JP2018160157A - 半導体パッケージ - Google Patents

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Japan
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memory chips
substrate
controller chip
semiconductor package
chip
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松本 学
Manabu Matsumoto
学 松本
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Kioxia Corp
Original Assignee
Toshiba Memory Corp
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Abstract

【課題】半導体パッケージの小型化、薄型化及び半導体パッケージの動作信頼性を向上させる。
【解決手段】半導体パッケージ1は、第1面21aと、第1面とは反対側に位置した第2面21bと、を有する基板21と、第1面側に設けられるとともに積層された複数の第1メモリチップ12a及び複数の第2メモリチップ12bと、第1面側に設けられるとともに、複数の第1メモリチップと、複数の第2メモリチップと、の間に位置したコントローラチップ11と、第2面側に設けられた複数の半田ボールと、を備える。複数の第1メモリチップは、複数の第1メモリチップとコントローラチップとの並び方向において、コントローラチップ側にずらされて積層され、複数の第2メモリチップは、複数の第2メモリチップとコントローラチップとの並び方向において、コントローラチップ側にずらされて積層される。
【選択図】図4

Description

本発明の実施形態は、半導体パッケージに関する。
半導体メモリチップを備えた半導体パッケージが提供されている。
特開2013−200595号公報
本発明の実施形態は、半導体パッケージの小型化、薄型化に貢献する。また、本発明の
実施形態は、半導体パッケージの動作信頼性を向上させる。
実施形態の半導体パッケージは、第1面と、該第1面とは反対側に位置した第2面と、
を有した基板と、前記第1面側に設けられるとともに積層された複数の第1メモリチップ
と、前記第1面側に設けられるとともに積層された複数の第2メモリチップと、前記第1
面側に設けられるとともに、複数の前記第1メモリチップと、複数の前記第2メモリチッ
プと、の間に位置したコントローラチップと、前記第2面側に設けられた複数の半田ボー
ルと、を備え、複数の前記第1メモリチップは、複数の該第1メモリチップと前記コント
ローラチップとの並び方向において、該コントローラチップ側にずらされて積層され、複
数の前記第2メモリチップは、複数の該第2メモリチップと前記コントローラチップとの
並び方向において、該コントローラチップ側にずらされて積層される。
実施形態に係る半導体パッケージが搭載される電子機器の一例を示した図。 実施形態に係る回路基板の構成の一部を模式的に示した図。 実施形態に係る半導体パッケージの構成の一例を示したブロック図。 実施形態に係る半導体パッケージの断面図。 実施形態に係る半導体パッケージの上面図。 実施形態に係る半導体パッケージの一部構成を除外して示した図。 実施形態に係る半田ボールの配列を示した図。 実施形態に係る半田ボールのアサインを模式的に示した図。
以下、実施の形態について、図面を参照して説明する。
本明細書では、いくつかの要素に複数の表現の例を付している。なおこれら表現の例は
あくまで例示であり、上記要素が他の表現で表現されることを否定するものではない。ま
た、複数の表現が付されていない要素についても、別の表現で表現されてもよい。
また、図面は模式的なものであり、厚みと平面寸法との関係や各層の厚みの比率などは
現実のものと異なることがある。また、図面相互間において互いの寸法の関係や比率が異
なる部分が含まれることもある。
(第1実施形態)
図1乃至図8は、第1実施形態に係る半導体パッケージ1を示す。半導体パッケージ1
は、「半導体装置」の一例である。本実施形態に係る半導体パッケージ1は、いわゆるB
GA−SSD(Ball Grid Array-Solid State Drive)であり、複数の半導体メモリチッ
プとコントローラとが一つのBGAタイプのパッケージとして一体に構成される。
図1は、本実施形態に係る半導体パッケージ1が搭載される電子機器2の一例を示す。
電子機器2は、筐体3と、この筐体3に収容された回路基板4(メインボード)とを有す
る。半導体パッケージ1は、回路基板4に取り付けられ、電子機器2のストレージ装置と
して機能する。回路基板4は、ホストコントローラ5(例えばCPU)を有する。ホスト
コントローラ5は、例えばサウスブリッジを含み、半導体パッケージ1を含む電子機器2
の全体の動作を制御する。
図2は、回路基板4の構成の一部を模式的に示す。本実施形態に係るホストコントロー
ラ5及び半導体パッケージ1は、PCI−express(以下、PCIe)の規格に則
したインタフェースを有する。ホストコントローラ5と半導体パッケージ1との間には、
複数本の信号ライン6が設けられている。半導体パッケージ1は、信号ライン6を介して
、ホストコントローラ5との間でPCIeの規格に則した高速信号をやり取りする。
尚、ホストコントローラ5及び半導体パッケージ1は、必ずしもPCIeの規格に則し
たインタフェースを有するのではなく、例えば、SAS(Serial Attached SCSI)やSA
TA(Serial Advanced Technology Attachment)、NVMe(Non Volatile Memory Exp
ress)、USB(Universal Serial Bus)等の他の規格が用いられてもよい。
回路基板4には、電源回路7が設けられている。電源回路7は、電源ライン8(8a,
8b)を介して、ホストコントローラ5及び半導体パッケージ1に接続されている。電源
回路7は、電子機器2が動作するための各種の電源をホストコントローラ5及び半導体パ
ッケージ1に供給する。
次に、半導体パッケージ1の構成について説明する。
図3は、半導体パッケージ1の構成の一例を示すブロック図である。半導体パッケージ
1は、コントローラチップ11(コントローラ)、半導体メモリチップ12、DRAMチ
ップ13、オシレータ(OSC)14、EEPROM(Electrically Erasable and Prog
rammable ROM)15、及び温度センサ16を備える。
コントローラチップ11は、半導体メモリチップ12の動作を制御する半導体チップで
ある。半導体メモリチップ12は、例えばNANDチップ(NANDフラッシュメモリ)
である。尚、NANDチップは、不揮発性メモリであり、電源供給を行わない状態でもデ
ータを保持する。DRAMチップ13(DRAM)は、半導体メモリチップ12の管理情
報の保管やデータのキャッシュなどに用いられる。
オシレータ(OSC)14は、所定周波数の動作信号をコントローラチップ11に供給
する。EEPROM15は、制御プログラム等を固定情報として格納している。EEPR
OM15は、不揮発性メモリの一例である。温度センサ16は、半導体パッケージ1内の
温度を検出し、コントローラチップ11に通知する。
コントローラチップ11は、温度センサ16から受信した温度情報を用いて半導体パッ
ケージ1の各部の動作を制御する。例えば、温度センサ16で検出された温度が所定以上
であった場合、コントローラチップ11は、半導体パッケージ1の動作速度を調節し、半
導体パッケージ1の動作を所定時間または所定間隔で停止し、半導体パッケージ1の温度
を許容値以下に抑える。
次に、半導体パッケージ1の構造について説明する。
図4は、半導体パッケージ1の断面図である。また、図5は、半導体パッケージ1の上
面図である。尚、図4、及び図5では、説明の便宜上、半導体パッケージ1に備えられる
オシレータ14、EEPROM15等の一部の構成を省略している。また、図5では、半
導体パッケージ1の構成の中で、後述する封止部23(モールド材)を省略している。
半導体パッケージ1は、基板21(パッケージ基板)、コントローラチップ11、複数
の半導体メモリチップ12、ボンディングワイヤ22、封止部23(モールド材)、マウ
ントフィルム24、及び複数の半田ボール25を備える。
基板21は、多層の配線基板であり、電源層28及びグランド層29を有する。基板2
1は、第1面21aと、該第1面21aとは反対側に位置した第2面21bとを有する。
コントローラチップ11は、基板21の第1面21aに載せられている。コントローラ
チップ11は、例えばマウントフィルム24によって基板21に固定されている。また、
コントローラチップ11は、ボンディングワイヤ22によって基板21に電気的に接続さ
れている。基板21の第1面21aには、コントローラチップ11及びボンディングワイ
ヤ22を封止する封止部23が設けられている。
複数の半導体メモリチップ12は、基板21の第1面21aに載せられるとともに、各
々が積層されている。尚、半導体メモリチップ12は、マウントフィルム24によって第
1面21aに固定される。また、積層された半導体メモリチップ12は、互いにマウント
フィルム24によって固定される。複数の半導体メモリチップ12は、ボンディングワイ
ヤ22を介して基板21に電気的に接続されている。半導体メモリチップ12は、基板2
1を介して、コントローラチップ11に電気的に接続されている。
尚、図4及び図5に示すように、本実施形態において複数の半導体メモリチップ12は
、基板21の第1面21a上において2箇所に分けて積層される。以降、説明の便宜上、
一方の半導体メモリチップ群に含まれる半導体メモリチップ12を特に半導体メモリチッ
プ12a、他方の半導体メモリチップ群に含まれる半導体メモリチップ12を特に半導体
メモリチップ12b、とする。さらに、複数の半導体メモリチップ12(12a及び12
b)の内、積層の最下層に位置した半導体メモリチップ12a及び12bを、特に半導体
メモリチップ12aZ及び12bZとする。
DRAMチップ13は、基板21の第1面21aに載せられている。尚、DRAMチッ
プ13は、図示されないマウントフィルム24によって第1面21aに固定される。DR
AMチップ13は、ボンディングワイヤ22を介して基板21に電気的に接続されている
。DRAMチップ13は、基板21を介して、コントローラチップ11に電気的に接続さ
れており、例えば半導体メモリチップ12の管理情報の保管やデータのキャッシュなどに
用いられる。
温度センサ16は、基板21の第1面21aに載せられており、半導体パッケージ1内
の温度を検出し、コントローラチップ11に通知する。尚、温度センサ16は半導体パッ
ケージ1内において、例えばコントローラチップ11の近傍に位置する。より具体的には
、基板21の第1面21aに載せられた半導体メモリチップ12aZ及び12bZ、コン
トローラチップ11、並びにDRAMチップ13の中で、コントローラチップ11と温度
センサ16との距離が、最も短い。
図4及び図5に示すようにコントローラチップ11は、基板21の第1面21aにおい
て、積層された複数の半導体メモリチップ12a及び12bの内、最下の半導体メモリチ
ップ12aZ及び12bZが載せられた領域の間の領域に位置する。
図6は、積層された複数の半導体メモリチップ12の内、最下の半導体メモリチップ1
2aZ及び12bZ以外を図5から除外して示した図である。本実施形態においてコント
ローラチップ11、DRAMチップ13、及び温度センサ16は、半導体メモリチップ1
2aと半導体メモリチップ12bとの間の領域Aに実装される。尚、図6において領域A
は、一点鎖線で囲まれた領域であるとする。
また、本実施形態において半導体メモリチップ12a及び12bは、其々基板21の中
心に向かってずらされて(オフセットされて)積層される。このとき、例えば半導体メモ
リチップ12aZ、コントローラチップ11、及び半導体メモリチップ12bZの並び方
向を第1方向とすると、複数の半導体メモリチップ12aは、第1方向においてコントロ
ーラチップ11に向かってずらされて積層される。また、複数の半導体メモリチップ12
bは、第1方向においてコントローラチップ11に向かってずらされて積層される。
本実施形態において複数の半導体メモリチップ12は、基板21の第1面21a上に2
箇所に分けて積層される。したがって、例えば半導体パッケージ1に含まれるすべての半
導体メモリチップ12を1箇所に積層する場合と比較して、半導体パッケージ1の厚さを
薄くすることが可能である。
また、複数の半導体メモリチップ12を2箇所に分けて基板21上に積層させる場合、
半導体パッケージ1に含まれるすべての半導体メモリチップ12を1箇所に積層する場合
と比較して、半導体メモリチップ1其々の厚さを厚く設定することが可能である。したが
って、半導体パッケージ1の実装信頼性や動作信頼性、さらには製造性を向上させること
が可能である。
また、本実施形態において複数の半導体メモリチップ12a及び12bは、互いに向か
い合う方向にずらされて積層される。また、複数の半導体メモリチップ12aと複数の半
導体メモリチップ12bとの間に、コントローラチップ11が設けられる。コントローラ
チップ11が、複数の半導体メモリチップ12aと複数の半導体メモリチップ12bとの
間に設けられることにより、基板21の内部配線層又は基板21上における、半導体メモ
リチップ12とコントローラチップ11との配線距離を短くすることが可能である。
前述のように、半導体メモリチップ12とコントローラチップ11との配線距離が短く
なることで、寄生容量、寄生抵抗、及び寄生インダクタンス等の増加や信号遅延を抑制す
ることができる。また、半導体メモリチップ12とコントローラチップ11との配線距離
が長い場合と比較して、信号配線の特性インピーダンスの維持が容易となる。
次に、基板21の第2面21b側に設けられた複数の半田ボール25について説明する
図4に示すように、基板21の第2面21bには、外部接続用の複数の半田ボール25
が設けられている。図7は、基板21の第2面21bにおける半田ボール25の配列を示
す。図7に示すように、複数の半田ボール25は、基板21の第2面21bの全体に配置
されず、例えば部分的に配置されている。また、図8は、これら半田ボール25のアサイ
ンを模式的に示す。なお図7及び図8は、説明の便宜上、回路基板4に載せられた姿勢を
基準(半導体パッケージ1を上方から見た姿勢を基準)にしたボール配置を示す。
尚、図7及び図8に示した半田ボール25の位置関係や個数、アサイン等はあくまで一
例であり、例えば半導体パッケージ1内の半導体メモリチップ12やコントローラチップ
11等の各チップ、電子部品等の配置や、半導体パッケージ1の外形寸法等によって適宜
変更可能である。
本実施形態に係る複数の半田ボール25は、PCIe信号ボールE、その他の信号ボー
ルS、電源ボールP、グランドボールG、及びサーマルボールT(放熱ボール)を含む。
尚、図8においてサーマルボールTはハッチングにより示されており、その他、PCIe
信号ボールE、電源ボールP、グランドボールG、は其々、E、P、Gと示されている。
尚、図8のアサインにおいて、特定の割り当てがされていない半田ボール25は、サーマ
ルボールT、PCIe信号ボールE、電源ボールP、グランドボールG、及びその他の信
号ボールS、の何れが割り当てられても良いものとする。
図8に示すように、複数の半田ボール25は、第1郡G1、第2郡G2、及び第3郡G
3に分かれて配置されている。第1郡G1は、基板21の中央部に位置する。換言すれば
、第1群1Gの半田ボール25が位置した領域は、基板21の中心を含む。第1郡G1は
、基板21の中央部に設けられた複数のサーマルボールTと、この複数のサーマルボール
Tを囲むように配置された複数の電源ボールP、グランドボールG、及び信号ボールSを
有する。
サーマルボールTは、基板21のグランド層29または電源層28に電気的に接続され
ている。このため、コントローラチップ11などの熱は、グランド層29または電源層2
8を介してサーマルボールTに移動しやすい。
また、サーマルボールTは、例えばコントローラチップ11及び半導体メモリチップ1
2とは電気的に接続されない。尚、サーマルボールTは、コントローラチップ11及び半
導体メモリチップ12の他に、例えばDRAMチップ13とも電気的に接続されない構成
でも良い。
サーマルボールTは、半導体パッケージ1の熱の一部を回路基板4に逃がす(放熱する
)。例えば本実施形態では、半導体メモリチップ12を2箇所に分けて基板21上に積層
させているため、基板21の中心部にコントローラチップ11が実装される。コントロー
ラチップ11は、基板21の中央部に位置し、第1郡G1のサーマルボールTに重なる。
ここで、コントローラチップ11は、半導体パッケージ1に含まれる他の部品(例えば
、半導体メモリチップ12やDRAMチップ13)と比較して、動作時の発熱量が大きい
。換言すれば、半導体パッケージ1の動作中においてコントローラチップ11は、半導体
メモリチップ12やDRAMチップ13よりも温度が高くなり得る。
そこで、第1郡G1のサーマルボールTが基板21上においてコントローラチップ11
と対応した位置に設けられることで、コントローラチップ11から基板21に伝わる熱の
一部をより効率的に回路基板4に逃がすことが可能である。尚、ここでの「コントローラ
チップ11と対応した位置」とは、換言すれば、「コントローラチップ11と重なる位置
(領域)」である。つまり、第1郡G1のサーマルボールTは、例えば基板21の第1面
21a側から見た場合に、基板21の第2面21b上においてコントローラチップ11と
重なる領域に設けられる。
尚、本実施形態において、コントローラチップ11と対応した位置に設けられる複数の
半田ボール25の内、すべてがサーマルボールTである必要は無い。例えば、コントロー
ラチップ11と対応した位置に設けられる複数の半田ボール25の内、半数以上がサーマ
ルボールTであればよい。
電源ボールPは、基板21の電源層28に電気的に接続され、半導体パッケージ1に各
種の電源を供給する。グランドボールGは、基板21のグランド層29に電気的に接続さ
れ、接地電位となる。
図8に示すように、第2郡G2は、第1郡G1を囲う枠状に並べられている。第2郡G
2と第1郡G1との間には隙間が存在する。換言すれば、第2郡G2の半田ボール25と
第1群G1の半田ボール25とは、第1群G1の半田ボール25同士の距離よりも離間し
て位置している。第2郡G2は、PCIe信号ボールE、信号ボールS、電源ボールP、
及びグランドボールGを有する。
PCIe信号ボールEは、高速差動信号(出力、ポジティブ)と、高速差動信号(出力
、ネガティブ)と、で出力差動ペアを構成する。また、PCIe信号ボールEは、高速差
動信号(入力、ポジティブ)と、高速差動信号(入力、ネガティブ)と、で入力差動ペア
を構成する。さらに、前述した入力差動ペアと出力差動ペアとによって、一対の高速差動
入力信号と高速差動出力信号からなる信号セットに対応した半田ボールセットBS(レー
ン)を構成する。
尚、半導体パッケージ1は、前述した半田ボールセットを複数セット有する。本実施形
態において半導体パッケージ1は、図8に示すように、半田ボールセットを2セット有す
る。尚、半導体パッケージ1は、半田ボールセットを1セット有しても良く、また、半田
ボールセットは4セットや8セット備えられても良い。
また、本実施形態において前述した半田ボールセットは、基板21の第1辺41aの近
くに纏めて配置される。換言すれば、半田ボールセットは、基板21の第1辺41aと基
板21の中心との間に位置する。このため、半導体パッケージ1が回路基板4に取り付け
られる際に、基板21上において半田ボールセットをホストコントローラ5の近くに位置
するように実装可能である。
尚、前述のように、半田ボールセットがホストコントローラ5側に寄せて配置されるこ
とで、ホストコントローラ5とPCIe信号ボールEとの間の配線距離を短くすることが
可能である。
回路基板4は、PCIe信号ボールEとホストコントローラ5とを電気的に接続する信
号ライン6(配線パターン)を有する。信号ライン6は、例えば回路基板4の表層に設け
られている。
信号ライン6は、PCIe信号ボールEが接続された図示されないパッド(接続部)か
らホストコントローラ5に向いて例えば直線状に延びている。信号ライン6は、例えば同
じ配線長を有する。すなわち、ホストコントローラ5と複数のPCIe信号ボールEとの
間には信号ライン6の等長性が確保されている。
図8に示すように、半田ボール25の第2郡G2は、PCIe信号ボールEの周囲に配
置された複数のグランドボールGを含む。グランドボールGは、半田ボールセット間に設
けられる。
このため、前述した差動入力信号および差動出力信号が互いに独立するように電気的に
シールドされ、信号の相互干渉や外来ノイズの影響が抑制されている。
また、いくつかのグランドボールGは、信号ライン6とは反対側からPCIe信号ボー
ルEに面する。これにより、複数の差動信号が他の信号から独立するように電気的にシー
ルドされ、信号の相互干渉や外来ノイズの影響が抑制されている。
図8に示すように、半田ボール25の第3郡G3は、複数のサーマルボールTを含む。
第3郡G3は、第2郡G2のさらに外側に位置する。第3郡G3は、第2郡G2と基板2
1の外周縁との間に位置する。すなわち、複数のサーマルボールTは、前述した半田ボー
ルセットよりも、基板21の外周縁の近くに位置する。
サーマルボールTは、基板21の第1辺41aと半田ボールセットとの間の領域におい
て、基板21の第1辺41aと略直交した方向で、半田ボールセットと並ぶ領域を避けて
配置されている。すなわち、サーマルボールTは、信号ライン6が通る領域を避けて配置
されている。これにより、信号ライン6は、サーマルボールTと物理的に干渉することな
く、回路基板4の表層に直線状に延びることができる。
別の観点で見れば、サーマルボールTは、PCIe信号ボールEの間に位置したグラン
ドボールGに対して、基板21の第1辺41aと略直交した方向で並ぶ領域に配置されて
いる。サーマルボールTは、複数の信号ライン6の間及び信号ライン6の両側に位置する
。サーマルボールTは、例えば基板21のグランド層29に電気的に接続され、電気的な
シールドとして信号ライン6に流れる信号の相互干渉や外来ノイズの影響を抑制すること
に寄与する。
尚、図7に示すように、基板21は、第1領域43aと、第2領域43bとを有する。
第2領域43bは、半田ボール25の第2郡G2の内側に位置した領域である。第2領域
43bは、半田ボールセットよりも、基板21の中央部に近い領域である。
一方で、第1領域43aは、半田ボール25の第2郡G2の外側に位置した領域である
。第1領域43aは、半田ボールセットよりも、基板21の外周側に位置した領域である
。そして、第2領域43bにおけるサーマルボールTの配置密度は、第1領域43aにお
けるサーマルボールTの配置密度よりも高い。なお「配置密度」とは、各領域に配置され
たサーマルボールTの数を各領域の面積で割ったものである。
次に、電源ボールP及びグランドボールGの配置について説明する。
図8に示すように、複数の電源ボールP及び複数のグランドボールGは、基板21の中
心に対して略点対称に配置されている。なお、「略点対象」とは、完全に点対称な場合に
加えて、例えば少数(例えば1つ)のグランドボールGが点対称に配置されていない場合
も含む。
別の観点では、複数の電源ボールP及び複数のグランドボールGは、そのどちらか一方
が基板21の中心に対して点対称に配置されていればよい。本実施形態では、複数の電源
ボールPは、基板21の中心に対して点対称に配置されている。
ここで、複数の電源ボールP及び複数のグランドボールGが略点対称に配置されていな
い場合、正規の向きに対して誤って180度回転させた状態で半導体パッケージ1を基板
21に取り付けると、回路基板4の図示されない電源用パッドと半導体パッケージ1のグ
ランドボールGとが接続され、ショートする可能性がある。
一方で、本実施形態のように複数の電源ボールP及び複数のグランドボールGは、基板
21の中心に対して略点対称に配置されていると、正規の向きに対して誤って180度回
転させた状態で半導体パッケージ1を基板21に取り付けた場合でも、複数の電源ボール
Pと複数の電源用パッド、及び複数のグランドボールGと図示されない複数のグランド用
パッドとの対応関係は維持される。このため、ショートが生じる可能性がなく、システム
全体および半導体パッケージ1の損傷を防止することができる。
回路基板4のパッドは、電源ボールPが接続される電源用パッドと、グランドボールG
が接続されるグランド用パッドとを含む。
複数の電源ボールP及び複数のグランドボールGが略点対称に配置されることで、半導
体パッケージ1を正規の向きに対して誤って180度回転させて回路基板4に取り付けた
場合でも、電源ボールPと電源用パッド、及びグランドボールGとグランド用パッドとの
対応関係が維持される。
本実施形態において複数の半導体メモリチップ12は、基板21の第1面21a上に2
箇所に分けて積層されるため、半導体パッケージ1の厚さを薄くすることが可能である。
また、複数の半導体メモリチップ12を2箇所に分けて基板21上に積層させる場合、
半導体メモリチップ1其々の厚さを厚く設定することができ、半導体パッケージ1の実装
信頼性や動作信頼性、さらには製造性を向上させることが可能である。
また、本実施形態において複数の半導体メモリチップ12a及び12bは、互いに向か
い合う方向にずらされて積層されるため、複数の半導体メモリチップ12aと12bとの
間に、コントローラチップ11を実装するためのスペースを確保できる。
さらに、本実施形態において複数の半導体メモリチップ12a及び12bは、互いに向
かい合う方向にずらされて積層され、複数の半導体メモリチップ12a及び12bの間の
領域には、コントローラチップ11が設けられる。コントローラチップ11が、複数の半
導体メモリチップ12aと複数の半導体メモリチップ12bとの間に設けられることによ
り、基板21の内部配線層又は基板21上における、半導体メモリチップ12とコントロ
ーラチップ11との配線距離を短くすることが可能である。
さらに、コントローラチップ11が、複数の半導体メモリチップ12aと複数の半導体
メモリチップ12bとの間に設けられることにより、コントローラチップ11と、複数の
半導体メモリチップ12aおよび複数の半導体メモリチップ12bと、を接続する配線が
、コントローラチップ11の両側から伸びることになるため、基板21上(又は基板21
の内部)における配線の複雑化を抑制可能である。
また、本実施形態において温度センサ16は、基板21の第1面21aに載せられてい
ると同時に、複数の半導体メモリチップ12aと複数の半導体メモリチップ12bとの間
の領域(領域A)に設けられる。このため、温度センサ16は、コントローラチップ11
の近傍に設けられ、半導体パッケージ1の温度検出の精度が向上され得る。
また、コントローラチップ11は、複数の半導体メモリチップ12aと複数の半導体メ
モリチップ12bとの間の領域(領域A)に設けられている。つまり、本実施形態におい
てコントローラチップ11は、基板21の中心を含んだ領域に設けられる。このため、基
板21の第2面21bにおいて、コントローラチップが実装された領域に対応した位置に
サーマルボールTが設けられ、半導体パッケージ1の放熱特性が向上される。
以上、本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示
したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は
、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、
種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形例は、発明
の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に
含まれる。
1:半導体パッケージ、2:電子機器、3:筐体、4:回路基板(メインボード)、5:
ホストコントローラ(CPU)、6:信号ライン、7:電源回路、8:電源ライン、11
:コントローラチップ(コントローラ)、12:半導体メモリチップ(NANDチップ)
、13:DRAMチップ、14:オシレータ(OSC)、15:EEPROM、16:温
度センサ、21:基板、22:ボンディングワイヤ、23:封止部(モールド材)、24
:マウントフィルム、25:半田ボール、28:電源層、29:グランド層。

Claims (8)

  1. 第1面と、該第1面とは反対側に位置した第2面と、を有した基板と、
    前記第1面側に設けられるとともに積層された複数の第1メモリチップと、
    前記第1面側に設けられるとともに積層された複数の第2メモリチップと、
    前記第1面側に設けられ、複数の前記第1メモリチップと、複数の前記第2メモリチッ
    プと、の間に位置するとともに、複数の該第1メモリチップと、複数の該第2メモリチッ
    プと、を制御可能なコントローラチップと、
    複数の前記第1メモリチップと、複数の前記第2メモリチップと、前記コントローラチ
    ップと、を封止した封止部と、
    前記第2面側に設けられた複数の半田ボールと、
    を備え、
    複数の前記第1メモリチップは、複数の該第1メモリチップと前記コントローラチップ
    との並び方向において、該コントローラチップ側にずらされて積層され、
    複数の前記第2メモリチップは、複数の該第2メモリチップと前記コントローラチップ
    との並び方向において、該コントローラチップ側にずらされて積層された半導体パッケー
    ジ。
  2. 前記複数の半田ボールは、前記第1メモリチップと、前記第2メモリチップと、前記コ
    ントローラチップとの内、少なくともいずれか1つと電気的に接続された複数の第1半田
    ボールと、前記第1メモリチップと、前記第2メモリチップと、前記コントローラチップ
    との内、いずれとも電気的に接続されない複数の第2半田ボールと、を含む請求項1に記
    載の半導体パッケージ。
  3. 前記基板の前記第2面の前記コントローラチップと重なる領域において、前記第1半田
    ボールよりも前記第2半田ボールが多く設けられた請求項2に記載の半導体パッケージ。
  4. 前記基板は、グランド層と電源層とを含み、前記複数の第2半田ボールは、前記グラン
    ド層と電気的に接続された請求項2又は請求項3に記載の半導体パッケージ。
  5. 前記基板の前記第1面には温度センサが実装され、該温度センサは、前記コントローラ
    チップの近傍に設けられる請求項1乃至請求項4のいずれか1項に記載の半導体パッケー
    ジ。
  6. 前記基板は、前記第2面において第1領域と、該第1領域の内側に位置し、前記複数の
    半田ボールの配置密度が該第1領域における前記複数の半田ボールの配置密度よりも高い
    第2領域と、を含む請求項1乃至請求項5のいずれか1項に記載の半導体パッケージ。
  7. 前記第1領域には、前記複数の第2半田ボールのみが設けられた請求項6に記載の半導
    体パッケージ。
  8. 第1面と、該第1面とは反対側に位置した第2面と、を有した基板と、
    前記第1面側に設けられるとともに、前記基板の中心に向かってオフセットされて積層
    された複数の第1メモリチップと、
    前記第1面側に設けられるとともに、前記基板の中心に向かってオフセットされて積層
    された複数の第2メモリチップと、
    前記第1面側に設けられ、複数の前記第1メモリチップと、複数の前記第2メモリチッ
    プと、を制御可能なコントローラチップと、
    複数の前記第1メモリチップと、複数の前記第2メモリチップと、前記コントローラチ
    ップと、を纏めて封止した封止部と、
    前記第2面側に設けられた複数の半田部と、
    を備えた半導体パッケージ。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10840220B2 (en) 2019-03-22 2020-11-17 Toshiba Memory Corporation Semiconductor device

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2020150145A (ja) * 2019-03-14 2020-09-17 キオクシア株式会社 半導体装置
KR20210019226A (ko) * 2019-08-12 2021-02-22 에스케이하이닉스 주식회사 적층 반도체 칩을 포함하는 반도체 패키지
JP2021077698A (ja) * 2019-11-06 2021-05-20 キオクシア株式会社 半導体パッケージ
CN110993597A (zh) * 2019-12-12 2020-04-10 北京计算机技术及应用研究所 一种缩小封装体积的封装堆叠结构
CN110993590A (zh) * 2019-12-19 2020-04-10 华天科技(西安)有限公司 一种减小3d nand产品尺寸的封装结构及其制造方法
JP2022135727A (ja) * 2021-03-05 2022-09-15 キオクシア株式会社 半導体装置

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009111062A (ja) * 2007-10-29 2009-05-21 Toshiba Corp 半導体装置及びその製造方法
US20150200187A1 (en) * 2014-01-16 2015-07-16 Chul Park Semiconductor package including stepwise stacked chips
JP2015135875A (ja) * 2014-01-16 2015-07-27 株式会社東芝 半導体パッケージおよび電子機器

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6376904B1 (en) * 1999-12-23 2002-04-23 Rambus Inc. Redistributed bond pads in stacked integrated circuit die package
US8823165B2 (en) * 2011-07-12 2014-09-02 Invensas Corporation Memory module in a package
KR102576764B1 (ko) * 2016-10-28 2023-09-12 에스케이하이닉스 주식회사 비대칭 칩 스택들을 가지는 반도체 패키지

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009111062A (ja) * 2007-10-29 2009-05-21 Toshiba Corp 半導体装置及びその製造方法
US20150200187A1 (en) * 2014-01-16 2015-07-16 Chul Park Semiconductor package including stepwise stacked chips
JP2015135875A (ja) * 2014-01-16 2015-07-27 株式会社東芝 半導体パッケージおよび電子機器

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10840220B2 (en) 2019-03-22 2020-11-17 Toshiba Memory Corporation Semiconductor device

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