JP6153433B2 - ブレードケース - Google Patents

Description

本発明は、半導体ウェーハ等の切削に用いるブレードを収容するブレードケースに関する。

半導体ウェーハ等の被加工物は、例えば、回転する円環状のブレードを備える切削装置で切削される。このブレードは、一般に、ダイヤモンドやＣＢＮ（Cubic Boron Nitride）等の砥粒を、金属や樹脂等の結合材で結合することによって形成される。

切削装置で被加工物を切削すると、摩耗によってブレードの径は徐々に小さくなる。径が小さくなったブレードをそのまま使用すると、切り込みが浅くなって被加工物を適切に加工できない。そこで、任意のタイミングにおいてブレードの刃先位置を検出し、切り込み深さを制御するセットアップ作業が実施されている（例えば、特許文献１，２参照）。

特許文献１のセットアップ作業では、ブレードの下方において被加工物を保持するチャックテーブルの金属枠に対して、回転するブレードを十分に低速（例えば、０．１ｍｍ／ｓ程度）で下降させ、金属枠にブレードを接触させる。この接触を電気的に検出することで、ブレードの刃先位置を検出している。

また、特許文献２のセットアップ作業では、ブレードの下方に位置するフォトインタラプタに対して、回転するブレードを十分に低速で下降させ、フォトインタラプタの光路をブレードで遮断して刃先位置を検出する。これらのセットアップ作業では、通常、ブレードの初期位置を所定の高さに設定することで、チャックテーブル又はフォトインタラプタとブレードとの干渉を防いでいる。

特開昭６１−７１９６７号公報 特開２００１−２９８００１号公報

ところで、被加工物の変更等によって切削装置のブレードが交換されると、それまで使用されていたブレードはブレードケースに保管される。保管されていたブレードを再び使用する場合には、切削装置への装着後にセットアップ作業を実施して切り込み深さを再調整する。

しかしながら、使用履歴のあるブレードの外径は個体毎に異なるので、セットアップ作業の際には、かなりの余裕を持たせた高さにブレードの初期位置を設定しなくてはならない。その結果、ブレードの下降量が不必要に大きくなって、セットアップ作業に要する時間が長くなるという問題が生じる。

この問題に対して、切削装置からブレードを取り外す前にセットアップ作業を実施することでブレードの外径を算出しておくこともできるが、ブレードを取り外す度にセットアップ作業を実施して外径を管理するのは煩雑である。

本発明はかかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、ブレードの管理を煩雑にすることなく、セットアップ作業に要する時間を短縮できるブレードケースを提供することである。

本発明によれば、円環状のブレードを収容するブレードケースであって、ブレードを収容する開口を有した収容部と、該開口を閉塞または開放する蓋部と、該収容部に収容されたブレードの移動を規制する規制部と、を備え、該収容部または該蓋部は、該ブレードケースに収容されたブレードの外径を示す目盛りを有することを特徴とするブレードケースが提供される。

本発明のブレードケースは、ブレードケースに収容されたブレードの外径を示す目盛りを有するので、使用履歴の有無に関わらずブレードの外径を一目で確認できる。これにより、セットアップ作業の際にブレードの初期位置を不必要に高く設定しなくて済むので、セットアップ作業に要する時間を短縮できる。すなわち、ブレードの管理を煩雑にすることなく、セットアップ作業に要する時間を短縮できる。

本実施の形態に係るブレードケースの構成例を模式的に示す平面図である。 本実施の形態に係るブレードケースの構成例を模式的に示す断面図である。 図３（Ａ）は、ブレードを収容した状態のブレードケースを模式的に示す平面図であり、図３（Ｂ）は、図３（Ａ）の部分拡大図である。

以下、添付図面を参照して、本発明の実施の形態について説明する。図１は、本実施の形態に係るブレードケースの構成例を模式的に示す平面図であり、図２は、本実施の形態に係るブレードケースの構成例を模式的に示す断面図である。なお、図２は、図１のＡＡ断面を矢印の方向に見た断面図である。

図１及び図２に示すように、本実施の形態に係るブレードケース２は、ワッシャー形のブレード１１（図３参照）が収容される収容部材（収容部）４と、収容部材４に収容されたブレード１１の脱落を防ぐ蓋部材（蓋部）６とを含む。収容部材４及び蓋部材６は、共に透明（半透明）な合成樹脂で形成されている。

収容部材４及び蓋部材６は、隣接する２個の角部を円弧状に切り欠いた半矩形状の板状部材であり、切り欠かれていない外周４ａ，６ａ側に貼着されたシール部材（連結部）８によって互いに連結されている。このシール部材８は、収容部材４に対して蓋部材６を開閉するヒンジとして機能する。また、シール部材８には、ブレード１１の品種を示す識別符号等が付されている。

収容部材４は、外周領域（外周４ａを除く）において上下方向に突出する外周壁１０を備えており、この外周壁１０より内側の領域が、ブレード１１を収容する収容領域（開口）１０ａとなる。収容領域１０ａの中央には、上方に向かって突出する円柱状の第１凸状部（規制部）１２が設けられている。第１凸状部１２の外周面１２ａの径は、収容されるブレード１１の中央に位置する円形の開口１１ａの径と略等しくなっている。

第１凸状部１２の周囲には、ブレード１１を載置する平坦な載置面１４が設けられている。この載置面１４にブレード１１を載置すると、ブレード１１の開口１１ａには第１凸状部１２が嵌合して、ブレード１１の径方向における移動が規制される。なお、図１では、載置面１４に載置されたブレード１１の外周縁１１ｂを２点鎖線で示している。

第１凸状部１２の中央には、第１凸状部１２よりもさらに上方に向かって突出する円柱状の第２凸状部１６が設けられている。第２凸状部１６の外周面１６ａは、第１凸状部１２の外周面１２ａと同心である。また、外周面１６ａの径は、蓋部材６の中央に形成された円形の貫通孔１８の径と略等しくなっている。この貫通孔１８は、第２凸状部１６と対応する位置に形成されており、蓋部材６を閉じると、貫通孔１８には第２凸状部１６が嵌合する。

蓋部材６において、貫通孔１８の周囲には、収容部材４の第１凸状部１２に対応して円柱状に窪んだ凹状部２０が設けられている。凹状部２０の外周面２０ａは、貫通孔１８と同心である。また、外周面２０ａの径は、収容部材４に設けられた第１凸状部１２の外周面１２ａの径と略等しくなっている。これにより、蓋部材６を閉じると、凹状部２０には第１凸状部１２が嵌合する。

凹状部２０の周囲には、収容部材４の載置面１４に載置されたブレード１１と当接する当接面２２が設けられている。また、蓋部材６において、自由端側（シール部材８が貼着された外周６ａとは反対側）の外周６ｂには、外向きに突出した係合部２４が設けられている。蓋部材６を閉じると、係合部２４は、収容部材４において外周壁１０が切り欠かれた切り欠き部１０ｂに係合する。

このように、本実施の形態に係るブレードケース２は、シール部材８をヒンジとして蓋部材６を回動させることで、ブレード１１を収容する収容領域１０ａを閉塞してブレード１１を保持できるように構成されている。一方、蓋部材６を開くと、収容領域１０ａは開放されるので、ブレード１１を収め、又は取り出すことができる。

蓋部材６において、当接面２２と重なる領域には、ブレード１１の外径に対応する目盛り２６が設けられている。この目盛り２６は、例えば、印刷やエンボス加工等の方法で形成され、ブレードケース２の外部から視認できる。なお、目盛り２６は、ブレード１１の外径を適切に識別できるように構成されていれば良く、長さや間隔、色彩等は任意である。ただし、目盛り２６は、シール部材８の貼着領域を避けた位置に形成されることが好ましい。これにより、目盛り２６の視認性を確保できる。

図１では、反転された状態のメモリ２６を示しているが、このように反転された目盛り２６は、蓋部材６を閉じた状態でブレードケース２の外部から適切に識別できるので、本実施の形態のブレードケース２に適している。この目盛り２６は、当接面２２に形成されても良いし、当接面２２とは反対の面（蓋部材６を閉じた状態でブレードケース２の外部に位置付けられる面）に形成されても良い。

上述のように、蓋部材６は透明な合成樹脂で形成されているので、ブレードケース２に収容されたブレード１１は、目盛り２６と共にブレードケース２の外部から視認できる。図３（Ａ）は、ブレードを収容した状態のブレードケースを模式的に示す平面図であり、図３（Ｂ）は、図３（Ａ）の部分拡大図である。

図３に示すように、本実施の形態のブレードケース２では、ブレード１１の外周縁１１ｂを目盛り２６と照らし合わせて、ブレードケース２に収容されたブレード１１の外径を一目で確認できる。例えば、本実施の形態において、ブレード１１の外径（直径）は約５４．６ｍｍである。このように、透明なブレードケース２に目盛り２６を設けることで、ブレード１１の管理を煩雑にすることなく、使用履歴のあるブレード１１の外径を確認できる。

以上のように、本実施の形態に係るブレードケース２は、ブレードケース２に収容されたブレード１１の外径を示す目盛り２６を有するので、使用履歴の有無に関わらずブレード１１の外径を一目で確認できる。これにより、セットアップ作業の際にブレード１１の初期位置を不必要に高く設定しなくて済むので、セットアップ作業に要する時間を短縮できる。すなわち、ブレード１１の管理を煩雑にすることなく、セットアップ作業に要する時間を短縮できる。

なお、本発明は上記実施の形態の記載に限定されず、種々変更して実施可能である。例えば、上記実施の形態では、蓋部材６側に目盛り２６を設けているが、収容部材４側に目盛りを設けても良い。

また、上記実施の形態では、ブレード１１の直径を示す目盛り２６を設けているが、ブレード１１の半径を示す目盛り２６を設けても良い。また、目盛り２６の単位はｍｍに限定されず、任意に変更できる。目盛り２６に数値を付さなくても良い。

また、上記実施の形態では、蓋部材６及び収容部材４を透明（半透明）な合成樹脂で形成しているが、蓋部材６及び収容部材４の構成はこれに限定されない。蓋部材６及び収容部材４は、少なくとも目盛り２６と重なる一部の領域において、内部のブレード１１を視認できるように構成されていれば良い。例えば、蓋部材６又は収容部材４の一部のみを透明（半透明）に構成しても良い。

その他、上記実施の形態に係る構成、方法などは、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施できる。

２ ブレードケース
４ 収容部材（収容部）
４ａ 外周
６ 蓋部材（蓋部）
６ａ，６ｂ 外周
８ シール部材（連結部）
１０ 外周壁
１０ａ 収容領域（開口）
１０ｂ 切り欠き部
１２ 第１凸状部（規制部）
１４ 載置面
１６ 第２凸状部
１６ａ 外周面
１８ 貫通孔
２０ 凹状部
２０ａ 外周面
２２ 当接面
２４ 係合部
２６ 目盛り
１１ ブレード
１１ａ 開口
１１ｂ 外周縁

Claims (1)

1. 円環状のブレードを収容するブレードケースであって、
   ブレードを収容する開口を有した収容部と、
   該開口を閉塞または開放する蓋部と、
   該収容部に収容されたブレードの移動を規制する規制部と、を備え、
   該収容部または該蓋部は、該ブレードケースに収容されたブレードの外径を示す目盛りを有することを特徴とするブレードケース。

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