JP2018160550A - プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 - Google Patents
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Abstract
Description
また、特開2008−91651号公報(特許文献2)に記載されたように、処理室へ供給される処理用ガスの供給用のガスラインに接続され分岐して処理室用の排気ポンプへ排気するガスラインとを備え、バルブの動作によりこれらのガスラインへの処理用ガスの通流を切り換えて処理室内への処理用ガスの供給を調節するものが知られていた。
これらのスイッチによる切替えによって、インピーダンスコントローラー26とインピーダンス外部指示器29を切り替えることができる。インピーダンスコントローラー26に接続している場合は、インピーダンスコントローラー26がインピーダンスの偏差をモニタしながら、マッチング出来るように第1のマッチング用可変素子27と第2のマッチング用可変素子28を調節する。インピーダンス外部指示器29に接続している場合は、インピーダンス外部指示器29により任意の値になるように第1のマッチング用可変素子27と第2のマッチング用可変素子28を調節する。このスイッチによる切り替えは、高周波電源13をOFFした際に切り替えることができる。
2…シャワープレート
3…誘電体窓
4…処理室
5…真空排気口
6…導波管
7…空洞共振器
8…電磁波発生用電源
9…磁場発生コイル
10…試料台
11…ウエハ
12…マッチング回路
13…高周波電源
14…フィルター
15…静電吸着用直流電源
16…ガス供給ユニット
17…圧力計
18…可変コンダクタンスバルブ
19…ドライポンプ
20…ターボ分子ポンプ
21…排気ライン
22…エッチングガス供給ライン
23…第1の捨てガスライン
24…第2の捨てガスライン
25…チャンバ導入ガスライン
26…インピーダンスコントローラー
27…第1のマッチング用可変素子
28…第2のマッチング用可変素子
29…インピーダンス外部指示器
100…ガス切り替えユニット
101…第1のバルブ
102…第2のバルブ
103…第3のバルブ
104…第1のバイパスライン
105…第2のバイパスライン
106…チャンバ導入ガスライン用圧力計
110…第2のガス供給ライン
111…第4のバルブ
112…第5のバルブ
113…第6のバルブ
114…第3のバイパスライン
115…第4のバイパスライン
116…第1の移行ステップガス用マスフローコントローラー
120…第3のガス供給ライン
121…第7のバルブ
122…第8のバルブ
123…第9のバルブ
124…第5のバイパスライン
125…第6のバイパスライン
126…第2の移行ステップガス用マスフローコントローラー
131…第1の捨てガスライン用圧力計
132…可変コンダクタンスバルブ
141…第2の捨てガスライン用圧力計
142…可変コンダクタンスバルブ
Claims (7)
- 真空容器内部に配置された処理室と、この処理室内に所定の流量の処理用ガスを供給するガス供給ユニットと、前記処理室内に配置されその上面に処理対象のウエハが載置される試料台とを備え、各々異なる条件で供給された前記処理用ガスを用いて処理室内にプラズマを形成する複数の処理ステップを含む工程で前記ウエハを処理するプラズマ処理装置であって、
前記工程が、前記前後の2つの処理ステップの間において前記処理室内に希ガスが供給される移行ステップであって、前記希ガスがその圧力を前記前の処理ステップで用いられる前記処理用ガスの条件と等しくなるように調節されて供給される当該第1の移行ステップと、当該第1の移行ステップの後に前記希ガスがその圧力と流量とを前記後の処理ステップで用いられる前記処理用ガスの条件と等しくなるように調節されて供給される第2の移行ステップとを含む移行ステップを備えたプラズマ処理装置。 - 請求項1に記載のプラズマ処理装置であって、
前記ガス供給ユニットは、前記真空容器と連結されたガス導入ラインと、このガス導入ラインと連通された前記複数の処理ステップにおいて用いられる前記処理用ガスを供給する第1のガス供給ライン及び前記第1及び第2の移行ステップ各々で用いられる前記希ガスが供給される第2及び第3のガス用供給ラインと、第1、第2、第3のガス供給ラインの各々に接続され且つ排気ポンプと連通された第1及び第2の捨てガスラインと、これら第1、第2、第3のガス供給ラインと前記ガス導入ライン及び第1及び第2の捨てガスラインの各々との間の連通を開閉する少なくとも1つのバルブと、前記工程の2つの処理ステップとこれらの間の第1及び第2の移行ステップに応じて前記バルブを切り替える制御部とを備えたプラズマ処理装置。 - 請求項2に記載のプラズマ処理装置であって、
前記制御部は、前記前の処理ステップの間に前記希ガスが前記第1の移行ステップにおいて用いられる条件で前記第1の捨てガスラインに供給され、前記第1の移行ステップの間に前記希ガスが前記2の移行ステップにおいて用いられる条件で前記第2の捨てガスラインに供給されるように前記バルブの動作を調節するプラズマ処理装置。 - 請求項1乃至3のいずれかに記載のプラズマ処理装置であって、
前記第1、第2の捨てガスラインの各々の上に配置され内部を通流するガスの圧力を調節する第1及び第2の調節バルブを備えたプラズマ処理装置。 - 真空容器内部に配置された処理室内に所定の流量の処理用ガスをガス供給ユニットを通して供給して、前記処理室内に配置された試料台の上面に載置された処理対象のウエハを、各々異なる条件で供給された前記処理用ガスを用いて処理室内にプラズマを形成して処理する複数の処理ステップを含む工程により前記ウエハを処理するプラズマ処理方法であって、
前記工程が、前記前後の2つの処理ステップの間において前記処理室内に希ガスが供給される移行ステップであって、前記希ガスがその圧力を前記前の処理ステップで用いられる前記処理用ガスの条件と等しくなるように調節されて供給される当該第1の移行ステップと、当該第1の移行ステップの後に前記希ガスがその圧力と流量とを前記後の処理ステップで用いられる前記処理用ガスの条件と等しくなるように調節されて供給される第2の移行ステップとを含む移行ステップを備えたプラズマ処理方法。 - 請求項5に記載のプラズマ処理方法であって、
前記ガス供給ユニットは、前記真空容器と連結されたガス導入ラインと、このガス導入ラインと連通された前記複数の処理ステップにおいて用いられる前記処理用ガスを供給する第1のガス供給ライン及び前記第1及び第2の移行ステップ各々で用いられる前記希ガスが供給される第2及び第3のガス用供給ラインと、第1、第2、第3のガス供給ラインの各々に接続され且つ排気ポンプと連通された第1及び第2の捨てガスラインと、これら第1、第2、第3のガス供給ラインと前記ガス導入ライン及び第1及び第2の捨てガスラインの各々との間の連通を開閉する少なくとも1つのバルブとを備え、
前記工程の2つの処理ステップとこれらの間の第1及び第2の移行ステップに応じて前記バルブが切り替えられて前記ウエハを処理するプラズマ処理方法。 - 請求項5または6に記載のプラズマ処理方法であって、
前記前の処理ステップの間に前記希ガスが前記第1の移行ステップにおいて用いられる条件で前記第1の捨てガスラインに供給され、前記第1の移行ステップの間に前記希ガスが前記2の移行ステップにおいて用いられる条件で前記第2の捨てガスラインに供給されるようプラズマ処理方法。
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