JP2017119915A - 銅又は銅合金用エッチング液 - Google Patents

Abstract

【課題】銅又は銅合金とニッケルを同時に有する電子基板から銅又は銅合金をエッチングする工程において、使用時の泡立ちが少なく、銅又は銅合金のエッチングを高速でかつ高選択的に行うことができるエッチング液を提供することを目的とする。【解決手段】銅又は銅合金とニッケルを同時に有する電子基板から銅又は銅合金を選択的にエッチングする工程用のエッチング液であって、アミン（Ａ）、有機酸（Ｂ）及び過酸化水素（Ｃ）を構成成分として含有し、アミン（Ａ）が鎖状アミン（Ａ１）、環状アミン（Ａ２）及び環状アミンのアルキレンオキサイド付加物（Ａ３）からなる群から選ばれる１種以上のアミンであって、環状アミンのアルキレンオキサイド付加物（Ａ３）が、炭素数３又は４のアルキレンオキサイドを含むアルキレンオキサイドを付加させたアルキレンオキサイド付加物である銅又は銅合金用エッチング液。【選択図】図４

Description

本発明は電子基板から銅又は銅合金をエッチングするエッチング液に関するものであって、特に銅又は銅合金とニッケルからなる電極（バンプ）を有する電子基板から銅又は銅合金を選択的にエッチングするエッチング液に関する。

電子デバイスは性能向上のため素子の微細化、高密度化が進んでいるが、特に半導体デバイスでは微細化技術が限界に近づきつつある。高密度化の技術として従来のワイヤボンディング、フリップチップやバンプを用いて３次元構造のデバイスが実用化されているが、さらなる高密度化が望まれている。そこでシリコンを貫通している細いビアを作成し、銅などの導電体を充填し電極を作成する技術（ＴＳＶ技術）の開発が進んでいる（非特許文献１）。

一般的にＴＳＶ技術において銅を電極とする場合、シリコン基板に孔を空け、孔の内壁にシリコン酸化膜、チタン等のバリヤメタル層を作成した後、有機金属気相成長法や物理的気相成長法により銅のシ−ド層を作成する（図１）。次に電極を形成する部位以外の銅のシ−ド層の上にレジスト樹脂により保護膜を形成する（図２）。さらに保護膜が形成されていない部分に銅などの金属を埋め込み、バンプの形成が行われる。しかし、銅のままであると表面酸化現象などで接続信頼性が劣るため、一般的にニッケル層と金や錫及び銀の合金からなる半田層がそれぞれ積層される（図３）。このあとレジスト樹脂を除去することでバンプが形成される（図４）。

ところで銅のシ−ド層とバリヤメタル層はシリコン基板の孔の内部だけでなくシリコン基板表面にも形成されており、レジストを除去した後も残ったままである。このため、エッチング液により除去しなければならない（図５）。

このうち銅のシ−ド層をウェットエッチングする方法として、硫酸と過酸化水素混合液などの酸と酸化剤からなるエッチング液を用いた方法が広く用いられている（特許文献１）。また、塩化第二銅や塩化第二鉄を含むエッチング液を用いた方法も広く知られている（特許文献２）。また、硫酸と過酸化水素、ポリエチレングリコ−ル誘導体である界面活性剤からなるエッチング液を用いた方法も広く知られている（特許文献３）。

しかしながら特許文献１〜３のようなエッチング方法では、電子基板に形成された銅のシ−ド層をバンプ形成後にエッチングする場合、バンプ形成のために使用したニッケルもエッチングしてしまうため、バンプが変形するという問題があった。

また、現在のエッチング装置では、薬液のバッファ槽の液面をセンサ−で検知、管理しているため、エッチング液の泡の発生はセンサ−を誤作動させてしまう。また、エッチング液はポンプで循環させているため、泡はポンプがエアをかむため、送液に不具合を起こす。このため特許文献３のようなエッチング方法では、泡が発生してしまい作業性に欠けるという問題があった。
更に、特許文献４〜６のようなエッチング液が知られているが、使用時の泡立ちが少なく、銅又は銅合金のエッチングを高速でかつ高選択的に行うには十分ではなかった。

「三次元実装のためのＴＳＶ技術」（傳田精一著、２００９年、工業調査会発行）の１２〜１６頁

特開２０００−２８６５３１号公報 特開２００８−２８５７２０号公報 特開２００９−１２０８７０号公報 特開２０１２−６２５７２号公報 特開２０１３−７６１１９号公報 特開２０１４−１０１５６１号公報

本発明は、銅又は銅合金とニッケルを同時に有する電子基板から銅又は銅合金をエッチングする工程において、使用時の泡立ちが少なく、銅又は銅合金のエッチングを高速でかつ高選択的に行うことができるエッチング液を提供することを目的とする。

本発明者らは、上記の目的を達成するべく検討を行った結果、本発明に到達した。
すなわち、本発明は、銅又は銅合金とニッケルとを同時に有する電子基板から銅又は銅合金を選択的にエッチングする工程用のエッチング液であって、アミン（Ａ）、有機酸（Ｂ）及び過酸化水素（Ｃ）を構成成分として含有し、アミン（Ａ）が鎖状アミン（Ａ１）、環状アミン（Ａ２）及び環状アミンのアルキレンオキサイド付加物（Ａ３）からなる群から選ばれる１種以上のアミンであって、環状アミンのアルキレンオキサイド付加物（Ａ３）が、炭素数３又は４のアルキレンオキサイドを含むアルキレンオキサイドを付加させたアルキレンオキサイド付加物である銅又は銅合金用エッチング液；並びにこのエッチング液を用いて、銅又は銅合金とニッケルとを同時に有する電子基板から銅又は銅合金のみをエッチングする工程を含むことを特徴とする電子基板の製造方法である。

本発明は銅又は銅合金とニッケルとを同時に有する電子基板から銅又は銅合金をエッチングする工程において、銅又は銅合金のエッチングを高選択的に行うことができる。

図１は、シリコン基板に孔を空け、孔の内壁にシリコン酸化膜、チタン層、銅シ−ド層の各層が積層されている断面図である。 図２は、図１のシリコン基板の上にレジスト樹脂を塗布し保護膜を形成した後の断面図である。 図３は、図２のシリコン基板にさらに、ニッケルと金の金属を積層した後の断面図である。 図４は、図３のシリコン基板からレジスト樹脂を除去した後の断面図である。 図５は、図４のシリコン基板から銅シ−ド層を除去した後の断面図である。 図６は、図５のシリコン基板からバリヤメタル（チタン）層を除去した後の断面図である。

本発明の銅又は銅合金用エッチング液は、使用時の泡立ちが少なく、銅又は銅合金とニッケルとを同時に有する電子基板から銅又は銅合金を選択的にエッチングする工程用のエッチング液であって、アミン（Ａ）、有機酸（Ｂ）及び過酸化水素（Ｃ）を構成成分として含有する。

本発明において、エッチングされる銅又は銅合金とニッケルとを同時に有する電子基板としては、半導体、フラットパネルディスプレ−に使用されるものが挙げられ、銅としては化学気相成長法（ＣＶＤ法）、物理的気相成長法（ＰＶＤ法）、原子層堆積法（ＡＬＤ法）、めっきで形成されたもの等が挙げられる。また、ニッケルも上記の方法で形成されたもの等が挙げられる。

本発明の銅又は銅合金用エッチング液の第１の構成成分であるアミン（Ａ）としては、アミン（Ａ）が鎖状アミン（Ａ１）、環状アミン（Ａ２）及び環状アミンのアルキレンオキサイド付加物（Ａ３）からなる群から選ばれる１種以上のアミンであって、環状アミンのアルキレンオキサイド付加物（Ａ３）が、炭素数３又は４のアルキレンオキサイドを含むアルキレンオキサイドを付加させたアルキレンオキサイド付加物である。

鎖状アミン（Ａ１）としては下記一般式（１）で表される化合物等が挙げられる。

［式中、Ｒ^１〜Ｒ^４は、それぞれ独立に水素原子又は炭素数１〜１２のアルキル基である。また、Ｙ^１は炭素数１〜１２のアルキレン基を示す。ｎは１〜１２の整数を表す。ｎが２以上の場合、（Ｙ^１−Ｎ（−Ｒ^４））の部分は、それぞれ異なっていても良い。］

一般式（１）中のＲ^１〜Ｒ^４は、それぞれ独立に水素原子又は炭素数１〜１２のアルキル基である。炭素数１〜１２のアルキル基としては、炭素数１〜１２の直鎖状又は分岐状のものが挙げられる。具体的には、例えばメチル基、エチル基、ｎ−プロピル基、イソプロピル基、ｎ−ブチル基、イソブチル基、ｓｅｃ−ブチル基、ｔｅｒｔ−ブチル基、ｎ−ペンチル基、イソペンチル基、ｓｅｃ−ペンチル基、ｔｅｒｔ−ペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基、イソヘキシル基、イソオクチル基、ｓｅｃ−オクチル基、ｔｅｒｔ−オクチル基、ｎ−ノニル基、イソノニル基、ｎ−デシル基、イソデシル基、ｎ−ウンデシル基、イソウンデシル基、ｎ−ドデシル基、イソドデシル基などが挙げられる。これらのうち、水溶性の観点から好ましくは水素原子、メチル基、エチル基、ｎ−プロピル基、イソプロピル基、ｎ−ブチル基、イソブチル基、ｓｅｃ−ブチル基、ｔｅｒｔ−ブチル基、ｎ−ペンチル基、イソペンチル基、ｓｅｃ−ペンチル基、ｔｅｒｔ−ペンチル基、ヘキシル基、より好ましくは、水素原子、メチル基、エチル基、ｎ−プロピル基、イソプロピル基、ｎ−ブチル基である。

一般式（１）中のＹ^１で示される炭素数１〜１２のアルキレン基としては、炭素数１〜１２の直鎖状又は分岐状のアルキレン基が挙げられる。
具体的には、メチレン基、エチレン基、プロピレン基、ブチレン基、２−メチルプロピレン基、ペンチレン基、２，２−ジメチルプロピレン基、２−エチルプロピレン基、へキシレン基、ヘプチレン基、オクチレン基、２−エチルへキシレン基、ノニレン基、デシレン基などが挙げられる。これらのうち、水溶性の観点から好ましくはメチレン基、エチレン基、プロピレン基、ブチレン基、２−メチルプロピレン基、ペンチレン基、２，２−ジメチルプロピレン基、２−エチルプロピレン基、へキシレン基、ヘプチレン基である。

一般式（１）において、ｎは１〜１２の整数であり、防錆性の観点から好ましくは１〜８の整数、更に好ましくは１〜６の整数である。
一般式（１）で表される鎖状アミン（Ａ１）において、ｎが２以上の場合、（Ｙ^１−Ｎ（−Ｒ^４））の部分のうち、Ｙ^１及びＲ^４はそれぞれが同種でも異種であっても良い。

鎖状アミン（Ａ１）としては、エチレンジアミン、ジエチレントリアミン、トリエチレンテトラミン、テトラエチレンペンタミン、ペンタエチレンヘキサミン、ヘキサエチレンヘプタミン、ヘプタエチレンオクタミン、オクタエチレンノナミン、ノナエチレンデカミン、ジプロピレントリアミン、トリプロピレンテトラミン、テトラプロピレンペンタミン、ペンタプロピレンヘキサミン、ヘキサプロピレンヘプタミン、ヘプタプロピレンオクタミン、オクタプロピレンノナミン、ノナプロピレンデカミン、ジブチレントリアミン、トリブチレンテトラミン、テトラブチレンペンタミン、ペンタブチレンヘキサミン、ヘキサブチレンヘプタミン、ヘプタブチレンオクタミン、オクタブチレンノナミン、ノナブチレンデカミン、ジペンチレントリアミン、トリペンチレンテトラミン、テトラペンチレンペンタミン、ペンタペンチレンヘキサミン、ヘキサペンチレンヘプタミン、ヘプタペンチレンオクタミン、オクタペンチレンノナミン、ノナペンチレンデカミン、ジヘキシレントリアミン、トリヘキシレンテトラミン、テトラヘキシレンペンタミン、ペンタヘキシレンヘキサミン、ヘキサヘキシレンヘプタミン、ヘプタヘキシレンオクタミン、オクタヘキシレンノナミン、ノナヘキシレンデカミン、ジヘプチレントリアミン、トリヘプチレンテトラミン、テトラヘプチレンペンタミン、ペンタヘプチレンヘキサミン、ヘキサヘプチレンヘプタミン、ヘプタヘプチレンオクタミン、オクタヘプチレンノナミン、ノナヘプチレンデカミン、１，３−ジアミノプロパン、ブチレンジアミン、ペンタメチレンジアミン、ヘキサメチレンジアミン、ヘプタメチレンジアミン、テトラメチルエチレンジアミン、ペンタメチルジエチレントリアミン、テトラメチルトリエチレンテトラミン、ペンタメチルトリエチレンテトラミン、ヘキサメチルトリエチレンテトラミン、ヘプタメチルテトラエチレンペンタミン、オクタメチルペンタエチレンヘキサミン、ノナメチルヘキサエチレンヘプタミン、テトラメチルブチレンジアミン、テトラメチルペンタメチレンジアミン、テトラメチルヘキサメチレンジアミン、テトラメチルヘプタメチレンジアミン、テトラエチルエチレンジアミン、ペンタエチルジエチレントリアミン、テトラエチルトリエチレンテトラミン、ヘキサエチルトリエチレンテトラミン、ヘプタエチルテトラエチレンペンタミン、オクタエチルペンタエチレンヘキサミン、ノナエチルヘキサエチレンヘプタミン、テトラエチルブチレンジアミン、テトラエチルペンタメチレンジアミン、テトラエチルヘキサメチレンジアミン、テトラエチルヘプタメチレンジアミン、テトラプロピルエチレンジアミン、ペンタプロピルジエチレントリアミン、ヘキサプロピルトリエチレンテトラミン、ヘプタプロピルテトラエチレンペンタミン、オクタプロピルペンタエチレンヘキサミン、ノナプロピルヘキサエチレンヘプタミン、テトラプロピルブチレンジアミン、テトラプロピルペンタメチレンジアミン、テトラプロピルヘキサメチレンジアミン、テトラプロピルヘプタメチレンジアミン、テトラペンチルエチレンジアミン、ペンタペンチルジエチレントリアミン、ヘキサペンチルトリエチレンテトラミン、ヘプタペンチルテトラエチレンペンタミン、オクタペンチルペンタエチレンヘキサミン、ノナペンチルヘキサエチレンヘプタミン、テトラペンチルブチレンジアミン、テトラペンチルペンタメチレンジアミン、テトラペンチルヘキサメチレンジアミン、テトラペンチルヘプタメチレンジアミン、テトラヘキシルエチレンジアミン、ペンタヘキシルジエチレントリアミン、ヘキサヘキシルトリエチレンテトラミン、ヘプタヘキシルテトラエチレンペンタミン、オクタヘキシルペンタエチレンヘキサミン、ノナヘキシルヘキサエチレンヘプタミン、テトラヘキシルブチレンジアミン、テトラヘキシルペンタメチレンジアミン、テトラヘキシルヘキサメチレンジアミン、テトラヘキシルヘプタメチレンジアミン、テトラヘプチルエチレンジアミン、ペンタヘプチルジエチレントリアミン、ヘキサヘプチルトリエチレンテトラミン、ヘプタヘプチルテトラエチレンペンタミン、オクタヘプチルペンタエチレンヘキサミン、ノナヘプチルヘキサエチレンヘプタミン、テトラヘプチルブチレンジアミン、テトラヘプチルペンタメチレンジアミン、テトラヘプチルヘキサメチレンジアミン、テトラヘプチルヘプタメチレンジアミン、テトラオクチルエチレンジアミン、ペンタオクチルジエチレントリアミン、ヘキサオクチルトリエチレンテトラミン、ヘプタオクチルテトラエチレンペンタミン、オクタオクチルペンタエチレンヘキサミン、ノナオクチルヘキサエチレンヘプタミン、テトラオクチルブチレンジアミン、テトラオクチルペンタメチレンジアミン、テトラオクチルヘキサメチレンジアミン、テトラオクチルヘプタメチレンジアミン、テトラノニルエチレンジアミン、ペンタノニルジエチレントリアミン、ヘキサノニルトリエチレンテトラミン、ヘプタノニルテトラエチレンペンタミン、オクタノニルペンタエチレンヘキサミン、ノナノニルヘキサエチレンヘプタミン、テトラノニルブチレンジアミン、テトラノニルペンタメチレンジアミン、テトラノニルヘキサメチレンジアミン、テトラノニルヘプタメチレンジアミン、テトラデシルエチレンジアミン、ペンタデシルジエチレントリアミン、ヘキサデシルトリエチレンテトラミン、ヘプタデシルテトラエチレンペンタミン、オクタデシルペンタエチレンヘキサミン、ノナデシルヘキサエチレンヘプタミン、テトラデシルブチレンジアミン、テトラデシルペンタメチレンジアミン、テトラデシルヘキサメチレンジアミン、テトラデシルヘプタメチレンジアミン、テトラウンデシルエチレンジアミン、ペンタウンデシルジエチレントリアミン、ヘキサウンデシルトリエチレンテトラミン、ヘプタウンデシルテトラエチレンペンタミン、オクタウンデシルペンタエチレンヘキサミン、ノナウンデシルヘキサエチレンヘプタミン、テトラウンデシルブチレンジアミン、テトラウンデシルペンタメチレンジアミン、テトラウンデシルヘキサメチレンジアミン、テトラウンデシルヘプタメチレンジアミン、テトラドデシルエチレンジアミン、ペンタドデシルジエチレントリアミン、ヘキサドデシルトリエチレンテトラミン、ヘプタドデシルテトラエチレンペンタミン、オクタドデシルペンタエチレンヘキサミン、ノナドデシルヘキサエチレンヘプタミン、テトラドデシルブチレンジアミン、テトラドデシルペンタメチレンジアミン、テトラドデシルヘキサメチレンジアミン、テトラドデシルヘプタメチレンジアミン等が挙げられる。
水溶性の観点から好ましくは、エチレンジアミン、ジエチレントリアミン、トリエチレンテトラミン、テトラエチレンペンタミン、ペンタエチレンヘキサミン、ヘキサエチレンヘプタミン、ヘプタエチレンオクタミン、オクタエチレンノナミン、ノナエチレンデカミン、ブチレンジアミン、ペンタメチレンジアミン、ヘキサメチレンジアミン、ヘプタメチレンジアミン、テトラメチルエチレンジアミン、ペンタメチルジエチレントリアミン、テトラメチルトリエチレンテトラミン、ペンタメチルトリエチレンテトラミン、ヘキサメチルトリエチレンテトラミンである。

環状アミン（Ａ２）としては、アミノ基を１つ以上含有する脂環式化合物、下記一般式（２）で表される化合物及び一般式（３）で表される化合物等が挙げられる。

アミノ基を１つ以上含有する脂環式化合物としては、シクロプロピルアミン、シクロブチルアミン、シクロペンチルアミン、シクロヘキシルアミン、シクロヘプチルアミン、シクロオクチルアミン、シクロノニルアミン、シクロデシルアミン、シクロウンデシルアミン、シクロドデシルアミン、２−メチルシクロプロピルアミン、３−メチルシクロブチルアミン、２，３−ジメチルシクロプロピルアミン、２−メチルシクロペンチルアミン、３−メチルシクロペンチルアミン、２−メチルシクロヘキシルアミン、３−メチルシクロヘキシルアミン、４−メチルシクロヘキシルアミン、２−エチルシクロペンチルアミン、３−エチルシクロペンチルアミン、２−メチルシクロヘプチルアミン、３−メチルシクロヘプチルアミン、４−メチルシクロヘプチルアミン、２−エチルシクロヘキシルアミン、３−エチルシクロヘキシルアミン、４−エチルシクロヘキシルアミン、２，３−ジメチルシクロヘキシルアミン、２，４−ジメチルシクロヘキシルアミン、２，５−ジメチルシクロヘキシルアミン、１，１−シクロプロピルジアミン、１，２−シクロプロピルジアミン、１，３−シクロプロピルジアミン、１，１−シクロブチルジアミン、１，２−シクロブチルジアミン、１，３−シクロブチルジアミン、１，１−シクロペンチルジアミン、１，２−シクロペンチルジアミン、１，３−シクロペンチルジアミン、１，１−シクロヘキシルジアミン、１，２−シクロヘキシルジアミン、１，３−シクロヘキシルジアミン、１，４−シクロヘキシルジアミン、１，１−シクロヘプチルジアミン、１，２−シクロヘプチルジアミン、１，３−シクロヘプチルジアミン、１，４−シクロヘプチルジアミン、１，１−シクロオクチルジアミン、１，２−シクロオクチルジアミン、１，３−シクロオクチルジアミン、１，４−シクロオクチルジアミン、１，１−シクロノニルジアミン、１，２−シクロノニルジアミン、１，３−シクロノニルジアミン、１，４−シクロノニルジアミン、１，５−シクロノニルジアミン、１，１−シクロデシルジアミン、１，２−シクロデシルジアミン、１，３−シクロデシルジアミン、１，４−シクロデシルジアミン、１，５−シクロデシルジアミン、１，１−シクロウンデシルジアミン、１，２−シクロウンデシルジアミン、１，３−シクロウンデシルジアミン、１，４−シクロウンデシルジアミン、１，５−シクロウンデシルジアミン、１，６−シクロウンデシルジアミン、１，１−シクロドデシルジアミン、１，２−シクロドデシルジアミン、１，３−シクロドデシルジアミン、１，４−シクロドデシルジアミン、１，５−シクロドデシルジアミン、１，６−シクロドデシルジアミン、１，１，２−シクロヘキシルトリアミン、１，１，３−シクロヘキシルトリアミン、１，１，４−シクロヘキシルトリアミン、１，２，３−シクロヘキシルトリアミン及び１，２，４−シクロヘキシルトリアミン等が挙げられる。
水溶性の観点から好ましくは、シクロプロピルアミン、シクロブチルアミン、シクロペンチルアミン、シクロヘキシルアミン、シクロヘプチルアミン、シクロオクチルアミン、シクロノニルアミン、シクロデシルアミン、シクロウンデシルアミン、シクロドデシルアミンである。

［式中、Ｒ^５〜Ｒ^７は、それぞれ独立に水素原子又は炭素数１〜１２のアルキル基である。ａは１〜５の整数である。６−ａが２以上の場合、Ｒ^５はそれぞれ同じでも異なっていても良い。ａが２以上の場合、（ＮＲ^６（−Ｒ^７））の部分はそれぞれ同じでも異なっていても良い。］

一般式（２）において、ａは１〜５の整数であり、防錆性の観点から好ましくは１〜３の整数、更に好ましくは１〜２の整数である。
６−ａが２以上の場合、Ｒ^５はそれぞれ同じでも異なっていても良い。ａが２以上の場合、（ＮＲ^６（−Ｒ^７））の部分はそれぞれ同じでも異なっていても良い。

一般式（２）中の炭素数１〜１２のアルキル基としては、炭素数１〜１２の直鎖状又は分岐状のものが挙げられる。具体的には、例えばメチル基、エチル基、ｎ−プロピル基、イソプロピル基、ｎ−ブチル基、イソブチル基、ｓｅｃ−ブチル基、ｔｅｒｔ−ブチル基、ｎ−ペンチル基、イソペンチル基、ｓｅｃ−ペンチル基、ｔｅｒｔ−ペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基、イソヘキシル基、イソオクチル基、ｓｅｃ−オクチル基、ｔｅｒｔ−オクチル基、ｎ−ノニル基、イソノニル基、ｎ−デシル基、イソデシル基、ｎ−ウンデシル基、イソウンデシル基、ｎ−ドデシル基、イソドデシル基などが挙げられる。これらのうち、水溶性の観点から好ましくは水素原子、メチル基、エチル基、ｎ−プロピル基、イソプロピル基、ｎ−ブチル基、イソブチル基、ｓｅｃ−ブチル基、ｔｅｒｔ−ブチル基、ｎ−ペンチル基、イソペンチル基、ｓｅｃ−ペンチル基、ｔｅｒｔ−ペンチル基、ヘキシル基であり、より好ましくは水素原子、メチル基、エチル基、ｎ−プロピル基、イソプロピル基、ｎ−ブチル基である。

一般式（２）で表される化合物としては、アニリン、２−メチルアニリン、３−メチルアニリン、２，３−ジメチルアニリン、４−メチルアニリン、５−メチルアニリン、２−エチルアニリン、３−エチルアニリン、４−エチルアニリン、５−エチルアニリン、２，４−ジメチルアニリン、２，５−ジメチルアニリン、２−プロピルアニリン、２−ブチルアニリン、２−ペンチルアニリン、２−ヘキシルアニリン、２−ヘプチルアニリン、２−オクチルアニリン、２−ノニルアニリン、２−デシルアニリン、２−ウンデシルアニリン、２−ドデシルアニリン、２，３−ジアミノトルエン、２，４−ジアミノトルエン、２，５−ジアミノトルエン、２，３，４−トリアミノトルエン、２，３，５−トリアミノトルエン、２，４，５−トリアミノトルエン、１−エチル−２，４−ジアミノベンゼン、１−プロピル−２，４−ジアミノベンゼン、１−ブチル−２，４−ジアミノベンゼン、１−ペンチル−２，４−ジアミノベンゼン、１−ヘキシル−２，４−ジアミノベンゼン、１−ヘプチル−２，４−ジアミノベンゼン、１−オクチル−２，４−ジアミノベンゼン、１−ノニル−２，４−ジアミノベンゼン、１−デシル−２，４−ジアミノベンゼン、１−ウンデシル−２，４−ジアミノベンゼン及び１−ドデシル−２，４−ジアミノベンゼン等が挙げられる。
水溶性の観点から好ましくはアニリン、２−メチルアニリン、３−メチルアニリン、２，３−ジメチルアニリン、４−メチルアニリン、５−メチルアニリン、２−エチルアニリン、３−エチルアニリン、４−エチルアニリン、５−エチルアニリン、２，４−ジメチルアニリン、２，５−ジメチルアニリン、２−プロピルアニリン、２−ブチルアニリンである。

［式中、Ｒ^８〜Ｒ^１３は、それぞれ独立に水素原子又は炭素数１〜１２のアルキル基である。ｂ及びｃはそれぞれ独立に０〜４の整数であり、ｂ＋ｃは１〜８の整数である。４−ｂが２以上の場合、Ｒ^８はそれぞれ同じでも異なっていても良い。ｂが２以上の場合、（ＮＲ^９（−Ｒ^１０））の部分はそれぞれ同じでも異なっていても良い。４−ｃが２以上の場合、Ｒ^１１はそれぞれ同じでも異なっていても良い。ｃが２以上の場合、（ＮＲ^１２（−Ｒ^１３））の部分はそれぞれ同じでも異なっていても良い。］

一般式（３）において、ｂ及びｃはそれぞれ独立に０〜４の整数であり、防錆性の観点から好ましくは０〜３の整数、より好ましくは０〜２の整数、更に好ましくは０〜１の整数である。ｂ＋ｃは１〜８の整数であり、防錆性の観点から好ましくは１〜７の整数、より好ましくは１〜３の整数、更に好ましくは１〜２の整数である。
一般式（３）中の炭素数１〜１２のアルキル基としては、炭素数１〜１２の直鎖状又は分岐状のものが挙げられる。具体的には、例えばメチル基、エチル基、ｎ−プロピル基、イソプロピル基、ｎ−ブチル基、イソブチル基、ｓｅｃ−ブチル基、ｔｅｒｔ−ブチル基、ｎ−ペンチル基、イソペンチル基、ｓｅｃ−ペンチル基、ｔｅｒｔ−ペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基、イソヘキシル基、イソオクチル基、ｓｅｃ−オクチル基、ｔｅｒｔ−オクチル基、ｎ−ノニル基、イソノニル基、ｎ−デシル基、イソデシル基、ｎ−ウンデシル基、イソウンデシル基、ｎ−ドデシル基、イソドデシル基などが挙げられる。これらのうち、水溶性の観点から好ましくは水素原子、メチル基、エチル基、ｎ−プロピル基、イソプロピル基、ｎ−ブチル基、イソブチル基、ｓｅｃ−ブチル基、ｔｅｒｔ−ブチル基、ｎ−ペンチル基、イソペンチル基、ｓｅｃ−ペンチル基、ｔｅｒｔ−ペンチル基、ヘキシル基であり、より好ましくは水素原子、メチル基、エチル基、ｎ−プロピル基、イソプロピル基、ｎ−ブチル基、イソブチル基、ｓｅｃ−ブチル基、ｔｅｒｔ−ブチル基である。

４−ｂが２以上の場合、Ｒ^８はそれぞれ同じでも異なっていても良い。ｂが２以上の場合、（ＮＲ^９（−Ｒ^１０））の部分はそれぞれ同じでも異なっていても良い。４−ｃが２以上の場合、Ｒ^１１はそれぞれ同じでも異なっていても良い。ｃが２以上の場合、（ＮＲ^１２（−Ｒ^１３））の部分はそれぞれ同じでも異なっていても良い。

一般式（３）で表される化合物としては、１−アミノナフタレン、２−メチル−１−アミノナフタレン、３−メチル−１−アミノナフタレン、２，３−ジメチル−１−アミノナフタレン、４−メチル−１−アミノナフタレン、５−メチル−１−アミノナフタレン、２−エチル−１−アミノナフタレン、３−エチル−１−アミノナフタレン、４−エチル−１−アミノナフタレン、５−エチル−１−アミノナフタレン、２，４−ジメチル−１−アミノナフタレン、２，５−ジメチル−１−アミノナフタレン、６−メチル−１−アミノナフタレン、２，６−ジメチル−１−アミノナフタレン、７−メチル−１−アミノナフタレン、２，７−ジメチル−１−アミノナフタレン、２−プロピル−１−アミノナフタレン、２−ブチル−１−アミノナフタレン、２−ペンチル−１−アミノナフタレン、２−ヘキシル−１−アミノナフタレン、２−ヘプチル−１−アミノナフタレン、２−オクチル−１−アミノナフタレン、２−ノニル−１−アミノナフタレン、２−デシル−１−アミノナフタレン、２−ウンデシル−１−アミノナフタレン、２−ドデシル−１−アミノナフタレン、２−アミノナフタレン、１−メチル−２−アミノナフタレン、３−メチル−２−アミノナフタレン、１，３−ジメチル−２−アミノナフタレン、４−メチル−２−アミノナフタレン、５−メチル−２−アミノナフタレン、１−エチル−２−アミノナフタレン、３−エチル−２−アミノナフタレン、４−エチル−２−アミノナフタレン、５−エチル−２−アミノナフタレン、１，４−ジメチル−２−アミノナフタレン、１，５−ジメチル−２−アミノナフタレン、６−メチル−２−アミノナフタレン、１，６−ジメチル−２−アミノナフタレン、７−メチル−２−アミノナフタレン、１，７−ジメチル−２−アミノナフタレン、１−プロピル−２−アミノナフタレン、１−ブチル−２−アミノナフタレン、１−ペンチル−２−アミノナフタレン、１−ヘキシル−２−アミノナフタレン、１−ヘプチル−２−アミノナフタレン、１−オクチル−２−アミノナフタレン、１−ノニル−２−アミノナフタレン、１−デシル−２−アミノナフタレン、１−ウンデシル−２−アミノナフタレン、１−ドデシル−２−アミノナフタレン、１，２−ジアミノナフタレン、１，３−ジアミノナフタレン、１，４−ジアミノナフタレン、１，５−ジアミノナフタレン、１，６−ジアミノナフタレン、１，７−ジアミノナフタレン、１，８−ジアミノナフタレン、２，３−ジアミノナフタレン、２，４−ジアミノナフタレン、２，５−ジアミノナフタレン、２，６−ジアミノナフタレン、２，７−ジアミノナフタレン、３，４−ジアミノナフタレン、３，５−ジアミノナフタレン、３，６−ジアミノナフタレン、４，５−ジアミノナフタレン、２−メチル−１，３−ジアミノナフタレン、２−メチル−１，４−ジアミノナフタレン、２−メチル−１，５−ジアミノナフタレン、２−メチル−１，６−ジアミノナフタレン、２−メチル−１，７−ジアミノナフタレン、２−メチル−１，８−ジアミノナフタレン、２−メチル−３，４−ジアミノナフタレン、２−メチル−３，５−ジアミノナフタレン、２−メチル−３，６−ジアミノナフタレン、２−メチル−３，７−ジアミノナフタレン、２−メチル−３，８−ジアミノナフタレン、２−メチル−４，５−ジアミノナフタレン、２−メチル−４，６−ジアミノナフタレン、２−メチル−４，７−ジアミノナフタレン、２−メチル−４，８−ジアミノナフタレン、２−メチル−５，６−ジアミノナフタレン、２−メチル−５，７−ジアミノナフタレン、２−メチル−５，８−ジアミノナフタレン、２−メチル−６，７−ジアミノナフタレン、２−メチル−６，８−ジアミノナフタレン、２−メチル−７，８−ジアミノナフタレン、２−エチル−１，３−ジアミノナフタレン、２−エチル−１，４−ジアミノナフタレン、２−エチル−１，５−ジアミノナフタレン、２−エチル−１，６−ジアミノナフタレン、２−エチル−１，７−ジアミノナフタレン、２−エチル−１，８−ジアミノナフタレン、２−エチル−３，４−ジアミノナフタレン、２−エチル−３，５−ジアミノナフタレン、２−エチル−３，６−ジアミノナフタレン、２−エチル−３，７−ジアミノナフタレン、２−エチル−３，８−ジアミノナフタレン、２−エチル−４，５−ジアミノナフタレン、２−エチル−４，６−ジアミノナフタレン、２−エチル−４，７−ジアミノナフタレン、２−エチル−４，８−ジアミノナフタレン、２−エチル−５，６−ジアミノナフタレン、２−エチル−５，７−ジアミノナフタレン、２−エチル−５，８−ジアミノナフタレン、２−エチル−６，７−ジアミノナフタレン、２−エチル−６，８−ジアミノナフタレン、２−エチル−７，８−ジアミノナフタレン、２−プロピル−１，３−ジアミノナフタレン、２−プロピル−１，４−ジアミノナフタレン、２−プロピル−１，５−ジアミノナフタレン、２−プロピル−１，６−ジアミノナフタレン、２−プロピル−１，７−ジアミノナフタレン、２−プロピル−１，８−ジアミノナフタレン、２−プロピル−３，４−ジアミノナフタレン、２−プロピル−３，５−ジアミノナフタレン、２−プロピル−３，６−ジアミノナフタレン、２−プロピル−３，７−ジアミノナフタレン、２−プロピル−３，８−ジアミノナフタレン、２−プロピル−４，５−ジアミノナフタレン、２−プロピル−４，６−ジアミノナフタレン、２−プロピル−４，７−ジアミノナフタレン、２−プロピル−４，８−ジアミノナフタレン、２−プロピル−５，６−ジアミノナフタレン、２−プロピル−５，７−ジアミノナフタレン、２−プロピル−５，８−ジアミノナフタレン、２−プロピル−６，７−ジアミノナフタレン、２−プロピル−６，８−ジアミノナフタレン、２−プロピル−７，８−ジアミノナフタレン、２−ブチル−１，３−ジアミノナフタレン、２−ブチル−１，４−ジアミノナフタレン、２−ブチル−１，５−ジアミノナフタレン、２−ブチル−１，６−ジアミノナフタレン、２−ブチル−１，７−ジアミノナフタレン、２−ブチル−１，８−ジアミノナフタレン、２−ブチル−３，４−ジアミノナフタレン、２−ブチル−３，５−ジアミノナフタレン、２−ブチル−３，６−ジアミノナフタレン、２−ブチル−３，７−ジアミノナフタレン、２−ブチル−３，８−ジアミノナフタレン、２−ブチル−４，５−ジアミノナフタレン、２−ブチル−４，６−ジアミノナフタレン、２−ブチル−４，７−ジアミノナフタレン、２−ブチル−４，８−ジアミノナフタレン、２−ブチル−５，６−ジアミノナフタレン、２−ブチル−５，７−ジアミノナフタレン、２−ブチル−５，８−ジアミノナフタレン、２−ブチル−６，７−ジアミノナフタレン、２−ブチル−６，８−ジアミノナフタレン、２−ブチル−７，８−ジアミノナフタレン、２−ペンチル−１，３−ジアミノナフタレン、２−ペンチル−１，４−ジアミノナフタレン、２−ペンチル−１，５−ジアミノナフタレン、２−ペンチル−１，６−ジアミノナフタレン、２−ペンチル−１，７−ジアミノナフタレン、２−ペンチル−１，８−ジアミノナフタレン、２−ペンチル−３，４−ジアミノナフタレン、２−ペンチル−３，５−ジアミノナフタレン、２−ペンチル−３，６−ジアミノナフタレン、２−ペンチル−３，７−ジアミノナフタレン、２−ペンチル−３，８−ジアミノナフタレン、２−ペンチル−４，５−ジアミノナフタレン、２−ペンチル−４，６−ジアミノナフタレン、２−ペンチル−４，７−ジアミノナフタレン、２−ペンチル−４，８−ジアミノナフタレン、２−ペンチル−５，６−ジアミノナフタレン、２−ペンチル−５，７−ジアミノナフタレン、２−ペンチル−５，８−ジアミノナフタレン、２−ペンチル−６，７−ジアミノナフタレン、２−ペンチル−６，８−ジアミノナフタレン、２−ペンチル−７，８−ジアミノナフタレン、２−ヘキシル−１，３−ジアミノナフタレン、２−ヘキシル−１，４−ジアミノナフタレン、２−ヘキシル−１，５−ジアミノナフタレン、２−ヘキシル−１，６−ジアミノナフタレン、２−ヘキシル−１，７−ジアミノナフタレン、２−ヘキシル−１，８−ジアミノナフタレン、２−ヘキシル−３，４−ジアミノナフタレン、２−ヘキシル−３，５−ジアミノナフタレン、２−ヘキシル−３，６−ジアミノナフタレン、２−ヘキシル−３，７−ジアミノナフタレン、２−ヘキシル−３，８−ジアミノナフタレン、２−ヘキシル−４，５−ジアミノナフタレン、２−ヘキシル−４，６−ジアミノナフタレン、２−ヘキシル−４，７−ジアミノナフタレン、２−ヘキシル−４，８−ジアミノナフタレン、２−ヘキシル−５，６−ジアミノナフタレン、２−ヘキシル−５，７−ジアミノナフタレン、２−ヘキシル−５，８−ジアミノナフタレン、２−ヘキシル−６，７−ジアミノナフタレン、２−ヘキシル−６，８−ジアミノナフタレン、２−ヘキシル−７，８−ジアミノナフタレン、２−ヘプチル−１，３−ジアミノナフタレン、２−ヘプチル−１，４−ジアミノナフタレン、２−ヘプチル−１，５−ジアミノナフタレン、２−ヘプチル−１，６−ジアミノナフタレン、２−ヘプチル−１，７−ジアミノナフタレン、２−ヘプチル−１，８−ジアミノナフタレン、２−ヘプチル−３，４−ジアミノナフタレン、２−ヘプチル−３，５−ジアミノナフタレン、２−ヘプチル−３，６−ジアミノナフタレン、２−ヘプチル−３，７−ジアミノナフタレン、２−ヘプチル−３，８−ジアミノナフタレン、２−ヘプチル−４，５−ジアミノナフタレン、２−ヘプチル−４，６−ジアミノナフタレン、２−ヘプチル−４，７−ジアミノナフタレン、２−ヘプチル−４，８−ジアミノナフタレン、２−ヘプチル−５，６−ジアミノナフタレン、２−ヘプチル−５，７−ジアミノナフタレン、２−ヘプチル−５，８−ジアミノナフタレン、２−ヘプチル−６，７−ジアミノナフタレン、２−ヘプチル−６，８−ジアミノナフタレン、２−ヘプチル−７，８−ジアミノナフタレン、２−オクチル−１，３−ジアミノナフタレン、２−オクチル−１，４−ジアミノナフタレン、２−オクチル−１，５−ジアミノナフタレン、２−オクチル−１，６−ジアミノナフタレン、２−オクチル−１，７−ジアミノナフタレン、２−オクチル−１，８−ジアミノナフタレン、２−オクチル−３，４−ジアミノナフタレン、２−オクチル−３，５−ジアミノナフタレン、２−オクチル−３，６−ジアミノナフタレン、２−オクチル−３，７−ジアミノナフタレン、２−オクチル−３，８−ジアミノナフタレン、２−オクチル−４，５−ジアミノナフタレン、２−オクチル−４，６−ジアミノナフタレン、２−オクチル−４，７−ジアミノナフタレン、２−オクチル−４，８−ジアミノナフタレン、２−オクチル−５，６−ジアミノナフタレン、２−オクチル−５，７−ジアミノナフタレン、２−オクチル−５，８−ジアミノナフタレン、２−オクチル−６，７−ジアミノナフタレン、２−オクチル−６，８−ジアミノナフタレン、２−オクチル−７，８−ジアミノナフタレン、２−ノニル−１，３−ジアミノナフタレン、２−ノニル−１，４−ジアミノナフタレン、２−ノニル−１，５−ジアミノナフタレン、２−ノニル−１，６−ジアミノナフタレン、２−ノニル−１，７−ジアミノナフタレン、２−ノニル−１，８−ジアミノナフタレン、２−ノニル−３，４−ジアミノナフタレン、２−ノニル−３，５−ジアミノナフタレン、２−ノニル−３，６−ジアミノナフタレン、２−ノニル−３，７−ジアミノナフタレン、２−ノニル−３，８−ジアミノナフタレン、２−ノニル−４，５−ジアミノナフタレン、２−ノニル−４，６−ジアミノナフタレン、２−ノニル−４，７−ジアミノナフタレン、２−ノニル−４，８−ジアミノナフタレン、２−ノニル−５，６−ジアミノナフタレン、２−ノニル−５，７−ジアミノナフタレン、２−ノニル−５，８−ジアミノナフタレン、２−ノニル−６，７−ジアミノナフタレン、２−ノニル−６，８−ジアミノナフタレン、２−ノニル−７，８−ジアミノナフタレン、２−デシル−１，３−ジアミノナフタレン、２−デシル−１，４−ジアミノナフタレン、２−デシル−１，５−ジアミノナフタレン、２−デシル−１，６−ジアミノ

ナフタレン、２−デシル−１，７−ジアミノナフタレン、２−デシル−１，８−ジアミノナフタレン、２−デシル−３，４−ジアミノナフタレン、２−デシル−３，５−ジアミノナフタレン、２−デシル−３，６−ジアミノナフタレン、２−デシル−３，７−ジアミノナフタレン、２−デシル−３，８−ジアミノナフタレン、２−デシル−４，５−ジアミノナフタレン、２−デシル−４，６−ジアミノナフタレン、２−デシル−４，７−ジアミノナフタレン、２−デシル−４，８−ジアミノナフタレン、２−デシル−５，６−ジアミノナフタレン、２−デシル−５，７−ジアミノナフタレン、２−デシル−５，８−ジアミノナフタレン、２−デシル−６，７−ジアミノナフタレン、２−デシル−６，８−ジアミノナフタレン、２−デシル−７，８−ジアミノナフタレン、２−ウンデシル−１，３−ジアミノナフタレン、２−ウンデシル−１，４−ジアミノナフタレン、２−ウンデシル−１，５−ジアミノナフタレン、２−ウンデシル−１，６−ジアミノナフタレン、２−ウンデシル−１，７−ジアミノナフタレン、２−ウンデシル−１，８−ジアミノナフタレン、２−ウンデシル−３，４−ジアミノナフタレン、２−ウンデシル−３，５−ジアミノナフタレン、２−ウンデシル−３，６−ジアミノナフタレン、２−ウンデシル−３，７−ジアミノナフタレン、２−ウンデシル−３，８−ジアミノナフタレン、２−ウンデシル−４，５−ジアミノナフタレン、２−ウンデシル−４，６−ジアミノナフタレン、２−ウンデシル−４，７−ジアミノナフタレン、２−ウンデシル−４，８−ジアミノナフタレン、２−ウンデシル−５，６−ジアミノナフタレン、２−ウンデシル−５，７−ジアミノナフタレン、２−ウンデシル−５，８−ジアミノナフタレン、２−ウンデシル−６，７−ジアミノナフタレン、２−ウンデシル−６，８−ジアミノナフタレン、２−ウンデシル−７，８−ジアミノナフタレン、２−ドデシル−１，３−ジアミノナフタレン、２−ドデシル−１，４−ジアミノナフタレン、２−ドデシル−１，５−ジアミノナフタレン、２−ドデシル−１，６−ジアミノナフタレン、２−ドデシル−１，７−ジアミノナフタレン、２−ドデシル−１，８−ジアミノナフタレン、２−ドデシル−３，４−ジアミノナフタレン、２−ドデシル−３，５−ジアミノナフタレン、２−ドデシル−３，６−ジアミノナフタレン、２−ドデシル−３，７−ジアミノナフタレン、２−ドデシル−３，８−ジアミノナフタレン、２−ドデシル−４，５−ジアミノナフタレン、２−ドデシル−４，６−ジアミノナフタレン、２−ドデシル−４，７−ジアミノナフタレン、２−ドデシル−４，８−ジアミノナフタレン、２−ドデシル−５，６−ジアミノナフタレン、２−ドデシル−５，７−ジアミノナフタレン、２−ドデシル−５，８−ジアミノナフタレン、２−ドデシル−６，７−ジアミノナフタレン、２−ドデシル−６，８−ジアミノナフタレン及び２−ドデシル−７，８−ジアミノナフタレン等が挙げられる。
水溶性の観点から好ましくは１−アミノナフタレン、２−メチル−１−アミノナフタレン、３−メチル−１−アミノナフタレン、２，３−ジメチル−１−アミノナフタレン、４−メチル−１−アミノナフタレン、５−メチル−１−アミノナフタレン、２−エチル−１−アミノナフタレン、３−エチル−１−アミノナフタレン、４−エチル−１−アミノナフタレン、５−エチル−１−アミノナフタレン、２，４−ジメチル−１−アミノナフタレン、２，５−ジメチル−１−アミノナフタレン、６−メチル−１−アミノナフタレン、２，６−ジメチル−１−アミノナフタレン、７−メチル−１−アミノナフタレン、２，７−ジメチル−１−アミノナフタレン、２−プロピル−１−アミノナフタレン、２−ブチル−１−アミノナフタレンである。

環状アミンのアルキレンオキサイド付加物（Ａ３）は、炭素数３又は４のアルキレンオキサイドを含むアルキレンオキサイドを付加させたアルキレンオキサイド付加物であって、アミノ基を１つ以上含有する脂環式化合物のアルキレンオキサイド付加物、下記一般式（４）で表されるアルキレンオキサイド付加物及び一般式（５）で表されるアルキレンオキサイド付加物等が挙げられる。炭素数３又は４のアルキレンオキサイドとしては、プロピレンオキサイド、ブチレンオキサイド及びテトラヒドロフラン等が挙げられる。

アミノ基を１つ以上含有する脂環式化合物のアルキレンオキサイド付加物としては、シクロプロピルアミンのＰＯ２モル付加物、シクロプロピルアミンのＰＯ４モル付加物、シクロブチルアミンのＰＯ２モル付加物、シクロブチルアミンのＰＯ４モル付加物、シクロペンチルアミンのＰＯ２モル付加物、シクロペンチルアミンのＰＯ４モル付加物、シクロペンチルアミンのＰＯ６モル付加物、シクロペンチルアミンのＰＯ８モル付加物、シクロペンチルアミンのＰＯ１０モル付加物、シクロペンチルアミンのＰＯ１５モル付加物、シクロペンチルアミンのＰＯ２０モル付加物、シクロペンチルアミンのＢＯ２モル付加物、シクロペンチルアミンのＴＨＦ２モル付加物、シクロヘキシルアミンのＰＯ２モル付加物、シクロヘキシルアミンのＰＯ４モル付加物、シクロヘキシルアミンのＰＯ６モル付加物、シクロヘキシルアミンのＰＯ８モル付加物、シクロヘキシルアミンのＰＯ１０モル付加物、シクロヘキシルアミンのＰＯ１５モル付加物、シクロヘキシルアミンのＰＯ２０モル付加物、シクロヘキシルアミンのＢＯ２モル付加物、シクロヘキシルアミンのＴＨＦ２モル付加物、シクロヘプチルアミンのＰＯ２モル付加物、シクロオクチルアミンのＰＯ２モル付加物、シクロノニルアミンのＰＯ２モル付加物、シクロデシルアミンのＰＯ２モル付加物、シクロウンデシルアミンのＰＯ２モル付加物、シクロドデシルアミンのＰＯ２モル付加物、２−メチルシクロプロピルアミンのＰＯ２モル付加物、３−メチルシクロブチルアミンのＰＯ２モル付加物、２，３−ジメチルシクロプロピルアミンのＰＯ２モル付加物、２−メチルシクロペンチルアミンのＰＯ２モル付加物、３−メチルシクロペンチルアミンのＰＯ２モル付加物、２−メチルシクロヘキシルアミンのＰＯ２モル付加物、３−メチルシクロヘキシルアミンのＰＯ２モル付加物、４−メチルシクロヘキシルアミンのＰＯ２モル付加物、２−エチルシクロペンチルアミンのＰＯ２モル付加物、３−エチルシクロペンチルアミンのＰＯ２モル付加物、２−メチルシクロヘプチルアミンのＰＯ２モル付加物、３−メチルシクロヘプチルアミンのＰＯ２モル付加物、４−メチルシクロヘプチルアミンのＰＯ２モル付加物、２−エチルシクロヘキシルアミンのＰＯ２モル付加物、３−エチルシクロヘキシルアミンのＰＯ２モル付加物、４−エチルシクロヘキシルアミンのＰＯ２モル付加物、２，３−ジメチルシクロヘキシルアミンのＰＯ２モル付加物、２，４−ジメチルシクロヘキシルアミンのＰＯ２モル付加物、２，５−ジメチルシクロヘキシルアミンのＰＯ２モル付加物、１，１−シクロプロピルジアミンのＰＯ４モル付加物、１，２−シクロプロピルジアミンのＰＯ４モル付加物、１，３−シクロプロピルジアミンのＰＯ４モル付加物、１，１−シクロブチルジアミンのＰＯ４モル付加物、１，２−シクロブチルジアミンのＰＯ４モル付加物、１，３−シクロブチルジアミンのＰＯ４モル付加物、１，１−シクロペンチルジアミンのＰＯ４モル付加物、１，２−シクロペンチルジアミンのＰＯ４モル付加物、１，３−シクロペンチルジアミンのＰＯ４モル付加物、１，１−シクロヘキシルジアミンのＰＯ４モル付加物、１，２−シクロヘキシルジアミンのＰＯ４モル付加物、１，３−シクロヘキシルジアミンのＰＯ４モル付加物、１，４−シクロヘキシルジアミンのＰＯ４モル付加物、１，１−シクロヘプチルジアミンのＰＯ４モル付加物、１，２−シクロヘプチルジアミンのＰＯ４モル付加物、１，３−シクロヘプチルジアミンのＰＯ４モル付加物、１，４−シクロヘプチルジアミンのＰＯ４モル付加物、１，１−シクロオクチルジアミンのＰＯ４モル付加物、１，２−シクロオクチルジアミンのＰＯ４モル付加物、１，３−シクロオクチルジアミンのＰＯ４モル付加物、１，４−シクロオクチルジアミンのＰＯ４モル付加物、１，１−シクロノニルジアミンのＰＯ４モル付加物、１，２−シクロノニルジアミンのＰＯ４モル付加物、１，３−シクロノニルジアミンのＰＯ４モル付加物、１，４−シクロノニルジアミンのＰＯ４モル付加物、１，５−シクロノニルジアミンのＰＯ４モル付加物、１，１−シクロデシルジアミンのＰＯ４モル付加物、１，２−シクロデシルジアミンのＰＯ４モル付加物、１，３−シクロデシルジアミンのＰＯ４モル付加物、１，４−シクロデシルジアミンのＰＯ４モル付加物、１，５−シクロデシルジアミンのＰＯ４モル付加物、１，１−シクロウンデシルジアミンのＰＯ４モル付加物、１，２−シクロウンデシルジアミンのＰＯ４モル付加物、１，３−シクロウンデシルジアミンのＰＯ４モル付加物、１，４−シクロウンデシルジアミンのＰＯ４モル付加物、１，５−シクロウンデシルジアミンのＰＯ４モル付加物、１，６−シクロウンデシルジアミンのＰＯ４モル付加物、１，１−シクロドデシルジアミンのＰＯ４モル付加物、１，２−シクロドデシルジアミンのＰＯ４モル付加物、１，３−シクロドデシルジアミンのＰＯ４モル付加物、１，４−シクロドデシルジアミンのＰＯ４モル付加物、１，５−シクロドデシルジアミンのＰＯ４モル付加物、１，６−シクロドデシルジアミンのＰＯ４モル付加物、１，１，２−シクロヘキシルトリアミンのＰＯ４モル付加物、１，１，３−シクロヘキシルトリアミンのＰＯ４モル付加物、１，１，４−シクロヘキシルトリアミンのＰＯ４モル付加物、１，２，３−シクロヘキシルトリアミンのＰＯ４モル付加物及び１，２，４−シクロヘキシルトリアミンのＰＯ４モル付加物等が挙げられる。
水溶性および安定性の観点から好ましくはシクロペンチルアミンのＰＯ２モル付加物、シクロペンチルアミンのＰＯ４モル付加物、シクロペンチルアミンのＰＯ６モル付加物、シクロペンチルアミンのＰＯ８モル付加物、シクロペンチルアミンのＰＯ１０モル付加物、シクロペンチルアミンのＰＯ１５モル付加物、シクロペンチルアミンのＰＯ２０モル付加物、シクロペンチルアミンのＢＯ２モル付加物、シクロペンチルアミンのＴＨＦ２モル付加物、シクロヘキシルアミンのＰＯ２モル付加物、シクロヘキシルアミンのＰＯ４モル付加物、シクロヘキシルアミンのＰＯ６モル付加物、シクロヘキシルアミンのＰＯ８モル付加物、シクロヘキシルアミンのＰＯ１０モル付加物、シクロヘキシルアミンのＰＯ１５モル付加物、シクロヘキシルアミンのＰＯ２０モル付加物、シクロヘキシルアミンのＢＯ２モル付加物、シクロヘキシルアミンのＴＨＦ２モル付加物である。

［Ｒ^１４は、水素原子又は炭素数１〜１２のアルキル基である。ｄは１〜５の整数である。式中のＡＯはそれぞれ独立に炭素数３又は４のオキシアルキレン基を示し、ｓ及びｔは、それぞれ独立にＡＯの付加モル数を示す０〜２０の整数であり、ｓ＋ｔは１〜２０の整数である。６−ｄが２以上の場合、Ｒ^１４はそれぞれ同じでも異なっていても良い。ｄが２以上の場合、（Ｎ（−（ＡＯ）ｓ−Ｈ）（−（ＡＯ）ｔ−Ｈ））の部分はそれぞれ同じでも異なっていても良い。ｓが２以上の場合、（ＡＯ）は同じでも異なっていても良い。ｔが２以上の場合、（ＡＯ）は同じでも異なっていても良い。］

式（４）中、Ｒ^１４は、水素原子又は炭素数１〜１２のアルキル基である。
一般式（４）中の炭素数１〜１２のアルキル基としては、炭素数１〜１２の直鎖状又は分岐状のものが挙げられる。具体的には、例えばメチル基、エチル基、ｎ−プロピル基、イソプロピル基、ｎ−ブチル基、イソブチル基、ｓｅｃ−ブチル基、ｔｅｒｔ−ブチル基、ｎ−ペンチル基、イソペンチル基、ｓｅｃ−ペンチル基、ｔｅｒｔ−ペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基、イソヘキシル基、イソオクチル基、ｓｅｃ−オクチル基、ｔｅｒｔ−オクチル基、ｎ−ノニル基、イソノニル基、ｎ−デシル基、イソデシル基、ｎ−ウンデシル基、イソウンデシル基、ｎ−ドデシル基、イソドデシル基などが挙げられる。これらのうち、水溶性の観点から好ましくは水素原子、メチル基、エチル基、ｎ−プロピル基、イソプロピル基、ｎ−ブチル基、イソブチル基、ｓｅｃ−ブチル基、ｔｅｒｔ−ブチル基、ｎ−ペンチル基、イソペンチル基、ｓｅｃ−ペンチル基、ｔｅｒｔ−ペンチル基、ヘキシル基であり、より好ましくは水素原子、メチル基、エチル基、ｎ−プロピル基、イソプロピル基、ｎ−ブチル基である。

一般式（４）において、ｄは１〜５の整数であり、防錆性の観点から好ましくは１〜３の整数、更に好ましくは１〜２の整数である。
６−ｄが２以上の場合、Ｒ^１４はそれぞれ同じでも異なっていても良い。ｄが２以上の場合、（Ｎ（−（ＡＯ）ｓ−Ｈ）（−（ＡＯ）ｔ−Ｈ））の部分はそれぞれ同じでも異なっていても良い。ｓが２以上の場合、（ＡＯ）は同じでも異なっていても良い。ｔが２以上の場合、（ＡＯ）は同じでも異なっていても良い。

一般式（４）中のＡＯはそれぞれ独立に炭素数３又は４のオキシアルキレン基を示し、ｓ及びｔは、それぞれ独立にＡＯの付加モル数を示す０〜２０の整数であり、ｓ＋ｔは１〜２０の整数である。ｓ及びｔは、水溶性の観点から好ましくは、０〜１０の整数である。ｓ＋ｔは、水溶性の観点から好ましくは、１〜１０の整数である。
ｓが２以上の場合、（ＡＯ）は同じでも異なっていても良い。ｔが２以上の場合、（ＡＯ）は同じでも異なっていても良い。

炭素数３又は４のオキシアルキレン基としては、オキシプロピレン基、オキシブチレン基、オキシイソブチレン基等が挙げられる。

一般式（４）で表される化合物としては、アニリンのＰＯ２モル付加物、アニリンのＰＯ５モル付加物、アニリンのＰＯ１０モル付加物、アニリンのＰＯ２０モル付加物、２−メチルアニリンのＰＯ２モル付加物、３−メチルアニリンのＰＯ２モル付加物、２，３−ジメチルアニリンのＰＯ２モル付加物、４−メチルアニリンのＰＯ２モル付加物、５−メチルアニリンのＰＯ２モル付加物、２−エチルアニリンのＰＯ２モル付加物、３−エチルアニリンのＰＯ２モル付加物、４−エチルアニリンのＰＯ２モル付加物、５−エチルアニリンのＰＯ２モル付加物、２，４−ジメチルアニリンのＰＯ２モル付加物、２，５−ジメチルアニリンのＰＯ２モル付加物、２−プロピルアニリンのＰＯ２モル付加物、２−ブチルアニリンのＰＯ２モル付加物、２−ペンチルアニリンのＰＯ２モル付加物、２−ヘキシルアニリンのＰＯ２モル付加物、２−ヘプチルアニリンのＰＯ２モル付加物、２−オクチルアニリンのＰＯ２モル付加物、２−ノニルアニリンのＰＯ２モル付加物、２−デシルアニリンのＰＯ２モル付加物、２−ウンデシルアニリンアミンのＰＯ２モル付加物、２−ドデシルアニリンのＰＯ２モル付加物、２，３−ジアミノトルエンのＰＯ２モル付加物、２，４−ジアミノトルエンのＰＯ２モル付加物、２，５−ジアミノトルエンのＰＯ２モル付加物、２，３，４−トリアミノトルエンのＰＯ２モル付加物、２，３，５−トリアミノトルエンのＰＯ２モル付加物、２，４，５−トリアミノトルエンのＰＯ２モル付加物、１−エチル−２，４−ジアミノベンゼンのＰＯ２モル付加物、１−プロピル−２，４−ジアミノベンゼンのＰＯ２モル付加物、１−ブチル−２，４−ジアミノベンゼンのＰＯ２モル付加物、１−ペンチル−２，４−ジアミノベンゼンのＰＯ２モル付加物、１−ヘキシル−２，４−ジアミノベンゼンのＰＯ２モル付加物、１−ヘプチル−２，４−ジアミノベンゼンのＰＯ２モル付加物、１−オクチル−２，４−ジアミノベンゼンのＰＯ２モル付加物、１−ノニル−２，４−ジアミノベンゼンのＰＯ２モル付加物、１−デシル−２，４−ジアミノベンゼンのＰＯ２モル付加物、１−ウンデシル−２，４−ジアミノベンゼンのＰＯ２モル付加物及び１−ドデシル−２，４−ジアミノベンゼンのＰＯ２モル付加物等が挙げられる。
水溶性の観点から好ましくは、アニリンのＰＯ２モル付加物、アニリンのＰＯ５モル付加物、２−メチルアニリンのＰＯ２モル付加物、３−メチルアニリンのＰＯ２モル付加物、２，３−ジメチルアニリンのＰＯ２モル付加物、４−メチルアニリンのＰＯ２モル付加物、５−メチルアニリンのＰＯ２モル付加物である。

［Ｒ^１５及びＲ^１６は、それぞれ独立に水素原子又は炭素数１〜１２のアルキル基である。ｅ及びｆはそれぞれ独立に０〜３の整数であり、ｅ＋ｆは１〜６の整数である。式中のＡＯはそれぞれ独立に炭素数３又は４のオキシアルキレン基を示し、ｕ、ｖ、ｗ及びｘは、それぞれ独立にＡＯの付加モル数を示す０〜２０の整数であり、ｕ＋ｖ＋ｗ＋ｘは１〜４０の整数である。４−ｅが２以上の場合、Ｒ^１５はそれぞれ同じでも異なっていても良い。ｅが２以上の場合、（Ｎ（−（ＡＯ）ｕ−Ｈ）（−（ＡＯ）ｖ−Ｈ））の部分はそれぞれ同じでも異なっていても良い。４−ｆが２以上の場合、Ｒ^１６はそれぞれ同じでも異なっていても良い。ｆが２以上の場合、（Ｎ（−（ＡＯ）ｗ−Ｈ）（−（ＡＯ）ｘ−Ｈ））の部分はそれぞれ同じでも異なっていても良い。ｕ、ｖ、ｗ及びｘがそれぞれ２以上の場合、それぞれの（ＡＯ）は同じでも異なっていても良い。］

一般式（５）において、ｅ及びｆはそれぞれ独立に０〜３の整数であり、防錆性の観点から好ましくは０〜３の整数、より好ましくは０〜２の整数、更に好ましくは０〜１の整数である。ｅ＋ｆは１〜６の整数であり、防錆性の観点から好ましくは１〜４の整数、より好ましくは１〜３の整数、更に好ましくは１〜２の整数である。
式（５）中、Ｒ^１５〜Ｒ^１６は、それぞれ独立に水素原子又は炭素数１〜１２のアルキル基である。

一般式（５）中の炭素数１〜１２のアルキル基としては、炭素数１〜１２の直鎖状又は分岐状のものが挙げられる。具体的には、例えばメチル基、エチル基、ｎ−プロピル基、イソプロピル基、ｎ−ブチル基、イソブチル基、ｓｅｃ−ブチル基、ｔｅｒｔ−ブチル基、ｎ−ペンチル基、イソペンチル基、ｓｅｃ−ペンチル基、ｔｅｒｔ−ペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基、イソヘキシル基、イソオクチル基、ｓｅｃ−オクチル基、ｔｅｒｔ−オクチル基、ｎ−ノニル基、イソノニル基、ｎ−デシル基、イソデシル基、ｎ−ウンデシル基、イソウンデシル基、ｎ−ドデシル基、イソドデシル基などが挙げられる。これらのうち、水溶性の観点から好ましくは水素原子、メチル基、エチル基、ｎ−プロピル基、イソプロピル基、ｎ−ブチル基、イソブチル基、ｓｅｃ−ブチル基、ｔｅｒｔ−ブチル基、ｎ−ペンチル基、イソペンチル基、ｓｅｃ−ペンチル基、ｔｅｒｔ−ペンチル基、ヘキシル基であり、より好ましくは水素原子、メチル基、エチル基、ｎ−プロピル基、イソプロピル基、ｎ−ブチル基である。

一般式（５）中のＡＯはそれぞれ独立に炭素数３又は４のオキシアルキレン基を示し、ｕ、ｖ、ｗ及びｘは、それぞれ独立にＡＯの付加モル数を示す０〜２０の整数であり、ｕ＋ｖ＋ｗ＋ｘは１〜４０の整数である。ｕ、ｖ、ｗ及びｘは、水溶性の観点から好ましくは、それぞれ独立に０〜１０の整数である。ｕ＋ｖ＋ｗ＋ｘは、水溶性の観点から好ましくは、１〜２０の整数であり、さらに好ましくは１〜１０の整数である。
４−ｅが２以上の場合、Ｒ^１５はそれぞれ同じでも異なっていても良い。ｅが２以上の場合、（Ｎ（−（ＡＯ）ｕ−Ｈ）（−（ＡＯ）ｖ−Ｈ））の部分はそれぞれ同じでも異なっていても良い。４−ｆが２以上の場合、Ｒ^１６はそれぞれ同じでも異なっていても良い。ｆが２以上の場合、（Ｎ（−（ＡＯ）ｗ−Ｈ）（−（ＡＯ）ｘ−Ｈ））の部分はそれぞれ同じでも異なっていても良い。ｕ、ｖ、ｗ及びｘがそれぞれ２以上の場合、それぞれの（ＡＯ）は同じでも異なっていても良い。

炭素数３又は４のオキシアルキレン基としては、オキシプロピレン基、オキシブチレン基、オキシイソブチレン基等が挙げられる。

一般式（５）で表される化合物としては、１−アミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、１−アミノナフタレンのＰＯ５モル付加物、１−アミノナフタレンのＰＯ１０モル付加物、１−アミノナフタレンのＰＯ２０モル付加物、２−メチル−１−アミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、３−メチル−１−アミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２，３−ジメチル−１−アミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、４−メチル−１−アミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、５−メチル−１−アミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−エチル−１−アミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、３−エチル−１−アミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、４−エチル−１−アミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、５−エチル−１−アミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２，４−ジメチル−１−アミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２，５−ジメチル−１−アミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、６−メチル−１−アミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２，６−ジメチル−１−アミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、７−メチル−１−アミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２，７−ジメチル−１−アミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−プロピル−１−アミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ブチル−１−アミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ペンチル−１−アミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ヘキシル−１−アミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ヘプチル−１−アミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−オクチル−１−アミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ノニル−１−アミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−デシル−１−アミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ウンデシル−１−アミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ドデシル−１−アミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−アミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−アミノナフタレンのＰＯ５モル付加物、２−アミノナフタレンのＰＯ１０モル付加物、２−アミノナフタレンのＰＯ２０モル付加物、１−メチル−２−アミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、３−メチル−２−アミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、１，３−ジメチル−２−アミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、４−メチル−２−アミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、５−メチル−２−アミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、１−エチル−２−アミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、３−エチル−２−アミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、４−エチル−２−アミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、５−エチル−２−アミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、１，４−ジメチル−２−アミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、１，５−ジメチル−２−アミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、６−メチル−２−アミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、１，６−ジメチル−２−アミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、７−メチル−２−アミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、１，７−ジメチル−２−アミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、１−プロピル−２−アミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、１−ブチル−２−アミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、１−ペンチル−２−アミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、１−ヘキシル−２−アミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、１−ヘプチル−２−アミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、１−オクチル−２−アミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、１−ノニル−２−アミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、１−デシル−２−アミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、１−ウンデシル−２−アミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、１−ドデシル−２−アミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、１，２−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、１，３−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、１，４−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、１，５−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、１，６−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、１，７−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、１，８−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２，３−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２，４−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２，５−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２，６−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２，７−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、３，４−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、３，５−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、３，６−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、４，５−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−メチル−１，３−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−メチル−１，４−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−メチル−１，５−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−メチル−１，６−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−メチル−１，７−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−メチル−１，８−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−メチル−３，４−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−メチル−３，５−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−メチル−３，６−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−メチル−３，７−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−メチル−３，８−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−メチル−４，５−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−メチル−４，６−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−メチル−４，７−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−メチル−４，８−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−メチル−５，６−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−メチル−５，７−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−メチル−５，８−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−メチル−６，７−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−メチル−６，８−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−メチル−７，８−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−エチル−１，３−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−エチル−１，４−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−エチル−１，５−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−エチル−１，６−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−エチル−１，７−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−エチル−１，８−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−エチル−３，４−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−エチル−３，５−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−エチル−３，６−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−エチル−３，７−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−エチル−３，８−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−エチル−４，５−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−エチル−４，６−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−エチル−４，７−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−エチル−４，８−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−エチル−５，６−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−エチル−５，７−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−エチル−５，８−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−エチル−６，７−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−エチル−６，８−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−エチル−７，８−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−プロピル−１，３−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−プロピル−１，４−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−プロピル−１，５−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−プロピル−１，６−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−プロピル−１，７−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−プロピル−１，８−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−プロピル−３，４−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−プロピル−３，５−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−プロピル−３，６−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−プロピル−３，７−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−プロピル−３，８−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−プロピル−４，５−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−プロピル−４，６−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−プロピル−４，７−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−プロピル−４，８−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−プロピル−５，６−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−プロピル−５，７−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−プロピル−５，８−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−プロピル−６，７−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−プロピル−６，８−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−プロピル−７，８−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ブチル−１，３−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ブチル−１，４−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ブチル−１，５−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ブチル−１，６−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ブチル−１，７−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ブチル−１，８−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ブチル−３，４−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ブチル−３，５−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ブチル−３，６−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ブチル−３，７−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ブチル−３，８−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ブチル−４，５−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ブチル−４，６−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ブチル−４，７−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ブチル−４，８−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ブチル−５，６−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ブチル−５，７−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ブチル−５，８−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ブチル−６，７−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ブチル−６，８−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ブチル−７，８−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ペンチル−１，３−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ペンチル−１，４−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ペンチル−１，５−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ペンチル−１，６−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ペンチル−１，７−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ペンチル−１，８−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ペンチル−３，４−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ペンチル−３，５−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ペンチル−３，６−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ペンチル−３，７−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ペンチル−３，８−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ペンチル−４，５−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ペンチル−４，６−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ペンチル−４，７−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ペンチル−４，８−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ペンチル−５，６−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ペンチル−５，７−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ペンチル−５，８−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ペンチル−６，７−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ペンチル−６，８−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ペンチル−７，８−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ヘキシル−１，３−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ヘキシル−１，４−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ヘキシル−１，５−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ヘキシル−１，６−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ヘキシル−１，７−ジアミノナ

フタレンのＰＯ２モル付加物、２−ヘキシル−１，８−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ヘキシル−３，４−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ヘキシル−３，５−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ヘキシル−３，６−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ヘキシル−３，７−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ヘキシル−３，８−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ヘキシル−４，５−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ヘキシル−４，６−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ヘキシル−４，７−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ヘキシル−４，８−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ヘキシル−５，６−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ヘキシル−５，７−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ヘキシル−５，８−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ヘキシル−６，７−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ヘキシル−６，８−ジアミノナフタレのＰＯ２モル付加物ン、２−ヘキシル−７，８−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ヘプチル−１，３−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ヘプチル−１，４−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ヘプチル−１，５−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ヘプチル−１，６−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ヘプチル−１，７−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ヘプチル−１，８−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ヘプチル−３，４−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ヘプチル−３，５−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ヘプチル−３，６−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ヘプチル−３，７−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ヘプチル−３，８−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ヘプチル−４，５−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ヘプチル−４，６−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ヘプチル−４，７−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ヘプチル−４，８−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ヘプチル−５，６−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ヘプチル−５，７−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ヘプチル−５，８−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ヘプチル−６，７−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ヘプチル−６，８−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ヘプチル−７，８−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−オクチル−１，３−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−オクチル−１，４−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−オクチル−１，５−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−オクチル−１，６−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−オクチル−１，７−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−オクチル−１，８−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−オクチル−３，４−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−オクチル−３，５−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−オクチル−３，６−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−オクチル−３，７−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−オクチル−３，８−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−オクチル−４，５−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−オクチル−４，６−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−オクチル−４，７−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−オクチル−４，８−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−オクチル−５，６−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−オクチル−５，７−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−オクチル−５，８−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−オクチル−６，７−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−オクチル−６，８−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−オクチル−７，８−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ノニル−１，３−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ノニル−１，４−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ノニル−１，５−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ノニル−１，６−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ノニル−１，７−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ノニル−１，８−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ノニル−３，４−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ノニル−３，５−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ノニル−３，６−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ノニル−３，７−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ノニル−３，８−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ノニル−４，５−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ノニル−４，６−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ノニル−４，７−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ノニル−４，８−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ノニル−５，６−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ノニル−５，７−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ノニル−５，８−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ノニル−６，７−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ノニル−６，８−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ノニル−７，８−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−デシル−１，３−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−デシル−１，４−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−デシル−１，５−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−デシル−１，６−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−デシル−１，７−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−デシル−１，８−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−デシル−３，４−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−デシル−３，５−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−デシル−３，６−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−デシル−３，７−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−デシル−３，８−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−デシル−４，５−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−デシル−４，６−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−デシル−４，７−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−デシル−４，８−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−デシル−５，６−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−デシル−５，７−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−デシル−５，８−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−デシル−６，７−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−デシル−６，８−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−デシル−７，８−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ウンデシル−１，３−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ウンデシル−１，４−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ウンデシル−１，５−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ウンデシル−１，６−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ウンデシル−１，７−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ウンデシル−１，８−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ウンデシル−３，４−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ウンデシル−３，５−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ウンデシル−３，６−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ウンデシル−３，７−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ウンデシル−３，８−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ウンデシル−４，５−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ウンデシル−４，６−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ウンデシル−４，７−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ウンデシル−４，８−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ウンデシル−５，６−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ウンデシル−５，７−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ウンデシル−５，８−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ウンデシル−６，７−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ウンデシル−６，８−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ウンデシル−７，８−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ドデシル−１，３−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ドデシル−１，４−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ドデシル−１，５−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ドデシル−１，６−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ドデシル−１，７−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ドデシル−１，８−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ドデシル−３，４−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ドデシル−３，５−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ドデシル−３，６−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ドデシル−３，７−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ドデシル−３，８−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ドデシル−４，５−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ドデシル−４，６−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ドデシル−４，７−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ドデシル−４，８−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ドデシル−５，６−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ドデシル−５，７−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ドデシル−５，８−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ドデシル−６，７−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−ドデシル−６，８−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物及び２−ドデシル−７，８−ジアミノナフタレンのＰＯ２モル付加物等が挙げられる。
なお、ＰＯとはプロピレンオキサイドを、ＢＯとはブチレンオキサイドを、ＴＨＦとはテトラヒドロフランをそれぞれ意味する。
水溶性の観点から好ましくは１−アミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−メチル−１−アミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、３−メチル−１−アミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２，３−ジメチル−１−アミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、４−メチル−１−アミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、５−メチル−１−アミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、２−エチル−１−アミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、３−エチル−１−アミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、４−エチル−１−アミノナフタレンのＰＯ２モル付加物、５−エチル−１−アミノナフタレンのＰＯ２モル付加物である。

環状アミンのアルキレンオキサイド付加物（Ａ３）は、炭素数３又は４のアルキレンオキサイドを含むアルキレンオキサイドを付加させたアルキレンオキサイド付加物であるが、銅又は銅合金のエッチング速度に影響のない範囲で、更に炭素数２及び／又は炭素数５以上のアルキレンオキサイドを付加させたアルキレンオキサイド付加物であっても良い。

本発明のエッチング剤は、必要に応じてさらに水で希釈して使用してもよいが、アミン（Ａ）の含有量は、銅又は銅合金とニッケルのエッチング速度比の観点から、使用時のエッチング液の合計重量に基づいて、０．０５〜６重量％が好ましく、さらに好ましくは０．１〜３重量％である。

本発明の第２の構成成分である有機酸（Ｂ）は銅又は銅合金のエッチング速度を高める作用がある。
本発明における有機酸（Ｂ）はエッチング液中で塩の形で含有してもよい。

有機酸（Ｂ）は、蟻酸、酢酸などの脂肪酸やクエン酸、シュウ酸などのキレート効果を有する有機酸が挙げられるが、特にキレート効果を有するための官能基を２個以上有するものが好ましく、そのうちの１個以上が酸基であれば、他の官能基はアルコール性水酸基、フェノール性水酸基、二トリル基、チオール基及びアミノ基などでもよい。
本発明のおける有機酸（Ｂ）中の酸基としては、カルボキシル基、ホスホン基、スルホン基、リン酸基、硫酸基、硝酸基及びホウ酸基などが挙げられる。

本発明の有機酸（Ｂ）又はその塩としては、酸基としてカルボキシル基を２個以上含む有機酸又はその塩（Ｂ−１）、酸基としてホスホン酸基を２個以上含む有機酸又はその塩（Ｂ−２）、酸基としてスルホン酸基を２個以上含む有機酸又はその塩（Ｂ−３）及び酸基としてカルボキシル基とホスホン酸基をそれぞれ１個以上含む有機酸又はその塩（Ｂ−４）などが挙げられる。
また、有機酸（Ｂ）としては、キレート効果を示す水酸基を分子内に有するものであれば、酸基としてカルボキシル基、ホスホン酸基又はスルホン酸基いずれかの基を１個だけ含むキレート剤（Ｂ−５）であっても差しつかえない。

酸基としてカルボキシル基を２個以上含む有機酸又はその塩（Ｂ−１）としては、エチレンジアミンテトラ酢酸（塩）、ジエチレントリアミンペンタ酢酸（塩）、トリエチレンテトラミンヘキサ酢酸（塩）、ヒドロキシエチルエチレンジアミン三酢酸（塩）、ジヒドロキシエチルエチレンジアミン四酢酸（塩）、ニトリロ酸酢酸（塩）、ヒドロキシエチルイミノ二酢酸（塩）、β−アラニンジ酢酸（塩）、アスパラギン酸ジ酢酸（塩）、メチルグリシンジ酢酸（塩）、イミノジコハク酸（塩）、セリンジ酢酸（塩）、ヒドロキシイミノジコハク酸（塩）、酒石酸（塩）、クエン酸（塩）、ピロメリット酸（塩）、ベンゾポリカルボン酸（塩）及びシクロペンタンテトラカルボン酸（塩）などが挙げられる。

酸基としてホスホン酸基を２個以上含む有機酸又はその塩（Ｂ−２）としては、メチルジホスホン酸（塩）、ニトリロトリスメチレンホスホン酸（塩）、１−ヒドロキシエチリデン−１，１−ジホスホン酸（塩）、エチレンジアミンテトラ（メチレンホスホン酸）（塩）、ヘキサメチレンジアミンテトラ（メチレンホスホン酸）（塩）、プロピレンジアミンテトラ（メチレンホスホン酸）（塩）、ジエチレントリアミンペンタ（メチレンホスホン酸）（塩）、トリエチレンテトラミンヘキサ（メチレンホスホン酸）（塩）、トリアミノトリエチルアミンヘキサ（メチレンホスホン酸）（塩）、トランス−１，２−シクロヘキサンジアミンテトラ（メチレンホスホン酸）（塩）、グリコールエーテルジアミンテトラ（メチレンホスホン酸）（塩）及びテトラエチレンペンタミンヘプタ（メチレンホスホン酸）（塩）等が挙げられる。

酸基としてスルホン酸基を２個以上含む有機酸又はその塩（Ｂ−３）としては、メタンジスルホン酸（塩）、１，２−エタンジスルホン酸（塩）、フェノールジスルホン酸（塩）、ナフタレンジスルホン酸（塩）及びピペラジン−１，４−ビス（２−エタンスルホン酸）（塩）等が挙げられる。

酸基としてカルボキシル基とホスホン酸基をそれぞれ１個以上含む有機酸又はその塩（Ｂ−４）としては、ホスホノ酢酸（塩）、２−ヒドロキシ−２−ホスホノ酢酸（塩）、カルボキシホスホン酸（塩）、３−ホスホノプロピオン酸（塩）及び４−（３−ホスホノプロピル）−２−ピペラジンカルボン酸（塩）等が挙げられる。

水酸基と酸基としてカルボキシル基、ホスホン酸基又はスルホン酸基いずれかの基を１個だけ含むキレ−ト剤（Ｂ−５）としては、乳酸（塩）、サリチル酸（塩）、没食子酸（塩）、２−ヒドロキシエチルホスホン酸（塩）及び２−ヒドロキシエタンスルホン酸（塩）等が挙げられる。

本発明において、有機酸（Ｂ）は、銅又は銅合金のエッチング速度の観点から好ましくは、ホスホン酸基、スルホン酸基及びカルボキシル基からなる群から選ばれる基を分子内に２個以上有する有機酸である。
本発明の有機酸（Ｂ）のうち、銅又は銅合金のエッチング速度の観点から、より好ましいものは、上記の（Ｂ−１）、（Ｂ−２）及び（Ｂ−３）であり、さらに好ましいのは（Ｂ−２）である。

有機酸（Ｂ）は単独又は２つ以上を同時に併用することができる。

有機酸（Ｂ）の含有量は銅又は銅合金のエッチング速度の観点から、使用時のエッチング液の合計重量に基づいて、０．１〜５０重量％が好ましく、さらに好ましくは０．５〜３０重量％、特に好ましくは１〜２０重量％である。

本発明の第３の構成成分である過酸化水素（Ｃ）はエッチング速度を高める作用がある。過酸化水素（Ｃ）としては過酸化水素の水溶液を使用することができる。

過酸化水素（Ｃ）含有量は、エッチング速度の観点から、使用時のエッチング液の合計重量に基づいて、純分換算で好ましくは０．０５〜２０重量％、更に好ましくは０．１〜１０重量％である。

本発明の有機酸（Ｂ）とアミン（Ａ）との重量比（Ｂ／Ａ）は、銅又は銅合金とニッケルのエッチング速度比と泡立ちの観点から、好ましくは０．１〜１００、より好ましくは１〜５０、更に好ましくは５〜３０である。

本発明の有機酸（Ｂ）と過酸化水素（Ｃ）との重量比（Ｂ／Ｃ）は、銅又は銅合金のエッチング速度の観点から、好ましくは０．１〜３０、より好ましくは０．５〜１０、更に好ましくは１〜３である。

本発明のエッチング液は（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）及び必要により溶剤と混合して使用することが望ましい。その溶剤としては水、アルコール、グリコールエーテル、エーテル、エステル、ケトン、カーボネート及びアミド等が挙げられる。エッチング液の溶剤として取り扱いやすさの観点から好ましいのは水である。

本発明のエッチング液は配線金属の保護の目的で必要に応じてトリアゾール類、イミダゾール類の環状アミン（Ａ２）を除く含窒素複素環式化合物チオール化合物、糖アルコール類などの腐食防止剤を添加することができる。
複素環式アミンとしては、ピロリジン、ピロール、ピペリジン、ピリジン、ヘキサメチレンイミン、アザトロピリデン、イミダゾール、１−メチルイミダゾール、１−ビニルイミダゾール、２−フェニルイミダゾール、２−エチル−４−メチルイミダゾール、Ｎ−ベンジル−２−メチルイミダゾール、２−メチルベンズイミダゾール、ピラゾール、４−メチルピラゾール、３，５−ジメチルピラゾール、オキサゾール、チアゾール、イミダゾリン、ピラジン、モルホリン、ピペラジン、ピリダジン、ピリミジン、キヌクリジン、１，４−ジアザビシクロ［２，２，２］オクタン、チアジン、インドール、イソインドール、ベンゾイミダゾール、プリン、キノリン、イソキノリン、キノキサリン、シンノリン、ブテリジン、アクリジン、カルバゾール、トリアゾール、ベンゾチアゾール、４−メチルベンゾチアゾール、５−メチルベンゾチアゾール、テトラゾール、ベンゾチアゾール、２−メルカプトベンゾチアゾール、２−アミノベンゾチアゾール、２−アミノチアゾール、ベンゾチアゾール、１，５−ジアザビシクロ［４，３，０］ノナ−５−エン及び１，８−ジアザビシクロ［５，４，０］ウンデカ−７−エン等が挙げられる。
このうち、腐食防止能の観点から、ベンゾトリアゾール及び４−メチルベンゾトリアゾールが好ましい。
なお、添加量については特に定まりはないが、銅又は銅合金用エッチング液の重量に基づいて０．００１重量％〜１０重量％の範囲が特に好ましい。

本発明のエッチング液は配線金属の保護の目的で必要に応じて酸化防止剤を添加することができる。
酸化防止剤としては、カテキン、トコフェロール、カテコール、メチルカテコール、エチルカテコール、ｔｅｒｔ−ブチルカテコール、没食子酸、没食子酸メチル及び没食子酸プロピル等のフェノール類、３−ヒドロキシフラボン並びにアスコルビン酸等が挙げられる。

本発明のエッチング液には、ｐＨ調整の目的で塩基性化合物を添加することができる。
その目的で添加する塩基性化合物としては、アンモニア、テトラアルキルアンモニウムヒドロキシド等が挙げられる。

本発明のエッチング液は配線金属の保護の目的で必要に応じて消泡剤を添加することができる。
消泡剤としては、シリコーン消泡剤、長鎖アルコール消泡剤、脂肪酸エステル消泡剤及び金属セッケン消泡剤等が挙げられる。エチレンオキサイドプロピレンオキサイド共重合体も消泡剤として使用することができる。

本発明のエッチング液を用いて、銅又は銅合金とニッケルとを同時に有する電子基板から選択的に銅又は銅合金をエッチング処理する工程を経て電子基板を製造することができる。

本発明において、銅又は銅合金のエッチング処理方法としては、浸漬式エッチングや枚葉式エッチングなどが挙げられる。

本発明のエッチング液は好ましくは１０〜１００℃の範囲、更に好ましくは２０℃〜８０℃の温度条件で使用する。１０℃以上であればエッチング速度の点で好ましく、１００℃以下の温度であればエッチング速度にバラツキが生じない点で好ましい。

以下、実施例及び比較例により本発明をさらに説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。以下、特に定めない限り、％は重量％、部は重量部を示す。

＜実施例１〜７及び比較例１〜５＞
表１に記載したアミン（Ａ）、有機酸（Ｂ）、過酸化水素（Ｃ）及び水等の成分をポリプロピレン製の容器中で混合して、本発明のエッチング液と比較のためのエッチング液を得た。

なお、表中の記号は以下の化合物を表し、数値は純分の値を示す。
（Ａ１−１）：ペンタエチレンヘキサミン
（Ａ１−２）：ヘキサメチレンジアミン
（Ａ１−３）：トリエチレンテトラミンのテトラエチル化物
（Ａ２−１）：シクロヘキシルアミン
（Ａ２−２）：２−メチルアニリン
（Ａ２−３）：１−アミノナフタレン
（Ａ３−１）：シクロヘキシルアミンのプロピレンオキサイド２モル付加物
（Ａ３−２）：シクロヘキシルアミンのプロピレンオキサイド１０モル付加物
（Ａ３−３）：アニリンのプロピレンオキサイド５モル付加物
（Ａ３−４）：１−アミノナフタレンのプロピレンオキサイド２モル付加物
（Ａ’−１）：トリエタノールアミン
（Ａ’−２）：１，２−ビス［ジ（ヒドロキシエチル）アミノ］エタン
（Ａ’−３）：ラウリルアミンのＥＯ９モル付加物
（Ｂ−１）：クエン酸
（Ｂ−２）：１−ヒドロキシエチリデン−１，１−ジホスホン酸の６０重量％水溶液
（Ｂ−３）：１，２−エタンジスルホン酸二水和物
（Ｂ−４）：ニトリロトリスメチレンホスホン酸
（Ｂ’−１）：硫酸
（Ｃ−１）：３５重量％過酸化水素水
（Ｄ−１）：ベンゾトリアゾール
（Ｄ−２）：４−メチルベンゾトリアゾール

性能評価として、抑泡性、銅のエッチング時間、及びニッケルのエッチング量を以下の方法で行った。

＜抑泡性＞
抑泡性はロス・マイルス試験［ＪＩＳＫ３３６２（１９９８）］に準じて測定することができ、本ＪＩＳで定める装置、また試験液として超純水を用いて調整したエッチング剤を用いた試験により、全ての試験液を流出した直後の泡の高さ（ｍｍ）を目視にて測定し、下記の判定基準で抑泡性を評価した。
○：５０ｍｍ未満
×：５０ｍｍ以上

＜銅のエッチング時間＞
銅のエッチング時間を、以下の操作方法で銅シード層の光沢が消失するまでの時間（分）で評価した。
（１）シリコン基板に加工を加えて図４の状態まで作成したウエハ（銅シード層の厚み１μｍ）を１５ｍｍ角の正方形に切断してテストピースを作成した。
なお、走査型電子顕微鏡（日立ハイテク社製Ｓ−４８００）でウエハを１ｃｍ各に切断したテストピースの断面を観察したところ、バンプの幅は約３０μｍ、バンプの高さは約８μｍであった。銅シード層の厚みは１μｍであった。
（２）エッチング液をポリプロピレン製の容器に入れて、この中に上記のテストピースを浸漬し、マグネチックスターラーで撹拌した。
（３）撹拌しながら液中に浸漬した状態でテストピースの表面を目視で観察し、銅シード層の全面の銅の光沢が消失する（図５の３：チタン層の全面が見える状態）までの時間を測定した。この目的で使用されるエッチング液においては、銅光沢の消失時間が１０分未満であることが好ましく、下記の判定基準で評価した。
○：１０分未満
×：１０分以上

＜ニッケルのエッチング量＞
ニッケルのエッチング量を、以下の操作方法で測定し、評価した。
（１）シリコン基板に加工を加えて図４の状態まで作成したウエハ（銅シード層の厚み１μｍ）を１５ｍｍ角の正方形に切断してテストピースを作成した。
（２）エッチング液をポリプロピレン製の容器に入れて、この中に上記のテストピースを浸漬し、マグネチックスターラーで撹拌した。
（３）撹拌しながら液中に浸漬した状態でテストピースの表面を目視で観察し、銅シード層の全面の銅の光沢が消失する（図５の３：チタン層の全面が見える状態）までの時間の２倍の時間液中に浸漬し、取り出した。
（４）走査型電子顕微鏡（日立ハイテク社製Ｓ−４８００）で、浸漬前のテストピースと浸漬後のテストピースのそれぞれニッケル層の浸食の程度とその幅が確認できる側面の写真撮影をした。そして、写真画像から、浸漬前のテストピースのニッケル層（図４の７）の幅Ａ１（μｍ）と、浸漬後のテストピースのニッケル層（図５の７）の幅Ａ２（μｍ）を測定した。
（５）ニッケルのエッチング量として、下記数式（１）で算出される浸漬前後のテストピースのニッケル層の幅の変化（差）ΔＡ_Ｎｉを算出した。

ΔＡ_Ｎｉ（μｍ）＝（浸透前のテストピースのニッケル層の幅Ａ_１）−（浸透後のテストピースのニッケル層の幅Ａ_２）

下記の判定基準で評価する。
◎：０．２μｍ未満
○：０．２μｍ以上０．３μｍ未満
△：０．３μｍ以上０．５μｍ未満
×：０．５μｍ以上

表１から明らかなように、実施例１〜７では、泡立ちには問題が無く、銅シード層のエッチングが速く、その反面、ニッケル部分のエッチングが認められず、高選択的に銅シード層をエッチングすることができた。

本発明の銅又は銅合金用エッチング液は、銅又は銅合金とニッケルを同時に有する物品に対して、使用時の泡立ちが少なく、銅又は銅合金のエッチングを高選択的に行うことができるという点で優れているため、プリント配線基板、フラットパネルディスプレー、ＭＥＭＳ、半導体装置などの電子基板製造時の工程用薬剤として有用である。

図１〜図６中の数字１〜９は、以下を表す。
１： シリコン基板
２： シリコン酸化膜
３： チタン層
４： 銅シード層
５： レジスト樹脂
６： 銅めっき層
７： ニッケル層
７’：錫又は錫合金層
８： 金層
８’：錫又は錫合金層
９： バンプ

Claims (8)

1. 銅又は銅合金とニッケルとを同時に有する電子基板から銅又は銅合金を選択的にエッチングする工程用のエッチング液であって、アミン（Ａ）、有機酸（Ｂ）及び過酸化水素（Ｃ）を構成成分として含有し、アミン（Ａ）が鎖状アミン（Ａ１）、環状アミン（Ａ２）及び環状アミンのアルキレンオキサイド付加物（Ａ３）からなる群から選ばれる１種以上のアミンであって、環状アミンのアルキレンオキサイド付加物（Ａ３）が、炭素数３又は４のアルキレンオキサイドを含むアルキレンオキサイドを付加させたアルキレンオキサイド付加物である銅又は銅合金用エッチング液。
2. 鎖状アミン（Ａ１）が下記一般式（１）で表される化合物である請求項１記載のエッチング液。
   

   

   ［式中、Ｒ^１〜Ｒ^４は、それぞれ独立に水素原子又は炭素数１〜１２のアルキル基である。また、Ｙ^１は炭素数１〜１２のアルキレン基を示す。ｎは１〜１２の整数を表す。ｎが２以上の場合、（Ｙ^１−Ｎ（Ｒ^４））の部分はそれぞれ同じでも異なっていても良い。］
3. 環状アミン（Ａ２）がアミノ基を１つ以上含有する脂環式化合物、下記一般式（２）で表される化合物及び下記一般式（３）で表される化合物からなる群から選ばれる１種以上の化合物である請求項１又は２記載のエッチング液。
   

   

   ［式中、Ｒ^５〜Ｒ^７は、それぞれ独立に水素原子又は炭素数１〜１２のアルキル基である。ａは１〜５の整数である。６−ａが２以上の場合、Ｒ^５はそれぞれ同じでも異なっていても良い。ａが２以上の場合、（ＮＲ^６（−Ｒ^７））の部分はそれぞれ同じでも異なっていても良い。］
   

   

   ［式中、Ｒ^８〜Ｒ^１３は、それぞれ独立に水素原子又は炭素数１〜１２のアルキル基である。ｂ及びｃはそれぞれ独立に０〜４の整数であり、ｂ＋ｃは１〜８の整数である。４−ｂが２以上の場合、Ｒ^８はそれぞれ同じでも異なっていても良い。ｂが２以上の場合、（ＮＲ^９（−Ｒ^１０））の部分はそれぞれ同じでも異なっていても良い。４−ｃが２以上の場合、Ｒ^１１はそれぞれ同じでも異なっていても良い。ｃが２以上の場合、（ＮＲ^１２（−Ｒ^１３））の部分はそれぞれ同じでも異なっていても良い。］
4. 環状アミンのアルキレンオキサイド付加物（Ａ３）が炭素数３又は４のアルキレンオキサイドを含むアルキレンオキサイドを付加させたアルキレンオキサイド付加物であって、アミノ基を１つ以上含有する脂環式化合物のアルキレンオキサイド付加物、下記一般式（４）で表されるアルキレンオキサイド付加物及び一般式（５）で表されるアルキレンオキサイド付加物からなる群から選ばれる１種以上のアルキレンオキサイド付加物である請求項１〜３いずれか記載のエッチング液。
   

   

   ［Ｒ^１４は、水素原子又は炭素数１〜１２のアルキル基である。ｄは１〜５の整数である。式中のＡＯはそれぞれ独立に炭素数３又は４のオキシアルキレン基を示し、ｓ及びｔは、それぞれ独立にＡＯの付加モル数を示す０〜２０の整数であり、ｓ＋ｔは１〜２０の整数である。６−ｄが２以上の場合、Ｒ^１４はそれぞれ同じでも異なっていても良い。ｄが２以上の場合、（Ｎ（−（ＡＯ）ｓ−Ｈ）（−（ＡＯ）ｔ−Ｈ））の部分はそれぞれ同じでも異なっていても良い。ｓが２以上の場合、（ＡＯ）は同じでも異なっていても良い。ｔが２以上の場合、（ＡＯ）は同じでも異なっていても良い。］
   

   

   ［Ｒ^１５及びＲ^１６は、それぞれ独立に水素原子又は炭素数１〜１２のアルキル基である。ｅ及びｆはそれぞれ独立に０〜３の整数であり、ｅ＋ｆは１〜６の整数である。式中のＡＯはそれぞれ独立に炭素数３又は４のオキシアルキレン基を示し、ｕ、ｖ、ｗ及びｘは、それぞれ独立にＡＯの付加モル数を示す０〜２０の整数であり、ｕ＋ｖ＋ｗ＋ｘは１〜４０の整数である。４−ｅが２以上の場合、Ｒ^１５はそれぞれ同じでも異なっていても良い。ｅが２以上の場合、（Ｎ（−（ＡＯ）ｕ−Ｈ）（−（ＡＯ）ｖ−Ｈ））の部分はそれぞれ同じでも異なっていても良い。４−ｆが２以上の場合、Ｒ^１６はそれぞれ同じでも異なっていても良い。ｆが２以上の場合、（Ｎ（−（ＡＯ）ｗ−Ｈ）（−（ＡＯ）ｘ−Ｈ））の部分はそれぞれ同じでも異なっていても良い。ｕ、ｖ、ｗ及びｘがそれぞれ２以上の場合、それぞれの（ＡＯ）は同じでも異なっていても良い。］
5. 有機酸（Ｂ）が、ホスホン酸基、スルホン酸基及びカルボキシル基からなる群から選ばれる１種以上の基を分子内に２個以上有する有機酸である請求項１〜４いずれか記載のエッチング液。
6. 有機酸（Ｂ）とアミン（Ａ）との重量比（Ｂ／Ａ）が０．１〜１００である請求項１〜５いずれか記載のエッチング液。
7. 有機酸（Ｂ）と過酸化水素（Ｃ）との重量比（Ｂ／Ｃ）が０．１〜３０である請求項１〜６いずれか記載のエッチング液。
8. 請求項１〜７いずれか記載の銅又は銅合金用エッチング液を用いて、銅又は銅合金とニッケルとを同時に有する電子基板から銅又は銅合金のみをエッチングする工程を含む電子基板の製造方法。

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