JP2018172251A - プレス成形処理用型、ガラスブランクの製造方法、および磁気ディスク用ガラス基板の製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
前記プレス成形処理用型は、350〜1000℃の温度範囲において熱膨張係数が1.0〜6.0×10-6/℃である、ことを特徴とする。
前記第1の型と向かい合う前記プレス成形処理用型の面の少なくとも中央部の領域には、前記金属窒化物が酸化処理された酸化膜が配置されていることが好ましい。
溶融ガラスを、第1の型と、前記溶融ガラスが載置された第2の型との間に挟み込んでガラスブランクを成形するプレス成形処理を備え、
前記第2の型は、350〜1000℃の温度範囲において熱膨張係数が1.0〜6×10-6/℃である、ことを特徴とする。
前記ガラスブランクの製造方法により製造されたガラスブランクの主表面を少なくとも研磨することにより、前記主表面を算術平均粗さRaが0.2nm以下の鏡面とする研磨処理を有する、ことを特徴とする。
まず、磁気ディスク用ガラス基板について説明する。磁気ディスク用ガラス基板は、円板形状である。なお、磁気ディスク用ガラス基板は、外周と同心の円形の中心孔がくり抜かれたリング状であってもよい。磁気ディスク用ガラス基板の両面の円環状領域に磁性層(記録領域)が形成されることで、磁気ディスクが形成される。
磁気ディスク用ガラスブランク(以降、単にガラスブランクという)は、プレス成形処理により作製されるガラス板であり、後述する研削処理が行われる前のものである。ガラスブランクの形状は略円形である。ここで、「略円形」には、真円形状および楕円形状が含まれ、その外周形状は単一の曲率半径の円弧のみからなるものであってもよいし、異なる曲率半径の円弧からなるものであってもよい。また、ガラスブランクは後述する円孔形成処理により形成される円孔を有していてもよい。
ガラスブランクの材料として、アルミノシリケートガラス、ソーダライムガラス、ボロシリケートガラスなどを用いることができる。特に、化学強化を施すことができ、また主表面の平面度及び基板の強度において優れた磁気ディスク用ガラス基板を作製することができるという点で、アルミノシリケートガラスを好適に用いることができる。
次に、磁気ディスク用ガラス基板の製造方法を説明する。先ず、一対の主表面を有する板状の磁気ディスク用ガラス基板の素材となる溶融ガラス塊をプレス成形することによりガラスブランクを作製する(プレス成形処理)。次に、作製されたガラスブランクの中心部分に円孔を形成しリング形状(円環状)とする(円孔形成処理)。これらの処理のうち、少なくともプレス成形処理を行ってガラスブランクを作製する方法を、特に、ガラスブランクの製造方法という。ガラスブランクの製造方法は、磁気ディスク用ガラス基板の製造方法に包含される。
次に、ガラスブランクに対して端面研削による形状加工を行う(形状加工処理)。これにより、リング形状(円環状)のガラス基板が生成される。次に、固定砥粒による主表面研削を行い(研削処理)、平坦となったガラス基板に対して端面研磨を行う(端面研磨処理)。次に、ガラス基板の主表面に第1研磨を行う(第1研磨処理)。次に、必要に応じてガラス基板に対して化学強化を行う(化学強化処理)。次に、化学強化されたガラス基板に対して第2研磨を行う(第2研磨処理)。以上の処理を経て、磁気ディスク用ガラス基板が得られる。以下、各処理について、詳細に説明する。
溶融ガラス流を切断器により切断し、切断された溶融ガラス塊を一対の型のプレス面の間に挟みこみ、プレスしてガラスブランクを成形する。本実施形態においては、後述するように、下型の上面に溶融ガラス流の先端部を落下させた後、その上流側の位置で溶融ガラス流を切断して溶融ガラスの塊とし、この溶融ガラス塊を上から上型によって下方に加圧することで、ガラスブランクを成形する。
所定時間プレスを行った後、型を開いてガラスブランクが取り出される。
ガラスブランクに対して、コアリング、スクライビング等により円形状の孔(円孔)を形成することで、円孔があいたディスク状のガラスブランクを得る。
形状加工処理では、ガラスブランクの外周端部に対する面取り加工を行う。ガラスブランクに円孔を形成した場合は、円孔の内周端部に対する面取り加工も行う。
研削処理では、遊星歯車機構を備えた両面研削装置を用いて、ガラスブランクの主表面に対して研削加工を行う。具体的には、ガラスブランクの外周側端面を、両面研削装置の保持部材に設けられた保持孔内に保持しながらガラスブランクの両主表面の研削を行う。両面研削装置は、上下一対の定盤(上定盤および下定盤)を有しており、上定盤および下定盤の間にガラス基板が狭持される。そして、上定盤または下定盤のいずれか一方、または、双方を移動操作させ、ガラスブランクと各定盤とを相対的に移動させることにより、ガラスブランクの両主表面を研削することができ、これにより、板厚を調整し、さらに平坦度を向上させることができる。
端面研磨処理では、ガラスブランクの外周側端面に対して、ブラシ研磨により鏡面仕上げを行う。ガラスブランクに円孔を形成した場合は、円孔の内周側端面に対しても、鏡面仕上げを行う。このとき、酸化セリウム等の微粒子を遊離砥粒として含む砥粒スラリが用いられる。
第1研磨処理は、例えば固定砥粒による研削を行った場合に主表面に残留したキズや歪みの除去、あるいは、微小な表面凹凸(マイクロウェービネス、粗さ)の調整を目的とする。具体的には、ガラスブランクの研削処理により得られたガラス基板の外周側端面を、両面研磨装置の研磨用キャリアに設けられた保持孔内に保持しながらガラス基板の両側の主表面の研磨が行われる。
第2研磨処理は、主表面の鏡面研磨を目的とする。第2研磨においても、第1研磨に用いる両面研磨装置と同様の構成を有する両面研磨装置が用いられる。具体的には、ガラス基板の外周側端面を、両面研磨装置の研磨用キャリアに設けられた保持孔内に保持しながらガラス基板の両側の主表面の研磨が行われる。第2研磨処理が第1研磨処理と異なる点は、遊離砥粒の種類及び粒子サイズが異なることと、樹脂ポリッシャの硬度が異なることである。具体的には、粒径5〜100nm程度のコロイダルシリカを遊離砥粒として含む研磨液が両面研磨装置の研磨パッドとガラス基板の主表面との間に供給され、ガラス基板の主表面が研磨される。研磨されたガラス基板を中性洗剤、純水、イソプロピルアルコール等を用いて洗浄することで、磁気ディスク用ガラス基板が得られる。
図1に示すように、プレス成形処理装置は、ターンテーブル11と、複数のプレス機下部12と、複数の下型(第2の型)20と、上型(第1の型)30と、プレス機上部13と、回転軸14と、流出ノズル15と、を備える。
ターンテーブル11の中心には回転軸14が設けられている。ターンテーブル11は複数のプレス機下部12、複数の下型20、下型20の上面(プレス面21)に落下し、載置された溶融ガラス、および成形されたガラスブランクとともに、回転軸14を中心に回転する。
プレス機下部12の上部には、下型20が設けられている。また、プレス機下部12の内部には、下型20の温度を制御する図示しないヒータが埋め込まれている。
溶融ガラス塊17が載置された下型20を支持するプレス機下部12がターンテーブル11によってプレス機上部13の下方に移送される毎に、プレス機上部13はサーボモータの制御により上型30を所定の距離だけ下降することで溶融ガラス塊17を上型30と下型20との間に所定の間隔をあけて挟み込み、溶融ガラス塊17を所定の板厚に引き伸ばし、その後上昇することを繰り返す。
成形されたガラスブランク18は、下型20の上面に載置された状態で冷却されながら、ターンテーブル11によって搬送される。冷却されたガラスブランク18は、図示しない吸着手段によって下型20の上面から取り外され、以後の形状加工等の処理を行う装置へ搬送される。
次に、本実施形態の下型20について詳細に説明する。
下型20は、350〜1000℃の温度範囲において熱膨張係数が1.0〜6.0×10-6/℃である焼結材料から構成されている。このような材料から下型20が構成されていることで、下記説明するように、成形されたガラスブランクの表面性状が良好なものとなる。
下型のプレス面は、高温の溶融ガラスが接触したときに、プレス面と反対側の表面(下面)との間、あるいはプレス面の中央部と外周部との間で温度差が生じ、熱膨張量の差が生じやすい。このため、プレス成形処理に伴って、高温の溶融ガラスが高圧で接触し、熱膨張及び熱収縮が繰り返され、その結果、プレス面にひび割れが発生しやすい。ひび割れが生じたプレス面には、凹凸が生じているため、プレス面の表面性状がガラスブランクの表面に転写され、下型と接触するガラスブランクの主表面(下側主表面)の表面性状を悪化させやすい。特に、下型は、プレス面の面方向にも熱膨張および熱収縮を繰り返すため、ひび割れが下型の面方向に沿って移動することで、ガラスブランクの表面性状を悪化させやすい。
また、プレス面に生じたひび割れは、プレス成形処理が続けて行われることでさらに進展してより大きな割れとなり、下型の破損に至る場合がある。特に、磁気ディスク用ガラス基板の素板となるガラスブランクの成形に用いられる型は、光学レンズ等の成形用型と比べ、溶融ガラス塊の熱容量が大きいことから、ひび割れ、破損が生じやすい。このため、ガラスブランクを成形する精度が短期間のうちに落ちてしまう。また、寿命の短い下型は、交換頻度が高いため、生産コストを増大させる。
本実施形態の下型20は、熱膨張係数が上記範囲を満たす材料から構成されていることで、プレス成形処理に伴うひび割れが生じ難い。このため、表面性状が良好なガラスブランクを精度良く成形することができる。特に、ひび割れは、プレス成形処理時に高温になるプレス面21の中心部において発生しやすいため、中心部では外周部よりも凹凸が生じやすく、これに起因して、成形されたガラスブランクの下側主表面の性状が不均一になりやすい。しかし、下型20のひび割れが抑制されていることで、プレス面の表面性状が中心部と外周部とで不均一になり難く、成形されたガラスブランクの下側主表面の性状が均一に維持されやすい。
熱膨張係数が温度依存性を有する材料は、上記温度範囲では、例えば常温での熱膨張係数から大きく変化する場合がある。本発明者は、熱膨張係数が上記温度範囲において1.0〜6.0×10-6/℃である材料を下型20に用いた場合に、ひび割れの発生が少なく、ガラスブランクの表面性状の悪化を抑制できることを見出した。熱膨張係数が6.0×10-6/℃を超えると、プレス成形処理時の下型20の熱膨張量が大きく、ひび割れの発生を抑制できない。熱膨張係数が1.0×10-6/℃未満であると、プレス機下部1に対する熱膨張量が小さすぎて、下型20の下面においてひび割れが発生するおそれがある。
下型20の材料の熱膨張係数は、好ましくは、800〜1000℃の温度範囲において3.0〜5.5×10-6/℃である。下型20の熱膨張係数がこのような範囲内にあることによって、下型20のひび割れの発生を抑制する効果が高くなり、ガラスブランクの表面性状の悪化が抑制されやすくなる。さらに好ましくは、下型20の材料の熱膨張係数は、800〜810℃、970〜980℃、1030〜1040℃の各範囲における熱膨張係数の値の平均値が3.0×10-6/℃以上、4.0×10-6/℃以下の範囲内である。下型20の材料の熱膨張係数が、800〜1000℃の温度範囲において3.0〜5.5×10-6/℃である場合、及び、上記平均値が3.0×10-6/℃以上、4.0×10-6/℃以下の範囲内である場合は、プレス成形処理を連続して繰り返し行なったときに、1週間以上、好ましくは10日以上、ひび割れ及び脱粒による凹みの発生を抑制でき、耐久性が高い。
下型20の材料の具体例としては、窒化ケイ素(Si3N4)、窒化アルミニウム(AlN)、炭化ケイ素(SiC)、アルミナ(Al2O3)、ジルコニア(ZrO2)、サイアロン(Si3N4・Al2O3)、あるいは、これらと他の物質とをブレンドしたものが挙げられる。中でも、窒化ケイ素(Si3N4)、窒化アルミニウム(AlN)、サイアロン(Si3N4・Al2O3)、あるいは、これらと他の物質をブレンドしたものが好ましく用いられる。バインダの具体例として、イットリウム、エルビウム等の金属の酸化物または窒化物、あるいは、イットリウム、アルミニウム、鉄、チタン、ジルコニウム等のうちの2種以上の金属の合金が挙げられる。ガラス質の具体例として、アルミナ、イットリア等が挙げられる。
下型20の材料の主成分となる金属窒化物、金属酸化物、金属炭化物、金属ホウ化物の含有量、これらの2種以上をブレンドしたものの含有量は、下型20全体の80質量%以上であることが好ましく、90質量%以上であることがより好ましい。また、下型20の材料は、ガラス質を含むことが好ましく、この場合、高温における強度維持の観点から、下型20全体の3〜20質量%含まれていることが好ましい。
下型20は、上記材料の粉体を焼結して作製することができるが、例えば冷間等方圧プレスによって成形した後に脱脂、焼結して作製されたものであってもよい。焼結は、常圧焼成でも良いが、ガス圧焼成や、焼結後に熱間等方圧加圧法(HIP)を行うことにより押し固めることが好ましい。
表1及び2に示す実施例及び比較例の下型を用いて、上記実施形態のプレス成形処理を行い、下型のプレス面の性状を調べた。
プレス成形処理では、溶融状態のアルミノシリケートガラスを、成形型の温度をガラス転移点以下に調整して成形を行い、この成形を連続して繰り返し、下型の状態を適宜確認した。ガラスブランクとして、直径75mm、板厚9mmのサイズのものを作製した。下型の形態は、厚み25mm、プレス面の径90mmとした。また、プレス面の平坦度は10μm、算術表面粗さRaは1μmであった。上型にはタングステン合金製のものを用いた。
表1及び2において、「型材料の組成」は、主成分となる化合物を示す。なお、実施例1〜9及び比較例1〜3の型材料は、いずれも、主成分の金属化合物と、下型全体の3〜10質量%の焼結助剤と、を用いて焼成したものである。また、比較例3の型材料は、焼結後の結晶構造が、α型窒化ケイ素とβ型窒化ケイ素とからなり、α型窒化ケイ素が15質量%の割合で含有されていた。
ひび割れは、目視及びレーザ顕微鏡を用いて、下型のプレス面において視認可能なサイズのひび割れの有無を確認した。ひび割れが検出された場合を「不良」とし、ひび割れが検出されなかった場合を「良好」とした。
凹みは、レーザ変位計を用いて、プレス面の凹凸を測定し、基準高さからの最大凹み深さが10μm以上である凹みとなる脱粒が生じている場合を「不良」とし、基準高さからの最大凹み深さが5μm以上、10μm未満である場合を「可」とし、特に、5μm未満である場合を「良好」とした。基準高さは、下型の外周側の縁のプレス面における厚み方向の位置とした。
平坦度及び算術表面粗さRaは、上記実施形態で説明した要領で測定した。その結果、平坦度が15μmを超える場合を「不良」、10μm以下である場合を「可」、特に、4μm以下である場合を「良好」とした。また、算術表面粗さRaをプレス面の半径方向に沿って、等間隔に5箇所で測定し、その平均値からの偏差を計算し、最大偏差が1μmを超える場合を「不良」、1μm以下である場合を「可」、特に、0.3μm以下である場合を「良好」とした。
尚、プレス成形処理装置の連続運転により10日間成形を繰り返した後、ひび割れ、凹み、平坦度、及び算術表面粗さRaを再度測定し、上記評価基準で「不良」に該当する特性がなかった場合を、耐久性が良いと評価し(表中、「〇」で表す)、1つ以上「不良」に該当する特性があった場合を、耐久性が良くないと評価した(表中、「×」で表す)。
結果を、表1及び表2に示す。
また、実施例3、4、6〜9と実施例5との比較から、下型の350〜1000℃の温度範囲内における熱伝導率が10〜80W/m・Kであり、熱膨張係数が800〜1000℃の温度範囲において3.0〜5.5×10-6/℃であることで、耐久性が良くなることがわかる。
例えば、本発明のプレス成形処理用型は、磁気ディスク用ガラス基板にされるガラスブランク以外のガラスブランクを成形するためのプレス成形処理にも使用できる。
12 プレス機下部
13 プレス機上部
14 回転軸
15 流出ノズル
16 溶融ガラス
17 溶融ガラス塊
18 ガラスブランク
20 下型
21 プレス面
30 上型
Claims (9)
- 溶融ガラスが載置され、前記溶融ガラスを第1の型との間に挟み込んでガラスブランクを成形する第2の型を構成するプレス成形処理用型であって、
前記プレス成形処理用型は、350〜1000℃の温度範囲において熱膨張係数が1.0〜6.0×10-6/℃である、ことを特徴とするプレス成形処理用型。 - 前記プレス成形処理用型は、350〜1000℃の温度範囲において熱伝導率が10〜80W/m・Kである、請求項1に記載のプレス成形処理用型。
- 前記溶融ガラスが載置される前記プレス成形処理用型の表面は、平坦度が10μm以下であり、算術平均粗さRaが0.5〜5μmである、請求項1又は2に記載のプレス成形処理用型。
- 前記プレス成形処理用型の破壊靭性値は、4MPa・m1/2以上である、請求項1から3のいずれか1項に記載のプレス成形処理用型。
- 前記プレス成形処理用型の電気抵抗率は、1.0×104Ω・cm以上である、請求項1から4のいずれか1項に記載のプレス成形処理用型。
- 前記プレス成形処理用型は、β型の結晶構造を持つ窒化ケイ素を前記プレス成形処理用型全体の80質量%以上含む、請求項1から5のいずれか1項に記載のプレス成形処理用型。
- 前記プレス成形処理用型を構成する材料は、金属窒化物を主成分として含み、
前記第1の型と向かい合う前記プレス成形処理用型の面の少なくとも中央部の領域には、前記金属窒化物が酸化処理された酸化膜が配置されている、請求項1から6のいずれか1項に記載のプレス成形処理用型。 - 磁気ディスク用ガラス基板を製造するためのガラスブランクの製造方法であって、
溶融ガラスを、第1の型と、前記溶融ガラスが載置された第2の型との間に挟み込んでガラスブランクを成形するプレス成形処理を備え、
前記第2の型は、350〜1000℃の温度範囲において熱膨張係数が1.0〜6×10-6/℃である、ことを特徴とするガラスブランクの製造方法。 - 請求項8に記載のガラスブランクの製造方法により製造されたガラスブランクの主表面を少なくとも研磨することにより、前記主表面を算術平均粗さRaが0.2nm以下の鏡面とする研磨処理を有する、ことを特徴とする磁気ディスク用ガラス基板の製造方法。
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