−０５Ｃ、ｅ．２１頁及び表５．１の「空間製品保証：赤外分光法による表面の有機コンタミネーションの検出」の文献に示される約２８００〜３００ｃｍ^−１）に基づいて測定した。また、Ａｌｄｒｉｃｈ、参考３７８３８０（ＣＡＳ番号６３１４８−６２−９）からの市販品である一連のポリ（ジメチルシロキサン）標準物による強度によって較正した。この測定結果を、表３に示す。別の手順において、サンプルを、一定のガス流下で加熱する。サンプルによって放出される分子の同一性及び量は、質量分析による検出を伴うガスクロマトグラフィー（ＧＣ−ＭＳ）によって測定される（表３の４列目を参照のこと）。

表３は、上記の方法に従って処理したサンプル上のシリコーン化合物の抽出の測定結果を示す。

〔実施例２〕
７０℃の温度及び５０％の水分含量で２０時間接触させた後、本発明の保護フィルム上の接着剤の剥離力（標準ＦＩＮＡＴ １０による測定）を、フルオロシリコーンをベースとした市販の保護フィルム上の同じ接着性の剥離力と比較した。その結果を、図１に示す。図１に見られるように、本発明の保護フィルムの剥離力は、フルオロシリコーンに基づいた保護フィルムの剥離力よりも小さいことが分かる。

本発明の保護フィルム上の接着剤の平均剥離力Ｆｐは、０．９Ｎ／２５ｍｍである。

市販の保護フィルム（フルオロシリコーン）上の接着剤の平均剥離力Ｆｐは、１．０Ｎ／２５ｍｍである。

もちろん、本発明は、上述した実施形態に限定されるものではなく、添付の特許請求の範囲内で多くの修正を加えることができる。

本発明による保護フィルム上の接着剤の剥離力（標準ＦＩＮＡＴ １０による測定）を、フルオロシリコーンに基づいた市販の保護フィルム上の同じ接着剤の剥離力と比較した結果を示す図である。

Claims (12)

1. ケイ素ベースの保護フィルムであって、
   モノマー又はオリゴマーの形態で剥離し、不揮発性（ＩＤＥＭＡ標準 Ｍ７−９８「不揮発性の残留物（ＮＶＲ）としての有機コンタミネーション」、ＥＣＳＳ−Ｑ−ＳＴ−７０−０５Ｃ「赤外分光法による表面の有機コンタミネーションの同定」、Ｓｅａｇａｔｅ ２０８０００３２−００１ Ｒｅｖ Ｃ． ＆ ２０８０００１４−００１ Ｒｅｖ Ｇ、Ｗｅｓｔｅｒｎ Ｄｉｇｉｔａｌ ２０９２−７７２１４１ Ｒｅｖ ＡＤ ＆ ２０９２−７７１８８８ Ｒｅｖ ＡＣ）、又は揮発性（ＩＤＥＭＡ標準 Ｍ１１−９９「ダイナミックヘッドスペース分析による一般的ガス抜き試験手順」、Ｓｅａｇａｔｅ ２０８０００２０−００１ Ｒｅｖ Ｎ、Ｗｅｓｔｅｒｎ Ｄｉｇｉｔａｌ ２０９２−００１０２６ Ｒｅｖ ＡＣ ＆ ２０９２−７７１８８８ Ｒｅｖ ＡＣ）のどちらかであるシリコーンの量によって測定される、抽出可能なシリコーンの量が１００ｎｇ／ｃｍ^２以下、好ましくは、５０以下、好ましくは、２０ｎｇ／ｃｍ^２以下、及び更により好ましくは、１０ｎｇ／ｃｍ^２未満、好ましくは５ｎｇ／ｃｍ^２未満である、接着性又は自己接着性の要素用のシリコーンベースの保護フィルム。
2. 紙、織布若しくは不織布又はプラスチックの基材をさらに備える、請求項１に記載の接着性又は自己接着性の要素用のケイ素ベースの保護フィルム。
3. 以下に示す特性から選択される少なくとも１つの特性を有する、請求項１又は２に記載の接着性又は自己接着性の要素用のケイ素ベースの保護フィルム：
   標準ＦＴＭ１０に従って測定されたＴｅｓａ（商標）７４７５の接着剤で測定された剥離力が２Ｎ／２５ｍｍ以下である；
   標準ＦＴＭ１１に従って測定された残留接着力が８０％以上である；
   Ｋｒｕｓｓ ＤＳＡ２５装置で測定された表面の水の静的接触角が９０°より大きい、好ましくは９５°より大きい、及びさらに好ましくは１００°より大きい；
   オーエン及びウェント（Ｏｗｅｎｓ ａｎｄ Ｗｅｎｄｔ）のモデルに従った、２種類の液体（水及びジヨードメタン）の接触角の測定から計算された表面エネルギーが３０ｍＮ／ｍ未満、好ましくは２５ｎＮ／ｍ未満、及びさらに好ましくは２０ｎＮ／ｍ未満。
4. ＸＰＳ／ＥＳＣＡ技術に従って測定された窒素量が、１ａｔ％以下である、請求項１〜３のいずれか１項に記載の接着性又は自己接着性の要素用のケイ素ベースの保護フィルム。
5. 請求項１〜４のいずれか１項に記載の、接着性又は自己接着性の要素用の少なくとも一つのケイ素ベースの保護フィルム、及び、接着性又は自己接着性を有する第１の面を備える接着性又は自己接着性の要素を備えるアセンブリ。
6. 前記接着性要素は、特に電子グレードである、ラベル、接着テープ、両面接着剤、保護フィルム、特に医療グレードである、接着性又は自己接着性の医療デバイス、例えば、皮膚と接触するように意図されたシリコーン処理したパッチ、接着性電極である、請求項５に記載のアセンブリ。
7. 紙、織布若しくは不織布、又はプラスチックの基材上に残るように意図された、少なくとも１つのシリコーンベースコーティング層を備える、接着性又は自己接着性の要素用のケイ素ベースの保護フィルムの製造方法であって、
   ａ）前記保護フィルムを形成するプラズマコーティングセルにおける基材の供給源から前記保護フィルムの回収ポイントに前記基材を移動するステップ、
   ｂ）環状特性基を含むシロキサンから選択された少なくとも１つのシリコーン前駆体の存在下で、希ガス又はそれらの混合物から選択されたプラズマガスの誘電バリア（ＤＢＤ）によって制御された放電によって、少なくとも一つの前記プラズマガスから成る雰囲気が存在するチャンバー内のプラズマ蒸着に、前記基材の第１の面を曝露するステップ、
   ｃ）前記プラズマにおける前記シリコーン前駆体から前記シリコーンベースコーティングを形成するステップ、
   ｄ）前記少なくとも一つのシリコーンベースコーティング層を備える前記保護フィルムを回収するステップ、
   を含む、方法。
8. 前記チャンバー内の前記ガス雰囲気の酸素含有量が、５０ｐｐｍｖ以下、好ましくは２０ｐｐｍｖ以下、さらに好ましくは１０ｐｐｍｖ以下である、請求項７に記載の、接着性又は自己接着性の要素用のケイ素保護フィルムの製造方法。
9. 前記基材が、１０〜６０ｍ／分の間、好ましくは１０〜５０ｍ／分の間、優先的には２０〜４０ｍ／分の間、有利には２５〜４０ｍ／分の間、とても有利には３０〜４０ｍ／分の間の基材移動速度で移動し、及び／又は、
   前記チャンバー内の前記ガス雰囲気は、大気圧±１００Ｐａであり、及び／又は、
   前記プラズマ蒸着の蒸着時間は、４秒以下、好ましくは２秒以下、より好ましくは１秒以下であり、及び／又は、
   前記放電は、無線周波数であり、好ましくは電力密度が、０．１０〜１０Ｗ／ｃｍ^２の間であり、より好ましくは、０．１５Ｗ／ｃｍ^２の間であり、特に０．２Ｗ／ｃｍ^２の間であり、又はさらに０．２５〜０．８Ｗ／ｃｍ^２の間であり、さらにより好ましくは０．３５〜０．７Ｗ／ｃｍ^２の間であり、
   面積の前記単位は、前記電極の累積的な面積を示す、請求項７又は８に記載の方法。
10. 接着性又は自己接着性を有する第１の面、及び最終的には第２の非接着性の面、前記保護フィルムを備える接着性要素を使用し、
    前記保護フィルムは、接着性又は自己接着性を有する前記第１の面及び／又は前記第２の非接着性の面に貼られる、請求項１〜４のいずれか１項に記載の保護フィルムの利用。
11. 前記接着性要素は、特に電子グレードである、ラベル、接着テープ、両面接着剤、保護フィルム、特に医療グレードである、接着性又は自己接着性の医療デバイス、例えば、皮膚と接触するように意図されたシリコーン処理したパッチ、接着性電極である、請求項１０に記載の利用。
12. クリーンルームにおける、請求項１０又は１１のいずれか１項に記載の利用。

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