JP2018158737A

JP2018158737A - ブレードケース

Info

Publication number: JP2018158737A
Application number: JP2017055909A
Authority: JP
Inventors: 日彬清水; Yoshiaki Shimizu
Original assignee: Disco Abrasive Systems Ltd
Current assignee: Disco Corp
Priority date: 2017-03-22
Filing date: 2017-03-22
Publication date: 2018-10-11
Anticipated expiration: 2037-03-22
Also published as: JP6896329B2

Abstract

【課題】蓋部を下にした状態で収容部側を開いた場合でも、蓋部により切削ブレードを適切に保持できるブレードケースを提供する。【解決手段】表面側に突出する被把持部を有する環状の基台を備える切削ブレードを収容するブレードケースであって、天板、及び該天板の一方の面側の外周部に設けられた側壁を有する蓋部と、天板の一方の面側に配置され、切削ブレードの移動を規制する移動規制部材と、を備え、移動規制部材は、天板の形状に対応する平板状に形成されるとともに、切削ブレードの被把持部が嵌合される嵌合孔を有し、蓋部が開かれた開状態では、移動規制部材の嵌合孔に切削ブレードの被把持部を嵌合させることで、蓋部により切削ブレードを保持できるように構成されている。【選択図】図１

Description

本発明は、板状の被加工物を切削加工する際に用いられる切削ブレードを収容するためのブレードケースに関する。

携帯電話機やパーソナルコンピュータに代表される電子機器では、電子回路等のデバイスを備えるデバイスチップが必須の構成要素になっている。デバイスチップは、例えば、シリコン等の半導体材料でなるウェーハの表面を複数の分割予定ライン（ストリート）で区画し、各領域にデバイスを形成した後、この分割予定ラインに沿ってウェーハを分割することで得られる。

ウェーハを複数のデバイスチップへと分割する際には、例えば、回転軸（スピンドル）に環状の切削ブレードが装着された切削装置を使用する。高速に回転させた切削ブレードを被加工物の分割予定ラインに沿って深く切り込ませることで、この被加工物を切断して複数のデバイスチップへと分割できる。

切削ブレードの一態様として、アルミニウム等でなる環状の基台の外周部に、砥粒を含む切刃が固定されたハブタイプが知られている。このハブタイプの切削ブレードの切刃はめっき等の方法で薄く形成されることが多い。そこで、搬送等の際には、切削ブレードをブレードケースに収容して切刃の破損を防いでいる（例えば、特許文献１参照）。

特開平８−３２３５４５号公報

ところで、上述のブレードケースは、例えば、切削ブレードを収容するための収容領域のある収容部と、収容領域を閉じるための蓋部と、がヒンジ部を介して連結された構造を持つ。収容部には、切削ブレードの基台に設けられた孔に対応する形状の凸部が形成されており、切削ブレードは、この凸部を基台の孔に挿入した状態で収容領域に収容される。

切削ブレードをブレードケースから取り出す際には、通常、収容部を下にした状態で蓋部側を開く。基台の孔には収容部の凸部が挿入されているので、仮に、蓋部側が開かれた状態でブレードケースを傾けたとしても、切刃がブレードケースの内壁に接触して破損することはない。また、切削ブレードがブレードケースから脱落して破損することもない。

ところが、誤って、蓋部を下にした状態で収容部側を開いてしまうことがある。この場合には、収容部の凸部によって切削ブレードが保持されないので、例えば、ブレードケースを傾けてしまうと、切刃がブレードケースの内壁に接触して破損し易い。また、切削ブレードがブレードケースから脱落して破損する恐れもある。

本発明はかかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、蓋部を下にした状態で収容部側を開いた場合でも、蓋部により切削ブレードを保持できるブレードケースを提供することである。

本発明の一態様によれば、表面側から裏面側に貫通し回転軸が挿入される挿入孔、及び該挿入孔を囲み表面側に突出する被把持部を有する環状の基台と、該基台の外周部から該基台の径方向外側に突出する環状の切刃と、を備える切削ブレードを収容するブレードケースであって、底板、該底板の一方の面側の外周部に設けられた側壁、及び該挿入孔に対応して該底板の該一方の面に設けられ該切削ブレードを収容する際に該挿入孔に挿入される凸部を有する収容部と、天板、及び該天板の一方の面側の外周部に設けられた側壁を有する蓋部と、該収容部と該蓋部とを開閉可能に連結するヒンジ部と、該天板の該一方の面側に配置され、該切削ブレードの移動を規制する移動規制部材と、を備え、該移動規制部材は、該天板の形状に対応する平板状に形成されるとともに、該切削ブレードの該被把持部が嵌合される嵌合孔を有し、該蓋部が開かれた開状態では、該移動規制部材の該嵌合孔に該切削ブレードの該被把持部を嵌合させることで、該蓋部により該切削ブレードを保持できるブレードケースが提供される。

本発明の別の一態様によれば、表面側から裏面側に貫通し回転軸が挿入される挿入孔、及び該挿入孔を囲み表面側に突出する被把持部を有する環状の基台と、該基台の外周部から該基台の径方向外側に突出する環状の切刃と、を備える切削ブレードを収容するブレードケースであって、底板、該底板の一方の面側の外周部に設けられた側壁、及び該挿入孔に対応して該底板の該一方の面に設けられ該切削ブレードを収容する際に該挿入孔に挿入される凸部を有する収容部と、天板、及び該天板の一方の面側の外周部に設けられた側壁を有する蓋部と、該収容部と該蓋部とを開閉可能に連結するヒンジ部と、該天板の該一方の面側に設けられ、該切削ブレードの移動を規制する複数の係合ピンと、を備え、該複数の係合ピンは、該切削ブレードの該被把持部に対応する位置に配置され、該蓋部が開かれた開状態では、該複数の係合ピンに該切削ブレードの該被把持部を係合させることで、該蓋部により該切削ブレードを保持できるブレードケースが提供される。

本発明の更に別の一態様によれば、表面側から裏面側に貫通し回転軸が挿入される挿入孔、及び該挿入孔を囲み表面側に突出する被把持部を有する環状の基台と、該環状の基台の外周部から該基台の径方向外側に突出する環状の切刃と、を備える切削ブレードを収容するブレードケースであって、底板、該底板の一方の面側の外周部に設けられた側壁、及び該挿入孔に対応して該底板の該一方の面に設けられ該切削ブレードを収容する際に該挿入孔に挿入される凸部を有する収容部と、天板、及び該天板の一方の面側の外周部に設けられた側壁を有する蓋部と、該蓋部と該収容部とを開閉可能に連結するヒンジ部と、を備え、該天板の該一方の面側には、該切削ブレードの該被把持部が係合される係合凹部が形成されており、該蓋部が開かれた開状態では、該係合凹部に該切削ブレードの該被把持部を係合させることで、該蓋部により該切削ブレードを保持できるブレードケースが提供される。

本発明の一態様に係るブレードケースは、蓋部を構成する天板の一方の面側に配置され切削ブレードの移動を規制する移動規制部材を備えている。そして、この移動規制部材には、切削ブレードの被把持部が嵌合される嵌合孔が設けられている。そのため、移動規制部材の嵌合孔に切削ブレードの被把持部を嵌合させることで、蓋部により切削ブレードを保持できる。

また、本発明の別の一態様に係るブレードケースは、蓋部を構成する天板の一方の面側に設けられ切削ブレードの移動を規制する複数の係合ピンを備えている。そして、この複数の係合ピンは、切削ブレードの被把持部に対応する位置に配置されている。そのため、複数の係合ピンに切削ブレードの被把持部を係合させることで、蓋部により切削ブレードを保持できる。

また、本発明の更に別の一態様に係るブレードケースでは、蓋部を構成する天板の該一方の面側に切削ブレードの被把持部が係合される係合凹部が形成されている。そのため、係合凹部に切削ブレードの被把持部を係合させることで、蓋部により切削ブレードを保持できる。このように、本発明のブレードケースによれば、蓋部を下にした状態で収容部側を開いた場合でも、蓋部により切削ブレードを保持できる。

ブレードケース等の構成例を模式的に示す斜視図である。図２（Ａ）は、切削ブレードを収容部側に載せた状態を模式的に示す断面図であり、図２（Ｂ）は、切削ブレードを収容した状態を模式的に示す断面図であり、図２（Ｃ）は、切削ブレードを蓋部側に載せた状態を模式的に示す断面図である。図３（Ａ）は、第１変形例に係るブレードケース等の構成例を模式的に示す断面図であり、図３（Ｂ）は、第２変形例に係るブレードケース等の構成例を模式的に示す断面図である。

添付図面を参照して、本発明の実施形態について説明する。図１は、本実施形態に係るブレードケース２の構成例を模式的に示す斜視図である。ブレードケース２は、いわゆるハブタイプの切削ブレード（ハブブレード）１１を収容できるように構成されており、収容部４と蓋部６とを含む。

このブレードケース２に収容される切削ブレード１１は、例えば、環状の基台１３と、基台１３の外周部に固定された環状の切刃１５とで構成されている。基台１３は、例えば、アルミニウム等の金属を用いて形成され、その中央には、基台１３を表面（図１の上側の面）側から裏面側に貫通する孔（挿入孔）１３ａが設けられている。孔１３ａには、切削ブレード１１を回転させるための回転軸（スピンドル）が挿入される。

また、基台１３の表面側には、回転軸に対して切削ブレード１１を取り付ける際や、回転軸から切削ブレード１１を取り外す際に把持される被把持部１３ｂが設けられている。この被把持部１３ｂは、挿入孔１３ａを囲む環状に形成され、基台１３の表面側に突出している。

切刃１５は、ダイヤモンド等の砥粒を金属（代表的には、ニッケル）等の結合材で固めて形成され、基台１３の外周部から径方向外側に突出している。この切刃１５は、例えば、めっき等の方法で１０μｍ〜３０μｍ程度の厚みに形成される。ただし、基台１３や切刃１５の材質、大きさ（厚さ）、製法等に特段の制限はない。

収容部４及び蓋部６は、例えば、ポリプロピレン等の合成樹脂で一体に形成され、ヒンジ部８によって互いに連結されている。収容部４は、底板１０と、底板１０の第１面（一方の面）１０ａ側の外周部に設けられた側壁１２とを有している。側壁１２より内側が、切削ブレード１１を収容する第１収容領域１２ａとなる。

底板１０の中央には、第１面１０ａから突出する円筒状の第１凸部１４が設けられている。第１凸部１４の外周１４ａの径は、切削ブレード１１の基台１３に設けられた孔１３ａの径と概ね等しくなっている。また、底板１０の第１凸部１４を囲む位置には、第１面１０ａから突出する円環状の第２凸部１６が設けられている。第２凸部１６の外周１６ａの径は、切刃１５の内周の径よりも小さくなっている。

第１凸部１４を基台１３の孔１３ａに挿入するとともに、第２凸部１６に基台１３の裏面側を接触させれば、径方向への移動を規制しながら収容部４側で切削ブレード１１を保持できる。ヒンジ部８の反対側に位置する側壁１２の外側には、外向きの第１爪部１８が形成されている。

蓋部６は、天板２０と、天板２０の第１面（一方の面）２０ａ側の外周部に設けられた側壁２２とを有している。側壁２２より内側が、第２収容領域２２ａとなる。なお、側壁２２の高さは、収容部４の側壁１２の高さよりも低くなっている。また、ヒンジ部８の反対側に位置する側壁２２の内側には、内向きの第２爪部２４が形成されている。

このように構成されたブレードケース２では、ヒンジ部８を支点に蓋部６を回転させて閉じることで、切削ブレード１１を収容する第１収容領域１２ａを閉塞させることができる。この状態で、第１爪部１８と第２爪部２４とを係合させれば、蓋部６を閉じた閉状態が維持される。一方で、蓋部６を開いた開状態では、第１収容領域１２ａも開放される。

蓋部６の第２収容領域２２ａ、すなわち、天板２０の第１面２０ａ側には、切削ブレードの移動を規制するための移動規制部材２６が配置される。移動規制部材２６は、例えば、紙や合成樹脂、不織布等を用いて、天板２０の形状に対応する平板状に形成される。また、移動規制部材２６の中央には、孔（嵌合孔）２６ａが設けられている。

孔２６ａの径は、切削ブレード１１が有する被把持部１３ｂの外周の径に概ね等しくなっている。そのため、例えば、この孔２６ａに切削ブレード１１の被把持部１３ｂを嵌合させることで、径方向への移動を規制しながら蓋部６側で切削ブレード１１を保持できる。なお、移動規制部材２６の材質、大きさ（厚さ）、形状、製法等に特段の制限はない。

次に、本実施形態に係るブレードケース２の使用例を説明する。図２（Ａ）は、切削ブレード１１を収容部４側に載せた状態を模式的に示す断面図であり、図２（Ｂ）は、切削ブレード１１を収容した状態を模式的に示す断面図であり、図２（Ｃ）は、切削ブレード１１を蓋部６側に載せた状態を模式的に示す断面図である。

切削ブレード１１を収容部４側に載せる際には、例えば、図２（Ａ）に示すように、第１凸部１４を基台１３の孔１３ａに挿入するとともに、第２凸部１６に基台１３の裏面側を接触させる。なお、この状態では、第１凸部１４によって切削ブレード１１の径方向への移動が規制されることになる。

切削ブレード１１を収容部４側に載せた後には、図２（Ｂ）に示すように、蓋部６を閉じる。これにより、切削ブレード１１は、ブレードケース２に収容される。なお、この状態で、移動規制部材２６の孔２６ａには、切削ブレード１１の被把持部１３ｂが嵌合している。つまり、切削ブレード１１は蓋部６側でも保持されることになる。

切削ブレード１１をブレードケース２から取り出す際に、例えば、蓋部６を下にした状態で収容部４側を開いてしまった状況を想定する。この場合には、図２（Ｃ）に示すように、切削ブレード１１が蓋部６側に載せられてしまうが、切削ブレード１１の被把持部１３ｂは、移動規制部材２６の孔２６ａに嵌合しているので、仮に、ブレードケース２が傾いたとしても、切削ブレード１１は殆ど移動しない。よって、切削ブレード１１の破損を防止できる。

以上のように、本実施形態に係るブレードケースは、蓋部６を構成する天板２０の第１面（一方の面）２０ａ側に配置され切削ブレード１１の移動を規制する移動規制部材２６を備えている。そして、この移動規制部材２６には、切削ブレード１１の被把持部１３ｂが嵌合される孔（嵌合孔）２６ａが設けられている。そのため、移動規制部材２６の孔２６ａに切削ブレード１１の被把持部１３ｂを嵌合させることで、蓋部６により切削ブレード１１を保持できる。よって、蓋部６を下にした状態で収容部４側を開いた場合でも、蓋部６により切削ブレード１１を保持できる。

本発明は、上記実施形態等の記載に制限されず種々変更して実施可能である。例えば、上記実施形態では、平板状の移動規制部材２６を用いて切削ブレード１１の移動を規制しているが、他の構造で切削ブレード１１の移動を規制することもできる。図３（Ａ）は、第１変形例に係るブレードケース２等の構成例を模式的に示す断面図であり、図３（Ｂ）は、第２変形例に係るブレードケース２等の構成例を模式的に示す断面図である。

なお、第１変形例及び第２変形例に係るブレードケース２の基本的な構成要素は、上記実施形態に係るブレードケースの構成要素と共通している。よって、共通する構成要素には同じ符号を付して詳細な説明を省略する。

図３（Ａ）に示すように、第１変形例に係るブレードケース２は、移動規制部材２６の孔（嵌合孔）２６ａの代わりとなる複数のピン（係合ピン）２８が天板２０の第１面２０ａ側に設けられている。つまり、複数のピン２８は、切削ブレード１１の被把持部１３ｂに対応する位置に配置されている。

そのため、例えば、この複数のピン２８に切削ブレード１１の被把持部１３ｂを係合させることで、径方向への移動を規制しながら蓋部６側で切削ブレード１１を保持できる。なお、ピン２８の数や大きさに特段の制限はないが、径方向への移動を適切に規制できるように被把持部１３ｂの少なくとも３つの異なる位置と係合する態様でピン２８を設けると良い。

このように、第１変形例に係るブレードケース２は、蓋部６を構成する天板２０の第１面（一方の面）２０ａ側に設けられ切削ブレード１１の移動を規制する複数のピン（係合ピン）２８を備えている。そして、この複数のピン２８は、切削ブレード１１の被把持部１３ｂに対応する位置に配置されている。そのため、複数のピン２８に切削ブレード１１の被把持部１３ｂを係合させることで、蓋部６により切削ブレード１１を保持できる。

図３（Ｂ）に示すように、第２変形例に係るブレードケース２は、移動規制部材２６の孔（嵌合孔）２６ａの代わりとなる凹部（係合凹部）２０ｂが天板２０の第１面２０ａ側に形成されている。つまり、凹部２０ｂの径は、切削ブレード１１が有する被把持部１３ｂの外周の径に概ね等しくなっている。

そのため、例えば、この凹部２０ｂに切削ブレード１１の被把持部１３ｂを係合させることで、径方向への移動を規制しながら蓋部６側で切削ブレード１１を保持できる。なお、天板２０は、適切な深さの凹部２０ｂを形成できる程度に厚く形成されることが望ましい。

このように、第２変形例に係るブレードケース２は、蓋部６を構成する天板２０の第１面（一方の面）２０ａ側に切削ブレード１１の被把持部１３ｂが係合される凹部（係合凹部）２０ｂが形成されている。そのため、凹部２０ｂに切削ブレード１１の被把持部１３ｂを係合させることで、蓋部６により切削ブレード１１を保持できる。

その他、上記実施形態及び変形例に係る構造、方法等は、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更できる。

２ブレードケース
４収容部
６蓋部
８ヒンジ部
１０底板
１０ａ第１面
１２側壁
１２ａ第１収容領域
１４第１凸部
１４ａ外周
１６第２凸部
１６ａ外周
１８第１爪部
２０天板
２０ａ第１面
２０ｂ凹部（係合凹部）
２２側壁
２２ａ第２収容領域
２４第２爪部
２６移動規制部材
２６ａ孔（嵌合孔）
２８ピン（係合ピン）
１１切削ブレード
１３基台
１３ａ孔（挿入孔）
１３ｂ被把持部
１５切刃

Claims

表面側から裏面側に貫通し回転軸が挿入される挿入孔、及び該挿入孔を囲み表面側に突出する被把持部を有する環状の基台と、該基台の外周部から該基台の径方向外側に突出する環状の切刃と、を備える切削ブレードを収容するブレードケースであって、
底板、該底板の一方の面側の外周部に設けられた側壁、及び該挿入孔に対応して該底板の該一方の面に設けられ該切削ブレードを収容する際に該挿入孔に挿入される凸部を有する収容部と、
天板、及び該天板の一方の面側の外周部に設けられた側壁を有する蓋部と、
該収容部と該蓋部とを開閉可能に連結するヒンジ部と、
該天板の該一方の面側に配置され、該切削ブレードの移動を規制する移動規制部材と、を備え、
該移動規制部材は、該天板の形状に対応する平板状に形成されるとともに、該切削ブレードの該被把持部が嵌合される嵌合孔を有し、
該蓋部が開かれた開状態では、該移動規制部材の該嵌合孔に該切削ブレードの該被把持部を嵌合させることで、該蓋部により該切削ブレードを保持できることを特徴とするブレードケース。
表面側から裏面側に貫通し回転軸が挿入される挿入孔、及び該挿入孔を囲み表面側に突出する被把持部を有する環状の基台と、該基台の外周部から該基台の径方向外側に突出する環状の切刃と、を備える切削ブレードを収容するブレードケースであって、
底板、該底板の一方の面側の外周部に設けられた側壁、及び該挿入孔に対応して該底板の該一方の面に設けられ該切削ブレードを収容する際に該挿入孔に挿入される凸部を有する収容部と、
天板、及び該天板の一方の面側の外周部に設けられた側壁を有する蓋部と、
該収容部と該蓋部とを開閉可能に連結するヒンジ部と、
該天板の該一方の面側に設けられ、該切削ブレードの移動を規制する複数の係合ピンと、を備え、
該複数の係合ピンは、該切削ブレードの該被把持部に対応する位置に配置され、
該蓋部が開かれた開状態では、該複数の係合ピンに該切削ブレードの該被把持部を係合させることで、該蓋部により該切削ブレードを保持できることを特徴とするブレードケース。
表面側から裏面側に貫通し回転軸が挿入される挿入孔、及び該挿入孔を囲み表面側に突出する被把持部を有する環状の基台と、該環状の基台の外周部から該基台の径方向外側に突出する環状の切刃と、を備える切削ブレードを収容するブレードケースであって、
底板、該底板の一方の面側の外周部に設けられた側壁、及び該挿入孔に対応して該底板の該一方の面に設けられ該切削ブレードを収容する際に該挿入孔に挿入される凸部を有する収容部と、
天板、及び該天板の一方の面側の外周部に設けられた側壁を有する蓋部と、
該収容部と該蓋部とを開閉可能に連結するヒンジ部と、を備え、
該天板の該一方の面側には、該切削ブレードの該被把持部が係合される係合凹部が形成されており、
該蓋部が開かれた開状態では、該係合凹部に該切削ブレードの該被把持部を係合させることで、該蓋部により該切削ブレードを保持できることを特徴とするブレードケース。