JP2003054964A - 成形用金型および情報記録ディスク用基板 - Google Patents

成形用金型および情報記録ディスク用基板

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JP2003054964A
JP2003054964A JP2001239343A JP2001239343A JP2003054964A JP 2003054964 A JP2003054964 A JP 2003054964A JP 2001239343 A JP2001239343 A JP 2001239343A JP 2001239343 A JP2001239343 A JP 2001239343A JP 2003054964 A JP2003054964 A JP 2003054964A
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nitride
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molding
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Kenta Ito
健太 伊藤
Hiroyasu Tsuji
弘恭 辻
Satoru Mitani
覚 三谷
Tatsumi Kawada
辰実 川田
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Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Fuji Electric Co Ltd
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】面振れや軸心振れが無い情報記録ディスクの成
形ができ、かつ、型部材の寿命も長くすること。 【解決手段】情報記録ディスク10の情報記録面11に
対応したプレス面を有する上側型部材30と、情報記録
ディスク10の情報非記録面12に対応したプレス面と
このプレス面のほぼ中央領域を貫通して回転駆動軸13
の外径にほぼ対応する内径を有する貫通孔43とを有
し、かつ、単結晶材料からなる中間型部材40と、回転
駆動軸13の軸端面のプレス成形に対応するプレス面を
有する下側型部材50とを含む。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、主にガラス材料から情
報記録ディスク用基板を成形するための成形用金型およ
びこれにより成形される情報記録ディスク用基板に関す
る。
【0002】
【従来の技術】情報記録ディスクにおける高密度な記録
性能は、情報記録ディスクの基板材料に大きく依存す
る。情報記録ディスクに適した基板材料として、ガラス
は、強度が大きいこと、耐熱性が良好であること、およ
び表面硬度が高く酸化セリウム等を使用した高精度な精
密研磨が可能であるために優れた平滑性が得られるなど
により、それぞれ、外部記憶装置の小型化、保磁力の向
上、および磁気ヘッドの低浮上高さ化(低フライングハ
イト化)に寄与するものとして注目されている。
【0003】こうしたガラスを成形用金型で加熱、加
圧、冷却し、その成形用金型の超平滑面を成形で転写し
て情報記録ディスク用基板を得るプレス成形法は、後加
工が不要なため、生産性が高く、品質が安定しているな
どの利点があり、広く採用されている。
【0004】ところで、情報記録ディスクとしては、同
心円状の複数の記録トラックに記録する情報記録媒体が
形成される一方の平面(情報記録面)と、この情報記録面
とは反対側の平面(情報非記録面)をそのドライブ装置に
セットさせてこのディスクをモータで回転駆動するため
に、その情報非記録面のほぼ中央領域にそのモータによ
り駆動される回転駆動軸とを有するものが周知である。
【0005】そして、このような情報記録ディスクに対
して上述したプレス成形を行う成形用金型について本発
明者らは研究を進めている。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】こうした情報記録ディ
スクを成形する場合、情報非記録面側に回転駆動軸を有
するために、上下一対の型部材だけでは、型開きに際し
て不具合がある。このために、上下一対の型部材の間
に、回転駆動軸成形のための中間型部材が必要となる。
この場合、中間型部材は、前記回転駆動軸の成形に対応
する貫通孔を備えたものとなるが、その母材が従来では
多結晶材料からなるため、次のような課題が指摘され
る。
【0007】すなわち、従来の多結晶材料からなる中間
型部材においては、前記回転駆動軸成形のための貫通孔
形成時に孔径の寸法精度、孔内周の面粗度、孔真円度、
および面精度が出にくくなり、ドライブ装置で駆動され
るとき情報記録ディスクに面振れや軸心振れが発生しや
すく、さらに、孔内周への保護膜が形成しにくいため
に、保護膜の欠損などで型部材の寿命を低下させやすい
ものであった。
【0008】したがって、本発明は、上述した中間型部
材における前記貫通孔の孔径の寸法精度、孔内周の面粗
度、孔真円度および面精度を高精度に確保可能として、
上記面振れや軸心振れがきわめて小さい情報記録ディス
クの成形ができ、かつ、ディスク自体の寿命や記録読取
ヘッドなどの寿命も長くすることを解決すべき課題とし
ている。
【0009】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明の成形用金型は、情報記録面とは反対側とな
る情報非記録面のほぼ中央領域に該情報非記録面からほ
ぼ垂直下方に突出する回転駆動軸が設けられている情報
記録ディスクの成形用金型において、前記情報記録ディ
スクの情報記録面に対応したプレス面を有する上側型部
材と、前記情報記録ディスクの情報非記録面に対応した
プレス面とこのプレス面のほぼ中央領域を貫通して前記
回転駆動軸の外径にほぼ対応する内径を有する貫通孔と
を有し、かつ、単結晶材料からなる中間型部材と、前記
回転駆動軸の軸端面のプレス成形に対応するプレス面を
有する下側型部材とを含むことを特徴とする。
【0010】中間型部材を単結晶材料で構成することに
より、多結晶材料の母材を用いる従来に比べて、中間型
部材における貫通孔の面精度、寸法精度が大幅に改善さ
れ、この中間型部材を用いて成形された回転駆動軸の寸
法精度も同じく向上した情報記録ディスクの実現が可能
となる。さらに、情報記録ディスクの回転駆動軸を形成
する中間型部材における孔の内周面に対して、保護膜を
精度良く形成できるものとなるから、型部材の耐久性が
高まりその寿命を向上させる。
【0011】また、本発明の場合、好ましくは、前記各
型部材それぞれの表面に、金属膜、貴金属膜、貴金属合
金膜、窒化膜、炭素膜、炭化膜、酸化膜のうち、少なく
ともいずれか1つの膜を保護膜として有する。
【0012】このように各型部材に保護膜を設けること
によって、保護膜を設けない場合に比較して型部材から
のディスクの分離性が向上するとともに、その分離時に
おけるディスクの破損などの不具合の発生も抑制でき
る。さらに、情報記録ディスクの回転駆動軸の面精度、
寸法精度が改善されるとともに、情報記録ディスク用の
ガラス材料の種類および成形条件に多くの選択を可能と
させる。
【0013】また、本発明の場合、好ましくは、前記各
型部材それぞれの表面と、前記保護膜との間に、金属
膜、貴金属膜、貴金属合金膜、窒化膜、炭素膜、炭化
膜、酸化膜のうち、少なくともいずれか1つの膜を前記
保護膜と異なる材質として選択される中間膜として有す
る。
【0014】この構成にすることにより、中間型部材と
保護膜とが互いになじみにくい材質同士の場合でもそれ
らとなじみ易い中間膜を介して保護膜を設けることによ
って、中間型部材に保護膜を設けることが可能となる。
中間膜は保護膜に対する緩衝材としても機能する。さら
に、中間膜として鏡面加工しやすい材質のものを用いれ
ば、保護膜として鏡面加工しにくいものを用いる場合で
も、中間膜を鏡面に研磨した状態で保護膜を設けること
で、保護膜表面の平坦性をたかいものにできる利点もあ
る。
【0015】また、本発明の場合、好ましくは、前記中
間型部材の素材は、珪素、炭化珪素、酸化アルミニウム
のいずれか1つである。
【0016】こうした場合、成形された情報記録ディス
クの回転駆動軸の面精度、寸法精度が改善されるととも
に、中間型部材として良好な強度が得られる。
【0017】また、本発明の場合、好ましくは、前記中
間型部材における前記貫通孔の内周面の面粗さは、JI
S規格最大高さで0.1μm以下である。
【0018】このような構成とした場合、この中間型部
材によって形成された情報記録ディスクの回転駆動軸と
嵌合する軸受との接触状態が良好となり、情報記録ディ
スクの安定した高速回転が得られる。
【0019】また、本発明の場合、好ましくは、前記保
護膜の前記金属膜、または、貴金属膜は、タンタル、ハ
フニウム、タングステン、金、白金、レニウム、イリジ
ウム、オスミウム、パラジウム、ロジウムおよびルテニ
ウムからなる群より選ばれた少なくとも1つである。
【0020】こうした場合、成形された情報記録ディス
クの回転駆動軸の面精度、寸法精度が改善されるととも
に、中間型部材の耐久性も向上する。
【0021】また、本発明の場合、好ましくは、前記保
護膜の前記貴金属合金膜は、白金、レニウム、イリジウ
ム、オスミウム、パラジウム、ロジウムおよびルテニウ
ムからなる群より選ばれた少なくとも1種の元素を主成
分として含有し、かつ、タンタル、ハフニウム、タング
ステン、金、白金、レニウム、イリジウム、オスミウ
ム、パラジウム、ロジウムおよびルテニウムからなる群
より選ばれた少なくとも1種の元素を含有する。
【0022】こうした場合、成形された情報記録ディス
クの回転駆動軸の面精度、寸法精度が改善されるととも
に、中間型部材の耐久性も向上する。
【0023】また、本発明の場合、好ましくは、前記保
護膜の前記窒化膜は、窒化チタン、窒化アルミニウム、
窒化タンタル、窒化アルミニウムチタン、窒化炭素、窒
化ホウ素、窒化珪素の少なくとも一つからなる。
【0024】こうした場合、成形された情報記録ディス
クの回転駆動軸の面精度、寸法精度が改善されるととも
に、中間型部材の耐久性も向上する。
【0025】また、本発明の場合、好ましくは、前記保
護膜の前記炭化膜は、炭化珪素である。
【0026】こうした場合、成形された情報記録ディス
クの回転駆動軸の面精度、寸法精度が改善されるととも
に、中間型部材の耐久性も向上する。
【0027】また、本発明の場合、好ましくは、前記保
護膜の前記炭素膜は、ダイヤモンド膜、DLC膜(ダイ
ヤモンド状炭素膜)、アモルファス状炭素膜、硬質炭素
膜のいずれか一つからなる。
【0028】こうした場合、成形された情報記録ディス
クの回転駆動軸の面精度、寸法精度が改善されるととも
に、中間型部材の耐久性も向上する。
【0029】また、本発明の場合、好ましくは、前記保
護膜の前記酸化膜は、酸化アルミニウム、酸化クロムの
少なくとも一つからなる。
【0030】こうした場合、成形された情報記録ディス
クの回転駆動軸の面精度、寸法精度が改善されるととも
に、中間型部材の耐久性も向上する。
【0031】また、本発明の場合、好ましくは、前記中
間膜の前記金属膜、または、貴金属膜は、ニッケル、チ
タン、クロム、モリブデン、コバルト、タンタル、ハフ
ニウム、タングステン、金、白金、レニウム、イリジウ
ム、オスミウム、パラジウム、ロジウムおよびルテニウ
ムの少なくとも一つからなる。
【0032】こうした場合、中間型部材と、保護層との
結合力が高まることになり、成形された情報記録ディス
クの回転駆動軸の面精度、寸法精度が改善されるととも
に、中間型部材の耐久性も向上する。
【0033】また、本発明の場合、好ましくは、前記中
間膜の前記貴金属合金膜は、白金、レニウム、イリジウ
ム、オスミウム、パラジウム、ロジウムおよびルテニウ
ムからなる群より選ばれた少なくとも1種の元素を主成
分として含有し、かつタンタル、ハフニウム、タングス
テン、金、白金、レニウム、イリジウム、オスミウム、
パラジウム、ロジウムおよびルテニウムからなる群より
選ばれた少なくとも1種の元素を含有する。
【0034】こうした場合、中間型部材と、保護層との
結合力が高まることになり、成形された情報記録ディス
クの回転駆動軸の面精度、寸法精度が改善されるととも
に、中間型部材の耐久性も向上する。
【0035】また、本発明の場合、好ましくは、前記中
間膜の前記窒化膜は、窒化チタン、窒化アルミニウム、
窒化タンタル、窒化アルミニウムチタン、窒化炭素チタ
ン(TiCN)、窒化珪素のいずれか一つを少なくとも
有する。
【0036】こうした場合、中間型部材と、保護層との
結合力が高まることになり、成形された情報記録ディス
クの回転駆動軸の面精度、寸法精度が改善されるととも
に、中間型部材の耐久性も向上する。
【0037】また、本発明の場合、好ましくは、前記中
間膜の前記炭化膜は、炭化チタン膜、炭化珪素膜のいず
れか1つからなる。
【0038】こうした場合、中間型部材と、保護層との
結合力が高まることになり、成形された情報記録ディス
クの回転駆動軸の面精度、寸法精度が改善されるととも
に、中間型部材の耐久性も向上する。
【0039】また、本発明の場合、好ましくは、前記中
間膜の前記炭素膜は、炭化チタン膜、炭化珪素膜、ダイ
ヤモンド膜、DLC膜(ダイヤモンド状炭素膜)、アモ
ルファス状炭素膜、硬質炭素膜のいずれか1つからな
る。
【0040】こうした場合、中間型部材と、保護層との
結合力が高まることになり、成形された情報記録ディス
クの回転駆動軸の面精度、寸法精度が改善されるととも
に、中間型部材の耐久性も向上する。
【0041】また、本発明の場合、好ましくは、前記中
間膜の前記酸化膜は、酸化チタン、酸化タンタル、酸化
アルミニウム、酸化クロムの少なくとも一つを有する。
【0042】こうした場合、中間型部材と、保護層との
結合力が高まることになり、成形された情報記録ディス
クの回転駆動軸の面精度、寸法精度が改善されるととも
に、中間型部材の耐久性も向上する。
【0043】また、本発明の情報記録ディスクは、上記
成形用金型によりプレス成形されてなる。
【0044】こうした場合、この成形用金型で成形され
た情報記録ディスクは、その回転駆動軸の寸法精度や、
表面精度が向上し、ドライブ装置で駆動されるとき情報
記録ディスクに面振れや軸心振れが発生することが抑制
される。
【0045】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の詳
細を説明する。
【0046】図1ないし図3を参照して、本発明の実施
形態に係る成形用金型を説明する。図1は、情報記録デ
ィスクの縦断面図、図2は、本実施形態の成形用金型の
プレス成形前における断面図、図3は、本実施の形態の
成形用金型のプレス成形状態の断面図である。
【0047】図1で示すように、情報記録ディスク10
は、情報記録面11と、この情報記録面11とは反対側
となる、つまり裏面側となる情報非記録面12と、この
情報非記録面12のほぼ中央領域に該情報非記録面12
からほぼ垂直下方に突出する円柱状の回転駆動軸13と
を有する。
【0048】図2および図3で示すように、本実施の形
態の成形用金型20は、情報記録ディスク10の情報記
録面11の成形に用いられる上側型部材30と、情報記
録ディスク10の回転駆動軸13の成形に用いられる中
間型部材40と、前記回転駆動軸13の軸端面の成形に
用いられる下側型部材50と、環状型締め部材60とか
ら構成されている。
【0049】上側型部材30は、超硬合金からなり、か
つ、情報記録ディスク10の情報記録面11に対応した
所定径のプレス面が鏡面加工された母材31を有し、か
つ、その母材31のプレス面に中間膜34を介在して保
護膜32が形成されて構成されている。この保護膜32
は、単層でも2層以上の複数層でもよい。したがって、
保護膜32を金属膜と貴金属膜との複数層を成すもので
もよいし、単層でも良い。保護膜32の層数は他の型部
材でも同様である。母材31は、周縁にフランジ33を
有する。
【0050】中間型部材40は、単結晶材料からなり、
かつ、両面が鏡面加工された母材41を有し、かつ、そ
の母材41の上面表面に中間膜44を介在して保護膜4
2が形成されている。この中間型部材40はまた、その
中心に回転駆動軸成形用の貫通孔43を有し、その貫通
孔43の内周面にも中間膜44を介在して保護膜42が
形成され、その貫通孔43内周は鏡面研磨されている。
なお、保護膜32,42、中間膜34,44として称し
ているがこれらの膜は層として観念することもできる。
【0051】下側型部材50は、超硬合金からなりかつ
情報記録ディスク10の情報非記録面12に対応したプ
レス面が鏡面加工された母材51を有し、かつ、その母
材51のプレス面に中間膜54を介在して保護膜52が
形成されている。母材51は、周縁にフランジ53を有
する。
【0052】環状型締め部材60は、上下側型部材3
0,50の両フランジ33,53間に位置して、中間型
部材40の外周を位置決めする。
【0053】70は、情報記録ディスク10を成形する
ためのガラス材料、80は、成形されて得られるガラス
基板である。ガラス基板80に情報記録層が形成されて
図1の情報記録ディスク10が得られる。
【0054】各型部材30,40,50それぞれの表面
に形成されている保護膜32,42,52は、金属膜、
貴金属膜、貴金属合金膜、窒化膜、炭素膜、炭化膜、酸
化膜のうち、少なくともいずれか1つの膜で構成されて
いることが好ましい。
【0055】ここで、金属膜、貴金属膜は、タンタル、
ハフニウム、タングステン、金、白金、レニウム、イリ
ジウム、オスミウム、パラジウム、ロジウムおよびルテ
ニウムからなる群より選ばれた少なくとも1つであるこ
とが好ましい。
【0056】前記貴金属合金膜は、白金、レニウム、イ
リジウム、オスミウム、パラジウム、ロジウムおよびル
テニウムからなる群より選ばれた少なくとも1種の元素
を主成分として含有し、かつ、タンタル、ハフニウム、
タングステン、金、白金、レニウム、イリジウム、オス
ミウム、パラジウム、ロジウムおよびルテニウムからな
る群より選ばれた少なくとも1種の元素を含有すること
が好ましい。
【0057】前記窒化膜は、窒化チタン(TiN)、窒
化アルミニウム(AlN)、窒化タンタル(TaN)、
窒化アルミニウムチタン(TiAlN)、窒化炭素(C
N)、窒化ホウ素(BN)、窒化珪素(Si34)のい
ずれかの少なくとも1つからなることが好ましい。
【0058】保護膜を炭化膜で形成する場合、炭化珪素
が好ましい。
【0059】また、保護膜を炭素膜で形成する場合、ダ
イヤモンド膜、DLC膜(ダイヤモンド状炭素膜)、ア
モルファス状炭素膜、硬質炭素膜のいずれかからなるこ
とが好ましい。
【0060】また、保護膜を酸化膜で形成する場合、酸
化アルミニウム(Al23)、酸化クロム(Cr23
の少なくとも1つからなることが好ましい。
【0061】なお、各型部材30,40,50それぞれ
の表面と、前記保護膜32,42,52との間に介在さ
れる中間膜34,44,54は、金属膜、貴金属膜、貴
金属合金膜、窒化膜、炭素膜、炭化膜、酸化膜のうち、
少なくともいずれか1つからなり、かつ、保護膜32,
42,52と異なる材質からなるものとしている。
【0062】この中間膜34,44,54は、金属膜、
貴金属膜、貴金属合金膜、窒化膜、炭素膜、炭化膜、酸
化膜のうち、少なくともいずれか1つの膜を前記保護膜
と異なる材質として選択されることが好ましい。
【0063】また、中間膜を金属膜、または、貴金属膜
で構成する場合は、ニッケル、チタン、クロム、モリブ
デン、コバルト、タンタル、ハフニウム、タングステ
ン、金、白金、レニウム、イリジウム、オスミウム、パ
ラジウム、ロジウムおよびルテニウムの少なくとも一つ
からなることが好ましい。
【0064】また、中間膜を貴金属合金膜で構成する場
合は、白金、レニウム、イリジウム、オスミウム、パラ
ジウム、ロジウムおよびルテニウムからなる群より選ば
れた少なくとも1種の元素を主成分として含有し、かつ
タンタル、ハフニウム、タングステン、金、白金、レニ
ウム、イリジウム、オスミウム、パラジウム、ロジウム
およびルテニウムからなる群より選ばれた少なくとも1
種の元素を含有することが好ましい。
【0065】また、中間膜を窒化膜で構成する場合は、
窒化チタン、窒化アルミニウム、窒化タンタル、窒化ア
ルミニウムチタン、窒化炭素チタン(TiCN)、窒化
珪素のいずれか一つを少なくとも有することが好まし
い。
【0066】また、中間膜を炭化膜で構成する場合は、
炭化チタン膜、炭化珪素膜のいずれか1つからなること
が好ましい。
【0067】また、中間膜を炭素膜で構成する場合は、
炭化チタン膜、炭化珪素膜、ダイヤモンド膜、DLC膜
(ダイヤモンド状炭素膜)、アモルファス状炭素膜、硬
質炭素膜のいずれか1つからなることが好ましい。
【0068】また、中間膜を、酸化膜で構成する場合
は、酸化チタン、酸化タンタル、酸化アルミニウム、酸
化クロムの少なくとも一つを有することが好ましい。
【0069】以上の結果、本実施の形態の場合、この構
成にすることにより、中間型部材40に多結晶材の母材
を用いる場合に比べて、中間型部材40の貫通孔43の
面精度、寸法精度が大幅に改善され、中間型部材40を
用いて成形された回転駆動軸13の寸法精度も同じく向
上し、回転駆動軸13を一体とした情報記録ディスク1
0の実現を可能とするものとなる。
【0070】
【実施例】本発明者は、上記実施形態の成形用金型20
を、具体的な数値や材料を適用して試作した。その結果
を以下において詳細に説明する。
【0071】上側型部材30と下側型部材50は、それ
ぞれの母材31,51が超硬合金とされている。この母
材31,51は、ダイヤホイールの平面研削盤、円筒研
削盤でもってプレス成形面、フランジ33,53の形状
に加工され、かつ、そのプレス成形面は、ダイヤモンド
砥粒を含有するペースト状のダイヤ系スラリーで鏡面研
磨されている。
【0072】この場合の両型部材30,50の記録面、
非記録面に対応するそれぞれの表面粗さはJIS規格中
心線平均粗さでRa=0.1nmである。
【0073】中間型部材40は、その母材41が珪素単
結晶、炭化珪素単結晶または酸化アルミニウム単結晶と
されている。この中間型部材40の母材41は、厚さ3
mm、外径31mm、回転駆動軸に対応する面を内径4
mmに加工され、フェルト布と粒径3μmのダイヤ系ペ
ーストとで研磨されている。
【0074】なお、図4には、中間膜がなく、保護膜だ
けが設けられた成形用金型20を示しており、例えば後
述の実施例3から18に対応する構造を示している。
【0075】表1は、中間型部材40の母材41の材料
名、該中間型部材40の表面に積層された保護膜の材料
名(中間膜も形成している場合この中間膜の材料名)、
成形性の良し悪し、回転駆動軸成形用の貫通孔43の各
種寸法、中間型部材40により成形される情報記録ディ
スク10の回転駆動軸13の各種寸法に関するものであ
る。 (実施例1)実施例1について、中間型部材40の母材4
1は、炭化珪素、保護膜は無し、成形性は良好(○)、面
粗さのJIS規格最大高さRmaxは0.05(μm)で
ある。
【0076】貫通孔43に関してその寸法精度は0.8
(μm)、JIS規格真円度は0.7(μm)、JIS規格
円筒度は0.8(μm)とした場合、中間型部材40によ
る情報記録ディスク10の回転駆動軸13の寸法(最大)
に関して、JIS規格における表面粗さのその最大高さ
Rmaxは0.08(μm)、寸法精度は1.0(μm)、
JIS規格真円度は0.9(μm)、JIS規格円筒度は
0.9(μm)である。 (実施例2)実施例2について、中間型部材40の母材4
1は炭化珪素、保護膜は炭素膜で、中間膜はプラチナ
(Pt)、成形性は良好(○)、JIS規格面粗さの最大
高さは0.1(μm)である。
【0077】中間型部材40による情報記録ディスク1
0の回転駆動軸13の成形用貫通孔43に関して、その
寸法精度は1.0(μm)、JIS規格真円度は0.8
(μm)、JIS規格円筒度は0.9(μm)とした場合、
中間型部材40による情報記録ディスク10の回転駆動
軸13の寸法(最大)に関して、そのJIS規格における
表面粗さの最大高さRmaxは0.2(μm)、寸法精度
は1.0(μm)、JIS規格真円度は1.0(μm)、J
IS規格円筒度は1.0(μm)である。
【0078】それ以降の各実施例は表1に示される通り
であるからその説明は省略する。
【0079】いずれにしても、中間型部材40の母材4
1上には、表1に示されるような貴金属合金層や炭素膜
などによる保護膜が成膜されている。
【0080】実施例1〜30と、比較例1、2、3とを
比較すると、実施例1〜30の場合、中間型部材40の
母材41が、炭化珪素あるいは酸化アルミニウムの単結
晶部材であるのに対して、比較例1、2の場合、中間型
部材40の母材41が、超硬合金の多結晶部材であり、
比較例3の場合、その母材がサーメットの多結晶部材で
ある。
【0081】なお、実施例4から実施例7、実施例2
6、実施例27、実施例28における各保護膜の材質の
含有濃度を示す各数値の単位は原子パーセントである。
【0082】次に、本実施の形態による成形用金型20
を用いてプレス成形を行なった結果は表1に成形性の良
し悪しとして示される。回転駆動軸の中間型部材からの
離型不良(複数回試験した中での不良品の発生割合)が
3割以上であれば、ばつ印で示し、その離型不良が3割
未満で発生している場合であれば、三角形印で示し、離
型が全く良好であれば、丸印で示している。
【0083】なお、プレス成形は密閉チャンバー内で酸
素濃度50ppmにて、アルミノシリケイト系ガラスを
580℃、20Nの荷重で行われる。
【0084】比較例の中間型部材40の貫通孔43内面
におけるJIS規格面粗さの最大高さRmaxは1.7
μm、内径の寸法バラツキ±1.4μm、JIS規格真
円度1.5μm、JIS規格円筒度2.0μmであった
が、本実施の形態の場合、貫通孔43のJIS規格面粗
さの最大高さRmaxは0.1μm以内、内径の寸法バ
ラツキ±1.0μm、JIS規格真円度0.8μm、J
IS規格円筒度0.9μm以内であった。
【0085】また比較例において、成形した情報記録デ
ィスク基板80の回転駆動軸13外面におけるJIS規
格面粗さは最大高さで1.9μm、外径の寸法バラツキ
±1.5μm、JIS規格真円度1.8μm、JIS規
格円筒度2.5μmであったが、本発明の成形用金型2
0による情報記録ディスク基板80の回転駆動軸13外
面におけるJIS規格面粗さの最大高さは0.2μm以
内、寸法バラツキ±1.0μm、JIS規格真円度は
1.0μm、JIS規格円筒度1.0μm以内であっ
た。
【0086】以上の結果より、本発明による成形用金型
20によれば、成形されるガラス基板の回転駆動軸は型
に転写されて良好な寸法精度を得ることができるため、
軸の焼き付き、こぼれ等がなく、軸受との良好な接触状
態が保てる高精度の情報記録ディスクを得ることができ
ることになる。
【0087】
【表1】
【表1】 なお、上記実施の形態では、ガラスを素材とする情報記
録ディスクについて示したが、ガラスに限定されるもの
でなく、プラスチックを素材とする情報記録ディスクも
本発明に含まれるものである。
【0088】なお、上記実施の形態では、情報記録ディ
スクの成形型として構成される上側型部材、中間型部
材、下側型部材のうち、中間型部材が単結晶からなるも
のを示したが、上側型部材や下側型部材については、多
結晶からなるものでも、また中間型部材と同様に単結晶
からなるものでも良い。
【0089】なお、上記実施の形態では、中間型部材の
上面に対する保護膜、回転駆動軸表面に対する保護膜を
同じ材質とする構成を示したが、それぞれの保護膜を異
なる材質とするものでも良く、その組み合わせは請求項
2,7,8,9,10,11に開示された材質の中から
の組み合わせでも良く、またこの請求項2,7,8,
9,10,11に開示されていない材質を含んで組み合
わせても良い。
【0090】
【発明の効果】以上のように、本発明によれば、情報記
録ディスクの情報記録面に対応したプレス面を有する上
側型部材と、前記情報記録ディスクの情報非記録面に対
応したプレス面とこのプレス面のほぼ中央領域を貫通し
て前記回転駆動軸の外径にほぼ対応する内径を有する貫
通孔とを有し、かつ、単結晶材料からなる中間型部材
と、前記回転駆動軸の軸端面のプレス成形に対応するプ
レス面を有する下側型部材とを含むから、成形した情報
記録ディスクの回転駆動軸のJIS規格真円度、JIS
規格面粗さを小さくなるよう抑えることができ、情報記
録ディスクの面振れおよび軸心振れの大幅な抑制が実現
し、その結果、その情報記録ディスクを用いるドライブ
装置における高記録密度な情報の記録を可能とする。
【図面の簡単な説明】
【図1】情報記録ディスクの側面図
【図2】本発明の実施形態に係る成形用金型(成形前の
状態)の正面断面図
【図3】本発明の実施形態に係る成形用金型(成形後の
状態)の正面断面図
【図4】本発明の別の実施形態に係る成形用金型(成形
前の状態)の正面断面図
【符号の説明】
10 情報記録ディスク 11 情報記録面 12 情報非記録面 13 回転駆動軸 20 成形用金型 30 上側型部材 40 中間型部材 50 下側型部材 70 ディスク母材 80 情報記録ディスク用基板
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) C23C 30/00 C23C 30/00 B C G11B 7/26 521 G11B 7/26 521 // B29L 17:00 B29L 17:00 (72)発明者 辻 弘恭 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 三谷 覚 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 川田 辰実 神奈川県川崎市川崎区田辺新田1番1号 富士電機株式会社内 Fターム(参考) 4F202 AA49 AJ02 AJ09 CA09 CB01 CD22 CK11 CK42 4K044 AA02 AA13 AB03 AB05 AB10 BA08 BA13 BA15 BA18 BB01 BB03 BC01 BC06 BC09 5D121 DD04 DD18

Claims (18)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】情報記録面とは反対側となる情報非記録面
    のほぼ中央領域に該情報非記録面からほぼ垂直下方に突
    出する回転駆動軸が設けられている情報記録ディスクの
    成形用金型において、 前記情報記録ディスクの情報記録面に対応したプレス面
    を有する上側型部材と、 前記情報記録ディスクの情報非記録面に対応したプレス
    面とこのプレス面のほぼ中央領域を貫通して前記回転駆
    動軸の外径にほぼ対応する内径を有する貫通孔とを有
    し、かつ、単結晶材料からなる中間型部材と、 前記回転駆動軸の軸端面のプレス成形に対応するプレス
    面を有する下側型部材と、 を含むことを特徴とする成形用金型。
  2. 【請求項2】請求項1に記載の成形用金型において、 前記各型部材それぞれの表面に、金属膜、貴金属膜、貴
    金属合金膜、窒化膜、炭素膜、炭化膜、酸化膜のうち、
    少なくともいずれか1つの膜を保護膜として有すること
    を特徴とする成形金型。
  3. 【請求項3】請求項2に記載の成形用金型において、 前記各型部材それぞれの表面と、前記保護膜との間に、
    金属膜、貴金属膜、貴金属合金膜、窒化膜、炭素膜、炭
    化膜、酸化膜のうち、少なくともいずれか1つの膜を前
    記保護膜と異なる材質として選択される中間膜として有
    することを特徴とする成形用金型。
  4. 【請求項4】請求項1から3のいずれかに記載の成形用
    金型において、 前記中間型部材の素材は、珪素、炭化珪素、酸化アルミ
    ニウムのいずれか1つであることを特徴とする成形用金
    型。
  5. 【請求項5】請求項1から4のいずれかに記載の成形用
    金型において、 前記中間型部材における前記貫通孔の内周面の面粗さ
    は、JIS規格最大高さで0.1μm以下であることを
    特徴とする成形用金型。
  6. 【請求項6】請求項2から5のいずれかに記載の成形用
    金型において、 前記保護膜の前記金属膜、または、貴金属膜は、タンタ
    ル、ハフニウム、タングステン、金、白金、レニウム、
    イリジウム、オスミウム、パラジウム、ロジウムおよび
    ルテニウムからなる群より選ばれた少なくとも1つであ
    ることを特徴とする成形用金型。
  7. 【請求項7】請求項2から5のいずれかに記載の成形用
    金型において、 前記保護膜の前記貴金属合金膜は、白金、レニウム、イ
    リジウム、オスミウム、パラジウム、ロジウムおよびル
    テニウムからなる群より選ばれた少なくとも1種の元素
    を主成分として含有し、かつ、タンタル、ハフニウム、
    タングステン、金、白金、レニウム、イリジウム、オス
    ミウム、パラジウム、ロジウムおよびルテニウムからな
    る群より選ばれた少なくとも1種の元素を含有すること
    を特徴とする成形用金型。
  8. 【請求項8】請求項2から5のいずれかに記載の成形用
    金型において、 前記保護膜の前記窒化膜は、窒化チタン、窒化アルミニ
    ウム、窒化タンタル、窒化アルミニウムチタン、窒化炭
    素、窒化ホウ素、窒化珪素の少なくとも一つからなるこ
    とを特徴とする成形用金型。
  9. 【請求項9】 請求項2から5のいずれかに記載の成形
    用金型において、 前記保護膜の前記炭化膜は、炭化珪素であることを特徴
    とする成形用金型。
  10. 【請求項10】請求項2から5のいずれかに記載の成形
    用金型において、 前記保護膜の前記炭素膜は、ダイヤモンド膜、DLC膜
    (ダイヤモンド状炭素膜)、アモルファス状炭素膜、硬
    質炭素膜のいずれか一つからなることを特徴とする成形
    用金型。
  11. 【請求項11】請求項2から5のいずれかに記載の成形
    用金型において、 前記保護膜の前記酸化膜は、酸化アルミニウム、酸化ク
    ロムの少なくとも一つからなることを特徴とする成形用
    金型。
  12. 【請求項12】請求項3から5のいずれかに記載の成形
    用金型において、 前記中間膜の前記金属膜、または、貴金属膜は、ニッケ
    ル、チタン、クロム、モリブデン、コバルト、タンタ
    ル、ハフニウム、タングステン、金、白金、レニウム、
    イリジウム、オスミウム、パラジウム、ロジウムおよび
    ルテニウムの少なくとも一つからなることを特徴とする
    成形用金型。
  13. 【請求項13】請求項3から5のいずれかに記載の成形
    用金型において、 前記中間膜の前記貴金属合金膜は、白金、レニウム、イ
    リジウム、オスミウム、パラジウム、ロジウムおよびル
    テニウムからなる群より選ばれた少なくとも1種の元素
    を主成分として含有し、かつタンタル、ハフニウム、タ
    ングステン、金、白金、レニウム、イリジウム、オスミ
    ウム、パラジウム、ロジウムおよびルテニウムからなる
    群より選ばれた少なくとも1種の元素を含有することを
    特徴とする成形用金型。
  14. 【請求項14】請求項3から5のいずれかに記載の成形
    用金型において、 前記中間膜の前記窒化膜は、窒化チタン、窒化アルミニ
    ウム、窒化タンタル、窒化アルミニウムチタン、窒化炭
    素チタン(TiCN)、窒化珪素のいずれか一つを少な
    くとも有することを特徴とする成形用金型。
  15. 【請求項15】請求項3から5のいずれかに記載の成形
    用金型において、 前記中間膜の前記炭化膜は、炭化チタン膜、炭化珪素膜
    のいずれか1つからなることを特徴とする成形用金型。
  16. 【請求項16】請求項3から5のいずれかに記載の成形
    用金型において、 前記中間膜の前記炭素膜は、炭化チタン膜、炭化珪素
    膜、ダイヤモンド膜、DLC膜(ダイヤモンド状炭素
    膜)、アモルファス状炭素膜、硬質炭素膜のいずれか1
    つからなることを特徴とする成形用金型。
  17. 【請求項17】請求項3から5のいずれかに記載の成形
    用金型において、 前記中間膜の前記酸化膜は、酸化チタン、酸化タンタ
    ル、酸化アルミニウム、酸化クロムの少なくとも一つを
    有することを特徴とする成形用金型。
  18. 【請求項18】請求項1から17のいずれかに記載の成
    形用金型によりプレス成形されてなることを特徴とする
    情報記録ディスク用基板。
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