JP2018184624A - 銅又は銅合金用エッチング液 - Google Patents

Abstract

【課題】本発明は、銅又は銅合金をエッチングし、かつ、銅エッチング速度が低下しないエッチング液を提供することを目的とする。【解決手段】有機ホスホン酸（Ａ）及び過酸化水素（Ｂ）を含有し塩素イオン濃度が１０ｐｐｍ以下であることを特徴とするエッチング液である。好ましくはアミン化合物（Ｃ）を含有し、有機ホスホン酸（Ａ）が、ジホスホン酸及び／又はトリホスホン酸である。前記の銅又は銅合金用エッチング液を用いて、銅又は銅合金を有する電子基板から銅又は銅合金をエッチングする工程を含む電子基板の製造方法を用いる。【選択図】なし

Description

本発明は、電子基板から銅又は銅合金をエッチングするエッチング液に関するものである。

半導体デバイスの配線形成技術において、性能向上のため素子の微細化、高密度化が進んでいる。半導体デバイスの高密度化が進むにつれて回路の配線が微細化し、二次元方向における微細化レベルは限界に近づきつつある。そこで、デバイス性能をさらに向上させる技術として、ＴＳＶ（ｔｈｒｏｕｇｈ ｓｉｌｉｃｏｎ ｖｉａ）技術が期待されている。このＴＳＶ技術は、ビアホール内に銅等の導電材料を埋め込んで貫通電極を形成し、この貫通電極を介して半導体チップ同士を接続する三次元積層技術である。

ＴＳＶ技術において銅を電極とする場合の工程は、シリコン基板に孔を空け、孔の内壁にシリコン酸化膜、チタン等のバリヤメタル層を作成する工程と、有機金属気相成長法や物理的気相成長法により銅のシ−ド層を作成する工程と、電極を形成する部位以外の銅のシ−ド層の上にレジスト樹脂により保護膜を形成する工程と、保護膜が形成されていない部分に銅などの金属を埋め込みバンプの形成を行う工程からなる。銅のシ−ド層とバリヤメタル層はシリコン基板の孔の内部だけでなくシリコン基板表面にも形成されており、レジストを除去した後も残ったままである。このため、シリコン基板表面から銅のシ−ド層とバリヤメタル層を、エッチング液により除去しなければならない。

このうち銅のシ−ド層をウェットエッチングする方法として、硫酸と過酸化水素混合液などの酸と酸化剤からなるエッチング液を用いた方法が広く用いられている（特許文献１）。また、過酸化物を含まず塩化第二銅や塩化第二鉄を含むエッチング液を用いた方法も広く知られている（特許文献２）。

しかし、酸と酸化剤からなるエッチング液は、過酸化水素又はペルオキソ硫酸が分解するために、ガスおよび熱などが発生するといった問題や、成分が分解するためエッチング性能が変化してしまうといった問題がある。過酸化物を含まず塩化第二銅や塩化第二鉄を含むエッチング液を用いた方法は、銅のエッチング工程において溶出する銅イオンにより、剥離速度等への影響が大きく、安定にエッチングを行うことが困難であった。

特開２０００−２８６５３１号公報 国際公開第２０１３／５６３１号

本発明は、銅又は銅合金をエッチングし、かつ、銅エッチング速度（すなわち、エッチングによる銅除去の速度）が低下しないエッチング液を提供することを目的とする。

本発明者は、上記の目的を達成するべく検討を行った結果、本発明に到達した。
有機ホスホン酸（Ａ）及び過酸化水素（Ｂ）を含有するエッチング液は、銅又は銅合金をエッチングする。この時、銅エッチング速度が低下するという問題がある。
銅エッチング速度が低下する原因を検討したところ、銅表面が不純物として含まれる塩素により不動態化することが示唆され、不純物として含まれる塩素含量が１０ｐｐｍ以下であることで銅エッチング速度が低下しないエッチング液を提供できることを見出した。

すなわち、本発明は、有機ホスホン酸（Ａ）及び過酸化水素（Ｂ）を含有し、塩素イオン濃度が１０ｐｐｍ以下である銅又は銅合金用エッチング液である。

本発明のエッチング液は、銅又は銅合金をエッチングし、かつ、銅エッチング速度が低下しない。

図１は、シリコン基板に孔を空け、孔の内壁にシリコン酸化膜、チタン層、銅シ−ド層の各層が積層されている断面図である。 図２は、図１のシリコン基板の上にレジスト樹脂を塗布し保護膜を形成した後の断面図である。 図３は、図２のシリコン基板にさらに、ニッケルと金の金属を積層した後の断面図である。 図４は、図３のシリコン基板からレジスト樹脂を除去した後の断面図である。 図５は、図４のシリコン基板から銅シ−ド層を除去した後の断面図である。 図６は、図５のシリコン基板からバリヤメタル（チタン）層を除去した後の断面図である。

本発明のエッチング液は、有機ホスホン酸（Ａ）及び過酸化水素（Ｂ）を構成成分とする。銅が過酸化水素（Ｂ）によって酸化されて酸化銅（ＣｕＯ）となり、有機ホスホン酸（Ａ）により溶解することによりエッチングされる。

本発明において、エッチングされる銅又は銅合金を有する電子基板としては、半導体、フラットパネルディスプレ−に使用されるものが挙げられ、銅としては化学気相成長法（ＣＶＤ法）、物理的気相成長法（ＰＶＤ法）、原子層堆積法（ＡＬＤ法）、めっきで形成されたもの等が挙げられる。

有機ホスホン酸（Ａ）は銅又は銅合金のエッチング速度を高める作用がある。本発明における有機ホスホン酸（Ａ）は、エッチング液中で塩の形で含有してもよい。

有機ホスホン酸（Ａ）は、銅又は銅合金のエッチング速度を高める観点から特にキレート効果を有するためのホスホン酸基を２個以上有するものが好ましい。

ホスホン酸基を２個以上含む有機酸又はその塩としては、メチルジホスホン酸（塩）、１−ヒドロキシエチリデン−１，１−ジホスホン酸（塩）、エチレンジアミンテトラ（メチレンホスホン酸）（塩）、ヘキサメチレンジアミンテトラ（メチレンホスホン酸）（塩）、プロピレンジアミンテトラ（メチレンホスホン酸）（塩）、ジエチレントリアミンペンタ（メチレンホスホン酸）（塩）、トリエチレンテトラミンヘキサ（メチレンホスホン酸）（塩）、トリアミノトリエチルアミンヘキサ（メチレンホスホン酸）（塩）、トランス−１，２−シクロヘキサンジアミンテトラ（メチレンホスホン酸）（塩）、グリコールエーテルジアミンテトラ（メチレンホスホン酸）（塩）、ニトリロトリスメチレンホスホン酸（塩）及びテトラエチレンペンタミンヘプタ（メチレンホスホン酸）（塩）等が挙げられる。

有機ホスホン酸（Ａ）は単独又は２つ以上を同時に併用することができる。

有機ホスホン酸（Ａ）としては、銅又は銅合金のエッチング速度の観点から、好ましくはジホスホン酸及び／又はトリホスホン酸であり、さらに好ましくは１−ヒドロキシエチリデン−１，１−ジホスホン酸、及びニトリロトリスメチレンホスホン酸が好ましい。

有機ホスホン酸（Ａ）の含有量は銅又は銅合金のエッチング速度の観点から、使用時のエッチング液の合計重量に基づいて、０．１〜５０重量％が好ましく、さらに好ましくは０．５〜３０重量％、特に好ましくは１〜２０重量％である。

工業的に入手することができる有機ホスホン酸は、原料として三塩化リンを反応させて製造されるため、不可逆的に塩素イオンが５００ｐｍ以上含有されているものである。このため、ホスホン酸には、必然的に高濃度の塩素イオンが残存する。

そこで、有機ホスホン酸（Ａ）は、比濁法により塩素イオン濃度が０ｐｐｍ〜２ｐｐｍのものを選び使用することができる。また、必要によりイオン交換フィルター等を用いて、精製した有機ホスホン酸（Ａ）を用いても良い。

過酸化水素（Ｂ）はエッチング速度を高める作用がある。過酸化水素（Ｂ）としては過酸化水素の水溶液を使用することができる。

過酸化水素（Ｂ）含有量は、エッチング速度の観点から、使用時のエッチング液の合計重量に基づいて、純分換算で好ましくは０．５〜２０重量％であり、更に好ましくは１〜１０重量％であり、特に好ましくは３〜６重量％である。

過酸化水素は、主にアントラキノン法により製造されており、その製造方法は、まず、２−アルキルアントラキノンなどのアントラキノン誘導体を、水不溶性の溶媒中で水素化触媒の存在下で水素化してアントラヒドロキノンとし、触媒を除去した後、空気により酸化することによって２−アルキルアントラキノンを再生するとともに、このとき生成する過酸化水素を水で抽出することによって過酸化水素含有水溶液を得る方法である。この方法をアントラキノン自動酸化法（ＡＯ法）という。

この方法によって製造された過酸化水素水中には、装置材質などに起因するＡｌ、Ｆｅ及びＣｒなどの金属不純物、無機イオン性不純物（塩）の他、製造方法などに起因する有機不純物が含まれている。

そこで、過酸化水素（Ｂ）は、比濁法により塩素イオン濃度が０ｐｐｍ〜２ｐｐｍのものを選び使用することができる。また、必要によりイオン交換フィルター等を用いて、精製した過酸化水素（Ｂ）を用いても良い。

本発明の銅又は銅合金用エッチング液において、有機ホスホン酸（Ａ）と過酸化水素（Ｂ）との重量比（Ａ／Ｂ）は、銅の腐食度の観点から好ましくは０．０５〜３である。
有機ホスホン酸（Ａ）と過酸化水素（Ｂ）との重量比（Ａ／Ｂ）は、銅又は銅合金のエッチング速度の観点から、好ましくは０．１〜２．５であり、更に好ましくは０．５〜２である。
有機ホスホン酸（Ａ）と過酸化水素（Ｂ）の配合量を変えることで、有機ホスホン酸（Ａ）と過酸化水素（Ｂ）との重量比（Ａ／Ｂ）を上記数値範囲に調整することができる。

本発明の銅又は銅合金用エッチング液の塩素イオン濃度は、以下の方法により測定した。
測定試料１０ｇにイオン交換水１７ｇ、硝酸３ｇを加え、次いで０．１Ｍ硝酸銀水溶液１ｇを加えて振り混ぜて均一にして、吸光度を測定し（４３０ｎｍ付近）、濃度既知の測定試料を用いて作成した検量線から、塩素イオン濃度を算出する。
本発明の銅又は銅合金用エッチング液の塩素イオン濃度は、１０ｐｐｍ以下であり、エッチング速度の観点から、好ましくは０〜７ｐｐｍであり、さらに好ましくは０〜３ｐｐｍである。

本発明のエッチング液は、防錆性の観点から、さらにアミン化合物（Ｃ）を含有していることが好ましい。

アミン化合物（Ｃ）としては、鎖状アミン（Ｃ１）、アミノ基を１つ以上含む環式化合物（Ｃ２）及び前記（Ｃ１）又は（Ｃ２）のアルキレンオキサイド付加物（Ｃ３）からなる群から選ばれる１種以上のアミン等が挙げられる。前記（Ｃ１）又は（Ｃ２）のアルキレンオキサイド付加物（Ｃ３）としては、炭素数２〜４のアルキレンオキサイドを付加させたアルキレンオキサイド付加物が挙げられる。
なお、本発明においてアミノ基とは、１級アミノ基（−ＮＨ_２）又は１級アミノ基の水素原子をアルキル基で置換した基を意味する。
鎖状アミン（Ｃ１）としては、具体的には下記一般式（１）で表される鎖状アミン（Ｃ１１）；アミノ基を１つ以上含む環式化合物（Ｃ２）としては、アミノ基を１つ以上含有する脂環式化合物（Ｃ２１）、下記一般式（２）で表される芳香族アミン（Ｃ２２）、複素環式アミン（Ｃ２３）及び、下記一般式（３）で表される芳香族アミン（Ｃ２４）、；前記（Ｃ１）又は（Ｃ２）のアルキレンオキサイド付加物（Ｃ３）としては、鎖状アミン（Ｃ１）のアルキレンオキサイド付加物（Ｃ３１）、アミノ基を１つ以上含有する脂環式化合物のアルキレンオキサイド付加物（Ｃ３２）、下記一般式（４）で表される芳香族アミンのアルキレンオキサイド付加物（Ｃ３３）及び下記一般式（５）で表される芳香族アミンのアルキレンオキサイド付加物（Ｃ３４）が挙げられる。炭素数２〜４のアルキレンオキサイドとしては、エチレンオキサイド、プロピレンオキサイド、ブチレンオキサイド及びテトラヒドロフラン等が挙げられる。

鎖状アミン（Ｃ１１）としては下記一般式（１）で表される化合物等が挙げられる。

［式中、Ｒ^１〜Ｒ^４は、それぞれ独立に水素原子又は炭素数１〜１２のアルキル基である。また、Ｙ^１は炭素数１〜１２のアルキレン基を示す。ｎは１〜１２の整数を表す。ｎが２以上の場合、（Ｙ^１−Ｎ（Ｒ^４））の部分はそれぞれ同じでも異なっていても良い。］

一般式（１）中のＲ^１〜Ｒ^４は、それぞれ独立に水素原子又は炭素数１〜１２のアルキル基である。炭素数１〜１２のアルキル基としては、炭素数１〜１２の直鎖状又は分岐状のものが挙げられる。具体的には、例えばメチル基、エチル基、ｎ−プロピル基、イソプロピル基、ｎ−ブチル基、イソブチル基、ｓｅｃ−ブチル基、ｔｅｒｔ−ブチル基、ｎ−ペンチル基、イソペンチル基、ｓｅｃ−ペンチル基、ｔｅｒｔ−ペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基、イソヘキシル基、イソオクチル基、ｓｅｃ−オクチル基、ｔｅｒｔ−オクチル基、ｎ−ノニル基、イソノニル基、ｎ−デシル基、イソデシル基、ｎ−ウンデシル基、イソウンデシル基、ｎ−ドデシル基及びイソドデシル基などが挙げられる。
これらのうち、水溶性の観点から水素原子、メチル基、エチル基、ｎ−プロピル基、イソプロピル基、ｎ−ブチル基、イソブチル基、ｓｅｃ−ブチル基、ｔｅｒｔ−ブチル基、ｎ−ペンチル基、イソペンチル基、ｓｅｃ−ペンチル基、ｔｅｒｔ−ペンチル基及びヘキシル基が好ましい。

一般式（１）中のＹ^１で示される炭素数１〜１２のアルキレン基としては、炭素数１〜１２の直鎖状又は分岐状のアルキレン基が挙げられる。
具体的には、メチレン基、エチレン基、プロピレン基、ブチレン基、２−メチルプロピレン基、ペンチレン基、２，２−ジメチルプロピレン基、２−エチルプロピレン基、へキシレン基、ヘプチレン基、オクチレン基、２−エチルへキシレン基、ノニレン基及びデシレン基などが挙げられる。
これらのうち、水溶性の観点からメチレン基、エチレン基、プロピレン基、ブチレン基、２−メチルプロピレン基、ペンチレン基、２，２−ジメチルプロピレン基、２−エチルプロピレン基、へキシレン基及びヘプチレン基が好ましい。

一般式（１）において、ｎは１〜１２の整数であり、防錆性の観点から好ましくは１〜８の整数であり、より好ましくは１〜８の整数であり、更に好ましくは１〜６の整数である。
一般式（１）で表される鎖状アミン（Ｃ１）において、ｎが２以上の場合、（Ｙ^１−Ｎ（−Ｒ^４））の部分のうち、Ｙ^１及びＲ^４はそれぞれが同種でも異種であっても良い。

下記一般式（１）で表される鎖状アミン（Ｃ１１）としては、ジエチレントリアミン、トリエチレンテトラミン、テトラエチレンペンタミン、ペンタエチレンヘキサミン、ヘキサエチレンヘプタミン、ヘプタエチレンオクタミン、オクタエチレンノナミン、ノナエチレンデカミン、ジプロピレントリアミン、トリプロピレンテトラミン、テトラプロピレンペンタミン、ペンタプロピレンヘキサミン、ヘキサプロピレンヘプタミン、ヘプタプロピレンオクタミン、オクタプロピレンノナミン、ノナプロピレンデカミン、ジブチレントリアミン、トリブチレンテトラミン、テトラブチレンペンタミン、ペンタブチレンヘキサミン、ヘキサブチレンヘプタミン、ヘプタブチレンオクタミン、オクタブチレンノナミン、ノナブチレンデカミン、ジペンチレントリアミン、トリペンチレンテトラミン、テトラペンチレンペンタミン、ペンタペンチレンヘキサミン、ヘキサペンチレンヘプタミン、ヘプタペンチレンオクタミン、オクタペンチレンノナミン、ノナペンチレンデカミン、ジヘキシレントリアミン、トリヘキシレンテトラミン、テトラヘキシレンペンタミン、ペンタヘキシレンヘキサミン、ヘキサヘキシレンヘプタミン、ヘプタヘキシレンオクタミン、オクタヘキシレンノナミン、ノナヘキシレンデカミン、ジヘプチレントリアミン、トリヘプチレンテトラミン、テトラヘプチレンペンタミン、ペンタヘプチレンヘキサミン、ヘキサヘプチレンヘプタミン、ヘプタヘプチレンオクタミン、オクタヘプチレンノナミン、ノナヘプチレンデカミン、１，３−ジアミノプロパン、ブチレンジアミン、ペンタメチレンジアミン、ヘキサメチレンジアミン、ヘプタメチレンジアミン、トリメチルアミン、トリエチルアミン、テトラメチルエチレンジアミン、ペンタメチルジエチレントリアミン、ヘキサメチルトリエチレンテトラミン、ヘプタメチルテトラエチレンペンタミン、オクタメチルペンタエチレンヘキサミン、ノナメチルヘキサエチレンヘプタミン、テトラメチルブチレンジアミン、テトラメチルペンタメチレンジアミン、テトラメチルヘキサメチレンジアミン、テトラメチルヘプタメチレンジアミン、テトラエチルエチレンジアミン、ペンタエチルジエチレントリアミン、ヘキサエチルトリエチレンテトラミン、

ヘプタエチルテトラエチレンペンタミン、オクタエチルペンタエチレンヘキサミン、ノナエチルヘキサエチレンヘプタミン、テトラエチルブチレンジアミン、テトラエチルペンタメチレンジアミン、テトラエチルヘキサメチレンジアミン、テトラエチルヘプタメチレンジアミン、テトラプロピルエチレンジアミン、ペンタプロピルジエチレントリアミン、ヘキサプロピルトリエチレンテトラミン、ヘプタプロピルテトラエチレンペンタミン、オクタプロピルペンタエチレンヘキサミン、ノナプロピルヘキサエチレンヘプタミン、テトラプロピルブチレンジアミン、テトラプロピルペンタメチレンジアミン、テトラプロピルヘキサメチレンジアミン、テトラプロピルヘプタメチレンジアミン、テトラペンチルエチレンジアミン、ペンタペンチルジエチレントリアミン、ヘキサペンチルトリエチレンテトラミン、ヘプタペンチルテトラエチレンペンタミン、オクタペンチルペンタエチレンヘキサミン、ノナペンチルヘキサエチレンヘプタミン、テトラペンチルブチレンジアミン、テトラペンチルペンタメチレンジアミン、テトラペンチルヘキサメチレンジアミン、テトラペンチルヘプタメチレンジアミン、テトラヘキシルエチレンジアミン、ペンタヘキシルジエチレントリアミン、ヘキサヘキシルトリエチレンテトラミン、ヘプタヘキシルテトラエチレンペンタミン、オクタヘキシルペンタエチレンヘキサミン、ノナヘキシルヘキサエチレンヘプタミン、テトラヘキシルブチレンジアミン、テトラヘキシルペンタメチレンジアミン、テトラヘキシルヘキサメチレンジアミン、テトラヘキシルヘプタメチレンジアミン、テトラヘプチルエチレンジアミン、ペンタヘプチルジエチレントリアミン、ヘキサヘプチルトリエチレンテトラミン、ヘプタヘプチルテトラエチレンペンタミン、オクタヘプチルペンタエチレンヘキサミン、ノナヘプチルヘキサエチレンヘプタミン、テトラヘプチルブチレンジアミン、テトラヘプチルペンタメチレンジアミン、テトラヘプチルヘキサメチレンジアミン、テトラヘプチルヘプタメチレンジアミン、テトラオクチルエチレンジアミン、ペンタオクチルジエチレントリアミン、ヘキサオクチルトリエチレンテトラミン、ヘプタオクチルテトラエチレンペンタミン、オクタオクチルペンタエチレンヘキサミン、ノナオクチルヘキサエチレンヘプタミン、テトラオクチルブチレンジアミン、テトラオクチルペンタメチレンジアミン、テトラオクチルヘキサメチレンジアミン、テトラオクチルヘプタメチレンジアミン、テトラノニルエチレンジアミン、ペンタノニルジエチレントリアミン、ヘキサノニルトリエチレンテトラミン、ヘプタノニルテトラエチレンペンタミン、オクタノニルペンタエチレンヘキサミン、ノナノニルヘキサエチレンヘプタミン、テトラノニルブチレンジアミン、テトラノニルペンタメチレンジアミン、テトラノニルヘキサメチレンジアミン、テトラノニルヘプタメチレンジアミン、テトラデシルエチレンジアミン、ペンタデシルジエチレントリアミン、ヘキサデシルトリエチレンテトラミン、ヘプタデシルテトラエチレンペンタミン、オクタデシルペンタエチレンヘキサミン、ノナデシルヘキサエチレンヘプタミン、テトラデシルブチレンジアミン、テトラデシルペンタメチレンジアミン、テトラデシルヘキサメチレンジアミン、テトラデシルヘプタメチレンジアミン、テトラウンデシルエチレンジアミン、ペンタウンデシルジエチレントリアミン、ヘキサウンデシルトリエチレンテトラミン、ヘプタウンデシルテトラエチレンペンタミン、オクタウンデシルペンタエチレンヘキサミン、ノナウンデシルヘキサエチレンヘプタミン、テトラウンデシルブチレンジアミン、テトラウンデシルペンタメチレンジアミン、テトラウンデシルヘキサメチレンジアミン、テトラウンデシルヘプタメチレンジアミン、テトラドデシルエチレンジアミン、ペンタドデシルジエチレントリアミン、ヘキサドデシルトリエチレンテトラミン、ヘプタドデシルテトラエチレンペンタミン、オクタドデシルペンタエチレンヘキサミン、ノナドデシルヘキサエチレンヘプタミン、テトラドデシルブチレンジアミン、テトラドデシルペンタメチレンジアミン、テトラドデシルヘキサメチレンジアミン及びテトラドデシルヘプタメチレンジアミン等が挙げられる。
このうち、鎖状アミン（Ｃ１）として、防錆性の観点から、ペンタエチレンヘキサミン、ヘキサメチレンジアミン及びトリエチレンテトラミンのヘキサエチル化物が好ましい。

アミノ基を１つ以上含有する脂環式化合物（Ｃ２１）としては、シクロプロピルアミン、シクロブチルアミン、シクロペンチルアミン、シクロヘキシルアミン、シクロヘプチルアミン、シクロオクチルアミン、シクロノニルアミン、シクロデシルアミン、シクロウンデシルアミン、シクロドデシルアミン、２−メチルシクロプロピルアミン、３−メチルシクロブチルアミン、２，３−ジメチルシクロプロピルアミン、２−メチルシクロペンチルアミン、３−メチルシクロペンチルアミン、２−メチルシクロヘキシルアミン、３−メチルシクロヘキシルアミン、４−メチルシクロヘキシルアミン、２−エチルシクロペンチルアミン、３−エチルシクロペンチルアミン、２−メチルシクロヘプチルアミン、３−メチルシクロヘプチルアミン、４−メチルシクロヘプチルアミン、２−エチルシクロヘキシルアミン、３−エチルシクロヘキシルアミン、４−エチルシクロヘキシルアミン、２，３−ジメチルシクロヘキシルアミン、２，４−ジメチルシクロヘキシルアミン、２，５−ジメチルシクロヘキシルアミン、１，１−シクロプロピルジアミン、１，２−シクロプロピルジアミン、１，３−シクロプロピルジアミン、１，１−シクロブチルジアミン、１，２−シクロブチルジアミン、１，３−シクロブチルジアミン、１，１−シクロペンチルジアミン、１，２−シクロペンチルジアミン、１，３−シクロペンチルジアミン、１，１−シクロヘキシルジアミン、１，２−シクロヘキシルジアミン、１，３−シクロヘキシルジアミン、１，４−シクロヘキシルジアミン、１，１−シクロヘプチルジアミン、１，２−シクロヘプチルジアミン、１，３−シクロヘプチルジアミン、１，４−シクロヘプチルジアミン、１，１−シクロオクチルジアミン、１，２−シクロオクチルジアミン、１，３−シクロオクチルジアミン、１，４−シクロオクチルジアミン、１，１−シクロノニルジアミン、１，２−シクロノニルジアミン、１，３−シクロノニルジアミン、１，４−シクロノニルジアミン、１，５−シクロノニルジアミン、１，１−シクロデシルジアミン、１，２−シクロデシルジアミン、１，３−シクロデシルジアミン、１，４−シクロデシルジアミン、１，５−シクロデシルジアミン、１，１−シクロウンデシルジアミン、１，２−シクロウンデシルジアミン、１，３−シクロウンデシルジアミン、１，４−シクロウンデシルジアミン、１，５−シクロウンデシルジアミン、１，６−シクロウンデシルジアミン、１，１−シクロドデシルジアミン、１，２−シクロドデシルジアミン、１，３−シクロドデシルジアミン、１，４−シクロドデシルジアミン、１，５−シクロドデシルジアミン、１，６−シクロドデシルジアミン、１，１，２−シクロヘキシルトリアミン、１，１，３−シクロヘキシルトリアミン、１，１，４−シクロヘキシルトリアミン、１，２，３−シクロヘキシルトリアミン及び１，２，４−シクロヘキシルトリアミン等が挙げられる。
芳香族アミン（Ｃ２２）としては下記一般式（２）で表される化合物等が挙げられる。

［式中、Ｒ^５〜Ｒ^７は、それぞれ独立に水素原子又は炭素数１〜１２のアルキル基である。ａは１〜５の整数である。６−ａが２以上の場合、Ｒ^５はそれぞれ同じでも異なっていても良い。ａが２以上の場合、（ＮＲ^６（−Ｒ^７））の部分はそれぞれ同じでも異なっていても良い。］

一般式（２）中の炭素数１〜１２のアルキル基としては、炭素数１〜１２の直鎖状又は分岐状のものが挙げられる。具体的には、例えばメチル基、エチル基、ｎ−プロピル基、イソプロピル基、ｎ−ブチル基、イソブチル基、ｓｅｃ−ブチル基、ｔｅｒｔ−ブチル基、ｎ−ペンチル基、イソペンチル基、ｓｅｃ−ペンチル基、ｔｅｒｔ−ペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基、イソヘキシル基、イソオクチル基、ｓｅｃ−オクチル基、ｔｅｒｔ−オクチル基、ｎ−ノニル基、イソノニル基、ｎ−デシル基、イソデシル基、ｎ−ウンデシル基、イソウンデシル基、ｎ−ドデシル基及びイソドデシル基などが挙げられる。
これらのうち、水溶性の観点から好ましくは水素原子、メチル基、エチル基、ｎ−プロピル基、イソプロピル基、ｎ−ブチル基、イソブチル基、ｓｅｃ−ブチル基、ｔｅｒｔ−ブチル基、ｎ−ペンチル基、イソペンチル基、ｓｅｃ−ペンチル基、ｔｅｒｔ−ペンチル基及びヘキシル基が好ましい。

一般式（２）において、ａは１〜５の整数であり、防錆性の観点から好ましくは１〜３の整数、更に好ましくは１〜２の整数である。
６−ａが２以上の場合、Ｒ^５はそれぞれ同じでも異なっていても良い。ａが２以上の場合、（ＮＲ^６（−Ｒ^７））の部分はそれぞれ同じでも異なっていても良い。

一般式（２）で表される化合物（Ｃ２２）としては、アニリン、２−メチルアニリン、３−メチルアニリン、２，３−ジメチルアニリン、４−メチルアニリン、５−メチルアニリン、２−エチルアニリン、３−エチルアニリン、４−エチルアニリン、５−エチルアニリン、２，４−ジメチルアニリン、２，５−ジメチルアニリン、２−プロピルアニリン、２−ブチルアニリン、２−ペンチルアニリン、２−ヘキシルアニリン、２−ヘプチルアニリン、２−オクチルアニリン、２−ノニルアニリン、２−デシルアニリン、２−ウンデシルアニリン、２−ドデシルアニリン、２，３−ジアミノトルエン、２，４−ジアミノトルエン、２，５−ジアミノトルエン、２，３，４−トリアミノトルエン、２，３，５−トリアミノトルエン、２，４，５−トリアミノトルエン、１−エチル−２，４−ジアミノベンゼン、１−プロピル−２，４−ジアミノベンゼン、１−ブチル−２，４−ジアミノベンゼン、１−ペンチル−２，４−ジアミノベンゼン、１−ヘキシル−２，４−ジアミノベンゼン、１−ヘプチル−２，４−ジアミノベンゼン、１−オクチル−２，４−ジアミノベンゼン、１−ノニル−２，４−ジアミノベンゼン、１−デシル−２，４−ジアミノベンゼン、１−ウンデシル−２，４−ジアミノベンゼン及び１−ドデシル−２，４−ジアミノベンゼン等が挙げられる。

複素環式アミン（Ｃ２３）としては、ピロリジン、ピロール、ピペリジン、ピリジン、ヘキサメチレンイミン、アザトロピリデン、イミダゾール、１−メチルイミダゾール、１−ビニルイミダゾール、２−フェニルイミダゾール、２−エチル−４−メチルイミダゾール、Ｎ−ベンジル−２−メチルイミダゾール、２−メチルベンズイミダゾール、ピラゾール、４−メチルピラゾール、３，５−ジメチルピラゾール、オキサゾール、チアゾール、イミダゾリン、ピラジン、モルホリン、ピペラジン、ピリダジン、ピリミジン、キヌクリジン、１，４−ジアザビシクロ［２，２，２］オクタン、チアジン、インドール、イソインドール、ベンゾイミダゾール、プリン、キノリン、イソキノリン、キノキサリン、シンノリン、ブテリジン、アクリジン、カルバゾール、トリアゾール、ベンゾチアゾール、４−メチルベンゾチアゾール、５−メチルベンゾチアゾール、テトラゾール、ベンゾチアゾール、２−メルカプトベンゾチアゾール、２−アミノベンゾチアゾール、２−アミノチアゾール、ベンゾチアゾール、１，５−ジアザビシクロ［４，３，０］ノナ−５−エン及び１，８−ジアザビシクロ［５，４，０］ウンデカ−７−エン等が挙げられる。

芳香族アミン（Ｃ２４）としては下記一般式（３）で表される化合物等が挙げられる。

［式中、Ｒ^８〜Ｒ^１３は、それぞれ独立に水素原子又は炭素数１〜１２のアルキル基である。ｂ及びｃはそれぞれ独立に０〜４の整数である。ｂ＋ｃは１〜８の整数である。４−ｂが２以上の場合、Ｒ^８はそれぞれ同じでも異なっていても良い。ｂが２以上の場合、（ＮＲ^９（−Ｒ^１０））の部分はそれぞれ同じでも異なっていても良い。４−ｃが２以上の場合、Ｒ^１１はそれぞれ同じでも異なっていても良い。ｃが２以上の場合、（ＮＲ^１２（−Ｒ^１３））の部分はそれぞれ同じでも異なっていても良い。］

一般式（３）中のＲ^８〜Ｒ^１３は、それぞれ独立に水素原子又は炭素数１〜１２個のアルキル基である。
炭素数１〜１２のアルキル基としては、炭素数１〜１２の直鎖状又は分岐状のものが挙げられる。具体的には、例えばメチル基、エチル基、ｎ−プロピル基、イソプロピル基、ｎ−ブチル基、イソブチル基、ｓｅｃ−ブチル基、ｔｅｒｔ−ブチル基、ｎ−ペンチル基、イソペンチル基、ｓｅｃ−ペンチル基、ｔｅｒｔ−ペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基、イソヘキシル基、イソオクチル基、ｓｅｃ−オクチル基、ｔｅｒｔ−オクチル基、ｎ−ノニル基、イソノニル基、ｎ−デシル基、イソデシル基、ｎ−ウンデシル基、イソウンデシル基、ｎ−ドデシル基及びイソドデシル基などが挙げられる。
これらのうち、Ｒ^８〜Ｒ^１３水溶性の観点から好ましくは水素原子、メチル基、エチル基、ｎ−プロピル基、イソプロピル基、ｎ−ブチル基、イソブチル基、ｓｅｃ−ブチル基、ｔｅｒｔ−ブチル基、ｎ−ペンチル基、イソペンチル基、ｓｅｃ−ペンチル基、ｔｅｒｔ−ペンチル基、ヘキシル基である。

一般式（３）において、ｂ及びｃはそれぞれ独立に０〜４の整数であり、防錆性の観点から好ましくは０〜３の整数、より好ましくは０〜２の整数、更に好ましくは０〜１の整数である。ｂ＋ｃは１〜８の整数であり、防錆性の観点から好ましくは１〜７の整数、より好ましくは１〜３の整数、更に好ましくは１〜２の整数である
４−ｂが２以上の場合、Ｒ^８はそれぞれ同じでも異なっていても良い。ｂが２以上の場合、（ＮＲ^９（−Ｒ^１０））の部分はそれぞれ同じでも異なっていても良い。４−ｃが２以上の場合、Ｒ^１１はそれぞれ同じでも異なっていても良い。ｃが２以上の場合、（ＮＲ^１２（−Ｒ^１３））の部分はそれぞれ同じでも異なっていても良い。

一般式（３）で表される化合物（Ｃ２４）としては、１−アミノナフタレン、２−メチル−１−アミノナフタレン、３−メチル−１−アミノナフタレン、２，３−ジメチル−１−アミノナフタレン、４−メチル−１−アミノナフタレン、５−メチル−１−アミノナフタレン、２−エチル−１−アミノナフタレン、３−エチル−１−アミノナフタレン、４−エチル−１−アミノナフタレン、５−エチル−１−アミノナフタレン、２，４−ジメチル−１−アミノナフタレン、２，５−ジメチル−１−アミノナフタレン、６−メチル−１−アミノナフタレン、２，６−ジメチル−１−アミノナフタレン、７−メチル−１−アミノナフタレン、２，７−ジメチル−１−アミノナフタレン、２−プロピル−１−アミノナフタレン、２−ブチル−１−アミノナフタレン、２−ペンチル−１−アミノナフタレン、２−ヘキシル−１−アミノナフタレン、２−ヘプチル−１−アミノナフタレン、２−オクチル−１−アミノナフタレン、２−ノニル−１−アミノナフタレン、２−デシル−１−アミノナフタレン、２−ウンデシル−１−アミノナフタレン、２−ドデシル−１−アミノナフタレン、２−アミノナフタレン、１−メチル−２−アミノナフタレン、３−メチル−２−アミノナフタレン、１，３−ジメチル−２−アミノナフタレン、４−メチル−２−アミノナフタレン、５−メチル−２−アミノナフタレン、１−エチル−２−アミノナフタレン、３−エチル−２−アミノナフタレン、４−エチル−２−アミノナフタレン、５−エチル−２−アミノナフタレン、１，４−ジメチル−２−アミノナフタレン、１，５−ジメチル−２−アミノナフタレン、６−メチル−２−アミノナフタレン、１，６−ジメチル−２−アミノナフタレン、７−メチル−２−アミノナフタレン、１，７−ジメチル−２−アミノナフタレン、１−プロピル−２−アミノナフタレン、１−ブチル−２−アミノナフタレン、１−ペンチル−２−アミノナフタレン、１−ヘキシル−２−アミノナフタレン、１−ヘプチル−２−アミノナフタレン、１−オクチル−２−アミノナフタレン、１−ノニル−２−アミノナフタレン、１−デシル−２−アミノナフタレン、１−ウンデシル−２−アミノナフタレン、１−ドデシル−２−アミノナフタレン、１，２−ジアミノナフタレン、１，３−ジアミノナフタレン、１，４−ジアミノナフタレン、１，５−ジアミノナフタレン、１，６−ジアミノナフタレン、１，７−ジアミノナフタレン、１，８−ジアミノナフタレン、２，３−ジアミノナフタレン、２，４−ジアミノナフタレン、２，５−ジアミノナフタレン、２，６−ジアミノナフタレン、２，７−ジアミノナフタレン、３，４−ジアミノナフタレン、３，５−ジアミノナフタレン、３，６−ジアミノナフタレン、４，５−ジアミノナフタレン、

２−メチル−１，３−ジアミノナフタレン、２−メチル−１，４−ジアミノナフタレン、２−メチル−１，５−ジアミノナフタレン、２−メチル−１，６−ジアミノナフタレン、２−メチル−１，７−ジアミノナフタレン、２−メチル−１，８−ジアミノナフタレン、２−メチル−３，４−ジアミノナフタレン、２−メチル−３，５−ジアミノナフタレン、２−メチル−３，６−ジアミノナフタレン、２−メチル−３，７−ジアミノナフタレン、２−メチル−３，８−ジアミノナフタレン、２−メチル−４，５−ジアミノナフタレン、２−メチル−４，６−ジアミノナフタレン、２−メチル−４，７−ジアミノナフタレン、２−メチル−４，８−ジアミノナフタレン、２−メチル−５，６−ジアミノナフタレン、２−メチル−５，７−ジアミノナフタレン、２−メチル−５，８−ジアミノナフタレン、２−メチル−６，７−ジアミノナフタレン、２−メチル−６，８−ジアミノナフタレン、２−メチル−７，８−ジアミノナフタレン、２−エチル−１，３−ジアミノナフタレン、２−エチル−１，４−ジアミノナフタレン、２−エチル−１，５−ジアミノナフタレン、２−エチル−１，６−ジアミノナフタレン、２−エチル−１，７−ジアミノナフタレン、２−エチル−１，８−ジアミノナフタレン、２−エチル−３，４−ジアミノナフタレン、２−エチル−３，５−ジアミノナフタレン、２−エチル−３，６−ジアミノナフタレン、２−エチル−３，７−ジアミノナフタレン、２−エチル−３，８−ジアミノナフタレン、２−エチル−４，５−ジアミノナフタレン、２−エチル−４，６−ジアミノナフタレン、２−エチル−４，７−ジアミノナフタレン、２−エチル−４，８−ジアミノナフタレン、２−エチル−５，６−ジアミノナフタレン、２−エチル−５，７−ジアミノナフタレン、２−エチル−５，８−ジアミノナフタレン、２−エチル−６，７−ジアミノナフタレン、２−エチル−６，８−ジアミノナフタレン、２−エチル−７，８−ジアミノナフタレン、

２−プロピル−１，３−ジアミノナフタレン、２−プロピル−１，４−ジアミノナフタレン、２−プロピル−１，５−ジアミノナフタレン、２−プロピル−１，６−ジアミノナフタレン、２−プロピル−１，７−ジアミノナフタレン、２−プロピル−１，８−ジアミノナフタレン、２−プロピル−３，４−ジアミノナフタレン、２−プロピル−３，５−ジアミノナフタレン、２−プロピル−３，６−ジアミノナフタレン、２−プロピル−３，７−ジアミノナフタレン、２−プロピル−３，８−ジアミノナフタレン、２−プロピル−４，５−ジアミノナフタレン、２−プロピル−４，６−ジアミノナフタレン、２−プロピル−４，７−ジアミノナフタレン、２−プロピル−４，８−ジアミノナフタレン、２−プロピル−５，６−ジアミノナフタレン、２−プロピル−５，７−ジアミノナフタレン、２−プロピル−５，８−ジアミノナフタレン、２−プロピル−６，７−ジアミノナフタレン、２−プロピル−６，８−ジアミノナフタレン、２−プロピル−７，８−ジアミノナフタレン、２−ブチル−１，３−ジアミノナフタレン、２−ブチル−１，４−ジアミノナフタレン、２−ブチル−１，５−ジアミノナフタレン、２−ブチル−１，６−ジアミノナフタレン、２−ブチル−１，７−ジアミノナフタレン、２−ブチル−１，８−ジアミノナフタレン、２−ブチル−３，４−ジアミノナフタレン、２−ブチル−３，５−ジアミノナフタレン、２−ブチル−３，６−ジアミノナフタレン、２−ブチル−３，７−ジアミノナフタレン、２−ブチル−３，８−ジアミノナフタレン、２−ブチル−４，５−ジアミノナフタレン、２−ブチル−４，６−ジアミノナフタレン、２−ブチル−４，７−ジアミノナフタレン、２−ブチル−４，８−ジアミノナフタレン、２−ブチル−５，６−ジアミノナフタレン、２−ブチル−５，７−ジアミノナフタレン、２−ブチル−５，８−ジアミノナフタレン、２−ブチル−６，７−ジアミノナフタレン、２−ブチル−６，８−ジアミノナフタレン、２−ブチル−７，８−ジアミノナフタレン、

２−ペンチル−１，３−ジアミノナフタレン、２−ペンチル−１，４−ジアミノナフタレン、２−ペンチル−１，５−ジアミノナフタレン、２−ペンチル−１，６−ジアミノナフタレン、２−ペンチル−１，７−ジアミノナフタレン、２−ペンチル−１，８−ジアミノナフタレン、２−ペンチル−３，４−ジアミノナフタレン、２−ペンチル−３，５−ジアミノナフタレン、２−ペンチル−３，６−ジアミノナフタレン、２−ペンチル−３，７−ジアミノナフタレン、２−ペンチル−３，８−ジアミノナフタレン、２−ペンチル−４，５−ジアミノナフタレン、２−ペンチル−４，６−ジアミノナフタレン、２−ペンチル−４，７−ジアミノナフタレン、２−ペンチル−４，８−ジアミノナフタレン、２−ペンチル−５，６−ジアミノナフタレン、２−ペンチル−５，７−ジアミノナフタレン、２−ペンチル−５，８−ジアミノナフタレン、２−ペンチル−６，７−ジアミノナフタレン、２−ペンチル−６，８−ジアミノナフタレン、２−ペンチル−７，８−ジアミノナフタレン、２−ヘキシル−１，３−ジアミノナフタレン、２−ヘキシル−１，４−ジアミノナフタレン、２−ヘキシル−１，５−ジアミノナフタレン、２−ヘキシル−１，６−ジアミノナフタレン、２−ヘキシル−１，７−ジアミノナフタレン、２−ヘキシル−１，８−ジアミノナフタレン、２−ヘキシル−３，４−ジアミノナフタレン、２−ヘキシル−３，５−ジアミノナフタレン、２−ヘキシル−３，６−ジアミノナフタレン、２−ヘキシル−３，７−ジアミノナフタレン、２−ヘキシル−３，８−ジアミノナフタレン、２−ヘキシル−４，５−ジアミノナフタレン、２−ヘキシル−４，６−ジアミノナフタレン、２−ヘキシル−４，７−ジアミノナフタレン、２−ヘキシル−４，８−ジアミノナフタレン、２−ヘキシル−５，６−ジアミノナフタレン、２−ヘキシル−５，７−ジアミノナフタレン、２−ヘキシル−５，８−ジアミノナフタレン、２−ヘキシル−６，７−ジアミノナフタレン、２−ヘキシル−６，８−ジアミノナフタレン、２−ヘキシル−７，８−ジアミノナフタレン、２−ヘプチル−１，３−ジアミノナフタレン、２−ヘプチル−１，４−ジアミノナフタレン、２−ヘプチル−１，５−ジアミノナフタレン、２−ヘプチル−１，６−ジアミノナフタレン、２−ヘプチル−１，７−ジアミノナフタレン、２−ヘプチル−１，８−ジアミノナフタレン、２−ヘプチル−３，４−ジアミノナフタレン、２−ヘプチル−３，５−ジアミノナフタレン、２−ヘプチル−３，６−ジアミノナフタレン、２−ヘプチル−３，７−ジアミノナフタレン、２−ヘプチル−３，８−ジアミノナフタレン、２−ヘプチル−４，５−ジアミノナフタレン、２−ヘプチル−４，６−ジアミノナフタレン、２−ヘプチル−４，７−ジアミノナフタレン、２−ヘプチル−４，８−ジアミノナフタレン、２−ヘプチル−５，６−ジアミノナフタレン、２−ヘプチル−５，７−ジアミノナフタレン、２−ヘプチル−５，８−ジアミノナフタレン、２−ヘプチル−６，７−ジアミノナフタレン、２−ヘプチル−６，８−ジアミノナフタレン、２−ヘプチル−７，８−ジアミノナフタレン、２−オクチル−１，３−ジアミノナフタレン、２−オクチル−１，４−ジアミノナフタレン、２−オクチル−１，５−ジアミノナフタレン、２−オクチル−１，６−ジアミノナフタレン、２−オクチル−１，７−ジアミノナフタレン、２−オクチル−１，８−ジアミノナフタレン、２−オクチル−３，４−ジアミノナフタレン、２−オクチル−３，５−ジアミノナフタレン、２−オクチル−３，６−ジアミノナフタレン、２−オクチル−３，７−ジアミノナフタレン、２−オクチル−３，８−ジアミノナフタレン、２−オクチル−４，５−ジアミノナフタレン、２−オクチル−４，６−ジアミノナフタレン、２−オクチル−４，７−ジアミノナフタレン、２−オクチル−４，８−ジアミノナフタレン、２−オクチル−５，６−ジアミノナフタレン、２−オクチル−５，７−ジアミノナフタレン、２−オクチル−５，８−ジアミノナフタレン、２−オクチル−６，７−ジアミノナフタレン、２−オクチル−６，８−ジアミノナフタレン、２−オクチル−７，８−ジアミノナフタレン、

２−ノニル−１，３−ジアミノナフタレン、２−ノニル−１，４−ジアミノナフタレン、２−ノニル−１，５−ジアミノナフタレン、２−ノニル−１，６−ジアミノナフタレン、２−ノニル−１，７−ジアミノナフタレン、２−ノニル−１，８−ジアミノナフタレン、２−ノニル−３，４−ジアミノナフタレン、２−ノニル−３，５−ジアミノナフタレン、２−ノニル−３，６−ジアミノナフタレン、２−ノニル−３，７−ジアミノナフタレン、２−ノニル−３，８−ジアミノナフタレン、２−ノニル−４，５−ジアミノナフタレン、２−ノニル−４，６−ジアミノナフタレン、２−ノニル−４，７−ジアミノナフタレン、２−ノニル−４，８−ジアミノナフタレン、２−ノニル−５，６−ジアミノナフタレン、２−ノニル−５，７−ジアミノナフタレン、２−ノニル−５，８−ジアミノナフタレン、２−ノニル−６，７−ジアミノナフタレン、２−ノニル−６，８−ジアミノナフタレン、２−ノニル−７，８−ジアミノナフタレン、２−デシル−１，３−ジアミノナフタレン、２−デシル−１，４−ジアミノナフタレン、２−デシル−１，５−ジアミノナフタレン、２−デシル−１，６−ジアミノナフタレン、２−デシル−１，７−ジアミノナフタレン、２−デシル−１，８−ジアミノナフタレン、２−デシル−３，４−ジアミノナフタレン、２−デシル−３，５−ジアミノナフタレン、２−デシル−３，６−ジアミノナフタレン、２−デシル−３，７−ジアミノナフタレン、２−デシル−３，８−ジアミノナフタレン、２−デシル−４，５−ジアミノナフタレン、２−デシル−４，６−ジアミノナフタレン、２−デシル−４，７−ジアミノナフタレン、２−デシル−４，８−ジアミノナフタレン、２−デシル−５，６−ジアミノナフタレン、２−デシル−５，７−ジアミノナフタレン、２−デシル−５，８−ジアミノナフタレン、２−デシル−６，７−ジアミノナフタレン、２−デシル−６，８−ジアミノナフタレン、２−デシル−７，８−ジアミノナフタレン、２−ウンデシル−１，３−ジアミノナフタレン、２−ウンデシル−１，４−ジアミノナフタレン、２−ウンデシル−１，５−ジアミノナフタレン、２−ウンデシル−１，６−ジアミノナフタレン、２−ウンデシル−１，７−ジアミノナフタレン、２−ウンデシル−１，８−ジアミノナフタレン、２−ウンデシル−３，４−ジアミノナフタレン、２−ウンデシル−３，５−ジアミノナフタレン、２−ウンデシル−３，６−ジアミノナフタレン、２−ウンデシル−３，７−ジアミノナフタレン、２−ウンデシル−３，８−ジアミノナフタレン、２−ウンデシル−４，５−ジアミノナフタレン、２−ウンデシル−４，６−ジアミノナフタレン、２−ウンデシル−４，７−ジアミノナフタレン、２−ウンデシル−４，８−ジアミノナフタレン、２−ウンデシル−５，６−ジアミノナフタレン、２−ウンデシル−５，７−ジアミノナフタレン、２−ウンデシル−５，８−ジアミノナフタレン、２−ウンデシル−６，７−ジアミノナフタレン、２−ウンデシル−６，８−ジアミノナフタレン、２−ウンデシル−７，８−ジアミノナフタレン、２−ドデシル−１，３−ジアミノナフタレン、２−ドデシル−１，４−ジアミノナフタレン、２−ドデシル−１，５−ジアミノナフタレン、２−ドデシル−１，６−ジアミノナフタレン、２−ドデシル−１，７−ジアミノナフタレン、２−ドデシル−１，８−ジアミノナフタレン、２−ドデシル−３，４−ジアミノナフタレン、２−ドデシル−３，５−ジアミノナフタレン、２−ドデシル−３，６−ジアミノナフタレン、２−ドデシル−３，７−ジアミノナフタレン、２−ドデシル−３，８−ジアミノナフタレン、２−ドデシル−４，５−ジアミノナフタレン、２−ドデシル−４，６−ジアミノナフタレン、２−ドデシル−４，７−ジアミノナフタレン、２−ドデシル−４，８−ジアミノナフタレン、２−ドデシル−５，６−ジアミノナフタレン、２−ドデシル−５，７−ジアミノナフタレン、２−ドデシル−５，８−ジアミノナフタレン、２−ドデシル−６，７−ジアミノナフタレン、２−ドデシル−６，８−ジアミノナフタレン及び２−ドデシル−７，８−ジアミノナフタレン等が挙げられる。

これらのうち、窒素原子を１つ以上含む環式化合物（Ｃ２）としては、防錆性の観点から、シクロヘキシルアミン、２−メチルアニリン、１−アミノナフタレン、ベンゾトリアゾール及び４−メチルベンゾトリアゾールが好ましい。

鎖状アミン（Ｃ１）のアルキレンオキサイド付加物（Ｃ３１）としては、トリエタノールアミン、エチレンジアミンのＥＯ４モル付加物、エチレンジアミンのＥＯ８モル付加物、エチレンジアミンのＰＯ４モル付加物、エチレンジアミンのＢＯ４モル付加物、エチレンジアミンのＴＨＦ４モル付加物、エチレンジアミンのＥＯ２モルＰＯ２モル付加物、ジエチレントリアミンのＥＯ５モル付加物、ジエチレントリアミンのＰＯ５モル付加物、ジエチレントリアミンのＢＯ５モル付加物、トリエチレンテトラミンのＥＯ６モル付加物、トリエチレンテトラミンのＰＯ６モル付加物、トリエチレンテトラミンのＢＯ６モル付加物、テトラエチレンペンタミンのＥＯ７モル付加物、テトラエチレンペンタミンのＰＯ７モル付加物、テトラエチレンペンタミンのＢＯ７モル付加物、ペンタエチレンヘキサミンのＥＯ８モル付加物、ペンタエチレンヘキサミンのＰＯ８モル付加物、ペンタエチレンヘキサミンのＢＯ８モル付加物、ヘキサエチレンヘプタミンのＥＯ９モル付加物、ヘキサエチレンヘプタミンのＰＯ９モル付加物、ヘキサエチレンヘプタミンのＢＯ９モル付加物、ヘプタエチレンオクタミンのＥＯ１０モル付加物、ヘプタエチレンオクタミンのＰＯ１０モル付加物、ヘプタエチレンオクタミンのＢＯ１０モル付加物、オクタエチレンノナミンのＥＯ１１モル付加物、オクタエチレンノナミンのＰＯ１１モル付加物、オクタエチレンノナミンのＢＯ１１モル付加物、ノナエチレンデカミンのＥＯ１２モル付加物、ノナエチレンデカミンのＰＯ１２モル付加物、ノナエチレンデカミンのＢＯ１２モル付加物、ジプロピレントリアミンのＥＯ５モル付加物、ジプロピレントリアミンのＰＯ５モル付加物、ジプロピレントリアミンのＢＯ５モル付加物、トリプロピレンテトラミンのＥＯ６モル付加物、トリプロピレンテトラミンのＰＯ６モル付加物、トリプロピレンテトラミンのＢＯ６モル付加物、テトラプロピレンペンタミンのＥＯ７モル付加物、テトラプロピレンペンタミンのＰＯ７モル付加物、テトラプロピレンペンタミンのＢＯ７モル付加物、

ペンタプロピレンヘキサミンのＥＯ８モル付加物、ペンタプロピレンヘキサミンのＰＯ８モル付加物、ペンタプロピレンヘキサミンのＢＯ８モル付加物、ヘキサプロピレンヘプタミンのＥＯ９モル付加物、ヘキサプロピレンヘプタミンのＰＯ９モル付加物、ヘキサプロピレンヘプタミンのＢＯ９モル付加物、ヘプタプロピレンオクタミンのＥＯ１０モル付加物、ヘプタプロピレンオクタミンのＰＯ１０モル付加物、ヘプタプロピレンオクタミンのＢＯ１０モル付加物、オクタプロピレンノナミンのＥＯ１１モル付加物、オクタプロピレンノナミンのＰＯ１１モル付加物、オクタプロピレンノナミンのＢＯ１１モル付加物、ノナプロピレンデカミンのＥＯ１２モル付加物、ノナプロピレンデカミンのＰＯ１２モル付加物、ノナプロピレンデカミンのＢＯ１２モル付加物、ジブチレントリアミンのＥＯ５モル付加物、ジブチレントリアミンのＰＯ５モル付加物、ジブチレントリアミンのＢＯ５モル付加物、トリブチレンテトラミンのＥＯ６モル付加物、トリブチレンテトラミンのＰＯ６モル付加物、トリブチレンテトラミンのＢＯ６モル付加物、テトラブチレンペンタミンのＥＯ７モル付加物、テトラブチレンペンタミンのＰＯ７モル付加物、テトラブチレンペンタミンのＢＯ７モル付加物、ペンタブチレンヘキサミンのＥＯ８モル付加物、ペンタブチレンヘキサミンのＰＯ８モル付加物、ペンタブチレンヘキサミンのＢＯ８モル付加物、ヘキサブチレンヘプタミンのＥＯ９モル付加物、ヘキサブチレンヘプタミンのＰＯ９モル付加物、ヘキサブチレンヘプタミンのＢＯ９モル付加物、ヘプタブチレンオクタミンのＥＯ１０モル付加物、ヘプタブチレンオクタミンのＰＯ１０モル付加物、ヘプタブチレンオクタミンのＢＯ１０モル付加物、オクタブチレンノナミンのＥＯ１１モル付加物、オクタブチレンノナミンのＰＯ１１モル付加物、オクタブチレンノナミンのＢＯ１１モル付加物、ノナブチレンデカミンのＥＯ１２モル付加物、ノナブチレンデカミンのＰＯ１２モル付加物、ノナブチレンデカミンのＢＯ１２モル付加物、ジペンチレントリアミンのＥＯ５モル付加物、ジペンチレントリアミンのＰＯ５モル付加物、ジペンチレントリアミンのＢＯ５モル付加物、トリペンチレンテトラミンのＥＯ６モル付加物、トリペンチレンテトラミンのＰＯ６モル付加物、トリペンチレンテトラミンのＢＯ６モル付加物、テトラペンチレンペンタミンのＥＯ７モル付加物、テトラペンチレンペンタミンのＰＯ７モル付加物、テトラペンチレンペンタミンのＢＯ７モル付加物、ペンタペンチレンヘキサミンのＥＯ８モル付加物、ペンタペンチレンヘキサミンのＰＯ８モル付加物、ペンタペンチレンヘキサミンのＢＯ８モル付加物、

ヘキサペンチレンヘプタミンのＥＯ９モル付加物、ヘキサペンチレンヘプタミンのＰＯ９モル付加物、ヘキサペンチレンヘプタミンのＢＯ９モル付加物、ヘプタペンチレンオクタミンのＥＯ１０モル付加物、ヘプタペンチレンオクタミンのＰＯ１０モル付加物、ヘプタペンチレンオクタミンのＢＯ１０モル付加物、オクタペンチレンノナミンのＥＯ１１モル付加物、オクタペンチレンノナミンのＰＯ１１モル付加物、オクタペンチレンノナミンのＢＯ１１モル付加物、ノナペンチレンデカミンのＥＯ１２モル付加物、ノナペンチレンデカミンのＰＯ１２モル付加物、ノナペンチレンデカミンのＢＯ１２モル付加物、ジヘキシレントリアミンのＥＯ５モル付加物、ジヘキシレントリアミンのＰＯ５モル付加物、ジヘキシレントリアミンのＢＯ５モル付加物、トリヘキシレンテトラミンのＥＯ６モル付加物、トリヘキシレンテトラミンのＰＯ６モル付加物、トリヘキシレンテトラミンのＢＯ６モル付加物、テトラヘキシレンペンタミンのＥＯ７モル付加物、テトラヘキシレンペンタミンのＰＯ７モル付加物、テトラヘキシレンペンタミンのＢＯ７モル付加物、ペンタヘキシレンヘキサミンのＥＯ８モル付加物、ペンタヘキシレンヘキサミンのＰＯ８モル付加物、ペンタヘキシレンヘキサミンのＢＯ８モル付加物、ヘキサヘキシレンヘプタミンのＥＯ９モル付加物、ヘキサヘキシレンヘプタミンのＰＯ９モル付加物、ヘキサヘキシレンヘプタミンのＢＯ９モル付加物、ヘプタヘキシレンオクタミンのＥＯ１０モル付加物、ヘプタヘキシレンオクタミンのＰＯ１０モル付加物、ヘプタヘキシレンオクタミンのＢＯ１０モル付加物、オクタヘキシレンノナミンのＥＯ１１モル付加物、オクタヘキシレンノナミンのＰＯ１１モル付加物、オクタヘキシレンノナミンのＢＯ１１モル付加物、

ノナヘキシレンデカミンのＥＯ１２モル付加物、ノナヘキシレンデカミンのＰＯ１２モル付加物、ノナヘキシレンデカミンのＢＯ１２モル付加物、ジヘプチレントリアミンのＥＯ５モル付加物、ジヘプチレントリアミンのＰＯ５モル付加物、ジヘプチレントリアミンのＢＯ５モル付加物、トリヘプチレンテトラミンのＥＯ６モル付加物、トリヘプチレンテトラミンのＰＯ６モル付加物、トリヘプチレンテトラミンのＢＯ６モル付加物、テトラヘプチレンペンタミンのＥＯ７モル付加物、テトラヘプチレンペンタミンのＰＯ７モル付加物、テトラヘプチレンペンタミンのＢＯ７モル付加物、ペンタヘプチレンヘキサミンのＥＯ８モル付加物、ペンタヘプチレンヘキサミンのＰＯ８モル付加物、ペンタヘプチレンヘキサミンのＢＯ８モル付加物、ヘキサヘプチレンヘプタミンのＥＯ９モル付加物、ヘキサヘプチレンヘプタミンのＰＯ９モル付加物、ヘキサヘプチレンヘプタミンのＢＯ９モル付加物、ヘプタヘプチレンオクタミンのＥＯ１０モル付加物、ヘプタヘプチレンオクタミンのＰＯ１０モル付加物、ヘプタヘプチレンオクタミンのＢＯ１０モル付加物、オクタヘプチレンノナミンのＥＯ１１モル付加物、オクタヘプチレンノナミンのＰＯ１１モル付加物、オクタヘプチレンノナミンのＢＯ１１モル付加物、ノナヘプチレンデカミンのＥＯ１２モル付加物、ノナヘプチレンデカミンのＰＯ１２モル付加物、ノナヘプチレンデカミンのＢＯ１２モル付加物、１，３−ジアミノプロパンのＥＯ４モル付加物、１，３−ジアミノプロパンのＰＯ４モル付加物、１，３−ジアミノプロパンのＢＯ４モル付加物、ブチレンジアミンのＥＯ４モル付加物、ブチレンジアミンのＰＯ４モル付加物、ブチレンジアミンのＢＯ４モル付加物、ペンタメチレンジアミンのＥＯ４モル付加物、ペンタメチレンジアミンのＰＯ４モル付加物、ペンタメチレンジアミンのＢＯ４モル付加物、ヘキサメチレンジアミンのＥＯ４モル付加物、ヘキサメチレンジアミンのＰＯ４モル付加物、ヘキサメチレンジアミンのＢＯ４モル付加物、ヘプタメチレンジアミンのＥＯ４モル付加物、ヘプタメチレンジアミンのＰＯ４モル付加物及びヘプタメチレンジアミンのＢＯ４モル付加物等が挙げられる。

アミノ基を１つ以上含有する脂環式化合物のアルキレンオキサイド付加物（Ｃ３２）としては、シクロプロピルアミンのＰＯ２モル付加物、シクロプロピルアミンのＰＯ４モル付加物、シクロプロピルアミンのＥＯ２モル付加物、シクロプロピルアミンのＥＯ４モル付加物、シクロブチルアミンのＰＯ２モル付加物、シクロブチルアミンのＰＯ４モル付加物、シクロブチルアミンのＥＯ２モル付加物、シクロブチルアミンのＥＯ４モル付加物、シクロペンチルアミンのＥＯ２モル付加物、シクロペンチルアミンのＥＯ４モル付加物、シクロペンチルアミンのＥＯ６モル付加物、シクロペンチルアミンのＥＯ８モル付加物、シクロペンチルアミンのＥＯ１０モル付加物、シクロペンチルアミンのＥＯ１５モル付加物、シクロペンチルアミンのＥＯ２０モル付加物、シクロペンチルアミンのＰＯ２モル付加物、シクロペンチルアミンのＰＯ４モル付加物、シクロペンチルアミンのＰＯ６モル付加物、シクロペンチルアミンのＰＯ８モル付加物、シクロペンチルアミンのＰＯ１０モル付加物、シクロペンチルアミンのＰＯ１５モル付加物、シクロペンチルアミンのＰＯ２０モル付加物、シクロペンチルアミンのＢＯ２モル付加物、シクロペンチルアミンのＴＨＦ２モル付加物、シクロヘキシルアミンのＥＯ２モル付加物、シクロヘキシルアミンのＥＯ４モル付加物、シクロヘキシルアミンのＥＯ６モル付加物、シクロヘキシルアミンのＥＯ８モル付加物、シクロヘキシルアミンのＥＯ１０モル付加物、シクロヘキシルアミンのＥＯ１５モル付加物、シクロヘキシルアミンのＥＯ２０モル付加物、シクロヘキシルアミンのＰＯ２モル付加物、シクロヘキシルアミンのＰＯ４モル付加物、シクロヘキシルアミンのＰＯ６モル付加物、シクロヘキシルアミンのＰＯ８モル付加物、シクロヘキシルアミンのＰＯ１０モル付加物、シクロヘキシルアミンのＰＯ１５モル付加物、シクロヘキシルアミンのＰＯ２０モル付加物、シクロヘキシルアミンのＢＯ２モル付加物、シクロヘキシルアミンのＴＨＦ２モル付加物、

シクロヘプチルアミンのＥＯ２モル付加物、シクロヘプチルアミンのＰＯ２モル付加物、シクロオクチルアミンのＥＯ２モル付加物、シクロオクチルアミンのＰＯ２モル付加物、シクロノニルアミンのＥＯ２モル付加物、シクロノニルアミンのＥＯ２モル付加物、シクロノニルアミンのＰＯ２モル付加物、シクロデシルアミンのＥＯ２モル付加物、シクロデシルアミンのＰＯ２モル付加物、シクロウンデシルアミンのＥＯ２モル付加物、シクロウンデシルアミンのＰＯ２モル付加物、シクロドデシルアミンのＥＯ２モル付加物、シクロドデシルアミンのＰＯ２モル付加物、２−メチルシクロプロピルアミンのＥＯ２モル付加物、２−メチルシクロプロピルアミンのＰＯ２モル付加物、３−メチルシクロブチルアミンのＥＯ２モル付加物、３−メチルシクロブチルアミンのＰＯ２モル付加物、２，３−ジメチルシクロプロピルアミンのＥＯ２モル付加物、２，３−ジメチルシクロプロピルアミンのＰＯ２モル付加物、２−メチルシクロペンチルアミンのＥＯ２モル付加物、２−メチルシクロペンチルアミンのＰＯ２モル付加物、３−メチルシクロペンチルアミンのＥＯ２モル付加物、３−メチルシクロペンチルアミンのＰＯ２モル付加物、２−メチルシクロヘキシルアミンのＥＯ２モル付加物、２−メチルシクロヘキシルアミンのＰＯ２モル付加物、３−メチルシクロヘキシルアミンのＥＯ２モル付加物、３−メチルシクロヘキシルアミンのＰＯ２モル付加物、

４−メチルシクロヘキシルアミンのＥＯ２モル付加物、４−メチルシクロヘキシルアミンのＰＯ２モル付加物、２−エチルシクロペンチルアミンのＥＯ２モル付加物、２−エチルシクロペンチルアミンのＰＯ２モル付加物、３−エチルシクロペンチルアミンのＥＯ２モル付加物、３−エチルシクロペンチルアミンのＰＯ２モル付加物、２−メチルシクロヘプチルアミンのＥＯ２モル付加物、２−メチルシクロヘプチルアミンのＰＯ２モル付加物、３−メチルシクロヘプチルアミンのＥＯ２モル付加物、３−メチルシクロヘプチルアミンのＰＯ２モル付加物、４−メチルシクロヘプチルアミンのＥＯ２モル付加物、４−メチルシクロヘプチルアミンのＰＯ２モル付加物、２−エチルシクロヘキシルアミンのＥＯ２モル付加物、２−エチルシクロヘキシルアミンのＰＯ２モル付加物、３−エチルシクロヘキシルアミンのＥＯ２モル付加物、３−エチルシクロヘキシルアミンのＰＯ２モル付加物、４−エチルシクロヘキシルアミンのＥＯ２モル付加物、４−エチルシクロヘキシルアミンのＰＯ２モル付加物、２，３−ジメチルシクロヘキシルアミンのＥＯ２モル付加物、２，３−ジメチルシクロヘキシルアミンのＰＯ２モル付加物、２，４−ジメチルシクロヘキシルアミンのＥＯ２モル付加物、２，４−ジメチルシクロヘキシルアミンのＰＯ２モル付加物、２，５−ジメチルシクロヘキシルアミンのＥＯ２モル付加物、２，５−ジメチルシクロヘキシルアミンのＰＯ２モル付加物、１，１−ジアミノシクロプロパンのＥＯ４モル付加物、１，１−ジアミノシクロプロパンのＰＯ４モル付加物、１，２−ジアミノシクロプロパンのＥＯ４モル付加物、１，２−ジアミノシクロプロパンのＰＯ４モル付加物、１，３−ジアミノシクロプロパンのＥＯ４モル付加物、１，３−ジアミノシクロプロパンのＰＯ４モル付加物、１，１−ジアミノシクロブタンのＥＯ４モル付加物、

１，１−ジアミノシクロブタンのＰＯ４モル付加物、１，２−ジアミノシクロブタンのＥＯ４モル付加物、１，２−ジアミノシクロブタンのＰＯ４モル付加物、１，３−ジアミノシクロブタンのＥＯ４モル付加物、１，３−ジアミノシクロブタンのＰＯ４モル付加物、１，１−ジアミノシクロペンタンのＥＯ４モル付加物、１，１−ジアミノシクロペンタンのＰＯ４モル付加物、１，２−ジアミノシクロペンタンのＥＯ４モル付加物、１，２−ジアミノシクロペンタンのＰＯ４モル付加物、１，３−ジアミノシクロペンタンのＥＯ４モル付加物、１，３−ジアミノシクロペンタンのＰＯ４モル付加物、１，１−ジアミノシクロヘキサンのＥＯ４モル付加物、１，１−ジアミノシクロヘキサンのＰＯ４モル付加物、１，２−ジアミノシクロヘキサンのＥＯ４モル付加物、１，２−ジアミノシクロヘキサンのＰＯ４モル付加物、１，３−ジアミノシクロヘキサンのＥＯ４モル付加物、１，３−ジアミノシクロヘキサンのＰＯ４モル付加物、１，４−ジアミノシクロヘキサンのＥＯ４モル付加物、１，４−ジアミノシクロヘキサンのＰＯ４モル付加物、１，１−ジアミノシクロヘプタンのＥＯ４モル付加物、１，１−ジアミノシクロヘプタンのＰＯ４モル付加物、１，２−ジアミノシクロヘプタンのＥＯ４モル付加物、１，２−ジアミノシクロヘプタンのＰＯ４モル付加物、１，３−ジアミノシクロヘプタンのＥＯ４モル付加物、１，３−ジアミノシクロヘプタンのＰＯ４モル付加物、１，４−ジアミノシクロヘプタンのＥＯ４モル付加物、１，４−ジアミノシクロヘプタンのＰＯ４モル付加物、１，１−ジアミノシクロオクタンのＥＯ４モル付加物、１，１−ジアミノシクロオクタンのＰＯ４モル付加物、１，２−ジアミノシクロオクタンのＥＯ４モル付加物、１，２−ジアミノシクロオクタンのＰＯ４モル付加物、１，３−ジアミノシクロオクタンのＥＯ４モル付加物、１，３−ジアミノシクロオクタンのＰＯ４モル付加物、１，４−ジアミノシクロオクタンのＥＯ４モル付加物、１，４−ジアミノシクロオクタンのＰＯ４モル付加物、１，１−ジアミノシクロノナンのＥＯ４モル付加物、１，１−ジアミノシクロノナンのＰＯ４モル付加物、１，２−ジアミノシクロノナンのＥＯ４モル付加物、１，２−ジアミノシクロノナンのＰＯ４モル付加物、

１，３−ジアミノシクロノナンのＥＯ４モル付加物、１，３−ジアミノシクロノナンのＰＯ４モル付加物、１，４−ジアミノシクロノナンのＥＯ４モル付加物、１，４−ジアミノシクロノナンのＰＯ４モル付加物、１，５−ジアミノシクロノナンのＥＯ４モル付加物、１，５−ジアミノシクロノナンのＰＯ４モル付加物、１，１−ジアミノシクロデカンのＥＯ４モル付加物、１，１−ジアミノシクロデカンのＰＯ４モル付加物、１，２−ジアミノシクロデカンのＥＯ４モル付加物、１，２−ジアミノシクロデカンのＰＯ４モル付加物、１，３−ジアミノシクロデカンのＥＯ４モル付加物、１，３−ジアミノシクロデカンのＰＯ４モル付加物、１，４−ジアミノシクロデカンのＥＯ４モル付加物、１，４−ジアミノシクロデカンのＰＯ４モル付加物、１，５−ジアミノシクロデカンのＥＯ４モル付加物、１，５−ジアミノシクロデカンのＰＯ４モル付加物、１，１−ジアミノシクロウンデカンのＥＯ４モル付加物、１，１−ジアミノシクロウンデカンのＰＯ４モル付加物、１，２−ジアミノシクロウンデカンのＥＯ４モル付加物、１，２−ジアミノシクロウンデカンのＰＯ４モル付加物、１，３−ジアミノシクロウンデカンのＥＯ４モル付加物、１，３−ジアミノシクロウンデカンのＰＯ４モル付加物、１，４−ジアミノシクロウンデカンのＥＯ４モル付加物、１，４−ジアミノシクロウンデカンのＰＯ４モル付加物、１，５−ジアミノシクロウンデカンのＥＯ４モル付加物、１，５−ジアミノシクロウンデカンのＰＯ４モル付加物、１，６−ジアミノシクロウンデカンのＥＯ４モル付加物、１，６−ジアミノシクロウンデカンのＰＯ４モル付加物、１，１−ジアミノシクロドデカンのＥＯ４モル付加物、１，１−ジアミノシクロドデカンのＰＯ４モル付加物、１，２−ジアミノシクロドデカンのＥＯ４モル付加物、１，２−ジアミノシクロドデカンのＰＯ４モル付加物、１，３−ジアミノシクロドデカンのＥＯ４モル付加物、１，３−ジアミノシクロドデカンのＰＯ４モル付加物、１，４−ジアミノシクロドデカンのＥＯ４モル付加物、１，４−ジアミノシクロドデカンのＰＯ４モル付加物、１，５−ジアミノシクロドデカンのＥＯ４モル付加物、１，５−ジアミノシクロドデカンのＰＯ４モル付加物、１，６−ジアミノシクロドデカンのＥＯ４モル付加物、１，６−ジアミノシクロドデカンのＰＯ４モル付加物、１，１，２−トリアミノシクロヘキサンのＥＯ４モル付加物、１，１，２−トリアミノシクロヘキサンのＰＯ４モル付加物、１，１，３−トリアミノシクロヘキサンのＥＯ４モル付加物、１，１，３−トリアミノシクロヘキサンのＰＯ４モル付加物、１，１，４−トリアミノシクロヘキサンのＥＯ４モル付加物、１，１，４−トリアミノシクロヘキサンのＰＯ４モル付加物、１，２，３−トリアミノシクロヘキサンのＥＯ４モル付加物、１，２，３−トリアミノシクロヘキサンのＰＯ４モル付加物、１，２，４−トリアミノシクロヘキサンのＥＯ４モル付加物及び１，２，４−トリアミノシクロヘキサンのＰＯ４モル付加物等が挙げられる。

芳香族アミンのアルキレンオキサイド付加物（Ｃ３３）としては下記一般式（４）で表される化合物等が挙げられる。

［Ｒ^１４は、水素原子又は炭素数１〜１２のアルキル基である。ｄは１〜５の整数である。式中のＡＯはそれぞれ独立に炭素数３又は４のオキシアルキレン基を示し、ｓ及びｔは、それぞれ独立にＡＯの付加モル数を示す０〜２０の整数であり、ｓ＋ｔは１〜２０の整数である。６−ｄが２以上の場合、Ｒ^１４はそれぞれ同じでも異なっていても良い。ｄが２以上の場合、（Ｎ（−（ＡＯ）ｓ−Ｈ）（−（ＡＯ）ｔ−Ｈ））の部分はそれぞれ同じでも異なっていても良い。ｓが２以上の場合、（ＡＯ）は同じでも異なっていても良い。ｔが２以上の場合、（ＡＯ）は同じでも異なっていても良い。］

一般式（４）中、Ｒ^１４は、水素原子又は炭素数１〜１２のアルキル基である。
一般式（４）中の炭素数１〜１２のアルキル基としては、炭素数１〜１２の直鎖状又は分岐状のもの等が挙げられる。具体的には、例えばメチル基、エチル基、ｎ−プロピル基、イソプロピル基、ｎ−ブチル基、イソブチル基、ｓｅｃ−ブチル基、ｔｅｒｔ−ブチル基、ｎ−ペンチル基、イソペンチル基、ｓｅｃ−ペンチル基、ｔｅｒｔ−ペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基、イソヘキシル基、イソオクチル基、ｓｅｃ−オクチル基、ｔｅｒｔ−オクチル基、ｎ−ノニル基、イソノニル基、ｎ−デシル基、イソデシル基、ｎ−ウンデシル基、イソウンデシル基、ｎ−ドデシル基及びイソドデシル基などが挙げられる。
これらのうち、水溶性の観点から好ましくは水素原子、メチル基、エチル基、ｎ−プロピル基、イソプロピル基、ｎ−ブチル基、イソブチル基、ｓｅｃ−ブチル基、ｔｅｒｔ−ブチル基、ｎ−ペンチル基、イソペンチル基、ｓｅｃ−ペンチル基、ｔｅｒｔ−ペンチル基及びヘキシル基である。

一般式（４）において、ｄは１〜５の整数であり、防錆性の観点から好ましくは１〜３の整数、更に好ましくは１〜２の整数である。

一般式（４）中のＡＯはそれぞれ独立に炭素数２〜４のオキシアルキレン基を示し、ｓ及びｔは、それぞれ独立にＡＯの付加モル数を示す０〜２０の整数であり、ｓ＋ｔは１〜２０の整数である。ｓ及びｔは、水溶性の観点から好ましくは、それぞれ独立に０〜１０の整数である。ｓ＋ｔは、水溶性の観点から好ましくは、１〜１０の整数である。
ｓが２以上の場合、（ＡＯ）は同じでも異なっていても良い。ｔが２以上の場合、（ＡＯ）は同じでも異なっていても良い。
炭素数２〜４のオキシアルキレン基としては、オキシエチレン基、オキシプロピレン基、オキシブチレン基及びオキシイソブチレン基等が挙げられる。

一般式（４）で表される化合物（Ｃ３３）としては、アニリンのＥＯ２モル付加物、アニリンのＥＯ５モル付加物、アニリンのＥＯ１０モル付加物、アニリンのＥＯ２０モル付加物、２−メチルアニリンのＥＯ２モル付加物、３−メチルアニリンのＥＯ２モル付加物、２，３−ジメチルアニリンのＥＯ２モル付加物、４−メチルアニリンのＥＯ２モル付加物、５−メチルアニリンのＥＯ２モル付加物、２−エチルアニリンのＥＯ２モル付加物、３−エチルアニリンのＥＯ２モル付加物、４−エチルアニリンのＥＯ２モル付加物、５−エチルアニリンのＥＯ２モル付加物、２，４−ジメチルアニリンのＥＯ２モル付加物、２，５−ジメチルアニリンのＥＯ２モル付加物、２−プロピルアニリンのＥＯ２モル付加物、２−ブチルアニリンのＥＯ２モル付加物、２−ペンチルアニリンのＥＯ２モル付加物、２−ヘキシルアニリンのＥＯ２モル付加物、２−ヘプチルアニリンのＥＯ２モル付加物、２−オクチルアニリンのＥＯ２モル付加物、２−ノニルアニリンのＥＯ２モル付加物、２−デシルアニリンのＥＯ２モル付加物、２−ウンデシルアニリンアミンのＥＯ２モル付加物、２−ドデシルアニリンのＥＯ２モル付加物、２，３−ジアミノトルエンのＥＯ２モル付加物、２，４−ジアミノトルエンのＥＯ２モル付加物、２，５−ジアミノトルエンのＥＯ２モル付加物、２，３，４−トリアミノトルエンのＥＯ２モル付加物、２，３，５−トリアミノトルエンのＥＯ２モル付加物、２，４，５−トリアミノトルエンのＥＯ２モル付加物、１−エチル−２，４−ジアミノベンゼンのＥＯ２モル付加物、１−プロピル−２，４−ジアミノベンゼンのＥＯ２モル付加物、１−ブチル−２，４−ジアミノベンゼンのＥＯ２モル付加物、１−ペンチル−２，４−ジアミノベンゼンのＥＯ２モル付加物、１−ヘキシル−２，４−ジアミノベンゼンのＥＯ２モル付加物、１−ヘプチル−２，４−ジアミノベンゼンＥＯ２モル付加物、１−オクチル−２，４−ジアミノベンゼンのＥＯ２モル付加物、１−ノニル−２，４−ジアミノベンゼンのＥＯ２モル付加物、１−デシル−２，４−ジアミノベンゼンのＥＯ２モル付加物、１−ウンデシル−２，４−ジアミノベンゼンのＥＯ２モル付加物、１−ドデシル−２，４−ジアミノベンゼンのＥＯ２モル付加物、アニリンのＰＯ２モル付加物、アニリンのＰＯ５モル付加物、アニリンのＰＯ１０モル付加物、アニリンのＰＯ２０モル付加物、２−メチルアニリンのＰＯ２モル付加物、３−メチルアニリンのＰＯ２モル付加物、２，３−ジメチルアニリンのＰＯ２モル付加物、４−メチルアニリンのＰＯ２モル付加物、５−メチルアニリンのＰＯ２モル付加物、２−エチルアニリンのＰＯ２モル付加物、３−エチルアニリンのＰＯ２モル付加物、４−エチルアニリンのＰＯ２モル付加物、５−エチルアニリンのＰＯ２モル付加物、２，４−ジメチルアニリンのＰＯ２モル付加物、２，５−ジメチルアニリンのＰＯ２モル付加物、２−プロピルアニリンのＰＯ２モル付加物、２−ブチルアニリンのＰＯ２モル付加物、２−ペンチルアニリンのＰＯ２モル付加物、２−ヘキシルアニリンのＰＯ２モル付加物、２−ヘプチルアニリンのＰＯ２モル付加物、２−オクチルアニリンのＰＯ２モル付加物、２−ノニルアニリンのＰＯ２モル付加物、２−デシルアニリンのＰＯ２モル付加物、２−ウンデシルアニリンアミンのＰＯ２モル付加物、２−ドデシルアニリンのＰＯ２モル付加物、２，３−ジアミノトルエンのＰＯ２モル付加物、２，４−ジアミノトルエンのＰＯ２モル付加物、２，５−ジアミノトルエンのＰＯ２モル付加物、２，３，４−トリアミノトルエンのＰＯ２モル付加物、２，３，５−トリアミノトルエンのＰＯ２モル付加物、２，４，５−トリアミノトルエンのＰＯ２モル付加物、１−エチル−２，４−ジアミノベンゼンのＰＯ２モル付加物、１−プロピル−２，４−ジアミノベンゼンのＰＯ２モル付加物、１−ブチル−２，４−ジアミノベンゼンのＰＯ２モル付加物、１−ペンチル−２，４−ジアミノベンゼンのＰＯ２モル付加物、１−ヘキシル−２，４−ジアミノベンゼンのＰＯ２モル付加物、１−ヘプチル−２，４−ジアミノベンゼンのＰＯ２モル付加物、１−オクチル−２，４−ジアミノベンゼンのＰＯ２モル付加物、１−ノニル−２，４−ジアミノベンゼンのＰＯ２モル付加物、１−デシル−２，４−ジアミノベンゼンのＰＯ２モル付加物、１−ウンデシル−２，４−ジアミノベンゼンのＰＯ２モル付加物及び１−ドデシル−２，４−ジアミノベンゼンのＰＯ２モル付加物等が挙げられる。

［Ｒ^１５及びＲ^１６は、それぞれ独立に水素原子又は炭素数１〜１２のアルキル基である。ｅ及びｆはそれぞれ独立に０〜３の整数であり、ｅ＋ｆは１〜６の整数である。式中のＡＯはそれぞれ独立に炭素数３又は４のオキシアルキレン基を示し、ｕ、ｖ、ｗ及びｘは、それぞれ独立にＡＯの付加モル数を示す０〜２０の整数であり、ｕ＋ｖ＋ｗ＋ｘは１〜４０の整数である。４−ｅが２以上の場合、Ｒ^１５はそれぞれ同じでも異なっていても良い。ｅが２以上の場合、（Ｎ（−（ＡＯ）ｕ−Ｈ）（−（ＡＯ）ｖ−Ｈ））の部分はそれぞれ同じでも異なっていても良い。４−ｆが２以上の場合、Ｒ^１６はそれぞれ同じでも異なっていても良い。ｆが２以上の場合、（Ｎ（−（ＡＯ）ｗ−Ｈ）（−（ＡＯ）ｘ−Ｈ））の部分はそれぞれ同じでも異なっていても良い。ｕ、ｖ、ｗ及びｘがそれぞれ２以上の場合、それぞれの（ＡＯ）は同じでも異なっていても良い。］

一般式（５）中、Ｒ^１５及びＲ^１６は、それぞれ独立に水素原子又は炭素数１〜１２のアルキル基で表すことができる。
一般式（５）中の炭素数１〜１２のアルキル基としては、炭素数１〜１２の直鎖状又は分岐状のもの等が挙げられる。具体的には、例えばメチル基、エチル基、ｎ−プロピル基、イソプロピル基、ｎ−ブチル基、イソブチル基、ｓｅｃ−ブチル基、ｔｅｒｔ−ブチル基、ｎ−ペンチル基、イソペンチル基、ｓｅｃ−ペンチル基、ｔｅｒｔ−ペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基、イソヘキシル基、イソオクチル基、ｓｅｃ−オクチル基、ｔｅｒｔ−オクチル基、ｎ−ノニル基、イソノニル基、ｎ−デシル基、イソデシル基、ｎ−ウンデシル基、イソウンデシル基、ｎ−ドデシル基及びイソドデシル基などが挙げられる。
これらのうち、水溶性の観点から好ましくは水素原子、メチル基、エチル基、ｎ−プロピル基、イソプロピル基、ｎ−ブチル基、イソブチル基、ｓｅｃ−ブチル基、ｔｅｒｔ−ブチル基、ｎ−ペンチル基、イソペンチル基、ｓｅｃ−ペンチル基、ｔｅｒｔ−ペンチル基及びヘキシル基である。

一般式（５）において、ｅ及びｆはそれぞれ独立に０〜３の整数であり、防錆性の観点から好ましくは０〜３の整数、より好ましくは０〜２の整数、更に好ましくは０〜１の整数である。ｅ＋ｆは１〜７の整数であり、防錆性の観点から好ましくは１〜４の整数、より好ましくは１〜３の整数、更に好ましくは１〜２の整数である。

一般式（５）中のＡＯはそれぞれ独立に炭素数２〜４のオキシアルキレン基を示し、ｕ、ｖ、ｗ及びｘは、それぞれ独立にＡＯの付加モル数を示す０〜２０の整数であり、ｕ＋ｖ＋ｗ＋ｘは１〜４０の整数である。ｕ、ｖ、ｗ及びｘは、水溶性の観点から好ましくは、０〜１０の整数である。ｕ＋ｖ＋ｗ＋ｘは、水溶性の観点から好ましくは、１〜２０の整数であり、さらに好ましくは１〜１０の整数である。
４−ｅが２以上の場合、Ｒ^１５はそれぞれ同じでも異なっていても良い。ｅが２以上の場合、（Ｎ（−（ＡＯ）ｕ−Ｈ）（−（ＡＯ）ｖ−Ｈ））の部分はそれぞれ同じでも異なっていても良い。４−ｆが２以上の場合、Ｒ^１６はそれぞれ同じでも異なっていても良い。ｆが２以上の場合、（Ｎ（−（ＡＯ）ｗ−Ｈ）（−（ＡＯ）ｘ−Ｈ））の部分はそれぞれ同じでも異なっていても良い。ｕ、ｖ、ｗ及びｘがそれぞれ２以上の場合、それぞれの（ＡＯ）は同じでも異なっていても良い。

一般式（５）中の炭素数３又は４のオキシアルキレン基としては、オキシプロピレン基、オキシブチレン基及びオキシイソブチレン基等が挙げられる。

一般式（５）で表される化合物（Ｃ３４）としては、１−アミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、１−アミノナフタレンのＥＯ５モル付加物、１−アミノナフタレンのＥＯ１０モル付加物、１−アミノナフタレンのＥＯ２０モル付加物、２−メチル−１−アミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、３−メチル−１−アミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２，３−ジメチル−１−アミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、４−メチル−１−アミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、５−メチル−１−アミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−エチル−１−アミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、３−エチル−１−アミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、４−エチル−１−アミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、５−エチル−１−アミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２，４−ジメチル−１−アミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２，５−ジメチル−１−アミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、６−メチル−１−アミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２，６−ジメチル−１−アミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、７−メチル−１−アミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２，７−ジメチル−１−アミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−プロピル−１−アミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−ブチル−１−アミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−ペンチル−１−アミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−ヘキシル−１−アミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−ヘプチル−１−アミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−オクチル−１−アミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−ノニル−１−アミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−デシル−１−アミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−ウンデシル−１−アミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−ドデシル−１−アミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−アミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−アミノナフタレンのＥＯ５モル付加物、２−アミノナフタレンのＥＯ１０モル付加物、２−アミノナフタレンのＥＯ２０モル付加物、１−メチル−２−アミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、３−メチル−２−アミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、１，３−ジメチル−２−アミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、４−メチル−２−アミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、５−メチル−２−アミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、１−エチル−２−アミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、３−エチル−２−アミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、４−エチル−２−アミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、５−エチル−２−アミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、１，４−ジメチル−２−アミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、１，５−ジメチル−２−アミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、６−メチル−２−アミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、１，６−ジメチル−２−アミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、７−メチル−２−アミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、１，７−ジメチル−２−アミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、１−プロピル−２−アミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、１−ブチル−２−アミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、１−ペンチル−２−アミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、１−ヘキシル−２−アミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、１−ヘプチル−２−アミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、１−オクチル−２−アミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、１−ノニル−２−アミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、１−デシル−２−アミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、１−ウンデシル−２−アミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、１−ドデシル−２−アミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、１，２−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、１，３−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、１，４−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、１，５−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、１，６−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、１，７−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、１，８−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２，３−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２，４−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２，５−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２，６−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２，７−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、３，４−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、３，５−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、３，６−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、４，５−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−メチル−１，３−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−メチル−１，４−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−メチル−１，５−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、

２−メチル−１，６−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−メチル−１，７−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−メチル−１，８−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−メチル−３，４−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−メチル−３，５−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−メチル−３，６−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−メチル−３，７−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−メチル−３，８−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−メチル−４，５−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−メチル−４，６−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−メチル−４，７−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−メチル−４，８−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−メチル−５，６−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−メチル−５，７−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−メチル−５，８−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−メチル−６，７−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−メチル−６，８−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−メチル−７，８−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−エチル−１，３−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−エチル−１，４−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−エチル−１，５−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−エチル−１，６−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−エチル−１，７−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−エチル−１，８−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−エチル−３，４−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−エチル−３，５−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−エチル−３，６−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−エチル−３，７−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−エチル−３，８−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−エチル−４，５−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−エチル−４，６−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−エチル−４，７−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−エチル−４，８−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−エチル−５，６−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−エチル−５，７−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−エチル−５，８−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−エチル−６，７−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−エチル−６，８−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−エチル−７，８−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−プロピル−１，３−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−プロピル−１，４−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−プロピル−１，５−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−プロピル−１，６−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−プロピル−１，７−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−プロピル−１，８−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−プロピル−３，４−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−プロピル−３，５−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−プロピル−３，６−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−プロピル−３，７−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−プロピル−３，８−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−プロピル−４，５−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−プロピル−４，６−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−プロピル−４，７−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−プロピル−４，８−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−プロピル−５，６−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−プロピル−５，７−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−プロピル−５，８−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−プロピル−６，７−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−プロピル−６，８−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−プロピル−７，８−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−ブチル−１，３−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−ブチル−１，４−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−ブチル−１，５−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−ブチル−１，６−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−ブチル−１，７−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−ブチル−１，８−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−ブチル−３，４−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−ブチル−３，５−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−ブチル−３，６−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−ブチル−３，７−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−ブチル−３，８−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−ブチル−４，５−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−ブチル−４，６−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−ブチル−４，７−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−ブチル−４，８−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−ブチル−５，６−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−ブチル−５，７−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−ブチル−５，８−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−ブチル−６，７−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−ブチル−６，８−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−ブチル−７，８−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、

２−ペンチル−１，３−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−ペンチル−１，４−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−ペンチル−１，５−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−ペンチル−１，６−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−ペンチル−１，７−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−ペンチル−１，８−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−ペンチル−３，４−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−ペンチル−３，５−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−ペンチル−３，６−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−ペンチル−３，７−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−ペンチル−３，８−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−ペンチル−４，５−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−ペンチル−４，６−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−ペンチル−４，７−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−ペンチル−４，８−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−ペンチル−５，６−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−ペンチル−５，７−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−ペンチル−５，８−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−ペンチル−６，７−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−ペンチル−６，８−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−ペンチル−７，８−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−ヘキシル−１，３−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−ヘキシル−１，４−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−ヘキシル−１，５−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−ヘキシル−１，６−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−ヘキシル−１，７−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−ヘキシル−１，８−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−ヘキシル−３，４−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−ヘキシル−３，５−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−ヘキシル−３，６−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−ヘキシル−３，７−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−ヘキシル−３，８−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−ヘキシル−４，５−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−ヘキシル−４，６−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−ヘキシル−４，７−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−ヘキシル−４，８−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−ヘキシル−５，６−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−ヘキシル−５，７−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−ヘキシル−５，８−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−ヘキシル−６，７−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−ヘキシル−６，８−ジアミノナフタレのＥＯ２モル付加物、２−ヘキシル−７，８−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、

２−ヘプチル−１，３−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−ヘプチル−１，４−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−ヘプチル−１，５−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−ヘプチル−１，６−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−ヘプチル−１，７−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−ヘプチル−１，８−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−ヘプチル−３，４−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−ヘプチル−３，５−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−ヘプチル−３，６−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−ヘプチル−３，７−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−ヘプチル−３，８−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−ヘプチル−４，５−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−ヘプチル−４，６−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−ヘプチル−４，７−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−ヘプチル−４，８−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−ヘプチル−５，６−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−ヘプチル−５，７−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−ヘプチル−５，８−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−ヘプチル−６，７−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−ヘプチル−６，８−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−ヘプチル−７，８−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−オクチル−１，３−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−オクチル−１，４−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−オクチル−１，５−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−オクチル−１，６−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−オクチル−１，７−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−オクチル−１，８−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−オクチル−３，４−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−オクチル−３，５−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−オクチル−３，６−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−オクチル−３，７−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−オクチル−３，８−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−オクチル−４，５−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−オクチル−４，６−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−オクチル−４，７−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−オクチル−４，８−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−オクチル−５，６−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−オクチル−５，７−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−オクチル−５，８−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−オクチル−６，７−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−オクチル−６，８−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−オクチル−７，８−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−ノニル−１，３−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−ノニル−１，４−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−ノニル−１，５−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−ノニル−１，６−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−ノニル−１，７−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−ノニル−１，８−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−ノニル−３，４−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−ノニル−３，５−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−ノニル−３，６−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−ノニル−３，７−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−ノニル−３，８−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−ノニル−４，５−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−ノニル−４，６−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−ノニル−４，７−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−ノニル−４，８−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−ノニル−５，６−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−ノニル−５，７−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−ノニル−５，８−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−ノニル−６，７−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−ノニル−６，８−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−ノニル−７，８−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−デシル−１，３−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−デシル−１，４−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−デシル−１，５−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−デシル−１，６−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−デシル−１，７−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−デシル−１，８−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−デシル−３，４−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−デシル−３，５−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−デシル−３，６−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−デシル−３，７−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−デシル−３，８−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−デシル−４，５−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−デシル−４，６−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−デシル−４，７−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−デシル−４，８−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−デシル−５，６−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−デシル−５，７−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−デシル−５，８−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−デシル−６，７−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−デシル−６，８−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−デシル−７，８−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−ウンデシル−１，３−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−ウンデシル−１，４−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−ウンデシル−１，５−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−ウンデシル−１，６−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−ウンデシル−１，７−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−ウンデシル−１，８−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−ウンデシル−３，４−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−ウンデシル−３，５−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−ウンデシル−３，６−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−ウンデシル−３，７−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−ウンデシル−３，８−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−ウンデシル−４，５−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−ウンデシル−４，６−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−ウンデシル−４，７−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−ウンデシル−４，８−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−ウンデシル−５，６−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−ウンデシル−５，７−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−ウンデシル−５，８−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−ウンデシル−６，７−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−ウンデシル−６，８−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−ウンデシル−７，８−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−ドデシル−１，３−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−ドデシル−１，４−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−ドデシル−１，５−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−ドデシル−１，６−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−ドデシル−１，７−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−ドデシル−１，８−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−ドデシル−３，４−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−ドデシル−３，５−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−ドデシル−３，６−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−ドデシル−３，７−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−ドデシル−３，８−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−ドデシル−４，５−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−ドデシル−４，６−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−ドデシル−４，７−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−ドデシル−４，８−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−ドデシル−５，６−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−ドデシル−５，７−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−ドデシル−５，８−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−ドデシル−６，７−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−ドデシル−６，８−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、２−ドデシル−７，８−ジアミノナフタレンのＥＯ２モル付加物、

１−アミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、１−アミノナフタレンのＰＯ５モル付加物、１−アミノナフタレンのＰＯ１０モル付加物、１−アミノナフタレンのＰＯ２０モル付加物、２−メチル−１−アミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、３−メチル−１−アミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２，３−ジメチル−１−アミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、４−メチル−１−アミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、５−メチル−１−アミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−エチル−１−アミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、３−エチル−１−アミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、４−エチル−１−アミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、５−エチル−１−アミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２，４−ジメチル−１−アミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２，５−ジメチル−１−アミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、６−メチル−１−アミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２，６−ジメチル−１−アミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、７−メチル−１−アミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２，７−ジメチル−１−アミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−プロピル−１−アミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ブチル−１−アミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ペンチル−１−アミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ヘキシル−１−アミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ヘプチル−１−アミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−オクチル−１−アミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ノニル−１−アミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−デシル−１−アミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ウンデシル−１−アミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ドデシル−１−アミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−アミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−アミノナフタレンのＰＯ５モル付加物、２−アミノナフタレンのＰＯ１０モル付加物、２−アミノナフタレンのＰＯ２０モル付加物、１−メチル−２−アミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、３−メチル−２−アミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、１，３−ジメチル−２−アミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、４−メチル−２−アミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、５−メチル−２−アミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、１−エチル−２−アミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、３−エチル−２−アミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、４−エチル−２−アミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、５−エチル−２−アミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、１，４−ジメチル−２−アミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、１，５−ジメチル−２−アミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、

６−メチル−２−アミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、１，６−ジメチル−２−アミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、７−メチル−２−アミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、１，７−ジメチル−２−アミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、１−プロピル−２−アミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、１−ブチル−２−アミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、１−ペンチル−２−アミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、１−ヘキシル−２−アミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、１−ヘプチル−２−アミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、１−オクチル−２−アミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、１−ノニル−２−アミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、１−デシル−２−アミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、１−ウンデシル−２−アミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、１−ドデシル−２−アミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、１，２−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、１，３−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、１，４−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、１，５−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、１，６−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、１，７−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、１，８−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２，３−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２，４−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２，５−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２，６−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２，７−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、３，４−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、３，５−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、３，６−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、４，５−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−メチル−１，３−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−メチル−１，４−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−メチル−１，５−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−メチル−１，６−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−メチル−１，７−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−メチル−１，８−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−メチル−３，４−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−メチル−３，５−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−メチル−３，６−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−メチル−３，７−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−メチル−３，８−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−メチル−４，５−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−メチル−４，６−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−メチル−４，７−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−メチル−４，８−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−メチル−５，６−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−メチル−５，７−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−メチル−５，８−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−メチル−６，７−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−メチル−６，８−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−メチル−７，８−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、

２−エチル−１，３−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−エチル−１，４−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−エチル−１，５−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−エチル−１，６−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−エチル−１，７−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−エチル−１，８−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−エチル−３，４−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−エチル−３，５−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−エチル−３，６−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−エチル−３，７−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−エチル−３，８−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−エチル−４，５−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−エチル−４，６−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−エチル−４，７−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−エチル−４，８−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−エチル−５，６−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−エチル−５，７−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−エチル−５，８−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−エチル−６，７−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−エチル−６，８−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−エチル−７，８−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−プロピル−１，３−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−プロピル−１，４−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−プロピル−１，５−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−プロピル−１，６−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−プロピル−１，７−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−プロピル−１，８−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−プロピル−３，４−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−プロピル−３，５−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−プロピル−３，６−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−プロピル−３，７−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−プロピル−３，８−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−プロピル−４，５−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−プロピル−４，６−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−プロピル−４，７−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−プロピル−４，８−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−プロピル−５，６−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−プロピル−５，７−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−プロピル−５，８−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−プロピル−６，７−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−プロピル−６，８−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−プロピル−７，８−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、

２−ブチル−１，３−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ブチル−１，４−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ブチル−１，５−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ブチル−１，６−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ブチル−１，７−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ブチル−１，８−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ブチル−３，４−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ブチル−３，５−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ブチル−３，６−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ブチル−３，７−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ブチル−３，８−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ブチル−４，５−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ブチル−４，６−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ブチル−４，７−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ブチル−４，８−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ブチル−５，６−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ブチル−５，７−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ブチル−５，８−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ブチル−６，７−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ブチル−６，８−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ブチル−７，８−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ペンチル−１，３−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ペンチル−１，４−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ペンチル−１，５−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ペンチル−１，６−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ペンチル−１，７−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ペンチル−１，８−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ペンチル−３，４−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ペンチル−３，５−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ペンチル−３，６−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ペンチル−３，７−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ペンチル−３，８−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ペンチル−４，５−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ペンチル−４，６−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ペンチル−４，７−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ペンチル−４，８−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ペンチル−５，６−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ペンチル−５，７−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ペンチル−５，８−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ペンチル−６，７−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ペンチル−６，８−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ペンチル−７，８−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、

２−ヘキシル−１，３−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ヘキシル−１，４−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ヘキシル−１，５−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ヘキシル−１，６−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ヘキシル−１，７−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ヘキシル−１，８−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ヘキシル−３，４−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ヘキシル−３，５−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ヘキシル−３，６−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ヘキシル−３，７−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ヘキシル−３，８−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ヘキシル−４，５−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ヘキシル−４，６−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ヘキシル−４，７−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ヘキシル−４，８−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ヘキシル−５，６−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ヘキシル−５，７−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ヘキシル−５，８−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ヘキシル−６，７−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ヘキシル−６，８−ジアミノナフタレのＰＯ２モル付加物ン、２−ヘキシル−７，８−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ヘプチル−１，３−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ヘプチル−１，４−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ヘプチル−１，５−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ヘプチル−１，６−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ヘプチル−１，７−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ヘプチル−１，８−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ヘプチル−３，４−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ヘプチル−３，５−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ヘプチル−３，６−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ヘプチル−３，７−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ヘプチル−３，８−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ヘプチル−４，５−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ヘプチル−４，６−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ヘプチル−４，７−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ヘプチル−４，８−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ヘプチル−５，６−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ヘプチル−５，７−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ヘプチル−５，８−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ヘプチル−６，７−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ヘプチル−６，８−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ヘプチル−７，８−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、

２−オクチル−１，３−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−オクチル−１，４−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−オクチル−１，５−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−オクチル−１，６−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−オクチル−１，７−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−オクチル−１，８−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−オクチル−３，４−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−オクチル−３，５−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−オクチル−３，６−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−オクチル−３，７−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−オクチル−３，８−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−オクチル−４，５−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−オクチル−４，６−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−オクチル−４，７−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−オクチル−４，８−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−オクチル−５，６−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−オクチル−５，７−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−オクチル−５，８−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−オクチル−６，７−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−オクチル−６，８−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−オクチル−７，８−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ノニル−１，３−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ノニル−１，４−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ノニル−１，５−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ノニル−１，６−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ノニル−１，７−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ノニル−１，８−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ノニル−３，４−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ノニル−３，５−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ノニル−３，６−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ノニル−３，７−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ノニル−３，８−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ノニル−４，５−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ノニル−４，６−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ノニル−４，７−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ノニル−４，８−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ノニル−５，６−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ノニル−５，７−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ノニル−５，８−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ノニル−６，７−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ノニル−６，８−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ノニル−７，８−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、

２−デシル−１，３−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−デシル−１，４−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−デシル−１，５−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−デシル−１，６−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−デシル−１，７−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−デシル−１，８−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−デシル−３，４−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−デシル−３，５−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−デシル−３，６−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−デシル−３，７−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−デシル−３，８−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−デシル−４，５−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−デシル−４，６−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−デシル−４，７−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−デシル−４，８−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−デシル−５，６−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−デシル−５，７−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−デシル−５，８−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−デシル−６，７−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−デシル−６，８−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−デシル−７，８−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ウンデシル−１，３−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ウンデシル−１，４−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ウンデシル−１，５−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ウンデシル−１，６−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ウンデシル−１，７−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ウンデシル−１，８−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ウンデシル−３，４−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ウンデシル−３，５−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ウンデシル−３，６−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ウンデシル−３，７−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ウンデシル−３，８−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ウンデシル−４，５−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ウンデシル−４，６−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ウンデシル−４，７−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ウンデシル−４，８−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ウンデシル−５，６−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ウンデシル−５，７−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ウンデシル−５，８−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ウンデシル−６，７−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ウンデシル−６，８−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ウンデシル−７，８−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ドデシル−１，３−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ドデシル−１，４−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ドデシル−１，５−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ドデシル−１，６−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ドデシル−１，７−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ドデシル−１，８−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ドデシル−３，４−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ドデシル−３，５−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ドデシル−３，６−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ドデシル−３，７−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ドデシル−３，８−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ドデシル−４，５−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ドデシル−４，６−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ドデシル−４，７−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ドデシル−４，８−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ドデシル−５，６−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ドデシル−５，７−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ドデシル−５，８−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ドデシル−６，７−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ドデシル−６，８−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物及び２−ドデシル−７，８−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物等が挙げられる。
なお、ＰＯとはプロピレンオキサイドを、ＢＯとはブチレンオキサイドを、ＴＨＦとはテトラヒドロフランをそれぞれ意味する。

このうち、前記のアルキレンオキサイド付加物（Ｃ３）としては、防錆性の観点から、シクロヘキシルアミンのプロピレンオキサイド２モル付加物、シクロヘキシルアミンのプロピレンオキサイド１０モル付加物、アニリンのプロピレンオキサイド５モル付加物、トリエタノールアミン、１、２−ビス［ジ（ヒドロキシエチル）アミノ］エタン、ラウリルアミンのＥＯ９モル付加物及びシクロヘキシルアミンのエチレンオキサイド２モル付加物が好ましい。

前記のアルキレンオキサイド付加物（Ｃ３）は、好ましくは炭素数２〜４のアルキレンオキサイドを付加させたアルキレンオキサイド付加物であるが、銅又は銅合金のエッチング速度に影響のない範囲で、更に炭素数５以上のアルキレンオキサイドを付加させたアルキレンオキサイド付加物であっても良い。

本発明のエッチング剤は、必要に応じてさらに水で希釈して使用してもよいが、アミン化合物（Ｃ）の含有量は、エッチングレート及び銅又は銅合金とニッケルのエッチング速度比の観点から、使用時のエッチング液の合計重量に基づいて、０．００１〜１０重量％が好ましく、より好ましくは０．０１〜６重量％であり、さらに好ましくは０．０３〜１重量％であり、特に好ましくは０．０５〜０．２重量％である。

本発明のエッチング剤における、過酸化水素（Ｂ）とアミン化合物（Ｃ）との重量比（Ｂ／Ｃ）は、銅のエッチング速度および銅又は銅合金とニッケルのエッチング速度比と泡立ちの観点から、好ましくは０．１〜１０００であり、より好ましくは１〜５００であり、さらに好ましくは３〜１５０である。
過酸化水素（Ｂ）とアミン化合物（Ｃ）の配合量を変えることで、過酸化水素（Ｂ）とアミン化合物（Ｃ）との重量比（Ｂ／Ｃ）を上記数値範囲に調整することができる。

さらに本発明のエッチング剤における、過酸化水素（Ｂ）とアミン化合物（Ｃ）の含有量の配合範囲は、エッチングレート及び銅又は銅合金とニッケルのエッチング速度比の観点から、使用時のエッチング液の合計重量に基づいて、過酸化水素（Ｂ）が１〜１０重量％かつアミン化合物（Ｃ）０．０３〜１重量％であり、さらに好ましくは過酸化水素（Ｂ）が３〜６重量％かつアミン化合物（Ｃ）が０．０５〜０．２重量％である。

本発明のエッチング液は（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）及び必要により溶剤と混合して使用することが望ましい。その溶剤としては水、アルコール、グリコールエーテル、エーテル、エステル、ケトン、カーボネート及びアミド等が挙げられる。エッチング液の溶剤として取り扱いやすさの観点から好ましいのは水である。

本発明のエッチング液は配線金属の保護の目的で必要に応じてチオール化合物、糖アルコール類などの腐食防止剤を添加することができる。

本発明のエッチング液は配線金属の保護の目的で必要に応じて酸化防止剤を添加することができる。
酸化防止剤としては、カテキン、トコフェロール、カテコール、メチルカテコール、エチルカテコール、ｔｅｒｔ−ブチルカテコール、没食子酸、没食子酸メチル及び没食子酸プロピル等のフェノール類、３−ヒドロキシフラボン並びにアスコルビン酸等が挙げられる。

本発明のエッチング液には、ｐＨ調整の目的で塩基性化合物を添加することができる。
その目的で添加する塩基性化合物としては、アンモニア及びテトラアルキルアンモニウムヒドロキシドが挙げられる。

本発明のエッチング液は配線金属の保護の目的で必要に応じて消泡剤を添加することができる。
消泡剤としては、シリコーン消泡剤、長鎖アルコール消泡剤、脂肪酸エステル消泡剤及び金属セッケン消泡剤等が挙げられる。エチレンオキサイドプロピレンオキサイド共重合体も消泡剤として使用することができる。

本発明のエッチング液は、塩素イオン濃度の少ない原料を用いて達成されるが、エッチング液自体のイオン交換フィルター等使用による塩素イオン濃度減少によっても達成される。

本発明において電子基板の製造方法は、銅又は銅合金用エッチング液を用いて、銅又は銅合金を有する電子基板から銅又は銅合金をエッチングする工程を含む製造方法である。
銅又は銅合金をエッチングする工程において、エッチング液は好ましくは１０〜１００℃の範囲であり、更に好ましくは２０℃〜８０℃の温度条件で使用する。１０℃以上であればエッチング速度の点で好ましく、１００℃以下の温度であればエッチング速度にバラツキが生じない点で好ましい。

以下、実施例及び比較例により本発明をさらに説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。

＜実施例１〜１０及び比較例１〜４＞
表１に記載した数値に対応する重量部の有機ホスホン酸（Ａ）、過酸化水素（Ｂ）、アミン化合物（Ｃ）及び水をポリプロピレン製の容器中で混合して、本発明のエッチング液と比較のためのエッチング液を得た。なお、有機ホスホン酸（Ａ）は比濁法により塩素イオン濃度が０ｐｐｍ〜２ｐｐｍのものを用いた。なお、過酸化水素（Ｂ）としては過酸化水素を３５重量％含む過酸化水素水として混合し、溶剤の水には、過酸化水素水中の水を含む。

比濁法は、以下の方法により測定した。
測定試料１０ｇにイオン交換水１７ｇ、硝酸３ｇを加え、次いで０．１Ｍ硝酸銀水溶液１ｇを加えて振り混ぜて均一にして、吸光度を測定し（４３０ｎｍ付近）、濃度既知の測定試料を用いて作成した検量線から、塩素イオン濃度を算出する。

なお、表中の記号は以下の化合物を表す。
（Ａ−１）：１−ヒドロキシエチリデン−１，１−ジホスホン酸
（Ａ−２）：ニトリロトリスメチレンホスホン酸
（Ｂ−１）：過酸化水素を３５重量％含む過酸化水素水（なお表中の数値は、混合した過酸化水素水に含まれる過酸化水素（Ｂ）の重量部である）
（Ｃ１−１）：ペンタエチレンヘキサミン
（Ｃ１−２）：ヘキサメチレンジアミン
（Ｃ１−３）：トリエチレンテトラミンのヘキサエチル化物
（Ｃ２−１）：シクロヘキシルアミン
（Ｃ２−２）：２−メチルアニリン
（Ｃ２−３）：１−アミノナフタレン
（Ｃ２−４）：ベンゾトリアゾール
（Ｃ２−５）：４−メチルベンゾトリアゾール
（Ｃ３−１）：シクロヘキシルアミンのプロピレンオキサイド２モル付加物
（Ｃ３−２）：シクロヘキシルアミンのプロピレンオキサイド１０モル付加物
（Ｃ３−３）：アニリンのプロピレンオキサイド５モル付加物
（Ｃ３−４）：トリエタノールアミン
（Ｃ３−５）：１，２−ビス［ジ（ヒドロキシエチル）アミノ］エタン
（Ｃ３−６）：ラウリルアミンのＥＯ９モル付加物
（Ｃ３−７）：シクロヘキシルアミンのエチレンオキサイド２モル付加物

性能評価として、銅のエッチング速度、銅のエッチング量を以下の方法で行った。

＜銅のエッチング速度＞
銅のエッチング速度を、以下の操作方法で銅シード層の光沢が消失するまでの時間（分）で評価した。
（１）シリコン基板に加工を加えて図４の状態まで作成したウエハ（銅シード層の厚み１μｍ）を１５ｍｍ角の正方形に切断してテストピースを作成した。なお、走査型電子顕微鏡（日立ハイテク社製Ｓ−４８００）でウエハを１ｃｍ各に切断したテストピースの断面を観察したところ、バンプの幅は約３０μｍ、バンプの高さは約８μｍであった。銅シード層の厚みは１μｍであった。
（２）エッチング液をポリプロピレン製の容器に入れて、この中に上記のテストピースを浸漬し、マグネチックスターラーで撹拌した。
（３）撹拌しながら液中に浸漬した状態でテストピースの表面を目視で観察し、銅シード層の全面の銅の光沢が消失する（図５の３：チタン層の全面が見える状態）までの時間を測定し、銅のエッチング速度（銅シード層の厚み１０００ｎｍ／銅の光沢が消失するまでの時間）を算出した。この目的で使用されるエッチング液においては、銅のエッチング速度は少なくとも２００ｎｍ／ｍｉｎ以上であることが好ましい。

＜銅のエッチング量＞
銅のエッチング量を、以下の操作方法で測定し、評価した。
（１）シリコン基板に加工を加えて図４の状態まで作成したウエハ（銅シード層の厚み１μｍ）を１５ｍｍ角の正方形に切断してテストピースを作成した。
（２）エッチング液をポリプロピレン製の容器に入れて、この中に上記のテストピースを浸漬し、マグネチックスターラーで撹拌した。
（３）撹拌しながら液中に浸漬した状態でテストピースの表面を目視で観察し、銅シード層の全面の銅の光沢が消失する（図５の３：チタン層の全面が見える状態）までの時間の２倍の時間液中に浸漬し、取り出した。
（４）走査型電子顕微鏡（日立ハイテク社製Ｓ−４８００）で、浸漬前のテストピースと浸漬後のテストピースのそれぞれ銅シード層の浸食の程度とその幅が確認できる側面の写真撮影をした。そして、写真画像から、浸漬前のテストピースの銅シード層（図４の７）の幅Ｂ１（μｍ）と、浸漬後のテストピースの銅シード層（図５の７）の幅Ｂ２（μｍ）を測定した。
（５）銅のエッチング量として、下記数式（１）で算出される浸漬前後のテストピースの銅シード層の幅の変化（差）ΔＢＣｕを算出した。

△ＢＣｕ（μｍ）＝（浸漬前のテストピースの銅シード層の幅Ｂ１）−（浸漬前のテストピースの銅シード層の幅Ｂ２） （１）

下記の判定基準で評価する。
◎：３μｍ未満
○：３μｍ以上４μｍ未満
△：４μｍ以上５μｍ未満
×：５μｍ以上

表１から明らかなように、実施例１〜１０では、銅シード層のエッチングが速くエッチングすることができた。

本発明の銅又は銅合金用エッチング液は、銅又は銅合金をエッチングし、かつ、銅エッチング速度が低下しないという点で優れているため、プリント配線基板、フラットパネルディスプレー、ＭＥＭＳ、半導体装置などの電子基板製造時の工程用薬剤として有用である。

図１〜図６中の数字１〜９は、以下を表す。
１： シリコン基板
２： シリコン酸化膜
３： チタン層
４： 銅シード層
５： レジスト樹脂
６： 銅めっき層
７： ニッケル層
７’：錫又は錫合金層
８： 金層
８’：錫又は錫合金層
９： バンプ

Claims (4)

1. 有機ホスホン酸（Ａ）及び過酸化水素（Ｂ）を含有し、塩素イオン濃度が１０ｐｐｍ以下である銅又は銅合金用エッチング液。
2. さらにアミン化合物（Ｃ）を含有してなる請求項１に記載の銅又は銅合金用エッチング液。
3. 有機ホスホン酸（Ａ）が、ジホスホン酸及び／又はトリホスホン酸である請求項１又は２に記載の銅又は銅合金用エッチング液。
4. 請求項１〜３のいずれかに記載の銅又は銅合金用エッチング液を用いて、銅又は銅合金を有する電子基板から銅又は銅合金をエッチングする工程を含む電子基板の製造方法。

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