JP2018144371A5 - - Google Patents
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そこで、流量大／小切替バルブ４によってガスの排出量の流量大と流量小とを切り替えて使用することによって、大気圧側に近い目標値であっても成形モジュール１の内部の圧力を制御可能とし、かつ真空側に近い目標値であっても成形モジュール１の内部の圧力の目標値への到達の遅れを抑制することができる。たとえば、所定の圧力までは流量大／小切替バルブ４の流量を小とし、所定の圧力以下となった場合には流量大／小切替バルブ４を切り替えて流量大を使用してもよい。流量大／小切替バルブ４の切替タイミング等は予め実験等により決めてもよい。流量大／小切替バルブ４によってガスの排出量を流量小とした場合でも樹脂の発泡を抑制するには減圧の速度が大きいときには、真空度制御弁６を調節してガス流路３０ａに導入されるガスの導入量を増加させることによって減圧の速度を抑制することができる。また、流量大／小切替バルブ４によってガスの排出量を流量小とした場合に樹脂の発泡を抑制するには減圧の速度が小さすぎるときには、流量大／小切替バルブ４を流量大に切り替えるとともに真空度制御弁６を調節して、樹脂の発泡を抑制することができる程度にガス流路３０ａへのガス導入量を増加させて減圧の速度を抑制することができる。また、減圧開始から減圧終了時まで流量大／小切替バルブ４によってガスの排出量を大のままとした状態で真空度制御弁６のみを調節して、樹脂の発泡を抑制することができる程度にガス流路３０ａへのガス導入量を大から小に徐々に変化させてもよい。
ここで、実施形態１の樹脂封止装置においては、流量大／小切替バルブ４によるガスの排出量の大まかな調節と、真空度制御弁６によるガスの導入量の細かい調節とを組み合わせることによって、成形モジュール１の内部を緩やかに減圧することができる。これにより、成形モジュール１の内部の減圧開始時の減圧のオーバーシュート量を従来（参考例）よりも低減することができるため、たとえば図９に示すように、発泡樹脂７１の急激な膨張を抑えることができる。そのため、溶融樹脂６１が発泡しすぎることによるワイヤ流れおよび樹脂漏れ等の不具合の発生を低減することができる。
なお、実施形態１の樹脂封止装置による成形モジュール１の内部の減圧は、たとえば図３に示すように、成形モジュール１の内部の圧力を段階的に緩やかに減少させて、最終的な真空度の目標値に到達するようにすることもできる。この場合にも、発泡樹脂７１の急激な膨張を抑えることが可能となる。
実施形態１においては、樹脂封止装置が真空計２を１つ備えている場合について説明したが、たとえば図１４に示すように、樹脂封止装置は、真空計２として、大気圧付近の真空計２ａと、高真空度用の真空計２ｂの２つの真空計を備えていてもよい。この場合には、成形モジュール１の内部の圧力を状況に応じてより正確に測定することが可能になる。大気圧付近の真空計２ａは、開／閉切替バルブ５と上部固定盤２７との間の配管２８のガス流路２８ａに連結する配管８２のガス流路８２ａと連結されている。高真空度用の真空計２ｂは、開／閉切替バルブ５と上部固定盤２７との間の配管２８のガス流路２８ａに連結する配管８１のガス流路８１ａと連結されている。大気圧付近の真空計の例としてはダイヤフラム真空計などが挙げられ、高真空度用の真空計の例としてはピラニ真空計などが挙げられる。
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