JP7345322B2 - 樹脂の被覆方法及び樹脂被覆装置 - Google Patents

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Description

本発明は、樹脂の被覆方法及び樹脂被覆装置に関する。
半導体ウェーハや樹脂パッケージ基板、セラミックス基板、ガラス基板など各種板状の被加工物を研削して薄化したり、切削ブレードやレーザー光線で分割したりする際、被加工物はチャックテーブルに保持される。被加工物は、加工時に保持される面がチャックテーブルと接触して損傷したり汚れたりするのを防ぐため、又は分割後に一括搬送が出来るように、保持される面に液状の樹脂を被覆する技術が知られている（特許文献１参照）。
特開２００９－１４８８６６号公報
しかしながら、液状の樹脂は、取り扱いが容易ではなく、嵩張るため、運搬や保管に工数がかかっているという問題があった。
本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、固形の樹脂を使用して、樹脂を被覆する樹脂の被覆方法及び樹脂被覆装置を提供することである。
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の樹脂の被覆方法は、被加工物の一方の面に樹脂を被覆する樹脂被覆装置を用いて被加工物に樹脂を被覆する樹脂の被覆方法であって、該樹脂被覆装置は、被加工物を吸引保持する保持テーブルと、該保持テーブルを上下方向に駆動させる保持テーブル駆動部と、を含む収容部と、該収容部の開口を覆い、密閉された加工空間を形成する蓋部と、該収容部と該蓋部とを連結するとともに該蓋部を該収容部に対して開閉可能に駆動させる蓋部駆動部と、該保持テーブルに保持された被加工物に固形の樹脂を供給する樹脂供給部と、該収容部と該蓋部とで密閉される該加工空間を真空にする真空ポンプと、該加工空間に大気圧を供給するとともに被加工物に被覆された樹脂を冷却する大気圧開放弁と、を備え、該蓋部は、該保持テーブルと対向し該保持テーブルと相対的に近づけることで被加工物の上に供給された樹脂を押し広げ被加工物に被覆する上テーブルを含み、該保持テーブルまたは該上テーブルの少なくともいずれかに樹脂を溶かす加熱手段が備えられており、該保持テーブルを加熱する加熱ステップと、被加工物を該保持テーブルに保持する保持ステップと、該保持テーブルに保持された被加工物の上面に固形の樹脂を供給する樹脂供給ステップと、加熱された該保持テーブルによって樹脂を液体化させる樹脂液体化ステップと、該蓋部を閉めて該収容部の開口を覆い該収容部と該蓋部によって密閉された該加工空間を形成する密閉ステップと、該真空ポンプによって該加工空間を真空にする真空ステップと、該真空ステップの実施後に、該保持テーブルを上昇させ該上テーブルとの間で樹脂を押し広げ被加工物に被覆する樹脂被覆ステップと、該保持テーブルが上昇した状態で保持テーブルの加熱を止め、該大気圧開放弁から大気圧を挿入し、樹脂を冷却して硬化させる樹脂冷却ステップと、該保持テーブルで被加工物を吸引保持し該保持テーブルを降下させる保持テーブル降下ステップと、該保持テーブル降下ステップの実施後に、該蓋部を開け樹脂が被覆された被加工物を該保持テーブルから搬出する搬出ステップと、を備えることを特徴とする。
上記した樹脂の被覆方法において、該樹脂被覆装置は、被加工物を保持テーブルに対して搬出する搬送アームを更に備え、該搬送アームは、被加工物を吸着する吸着パッドと、該吸着パッドを駆動させるパッド駆動部と、を含み、該保持テーブルは、被加工物を保持する保持面と、該保持面に形成された吸引溝と、該吸引溝と吸引源とを連通させる連通路と、を含み、該保持面には、突き上げピンと該突き上げピンを上下動させるピン駆動部が３箇所以上形成され、該突き上げピンは、被加工物を保持する際は、該保持面以下の高さになり、被加工物を保持テーブルに対して搬出する際は、該保持面より高くなるように駆動され、該突き上げピンによって形成された被加工物と該保持テーブルの間に搬送アームが差し込まれ被加工物を搬送してもよい。
また、上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の樹脂被覆装置は、被加工物の一方の面に樹脂を被覆する樹脂被覆装置であって、該樹脂被覆装置は、被加工物を吸引保持する保持テーブルと、該保持テーブルを上下方向に駆動させる保持テーブル駆動部と、を含む収容部と、該収容部の開口を覆い、密閉された加工空間を形成する蓋部と、該収容部と該蓋部とを連結するとともに該蓋部を該収容部に対して開閉可能に駆動させる蓋部駆動部と、該保持テーブルに保持された被加工物に固形の樹脂を供給する樹脂供給部と、該収容部と該蓋部とで密閉される該加工空間を真空にする真空ポンプと、該加工空間に大気圧を供給するとともに被加工物に被覆された樹脂を冷却する大気圧開放弁と、を備え、該蓋部は、該保持テーブルと対向し該保持テーブルと相対的に近づけることで被加工物の上に供給された樹脂を押し広げ被加工物に被覆する上テーブルを含み、該保持テーブルまたは該上テーブルの少なくともいずれかに樹脂を溶かす加熱手段が備えられており、該蓋部駆動部は、該収容部に対して相対的に移動する該蓋部の軌道を制限する移動軌道制限部と、該移動軌道制限部に対して駆動力を加えることで、該収容部に対して該蓋部を相対的に移動させる駆動制御部と、を備え、該移動軌道制限部は、該収容部側に固定された固定アームと、該蓋部側に固定され、該蓋部と共に移動する移動アームと、該固定アームと該移動アームとを互いに相対的に回転可能に連結する支点部と、を備え、該駆動制御部は、一軸方向に伸縮して駆動力を加えるシリンダーを備え、該シリンダーは、一方の端部が該収容部側に回転可能に連結され、他方の端部が該移動アームに回転可能に連結され、該シリンダーが伸縮することで、該支点部において該固定アームと該移動アームとの間で形成される角度を変更して、該収容部に対して該蓋部を相対的に移動させることを特徴とする。
上記した樹脂被覆装置において、該樹脂被覆装置は、被加工物を保持テーブルに対して搬出する搬送アームを更に備え、該搬送アームは、被加工物を吸着する吸着パッドと、該吸着パッドを駆動させるパッド駆動部と、を含み、該保持テーブルは、被加工物を保持する保持面と、該保持面に形成された吸引溝と、該吸引溝と吸引源とを連通させる連通路と、を含み、該保持面には、突き上げピンと該突き上げピンを上下動させるピン駆動部が３箇所以上形成され、該突き上げピンは、被加工物を保持する際は、該保持面以下の高さになり、被加工物を保持テーブルに対して搬出する際は、該保持面より高くなるように駆動され、該突き上げピンによって形成された被加工物と該保持テーブルの間に搬送アームが差し込まれ被加工物を搬送してもよい。
本願発明は、固形の樹脂を使用して、樹脂を被覆することができる。
図１は、実施形態に係る樹脂被覆装置の一状態を示す断面図である。 図２は、実施形態に係る樹脂被覆装置の別の一状態を示す断面図である。 図３は、図１及び図２の保持テーブル及び搬送アームの要部を示す上面図である。 図４は、実施形態に係る樹脂の被覆方法を示すフローチャートである。 図５は、図４の加熱ステップ、保持ステップ及び樹脂供給ステップの一例を示す断面図である。 図６は、図４の樹脂液体化ステップの一例を示す断面図である。 図７は、図４の密閉ステップ及び真空ステップの一例を示す断面図である。 図８は、図４の樹脂被覆ステップの一例を示す断面図である。 図９は、図４の樹脂冷却ステップの一例を示す断面図である。 図１０は、図４の保持テーブル降下ステップの一例を示す断面図である。 図１１は、図４の搬出ステップの一例を示す断面図である。 図１２は、実施形態に係る樹脂の被覆方法における余剰部分切除ステップの一例を示す断面図である。 図１３は、実施形態の変形例１に係る樹脂被覆装置の一状態を示す断面図である。 図１４は、実施形態の変形例４に係る樹脂の被覆方法を示す断面図である。 図１５は、実施形態の変形例４に係る樹脂の被覆方法を経て得られるフレームユニットを示す断面図である。
本発明を実施するための形態（実施形態）につき、図面を参照しつつ詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成は適宜組み合わせることが可能である。また、本発明の要旨を逸脱しない範囲で構成の種々の省略、置換又は変更を行うことができる。
〔実施形態〕
本発明の実施形態に係る樹脂被覆装置１及び樹脂の被覆方法を図面に基づいて説明する。図１は、実施形態に係る樹脂被覆装置１の一状態を示す断面図である。図２は、実施形態に係る樹脂被覆装置１の別の一状態を示す断面図である。図３は、図１及び図２の保持テーブル１１及び搬送アーム７０の要部を示す上面図である。なお、図１及び図２では、後述する突き上げピン１８及びピン駆動部１９を省略している。
図１及び図２に示す樹脂被覆装置１は、被加工物１００（図５等参照）の一方の面である表面１０１（図５等参照）に、固形の樹脂である固形樹脂２００（図５参照）を使用して、樹脂２０２（図８等参照）を被覆する装置である。ここで、樹脂２０２は、後述するように、固形樹脂２００を液体化させて液体化樹脂２０１（図５参照）とした後、液体化樹脂２０１を変形させて、再び固形化させることで形成した被覆層のことである。なお、実施形態に係る樹脂被覆装置１は、被加工物１００の表面１０１側に樹脂２０２を被覆する形態に限定されず、被加工物１００の裏面１０２側に樹脂２０２を被覆してもよい。
実施形態に係る樹脂被覆装置１及び樹脂の被覆方法における樹脂２０２の被覆対象である被加工物１００は、本実施形態では、シリコン、サファイア、ガリウムヒ素などを基板とする円板状の半導体ウェーハや光デバイスウェーハである。被加工物１００は、不図示の交差（実施形態では、直交）する複数の分割予定ラインで区画された表面１０１の各領域にそれぞれ不図示のデバイスが形成されている。被加工物１００及びデバイスは、表面１０１とは反対側の裏面１０２が平坦に形成されている。被加工物１００は、不図示の切削ブレードやレーザー光線等で加工されることにより、各分割予定ラインに沿って分割されて、個々のデバイスに分割される。なお、被加工物１００は、本実施形態では、デバイスの表面が平坦であってもよく、電極バンプ等が搭載されて凹凸を有していてもよい。
本発明の実施形態に係る樹脂被覆装置１は、図１及び図２に示すように、収容部１０と、蓋部２０と、蓋部駆動部３０と、樹脂供給部４０と、真空ポンプ５０と、大気圧開放部６０と、搬送アーム７０と、各部を制御する制御ユニット８０と、を備える。
収容部１０は、図１及び図２に示すように、筐体２－１と、枠体３とを備える。筐体２－１は、枠体３の鉛直方向上側に配設されている。枠体３は、枠材が直方体系に組み立てられており、鉛直方向の上側において筐体２－１の下方の面側を支持し、固定している。筐体２－１は、内部に空間４－１が形成されており、鉛直方向の上側に向けて空間４－１を開放する開口４－３を有している。
収容部１０は、図１及び図２に示すように、被加工物１００を吸引保持する保持テーブル１１と、保持テーブル１１を上下方向に駆動させる保持テーブル駆動部１３と、を含む。保持テーブル１１は、筐体２－１の内部の空間４－１内に配設されている。保持テーブル駆動部１３が保持テーブル１１を駆動させる上下方向は、具体的には、保持テーブル１１が被加工物１００を保持する保持面１２に対して直交する高さ方向である。
保持テーブル１１は、図３に示すように、被加工物１００を保持する保持面１２と、保持面１２に形成された吸引溝１７と、上述した吸引溝１７と吸引源１６－１とを連通させる連通路１６－２と、を含む。保持テーブル１１は、連通路１６－２及び吸引溝１７を介して、吸引源１６－１から保持面１２に負圧を導入することで、保持面１２で被加工物１００を吸引保持する。保持テーブル１１は、本実施形態では、保持面１２の外周と同心円状の吸引溝１７－１，１７－２と、吸引溝１７－１，１７－２を径方向に接続する吸引溝１７－３とが保持面１２に形成されているが、本発明ではこれに限定されず、保持面１２の全面で被加工物１００を吸引保持可能な形態であれば、どのような形態であってもよい。
保持テーブル１１は、さらに、図１及び図２に示すように、内部に、保持テーブル１１を加熱して、保持面１２に保持された被加工物１００上に供給された固形樹脂２００を溶かす等の機能を果たす加熱手段１４が備えられている。
保持テーブル１１は、さらに、図３に示すように、保持面１２には、突き上げピン１８と、突き上げピン１８を上下動させるピン駆動部１９と、が３箇所以上形成されている。ここで、ピン駆動部１９が突き上げピン１８を駆動させる上下方向は、具体的には、保持面１２に対して直交する高さ方向である。突き上げピン１８は、図３に示す本実施形態では、吸引溝１７－１と吸引溝１７－２との間の保持面１２の領域に、吸引溝１７－３を避けて、例えば１２０°の位相角で等間隔に配設されているが、本発明ではこれに限定されず、４箇所以上配設されていてもよく、不均一な間隔に配置されていてもよい。
突き上げピン１８は、保持テーブル１１が保持面１２で被加工物１００を吸引保持する際は、ピン駆動部１９により上端が保持面１２以下の高さになるように駆動され、被加工物１００を保持テーブル１１に対して搬出する際は、ピン駆動部１９により上端が保持面１２より高くなるように駆動される。突き上げピン１８は、保持テーブル１１が保持面１２で被加工物１００を吸引保持する際は、上端が保持面１２以下の高さであれば、互いに異なる高さになるように駆動されてもよい。一方、突き上げピン１８は、被加工物１００を保持テーブル１１に対して搬出する際は、互いに同じ高さになるように駆動されることが、被加工物１００を保持面１２に対して平行に持ち上げることができるので、好ましい。
蓋部２０は、図１及び図２に示すように、筐体２－２を備える。筐体２－２は、内部に空間４－２が形成されており、空間４－２を開放する開口４－４を有している。蓋部２０は、蓋部駆動部３０によって、収容部１０の空間４－１の開口４－３を覆う図１に示す閉位置２０－１と、収容部１０の空間４－１の開口４－３を開放する図２に示す開位置２０－２との間を移動する。蓋部２０は、閉位置２０－１に位置している場合、空間４－２の開口４－４が収容部１０の空間４－１の開口４－３と連通し、空間４－２が収容部１０の空間４－１とともに密閉された加工空間４を形成する。蓋部２０は、開位置２０－２に位置している場合、空間４－２が、収容部１０の空間４－１と分離した状態となる。
収容部１０の開口４－３側の面と、蓋部２０の開口４－４側の面とは、蓋部２０が閉位置２０－１に位置している際に、互いに対向する。これらの互いに対向する収容部１０の開口４－３側の面と、蓋部２０の開口４－４側の面とのいずれか一方には、蓋部２０が閉位置２０－１に位置している際に、これらの両面の間をより密に封止することで加工空間４の密閉性を向上させる不図示の封止部材が設けられていることが好ましい。この封止部材としては、押し潰されることで封止性能が向上するＯリング等が好適なものとして例示される。
蓋部２０は、図１及び図２に示すように、上テーブル２１を含む。上テーブル２１は、筐体２－２の内部の空間４－２内に配設されている。上テーブル２１は、蓋部２０が閉位置２０－１に位置している場合、収容部１０の保持テーブル１１と対向する。上テーブル２１は、平坦な押圧面２２を有し、蓋部２０が閉位置２０－１に位置している場合、押圧面２２が保持テーブル１１の保持面１２と対向する。上テーブル２１は、蓋部２０が閉位置２０－１に位置している際に、押圧面２２側に保持テーブル１１と相対的に近づけることで、本実施形態では、具体的には、押圧面２２側に保持テーブル１１が押し付けられることで、押圧面２２により、保持テーブル１１に保持された被加工物１００の上に供給された固形樹脂２００を液体化した液体化樹脂２０１を押し広げ、被加工物１００に被覆する。上テーブル２１は、内部に、上テーブル２１を加熱して、押圧面２２に押圧された固形樹脂２００を溶かす等の機能を果たす加熱手段２４が備えられている。
上テーブル２１は、液体化樹脂２０１を押圧する押圧面２２に離型材料が塗布されていることが好ましく、この場合、上テーブル２１の押圧面２２と液体化樹脂２０１との間の貼着をさらに抑制することができる。押圧面２２に塗布される離型材料としては、フッ素樹脂が好適なものとして例示される。他にも、押圧面２２に離型シートとして機能する平坦な樹脂シートが予め配置され、後述する搬出ステップＳＴ２０の後に樹脂２０２からめくって剥離するようにしても良い。なお、押圧面２２に配置する樹脂シートは、表面に離型材料が塗布されていることが好ましい。
なお、実施形態に係る樹脂被覆装置１は、保持テーブル１１にも加熱手段１４が備えられ、なおかつ、上テーブル２１にも加熱手段２４が備えられているが、本発明ではこの形態に限定されず、保持テーブル１１または上テーブル２１の少なくともいずれかに加熱手段１４，２４が備えられていればよく、備えられている側の加熱手段１４，２４が、固形樹脂２００の溶融の機能を果たす。
蓋部駆動部３０は、収容部１０と蓋部２０とを連結するとともに蓋部２０を収容部１０に対して開閉可能に駆動させる。蓋部駆動部３０は、詳細には、図１及び図２に示すように、移動軌道制限部３１と、駆動制御部３２と、を備える。移動軌道制限部３１は、収容部１０に対して相対的に移動する蓋部２０の軌道を制限する。駆動制御部３２は、移動軌道制限部３１に対して駆動力を加えることで、収容部１０に対して蓋部２０を相対的に移動させる。
移動軌道制限部３１は、図１及び図２に示すように、固定アーム３３と、移動アーム３４と、支点部３５と、を備える。固定アーム３３は、収容部１０側に固定されて設けられている。固定アーム３３は、具体的には、収容部１０の枠体３から水平方向に突き出して二又に形成された突出部５に固定されており、突出部５から鉛直方向上側に向けて立設されている。移動アーム３４は、蓋部２０側に固定されて設けられている。移動アーム３４は、具体的には、蓋部２０の筐体２－２の側面から、この側面に直交する外側の方向に向けて立設されている。支点部３５は、水平方向に沿って設けられたピンにより、このピンに直交する面内において、このピンを中心として移動アーム３４を固定アーム３３に対して相対的に回転可能に連結する。これにより、移動軌道制限部３１は、蓋部２０の軌道を、支点部３５のピンを中心とした移動アーム３４の軌道によって制限している。
移動アーム３４は、蓋部２０が閉位置２０－１に位置している場合、水平方向に概ね平行となり、固定アーム３３との間で支点部３５において形成する角度が概ね９０°となる。また、移動アーム３４は、蓋部２０が開位置２０－２に位置している場合、鉛直方向に近づき、固定アーム３３との間で支点部３５において形成する角度が１８０°より小さい所定の鈍角となる。
実施形態に係る樹脂被覆装置１は、移動軌道制限部３１がこのように蓋部２０の軌道を制限しているので、蓋部２０をより高い精度で開位置２０－２から所望の閉位置２０－１に移動させることができる。
駆動制御部３２は、図１及び図２に示すように、一軸方向に伸縮して駆動力を加えるシリンダー３８を備える。シリンダー３８は、一方の端部が、固定側支点部３６により、収容部１０側に相対的に回転可能に連結されている。シリンダー３８は、具体的には、一方の端部が、固定側支点部３６により、収容部１０の枠体３から突出部５と同じ水平方向に突き出して、突出部５の二又の間の中央領域に形成された突出部６に対して、回転可能に連結されている。固定側支点部３６は、水平方向に沿って設けられたピンにより、このピンに直交する面内において、このピンを中心としてシリンダー３８を突出部６に対して相対的に回転可能に連結する。これにより、シリンダー３８は、一方の端部が、固定側支点部３６により、実質的に固定アーム３３に対して回転可能に連結される。
シリンダー３８は、他方の端部が、移動側支点部３７により、移動アーム３４に対して相対的に回転可能に連結されている。移動側支点部３７は、水平方向に沿って設けられたピンにより、このピンに直交する面内において、このピンを中心としてシリンダー３８を移動アーム３４に対して相対的に回転可能に連結する。
支点部３５のピンと、固定側支点部３６のピンと、移動側支点部３７のピンとは、互いに平行に設けられている。これにより、固定アーム３３に対する移動アーム３４の相対的な回転移動の面と、突出部６及び固定アーム３３に対するシリンダー３８の相対的な回転移動の面と、移動アーム３４に対するシリンダー３８の相対的な回転移動の面とが、互いに平行となる。これにより、後述するシリンダー３８の伸縮及び傾斜に伴う固定アーム３３に対する移動アーム３４の相対的な回転移動を円滑にすることができる。なお、固定側支点部３６及び移動側支点部３７は、本実施形態では、クレビス金具が好適なものとして使用される。
駆動制御部３２は、シリンダー３８が伸縮することで、シリンダー３８の突出部６に対する傾斜角度を変更しながら、固定側支点部３６と移動側支点部３７との間の距離を変更することにより、移動軌道制限部３１の支点部３５において固定アーム３３と移動アーム３４との間で形成される角度を変更して、収容部１０に対して蓋部２０を相対的に移動させる。シリンダー３８は、伸縮して蓋部２０を開閉する際に、固定側支点部３６及び移動側支点部３７において、固定アーム３３及び移動アーム３４に回転自在に連結しているので、固定側支点部３６と移動側支点部３７との間の距離が変化しても、傾きが変化する。このために、蓋部駆動部３０は、伸縮するシリンダー３８のみで蓋部２０を開閉できる。
駆動制御部３２は、具体的には、シリンダー３８が収縮することで、固定側支点部３６と移動側支点部３７との間の距離を近づけることにより、支点部３５における固定アーム３３と移動アーム３４との間の角度を小さくして、蓋部２０を閉位置２０－１に向けて移動させ、この角度を概ね９０°にすることで、蓋部２０を閉位置２０－１に位置付ける。また、駆動制御部３２は、シリンダー３８が伸長することで、固定側支点部３６と移動側支点部３７との間の距離を遠ざけることにより、支点部３５における固定アーム３３と移動アーム３４との間の角度を大きくして、蓋部２０を開位置２０－２に向けて移動させ、この角度を１８０°より小さい所定の鈍角にすることで、蓋部２０を開位置２０－２に位置付ける。
実施形態に係る樹脂被覆装置１は、駆動制御部３２がシリンダー３８の伸縮により、移動軌道制限部３１による制限の範囲内で蓋部２０を移動させるので、蓋部２０の開口４－４の面が収容部１０の開口４－３の面に対して９０°を超えることを抑制でき、これにより、蓋部２０を安全にかつ省スペースで開位置２０－２に向けて移動させることができる。
樹脂供給部４０は、図１及び図２に示すように、収容部１０及び蓋部２０の外部に、収容部１０の空間４－１の開口４－３に近接して配設され、樹脂タンク４１と、供給ノズル４２と、を備える。樹脂タンク４１は、固形樹脂２００を貯蔵する。樹脂供給部４０は、樹脂タンク４１に貯蔵された固形樹脂２００を、供給ノズル４２の供給口４３から、保持テーブル１１に保持された被加工物１００に供給する。供給ノズル４２は、制御ユニット８０の制御を受けて、供給口４３が保持テーブル１１の保持面１２に向けられ、固形樹脂２００を保持テーブル１１に保持された被加工物１００に供給可能な図２に示す供給位置４２－１と、供給口４３を含む供給ノズル４２の全体が保持テーブル１１の保持面１２の上方から退避し、蓋部２０を閉位置２０－１に向けて移動可能な図１に示す退避位置４２－２との間を移動することができる。
樹脂供給部４０が供給する固形樹脂２００は、供給ノズル４２を通じて供給することが可能であれば、どのような形状であってもよく、例えば、粉末状、粒状、タブレット状、ブロック状、板状、シート状、ドーナツ形状、麺状（繊維状）、渦巻き形状等である。樹脂供給部４０が供給する固形樹脂２００は、その中でも、取り扱いの容易さ、運搬や保管の容易さ、供給量の調整の容易さ等から、特に粒状が好ましい。
樹脂供給部４０が供給する固形樹脂２００は、本実施形態では、熱可塑性樹脂が好適に使用される。また、樹脂供給部４０が供給する固形樹脂２００は、本実施形態では、軟化点より低温の硬化状態では、流動性を有さない剛体であり、実質的に粘着剤のような粘着性を有さないため、被加工物１００の表面１０１等と粘着することが抑制される。また、樹脂供給部４０が供給する固形樹脂２００は、軟化点より高温の軟化状態では、流動性を有するものの、実質的に粘着剤のような粘着性は概ね見られないため、被加工物１００の表面１０１等と粘着することが低減される。
樹脂供給部４０が供給する固形樹脂２００は、具体的には、アクリル樹脂、メタクリル樹脂、ビニル系樹脂、ポリアセタール、天然ゴム、ブチルゴム、イソプレンゴム、クロロプレンゴム、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリ（４－メチル－１－ペンテン），ポリ（１－ブテン）等のポリオレフィン、ポリエチレンテレフタレート，ポリブチレンテレフタレート等のポリエステル、ナイロン－６，ナイロン－６６，ポリメタキシレンアジパミド等のポリアミド、ポリアクリレート、ポリメタアクリレート、ポリ塩化ビニル、ポリエーテルイミド、ポリアクリロニトリル、ポリカーボネート、ポリスチレン、ポリスルホン、ポリエーテルスルホン、ポリフェニレン、エーテルポリブタジエン樹脂、ポリカーボネート樹脂、熱可塑性ポリイミド樹脂、熱可塑性ポリウレタン樹脂、フェノキシ樹脂、ポリアミドイミド樹脂、フッ素樹脂、エチレン－不飽和カルボン酸共重合樹脂、エチレン－酢酸ビニル共重合樹脂、アイオノマー、エチレン－酢酸ビニル－無水マレイン酸三元共重合樹脂、エチレン－酢酸ビニル共重合体ケン化樹脂、並びに、エチレン－ビニルアルコール共重合樹脂等から選択される一種または二種以上を挙げることができる。
樹脂供給部４０が供給する固形樹脂２００に使用される上記のエチレン・不飽和カルボン酸共重合体を構成する不飽和カルボン酸は、アクリル酸、メタクリル酸、マレイン酸、イタコン酸、マレイン酸モノメチル、マレイン酸モノエチル、無水マレイン酸、及び、無水イタコン酸等が例示される。ここで、エチレン・不飽和カルボン酸共重合体は、エチレンと不飽和カルボン酸の２元共重合体のみならず、更に他の単量体が共重合された多元共重合体を包含するものである。エチレン・不飽和カルボン酸共重合体に共重合されていてもよい上記他の単量体としては、酢酸ビニル、プロピオン酸ビニルのようなビニルエステル、アクリル酸メチル、アクリル酸エチル、アクリル酸イソブチル、アクリル酸ｎ－ブチル、メタクリル酸メチル、メタクリル酸イソブチル、マレイン酸ジメチル、マレイン酸ジエチルのような不飽和カルボン酸エステルなどが例示される。
樹脂供給部４０が供給する固形樹脂２００の軟化点は、本実施形態では、０℃以上３００℃以下の範囲内の温度である。樹脂供給部４０が供給する固形樹脂２００は、上で例示した化合物群が使用されるので、軟化点が０℃以上３００℃以下の範囲内の温度となる。樹脂供給部４０が供給する固形樹脂２００は、上で例示した異なる種類の化合物を混ぜることで、軟化点を調整することができ、例えば、軟化点をドライ研磨加工中の被加工物１００の温度である４０℃～１００℃程度よりも高い温度に調整することで、ドライ研磨加工中に軟化状態となることを防止することができる。
樹脂供給部４０が供給する固形樹脂２００は、例えば、試験法ＪＩＳ Ｋ ７２１０－１もしくは７２１０－２による条件を温度が１９０°Ｃかつ荷重が２１．１８Ｎでのメルトマスフローレート（Melt mass-Flow Rate、ＭＦＲ）が、０．０１ｇ／１０ｍiｎ以上５００ｇ／１０ｍiｎ以下、好ましくは０．１ｇ／１０ｍiｎ以上１００ｇ／１０ｍiｎ以下、より好ましくは０．３ｇ／１０ｍiｎ以上５０ｇ／１０ｍiｎ以下であるものが使用される。すなわち、樹脂供給部４０が供給する固形樹脂２００は、１９０℃以上の高温化で軟化状態になっている場合でも、流動性は小さく、実質的に粘着剤のような粘着性が概ね見られない固い材料のものが例示される。
樹脂供給部４０が供給する固形樹脂２００は、固形樹脂２００より熱膨張係数が小さいフィラーが混合されてもよい。樹脂供給部４０が供給する固形樹脂２００に混合されるフィラーは、固形樹脂２００より熱膨張係数が小さい無機充填剤または有機充填剤が好適に使用される。樹脂供給部４０が供給する固形樹脂２００は、このようなフィラーが混合されることにより、後述のように樹脂２０２を形成する際に発生する熱膨張及び熱収縮を低減及び防止することができ、これに伴い、被加工物１００が撓んだり変形したりすることを防止することができる。
樹脂供給部４０が供給する固形樹脂２００に混合されるフィラーは、無機充填剤であることが好ましく、具体的には、溶融シリカ、結晶性シリカ、アルミナ、炭酸カルシウム、ケイ酸カルシウム、硫酸バリウム、タルク、クレー、酸化マグネシウム、酸化アルミニウム、酸化ベリリウム、酸化鉄、酸化チタン、窒化アルミニウム、窒化ケイ素、窒化ホウ素、マイカ、ガラス、石英、雲母等が好適に使用される。また、樹脂供給部４０が供給する固形樹脂２００に混合されるフィラーは、上記の２種類以上を混合して使用しても良い。樹脂供給部４０が供給する固形樹脂２００に混合されるフィラーは、上記した無機充填剤のうち、溶融シリカや結晶性シリカ等のシリカ類が使用されることが好ましく、この場合、フィラーのコストを好適に抑制することができる。
真空ポンプ５０は、図１及び図２に示すように、収容部１０の筐体２－１の外部に設けられており、収容部１０の空間４－１と連通している。真空ポンプ５０は、蓋部２０が閉位置２０－１に位置しており密閉した加工空間４が形成されている際に、空間４－１側から真空引きをすることで、密閉した加工空間４を真空にする。ここで、真空とは、いわゆる減圧状態であり、例えば、真空チャンバの内圧が１０５Ｐａ～１０２Ｐａ程度の低真空である。真空ポンプ５０は、このような低真空を実現するもの、例えば、ドライポンプや油回転ポンプ等が好適に使用される。
実施形態に係る樹脂被覆装置１は、真空ポンプ５０が密閉した加工空間４を真空にすることで、樹脂２０２の内部及び被加工物１００と樹脂２０２との間に空気が噛み込まれることを低減及び防止することができる。
大気圧開放部６０は、図１及び図２に示すように、蓋部２０の筐体２－２の外部に備え付けられており、大気圧開放路６１と、大気圧開放弁６２と、を備える。大気圧開放路６１は、一方の端が蓋部２０の空間４－２と連通しており、他方の端が大気に向けて開放されている。大気圧開放弁６２は、大気圧開放路６１の途中に設けられており、大気圧開放路６１を連通する開放状態と、大気圧開放路６１の連通を断絶する閉鎖状態との間で切替可能である。大気圧開放弁６２は、開放状態にすることで、大気圧開放路６１を通して蓋部２０の空間４－２を大気と連通させた状態とし、閉鎖状態にすることで、大気圧開放路６１において蓋部２０の空間４－２を大気に対して封止した状態とする。
大気圧開放弁６２は、蓋部２０が閉位置２０－１に位置しており密閉した加工空間４が形成されており、加工空間４が真空にされている際に、開放状態にすることで、加工空間４に大気圧を供給するとともに、供給する大気によって、加工空間４内の保持テーブル１１の保持面１２上の被加工物１００に被覆された樹脂２０２を冷却する。
搬送アーム７０は、図３に示すように、吸着パッド７１と、パッド駆動部７２と、を含む。吸着パッド７１は、被加工物１００を吸着して保持する。パッド駆動部７２は、吸着パッド７１を駆動させ、被加工物１００を吸着する吸着状態と、被加工物１００の吸着状態を解除する吸着解除状態とを切り替える。
搬送アーム７０には、図１、図２及び図３に示すように、搬送アーム７０を移動させる駆動機構７５が設けられている。搬送アーム７０は、吸着パッド７１で被加工物１００を吸着した状態で、駆動機構７５により移動することで、被加工物１００を搬送することができる。搬送アーム７０は、具体的には、樹脂２０２が被覆される前の被加工物１００を保持テーブル１１に対して搬入したり、樹脂２０２が被覆された被加工物１００を保持テーブル１１に対して搬出したりすることができる。
搬送アーム７０は、突き上げピン１８によって形成された被加工物１００の下面（裏面１０２）と保持テーブル１１の保持面１２との間の間隙３００（図１１参照）に挿入するため、保持面１２から突き上げられた突き上げピン１８の保持面１２からの高さよりも厚み方向に薄く、なおかつ、間隙３００よりも厚み方向に薄く形成されている。搬送アーム７０は、図３に示す本実施形態では、先端側が二股に分離したフォーク状の形状を有しているが、本発明ではこれに限定されず、突き上げピン１８によって形成された間隙３００に対し、突き上げピン１８にぶつかることなく挿入が可能な形状であれば、どのような形状であってもよい。
また、搬送アーム７０は、図３に示す本実施形態では、二股に分離した先端側のそれぞれに、搬送アーム７０の延びる方向に対して互いに対称な２箇所に吸着パッド７１が設けられているが、本発明ではこれに限定されず、突き上げピン１８によって上方に突き上げられた被加工物１００を吸着して保持することが可能であれば、１箇所のみに吸着パッド７１が設けられていてもよく、３箇所以上に吸着パッド７１が設けられていてもよく、非対称な位置に吸着パッド７１が設けられていてもよい。
制御ユニット８０は、樹脂被覆装置１の各構成要素をそれぞれ制御して、被加工物１００に樹脂２０２を被覆する処理に関する各動作を樹脂被覆装置１に実施させるものである。
制御ユニット８０は、本実施形態では、コンピュータシステムを含む。制御ユニット８０は、ＣＰＵ（central processing unit）のようなマイクロプロセッサを有する演算処理装置と、ＲＯＭ（read only memory）又はＲＡＭ（random access memory）のようなメモリを有する記憶装置と、入出力インターフェース装置とを有する。演算処理装置は、記憶装置に記憶されているコンピュータプログラムに従って演算処理を実施して、樹脂被覆装置１を制御するための制御信号を、入出力インターフェース装置を介して樹脂被覆装置１の各構成要素に出力する。
次に、実施形態に係る樹脂被覆装置１の動作の一例である実施形態に係る樹脂の被覆方法を説明する。図４は、実施形態に係る樹脂の被覆方法を示すフローチャートである。
実施形態に係る樹脂の被覆方法は、実施形態に係る樹脂被覆装置１を用いて被加工物１００に樹脂２０２を被覆する方法であって、図４に示すように、加熱ステップＳＴ１１と、保持ステップＳＴ１２と、樹脂供給ステップＳＴ１３と、樹脂液体化ステップＳＴ１４と、密閉ステップＳＴ１５と、真空ステップＳＴ１６と、樹脂被覆ステップＳＴ１７と、樹脂冷却ステップＳＴ１８と、保持テーブル降下ステップＳＴ１９と、搬出ステップＳＴ２０と、を備える。
図５は、図４の加熱ステップＳＴ１１、保持ステップＳＴ１２及び樹脂供給ステップＳＴ１３の一例を示す断面図である。実施形態に係る樹脂の被覆方法は、蓋部２０が開位置２０－２に位置付けられ、収容部１０の空間４－１と蓋部２０の空間４－２が共に大気に開放されている状態から開始する。
加熱ステップＳＴ１１は、図５に示すように、加熱手段１４が保持テーブル１１を加熱するステップである。加熱ステップＳＴ１１では、本実施形態では、保持テーブル１１に加熱手段１４が備えられているので、制御ユニット８０により加熱手段１４を作動させて、加熱手段１４が、保持テーブル１１を加熱する。なお、保持テーブル１１に加熱手段１４が備えられておらず、上テーブル２１に備えられた加熱手段２４で加熱ステップＳＴ１１を実施する必要がある場合については、変形例２のところで後述する。
保持ステップＳＴ１２は、図５に示すように、被加工物１００を保持テーブル１１に保持するステップである。保持ステップＳＴ１２では、具体的には、まず、制御ユニット８０により駆動機構７５を作動させて、駆動機構７５の駆動を受けて、搬送アーム７０が、被加工物１００を、開口４－３から、収容部１０の空間４－１に搬送及び供給し、保持テーブル１１の保持面１２に載置する。保持ステップＳＴ１２では、次に、制御ユニット８０が吸引源１６－１を作動させて、吸引源１６－１が、連通路１６－２及び吸引溝１７を介して保持面１２に負圧を導入することで、載置された被加工物１００を保持テーブル１１の保持面１２で吸引保持する。
なお、実施形態に係る樹脂の被覆方法では、被加工物１００の表面１０１側に樹脂２０２を被覆するため、保持ステップＳＴ１２では、表面１０１側を開口４－３側に向けて、裏面１０２側を保持面１２に向けて被加工物１００を保持するが、本発明ではこれに限定されず、被加工物１００の裏面１０２側に樹脂２０２を被覆する場合には、保持ステップＳＴ１２では、裏面１０２側を開口４－３側に向けて、表面１０１側を保持面１２に向けて被加工物１００を保持する。
樹脂供給ステップＳＴ１３は、少なくとも保持ステップＳＴ１２の後に実施され、図５に示すように、樹脂供給部４０が、保持ステップＳＴ１２で保持テーブル１１に保持された被加工物１００の上面に固形樹脂２００を供給するステップである。樹脂供給ステップＳＴ１３では、具体的には、まず、制御ユニット８０が、樹脂供給部４０の供給ノズル４２を供給位置４２－１に位置付ける。樹脂供給ステップＳＴ１３では、次に、この樹脂供給部４０が、樹脂タンク４１に貯蔵された固形樹脂２００を、供給ノズル４２の供給口４３から、保持テーブル１１に保持された被加工物１００の上面である表面１０１側に供給する。
樹脂供給ステップＳＴ１３では、本実施形態では、樹脂供給部４０が、１個または複数個の固形樹脂２００を供給する。樹脂供給ステップＳＴ１３では、樹脂供給部４０が、固形樹脂２００を、被加工物１００の表面１０１上に広く分散して供給することが好ましい。樹脂供給ステップＳＴ１３では、図５に示す本実施形態では、樹脂供給部４０が、７個の固形樹脂２００を供給しているが、本発明はこれに限定されず、１個から６個でもよく、８個以上でもよい。
樹脂供給ステップＳＴ１３で供給する固形樹脂２００は、被加工物１００の表面１０１側が凹凸を有している場合には、１つまたは複数の凹凸上に跨いで載置される。また、樹脂供給ステップＳＴ１３で供給する固形樹脂２００は、被加工物１００の表面１０１側が凹凸を有している場合には、被加工物１００の表面１０１の全面において凹凸を覆うことが可能な体積を有する。すなわち、樹脂供給ステップＳＴ１３で供給する固形樹脂２００は、後述する樹脂被覆ステップＳＴ１７を経て、表面１０１を途切れなく覆う層を形成することが可能であり、表面１０１上の凹凸より厚い層を形成することが可能な体積を有する。
なお、本実施形態では、加熱ステップＳＴ１１、保持ステップＳＴ１２、樹脂供給ステップＳＴ１３の順にそれぞれの処理を実施しているが、本発明ではこれに限定されず、少なくとも保持ステップＳＴ１２の後に樹脂供給ステップＳＴ１３が実施されればよく、例えば、加熱ステップＳＴ１１と、保持ステップＳＴ１２及び樹脂供給ステップＳＴ１３とは、並列で実施されてもよい。
図６は、図４の樹脂液体化ステップＳＴ１４の一例を示す断面図である。樹脂液体化ステップＳＴ１４は、加熱ステップＳＴ１１、保持ステップＳＴ１２及び樹脂供給ステップＳＴ１３の後に実施され、図６に示すように、加熱された保持テーブル１１によって固形樹脂２００を液体化させるステップである。樹脂液体化ステップＳＴ１４では、具体的には、加熱ステップＳＴ１１で加熱された保持テーブル１１が、保持ステップＳＴ１２で保持された被加工物１００を介して、樹脂供給ステップＳＴ１３で供給された固形樹脂２００を加熱して溶融することで、液体化樹脂２０１とする。すなわち、実施形態に係る樹脂被覆装置１は、樹脂液体化ステップＳＴ１４の処理を実行することで、図６に示すように、被加工物１００の上面である表面１０１側に液体化樹脂２０１が形成された状態となる。
図７は、図４の密閉ステップＳＴ１５及び真空ステップＳＴ１６の一例を示す断面図である。密閉ステップＳＴ１５は、少なくとも保持ステップＳＴ１２及び樹脂供給ステップＳＴ１３の後に実施され、図７に示すように、蓋部２０を閉めて収容部１０の開口４－３を覆い収容部１０と蓋部２０によって密閉された加工空間４を形成するステップである。密閉ステップＳＴ１５では、具体的には、制御ユニット８０により蓋部駆動部３０を作動させて、蓋部駆動部３０が、蓋部２０を開位置２０－２から閉位置２０－１に移動させ、蓋部２０の開口４－４側の面を収容部１０の開口４－３側の面に合わせ、蓋部２０の開口４－４と収容部１０の開口４－３とを連通させることで、空間４－２と空間４－１とからなる密閉された加工空間４を形成する。
真空ステップＳＴ１６は、少なくとも密閉ステップＳＴ１５の後に実施され、図７に示すように、真空ポンプ５０によって、密閉ステップＳＴ１５で形成した加工空間４を真空にするステップである。真空ステップＳＴ１６では、具体的には、制御ユニット８０により真空ポンプ５０を作動させて、真空ポンプ５０が、密閉された加工空間４を真空引きする。
なお、真空ステップＳＴ１６では、加工空間４内が大気圧から真空状態に切り替わる。このため、真空ステップＳＴ１６の処理を経て、吸引源１６－１から保持面１２にもたらされる負圧と加工空間４内の真空との差圧が小さくなるので、保持テーブル１１が保持面１２で被加工物１００を弱い吸引力で吸引保持する状態に切り替わる。
図８は、図４の樹脂被覆ステップＳＴ１７の一例を示す断面図である。樹脂被覆ステップＳＴ１７は、真空ステップＳＴ１６の実施後に、図８に示すように、保持テーブル１１を上昇させ上テーブル２１との間で液体化樹脂２０１を押し広げ被加工物１００に被覆するステップである。
樹脂被覆ステップＳＴ１７では、具体的には、まず、保持テーブル１１に保持テーブル駆動部１３が備えられているので、制御ユニット８０により保持テーブル駆動部１３を作動させて、保持テーブル駆動部１３が、保持テーブル１１を上テーブル２１に対して接近させる方向である図８における紙面の上方向に向けて移動させる。これにより、樹脂被覆ステップＳＴ１７では、互いに対向する保持テーブル１１の保持面１２と、上テーブル２１の押圧面２２とを接近させることで、保持面１２上の被加工物１００の表面１０１側に形成された液体化樹脂２０１と上テーブル２１の押圧面２２とを接近させる。
樹脂被覆ステップＳＴ１７では、さらに保持テーブル駆動部１３による保持テーブル１１の上テーブル２１への接近動作を継続すると、上テーブル２１の押圧面２２が保持面１２上に保持された被加工物１００の表面１０１上の液体化樹脂２０１と接触する。樹脂被覆ステップＳＴ１７では、上テーブル２１に加熱手段２４が備えられているので、制御ユニット８０により加熱手段２４を作動させて、加熱手段２４が、押圧面２２が接触した液体化樹脂２０１をさらに加熱する。
樹脂被覆ステップＳＴ１７では、そして、平坦な面である上テーブル２１の押圧面２２で、被加工物１００の表面１０１上の液体化樹脂２０１を押圧して、押圧面２２及び被加工物１００の表面１０１に沿って変形させて押し広げる。これにより、樹脂被覆ステップＳＴ１７では、図８に示すように、押圧面２２と被加工物１００の表面１０１との間において、被加工物１００の表面１０１を覆う樹脂２０２を液体化樹脂２０１で形成する。樹脂被覆ステップＳＴ１７では、樹脂２０２は、押圧面２２で押された側の面が、押圧面２２に沿って平坦に形成され、樹脂２０２の露出面となる。
ここで、樹脂被覆ステップＳＴ１７は、真空ステップＳＴ１６の実施後に実施されるので、真空引きされた加工空間４において実施される。このため、樹脂被覆ステップＳＴ１７では、液体化樹脂２０１の内部及び被加工物１００と液体化樹脂２０１との間に空気が噛み込まれることを低減及び防止することができるので、これにより、樹脂２０２の内部及び被加工物１００と樹脂２０２との間に空気が噛み込まれることを低減及び防止することができる。
図９は、図４の樹脂冷却ステップＳＴ１８の一例を示す断面図である。樹脂冷却ステップＳＴ１８は、樹脂被覆ステップＳＴ１７の実施後に、図９に示すように、保持テーブル１１が上昇した状態で保持テーブル１１の加熱を止め、大気圧開放弁６２から大気圧を挿入し、樹脂２０２を冷却して硬化させるステップである。
樹脂冷却ステップＳＴ１８では、まず、制御ユニット８０により保持テーブル１１の加熱手段１４及び上テーブル２１の加熱手段２４の作動を停止して、加熱手段１４，２４による樹脂２０２の加熱を停止する。また、樹脂冷却ステップＳＴ１８では、制御ユニット８０により真空ポンプ５０の作動を停止して、真空ポンプ５０による密閉された加工空間４の真空引きを停止する。樹脂冷却ステップＳＴ１８では、次に、制御ユニット８０により大気圧開放部６０の大気圧開放弁６２を閉鎖状態から開放状態に切り替えることで、加工空間４に大気圧を供給する。樹脂冷却ステップＳＴ１８では、大気圧開放部６０から加工空間４に供給される大気によって、保持テーブル１１の保持面１２上の被加工物１００に被覆された樹脂２０２を空冷する。
樹脂冷却ステップＳＴ１８は、具体的には、樹脂被覆ステップＳＴ１７において形成した互いに対向する保持テーブル１１の保持面１２と、上テーブル２１の押圧面２２とを接近させた状態下で実施される。このため、樹脂冷却ステップＳＴ１８の処理を経て、樹脂２０２は、互いに接近した押圧面２２及び被加工物１００の表面１０１に沿った層状の形状を維持して、硬化する。
また、樹脂冷却ステップＳＴ１８では、加工空間４内が真空状態から大気圧に切り替わる。このため、樹脂冷却ステップＳＴ１８の処理を経て、吸引源１６－１から保持面１２にもたらされる負圧と加工空間４内の大気圧との差圧が大きくなるので、保持テーブル１１が保持面１２で被加工物１００を強い吸引力で吸引保持した状態に切り替わる。
なお、樹脂冷却ステップＳＴ１８では、保持テーブル１１または上テーブル２１の内部に水流を利用した冷却機構や熱伝導率及び熱容量の高い冷却板を利用した冷却機構を備える場合、加工空間４への大気圧の挿入と共に、これらの冷却機構を使用して、樹脂２０２の冷却を早めてもよい。
図１０は、図４の保持テーブル降下ステップＳＴ１９の一例を示す断面図である。保持テーブル降下ステップＳＴ１９は、樹脂冷却ステップＳＴ１８の実施後に、図１０に示すように、保持テーブル１１で被加工物１００を吸引保持し、保持テーブル１１を降下させるステップである。
保持テーブル降下ステップＳＴ１９では、具体的には、樹脂冷却ステップＳＴ１８の処理を経たことで、保持テーブル１１が保持面１２で被加工物１００を強い吸引力で吸引保持した状態に切り替わるので、この状態を維持したまま、制御ユニット８０により保持テーブル駆動部１３を作動させて、保持テーブル駆動部１３が、保持テーブル１１を上テーブル２１に対して離間させる方向である図１０における紙面の下方向に向けて移動させる。これにより、保持テーブル降下ステップＳＴ１９の処理を経て、図１０に示すように、保持テーブル１１の保持面１２での吸引保持作用により、樹脂２０２が被覆された被加工物１００が保持面１２上に留まり、上テーブル２１の押圧面２２から離間した状態となる。
図１１は、図４の搬出ステップＳＴ２０の一例を示す断面図である。搬出ステップＳＴ２０は、保持テーブル降下ステップＳＴ１９の実施後に、図１１に示すように、蓋部２０を開け、樹脂２０２が被覆された被加工物１００を保持テーブル１１から搬出するステップである。
搬出ステップＳＴ２０では、具体的には、まず、図１１に示すように、制御ユニット８０により蓋部駆動部３０を作動させて、蓋部駆動部３０が、蓋部２０を閉位置２０－１から開位置２０－２に移動させ、加工空間４を空間４－２と空間４－１とに分離する。ここで、搬出ステップＳＴ２０は、保持テーブル降下ステップＳＴ１９の処理を経た後の状態、すなわち、樹脂２０２が被覆された被加工物１００が上テーブル２１の押圧面２２から離間した状態で実施される。このため、搬出ステップＳＴ２０では、蓋部駆動部３０が、上テーブル２１を含む蓋部２０及び大気圧開放部６０のみを、閉位置２０－１から開位置２０－２に移動させて、樹脂２０２が被覆された被加工物１００を保持テーブル１１の保持面１２上に残した状態とすることができる。
搬出ステップＳＴ２０では、その後、保持テーブル１１に備えられた突き上げピン１８及びピン駆動部１９により、搬送アーム７０で樹脂２０２が被覆された被加工物１００を搬出可能な状態にし、搬送アーム７０で被加工物１００を搬出する。
搬出ステップＳＴ２０では、具体的には、制御ユニット８０によりピン駆動部１９を作動させて、ピン駆動部１９が、突き上げピン１８を上端が保持面１２より高くなる位置まで移動させる。これにより、搬出ステップＳＴ２０では、突き上げピン１８が、被加工物１００を裏面１０２側から、保持面１２から上方に離間する方向に持ち上げることで、被加工物１００の下面（裏面１０２）と保持テーブル１１の保持面１２との間の間隙３００を形成する。
搬出ステップＳＴ２０では、ピン駆動部１９による突き上げピン１８の移動と併せて、制御ユニット８０により保持テーブル駆動部１３を作動させて、保持テーブル駆動部１３が、保持テーブル１１を上昇させて、保持テーブル１１の保持面１２を収容部１０の開口４－３よりも上方の高さに移動させる。これにより、搬出ステップＳＴ２０では、形成した間隙３００が収容部１０の開口４－３よりも上方の高さに位置されるので、搬送アーム７０を間隙３００の側方から差し込むことが可能な状態となる。
搬出ステップＳＴ２０では、その後、制御ユニット８０により駆動機構７５を作動させて、駆動機構７５が、突き上げピン１８によって形成された被加工物１００の下面（裏面１０２）と保持テーブル１１の保持面１２との間の間隙３００に、搬送アーム７０を差し込む。搬出ステップＳＴ２０では、駆動機構７５が、間隙３００に差し込んだ搬送アーム７０をゆっくりと上昇させて、樹脂２０２が被覆された被加工物１００の裏面１０２側に接触させる。搬出ステップＳＴ２０では、制御ユニット８０によりパッド駆動部７２を作動させて、パッド駆動部７２が、樹脂２０２が被覆された被加工物１００の裏面１０２側に接触した搬送アーム７０の吸着パッド７１を吸着解除状態から吸着状態に切り替えることで、樹脂２０２が被覆された被加工物１００を搬送アーム７０に保持させる。搬出ステップＳＴ２０では、駆動機構７５が、樹脂２０２が被覆された被加工物１００を保持した搬送アーム７０を保持テーブル１１の上方から移動させることで、樹脂２０２が被覆された被加工物１００を搬出する。
ここで、樹脂被覆ステップＳＴ１７では、被加工物１００の上面である表面１０１側に樹脂２０２を被覆し、搬出ステップＳＴ２０では、被加工物１００の裏面１０２側を搬送アーム７０の吸着パッド７１で吸着保持して搬出する。このため、実施形態に係る樹脂被覆装置１及び樹脂の被覆方法は、被覆したての樹脂２０２に接触することなく被加工物１００を搬出することができる。
図１２は、実施形態に係る樹脂の被覆方法における余剰部分切除ステップの一例を示す断面図である。実施形態に係る樹脂の被覆方法は、搬出ステップＳＴ２０の実施後に、図１２に示すように、樹脂２０２のうち、被加工物１００から径方向にはみ出した部分である余剰部分２０３を切除する余剰部分切除ステップをさらに有していてもよい。
余剰部分切除ステップでは、具体的には、図１２に示すように、切除装置９０のカッター９２で、保持テーブル９１で保持された被加工物１００に形成された樹脂２０２のうちの余剰部分２０３を切除する。ここで、切除装置９０は、被加工物１００の外周に向けてカッター９２を保持する円板９３と、円板９３を軸心周りに回転駆動する不図示の回転駆動源とを備え、回転駆動源により円板９３を軸心周りに回転させることで、カッター９２を被加工物１００の外周に沿って回転移動させて、余剰部分２０３を切除する。
実施形態に係る樹脂被覆装置１は、以上のような実施形態に係る樹脂の被覆方法を実施して、樹脂２０２を被覆した被加工物１００を得る。
実施形態に係る樹脂被覆装置１は、以上のように、被加工物１００の裏面１０２側を吸引保持して押圧する保持テーブル１１を収容する収容部１０と、被加工物１００の上面である表面１０１側に供給された固形樹脂２００側を押圧する上テーブル２１を収容する蓋部２０と、蓋部２０が収容部１０の開口４－３を覆うことで形成される密閉された加工空間４を真空にする真空ポンプ５０と、を備える。ここで、実施形態に係る樹脂被覆装置１は、樹脂供給部４０で固形樹脂２００を供給して、保持テーブル１１の加熱手段１４及び上テーブル２１の加熱手段２４で固形樹脂２００を加熱及び溶融して液体化樹脂２０１とし、液体化樹脂２０１を保持テーブル１１及び上テーブル２１で押し広げることで、被加工物１００を被覆する樹脂２０２を形成する。また、樹脂供給部４０で供給する固形樹脂２００は、液状の樹脂と比較して、取り扱いが容易であり、凝固した状態であるために嵩張らず、運搬や保管に工数がかからない。その一方で、樹脂供給部４０で供給する固形樹脂２００は、固形化される際に、周囲の空気やガスを気泡等として内部に取り込むことがある。
これにより、実施形態に係る樹脂被覆装置１は、真空ポンプ５０で真空にした密閉された加工空間４内で、固形樹脂２００を使用して、被加工物１００に樹脂２０２を被覆することができるので、固形樹脂２００の内部に取り込まれた空気やガスを除去でき、液体化樹脂２０１の内部及び被加工物１００と液体化樹脂２０１との間に空気が噛み込まれることを低減及び防止することができるという作用効果を奏する。これにより、実施形態に係る樹脂被覆装置１は、樹脂２０２の内部及び被加工物１００と樹脂２０２との間に空気が噛み込まれることを低減及び防止することができるという作用効果を奏する。以上のように、実施形態に係る樹脂被覆装置１は、固形樹脂２００を使用して、樹脂２０２を好適に被覆することができるという作用効果を奏する。
また、実施形態に係る樹脂の被覆方法は、真空ステップＳＴ１６で真空ポンプ５０により加工空間４を真空にし、その後に、固形樹脂２００を使用して、樹脂被覆ステップＳＴ１７で真空にした加工空間４で被加工物１００に樹脂２０２を被覆することができる。このため、実施形態に係る樹脂の被覆方法は、実施形態に係る樹脂被覆装置１と同様の作用効果を奏するものとなる。
また、実施形態に係る樹脂被覆装置１は、蓋部駆動部３０が、蓋部２０の軌道を制限している移動軌道制限部３１と、シリンダー３８の伸縮により移動軌道制限部３１による制限の範囲内で蓋部２０を移動させる駆動制御部３２とを備える。このため、実施形態に係る樹脂被覆装置１は、蓋部２０をより高い精度で開位置２０－２から所望の閉位置２０－１に移動させることができるとともに、蓋部２０の開口４－４の面が収容部１０の開口４－３の面に対して９０°を超えることを抑制でき、これにより、蓋部２０を安全にかつ省スペースで開位置２０－２に向けて移動させることができるという作用効果を奏する。
また、実施形態に係る樹脂被覆装置１は、さらに被加工物１００を保持テーブル１１に対して搬出する搬送アーム７０をさらに備え、搬送アーム７０が、被加工物１００を保持する吸着パッド７１と、吸着パッド７１を駆動させるパッド駆動部７２とを含む。また、実施形態に係る樹脂被覆装置１は、保持テーブル１１が、被加工物１００を保持する保持面１２と、保持面１２に形成された吸引溝１７と、吸引溝１７と吸引源１６－１とを連通させる連通路１６－２とを含み、保持面１２には、突き上げピン１８と、突き上げピン１８を上下動させるピン駆動部１９が３箇所以上形成される。また、実施形態に係る樹脂被覆装置１は、突き上げピン１８が、被加工物１００を吸引保持する際は、保持面１２以下の高さになり、被加工物１００を保持テーブル１１に対して搬出する際は、保持面１２より高くなるように駆動され、突き上げピン１８によって形成された被加工物１００と保持テーブル１１の間に搬送アーム７０が差し込まれ被加工物１００を搬送する。このため、実施形態に係る樹脂被覆装置１は、被覆したての樹脂２０２に接触することなく被加工物１００を搬出することができるという作用効果を奏する。
また、実施形態に係る樹脂被覆装置１及び樹脂の被覆方法は、樹脂２０２が、粘着テープに使用される粘着層と異なり、実質的に粘着剤のような粘着性は概ね見られず、冷却されることで固化して実質的に粘着性を有さない状態となるため、被加工物１００から剥離されても被加工物１００に残渣として残らないという作用効果を奏する。また、実施形態に係る樹脂被覆装置１及び樹脂の被覆方法は、樹脂２０２が、従来に保護部材として用いられる粘着テープと異なり、厚さが規定されていないため、固形樹脂２００の供給量や押し広げる際の押圧量に応じて、所望の厚さに形成できるため、準備する固形樹脂２００の種類を増やす必要が無く、運搬や保管に工数を低減でき、コスト削減に繋がるという作用効果も奏する。
〔変形例１〕
本発明の実施形態の変形例１に係る樹脂被覆装置１－２及び樹脂の被覆方法を図面に基づいて説明する。図１３は、実施形態の変形例１に係る樹脂被覆装置１－２の一状態を示す断面図である。図１３は、実施形態と同一部分に同一符号を付して説明を省略する。
実施形態の変形例１に係る樹脂被覆装置１－２は、実施形態に係る樹脂被覆装置１において、図１３に示すように、蓋部２０が、さらに、上テーブル２１を押圧面２２に対して直交する方向に沿って駆動させる上テーブル駆動部２３を含むものである。実施形態の変形例１に係る樹脂被覆装置１－２は、その他の構成は、実施形態に係る樹脂被覆装置１と同様である。実施形態の変形例１に係る樹脂の被覆方法は、これに伴い、実施形態に係る樹脂の被覆方法において、樹脂被覆ステップＳＴ１７を変更し、保持テーブル降下ステップＳＴ１９を上テーブル上昇ステップに変更したものである。
実施形態の変形例１に係る樹脂の被覆方法では、樹脂被覆ステップＳＴ１７は、真空ステップＳＴ１６の実施後に、図１３に示すように、上テーブル２１を下降させ、保持テーブル１１との間で液体化樹脂２０１を押し広げ被加工物１００に被覆するステップである。
変形例１に係る樹脂被覆ステップＳＴ１７は、実施形態に係る樹脂被覆ステップＳＴ１７において、制御ユニット８０により保持テーブル駆動部１３を作動させて、保持テーブル駆動部１３により保持テーブル１１を上テーブル２１に対して接近移動させて接触、押圧することに代えて、制御ユニット８０により上テーブル駆動部２３を作動させて、上テーブル駆動部２３により上テーブル２１を保持テーブル１１に対して接近移動させて接触、押圧するものであり、その他の動作については、実施形態に係る樹脂被覆ステップＳＴ１７と同様である。
実施形態の変形例１に係る樹脂の被覆方法では、上テーブル上昇ステップは、実施形態に係る保持テーブル降下ステップＳＴ１９に代えて実施される処理であり、保持テーブル１１で被加工物１００を吸引保持し、上テーブル２１を上昇させるステップである。
上テーブル上昇ステップは、保持テーブル降下ステップＳＴ１９において、制御ユニット８０により保持テーブル駆動部１３を作動させて、保持テーブル駆動部１３により保持テーブル１１を上テーブル２１に対して離間移動させることに代えて、制御ユニット８０により上テーブル駆動部２３を作動させて、上テーブル駆動部２３により上テーブル２１を保持テーブル１１に対して離間移動させるものであり、その他の動作については、保持テーブル降下ステップＳＴ１９と同様である。
また、樹脂被覆装置１－２は、実施形態に係る樹脂の被覆方法と実施形態の変形例１に係る樹脂の被覆方法とを組み合わせた動作を実施することもできる。具体的には、樹脂被覆ステップＳＴ１７において、保持テーブル駆動部１３により保持テーブル１１を上テーブル２１に対して接近移動させるとともに、上テーブル駆動部２３により上テーブル２１を保持テーブル１１に対して接近移動させることができる。また、保持テーブル降下ステップＳＴ１９及び上テーブル上昇ステップを同時並行で実施し、保持テーブル駆動部１３により保持テーブル１１を上テーブル２１に対して離間移動させるとともに、上テーブル駆動部２３により上テーブル２１を保持テーブル１１に対して離間移動させることができる。
実施形態の変形例１に係る樹脂被覆装置１－２及び樹脂の被覆方法は、実施形態と同様に、真空ポンプ５０で真空にした密閉された加工空間４内で、固形樹脂２００を使用して、被加工物１００に樹脂２０２を被覆することができるので、実施形態と同様の作用効果を奏するものとなる。
〔変形例２〕
本発明の実施形態の変形例２に係る樹脂被覆装置１及び樹脂の被覆方法を説明する。実施形態の変形例２に係る樹脂の被覆方法では、実施形態に係る樹脂の被覆方法において、保持テーブル１１の加熱手段１４を使用せずに、上テーブル２１の加熱手段２４を使用して、加熱ステップＳＴ１１を実施する。
実施形態の変形例２に係る樹脂の被覆方法では、実施形態と同様の保持ステップＳＴ１２及び樹脂供給ステップＳＴ１３をこの順に実施後に、密閉ステップＳＴ１５及び真空ステップＳＴ１６をこの順に実施する。そして、その後に実施する樹脂被覆ステップＳＴ１７に伴って、加熱ステップＳＴ１１及び樹脂液体化ステップＳＴ１４を実施する。
変形例２に係る樹脂被覆ステップＳＴ１７では、具体的には、まず、制御ユニット８０によりにより加熱手段２４を駆動させて、加熱手段２４が上テーブル２１の押圧面２２を加熱する。変形例２に係る樹脂被覆ステップＳＴ１７では、次に、保持テーブル１１の保持面１２と上テーブル２１の押圧面２２とを互いに直交する方向に沿って接近させることで、加熱された上テーブル２１の押圧面２２を、保持面１２上の被加工物１００の表面１０１側に供給された固形樹脂２００に接触させる。これにより、変形例２に係る樹脂被覆ステップＳＴ１７では、押圧面２２を介して固形樹脂２００及び被加工物１００を加熱し、固形樹脂２００及び被加工物１００の加熱を介して保持テーブル１１の保持面１２上を加熱することとなり、実質的に加熱ステップＳＴ１１を実施する。また、変形例２に係る樹脂被覆ステップＳＴ１７では、押圧面２２を介して固形樹脂２００を加熱して溶融し、液体化して液体化樹脂２０１となり、実質的に樹脂液体化ステップＳＴ１４を実施する。
変形例２に係る樹脂被覆ステップＳＴ１７は、途中で加熱ステップＳＴ１１及び樹脂液体化ステップＳＴ１４を実施すること以外には、実施形態に係る樹脂被覆ステップＳＴ１７と同様である。また、樹脂被覆ステップＳＴ１７以降に実施する樹脂冷却ステップＳＴ１８、保持テーブル降下ステップＳＴ１９及び搬出ステップＳＴ２０は、実施形態と同様である。
実施形態の変形例２に係る樹脂の被覆方法は、実施形態と同様に、真空ポンプ５０で真空にした密閉された加工空間４内で、固形樹脂２００を使用して、被加工物１００に樹脂２０２を被覆することができるので、実施形態と同様の作用効果を奏するものとなる。
〔変形例３〕
本発明の実施形態の変形例３に係る樹脂被覆装置及び樹脂の被覆方法を説明する。実施形態の変形例３に係る樹脂被覆装置は、実施形態に係る樹脂被覆装置１において、突き上げピン１８を備えず、搬送アーム７０に代えて、搬送アーム７０とは異なる仕様であり、上方又は側方から被加工物１００を保持して搬送する搬送機構を備えるように変更したものである。これにより、実施形態の変形例３に係る樹脂の被覆方法では、実施形態に係る樹脂の被覆方法において、搬出ステップＳＴ２０を変更したものとなる。
実施形態の変形例３に係る搬出ステップＳＴ２０では、突き上げピン１８によって形成した被加工物１００と保持テーブル１１の間に搬送アーム７０を差し込んで被加工物１００を搬送することに代えて、変形例３に係る搬送機構が、保持テーブル１１の保持面１２上の樹脂２０２が被覆された被加工物１００を上方又は側方から保持して搬出する。
実施形態の変形例３に係る樹脂の被覆方法は、実施形態と同様に、真空ポンプ５０で真空にした密閉された加工空間４内で、固形樹脂２００を使用して、被加工物１００に樹脂２０２を被覆することができるので、突き上げピン１８及び搬送アーム７０によってもたらされる作用効果を除き、実施形態と同様の作用効果を奏するものとなる。
〔変形例４〕
本発明の実施形態の変形例４に係る樹脂被覆装置１及び樹脂の被覆方法を図面に基づいて説明する。図１４は、実施形態の変形例４に係る樹脂の被覆方法を示す断面図である。図１５は、実施形態の変形例４に係る樹脂の被覆方法を経て得られるフレームユニット４００を示す断面図である。図１４及び図１５は、実施形態と同一部分に同一符号を付して説明を省略する。
本発明の実施形態の変形例４に係る樹脂の被覆方法は、実施形態に係る樹脂の被覆方法において、図１４に示すように、樹脂供給ステップＳＴ１３の実施前に、環状のフレーム１０９の開口１０９－１の中に被加工物１００を位置付ける準備ステップを備え、樹脂被覆ステップＳＴ１７では、開口１０９－１を覆うように樹脂２０２を押し広げて、被加工物１００にフレーム１０９を樹脂２０２で固定するものである。本発明の実施形態の変形例４に係る樹脂の被覆方法は、その他の処理については、実施形態に係る樹脂の被覆方法と同様である。
実施形態の変形例４に係る準備ステップでは、具体的には、図１４に示すように、保持テーブル１１の保持面１２にフレーム１０９と被加工物１００を載置する。なお、実施形態の変形例４に係る準備ステップでは、被加工物１００の載置と、フレーム１０９の載置との順番を問わない。このようにして、準備ステップでは、保持テーブル１１の保持面１２上において、環状のフレーム１０９の開口１０９－１の中に被加工物１００を位置付ける。
実施形態の変形例４に係る樹脂供給ステップＳＴ１３では、被加工物１００において上方に露出した面である表面１０１側に加えて、フレーム１０９上と、保持テーブル１１の保持面１２における被加工物１００とフレーム１０９との間の領域とにも、固形樹脂２００を供給することが好ましい。
実施形態の変形例４に係る樹脂被覆ステップＳＴ１７では、樹脂２０２を、被加工物１００の表面１０１側に加えて、フレーム１０９上と、保持テーブル１１の保持面１２における被加工物１００とフレーム１０９との間の領域とにも押し広げることで、被加工物１００にフレーム１０９を樹脂２０２で固定して、図１５に示すフレームユニット４００を得る。
フレームユニット４００は、実施形態の変形例４に係る樹脂の被覆方法を経て得られるものであり、図１５に示すように、被加工物１００と、被加工物１００を開口１０９－１内で囲繞するフレーム１０９と、被加工物１００及びフレーム１０９の一方の面側を覆い、被加工物１００とフレーム１０９とに貼着された樹脂２０２と、を有する。樹脂２０２は、被加工物１００の外周とフレーム１０９の開口１０９－１との間の領域に充填され、被加工物１００とフレーム１０９とを強固に一体化して、環状のフレーム１０９の開口１０９－１の中に被加工物１００を強固に固定している。
実施形態の変形例４に係る樹脂被覆装置１－３及び樹脂の被覆方法は、実施形態と同様に、真空ポンプ５０で真空にした密閉された加工空間４内で、固形樹脂２００を使用して、被加工物１００に樹脂２０２を被覆することができるので、実施形態と同様の作用効果を奏するものとなる。これに加えて、実施形態の変形例４に係る樹脂被覆装置１－３及び樹脂の被覆方法は、被加工物１００に対する樹脂２０２の被覆と同時に、被加工物１００の環状のフレーム１０９の開口１０９－１の中への固定をすることができるという作用効果を奏する。
なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。即ち、本発明の骨子を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。例えば、上記した実施形態及び各変形例において使用する固形樹脂２００は、紫外線からの回路保護や回路の秘匿を目的として、黒などの暗色に着色されていてもよく、紫外線吸収剤を混練させてもよい。
１，１－２ 樹脂被覆装置
２－１，２－２ 筐体
３ 枠体
４ 加工空間
４－１，４－２ 空間
４－３，４－４ 開口
５，６ 突出部
１０ 収容部
１１ 保持テーブル
１２ 保持面
１３ 保持テーブル駆動部
１４，２４ 加熱手段
１６－１ 吸引源
１６－２ 連通路
１７ 吸引溝
１８ 突き上げピン
１９ ピン駆動部
２０ 蓋部
２０－１ 閉位置
２０－２ 開位置
２１ 上テーブル
２２ 押圧面
２３ 上テーブル駆動部
３０ 蓋部駆動部
３１ 移動軌道制限部
３２ 駆動制御部
３３ 固定アーム
３４ 移動アーム
３５ 支点部
３６ 固定側支点部
３７ 移動側支点部
３８ シリンダー
４０ 樹脂供給部
５０ 真空ポンプ
６０ 大気圧開放部
６１ 大気圧開放路
６２ 大気圧開放弁
７０ 搬送アーム
７１ 吸着パッド
７２ パッド駆動部
８０ 制御ユニット
１００ 被加工物
１０１ 表面
１０２ 裏面
１０９ フレーム
１０９－１ 開口
２００ 固形樹脂
２０１ 液体化樹脂
２０２ 樹脂

Claims (4)

  1. 被加工物の一方の面に樹脂を被覆する樹脂被覆装置を用いて被加工物に樹脂を被覆する樹脂の被覆方法であって、
    該樹脂被覆装置は、
    被加工物を吸引保持する保持テーブルと、該保持テーブルを上下方向に駆動させる保持テーブル駆動部と、を含む収容部と、
    該収容部の開口を覆い、密閉された加工空間を形成する蓋部と、
    該収容部と該蓋部とを連結するとともに該蓋部を該収容部に対して開閉可能に駆動させる蓋部駆動部と、
    該保持テーブルに保持された被加工物に固形の樹脂を供給する樹脂供給部と、
    該収容部と該蓋部とで密閉される該加工空間を真空にする真空ポンプと、
    該加工空間に大気圧を供給するとともに被加工物に被覆された樹脂を冷却する大気圧開放弁と、を備え、
    該蓋部は、
    該保持テーブルと対向し該保持テーブルと相対的に近づけることで被加工物の上に供給された樹脂を押し広げ被加工物に被覆する上テーブルを含み、
    該保持テーブルまたは該上テーブルの少なくともいずれかに樹脂を溶かす加熱手段が備えられており、
    該保持テーブルを加熱する加熱ステップと、
    被加工物を該保持テーブルに保持する保持ステップと、
    該保持テーブルに保持された被加工物の上面に固形の樹脂を供給する樹脂供給ステップと、
    加熱された該保持テーブルによって樹脂を液体化させる樹脂液体化ステップと、
    該蓋部を閉めて該収容部の開口を覆い該収容部と該蓋部によって密閉された該加工空間を形成する密閉ステップと、
    該真空ポンプによって該加工空間を真空にする真空ステップと、
    該真空ステップの実施後に、該保持テーブルを上昇させ該上テーブルとの間で樹脂を押し広げ被加工物に被覆する樹脂被覆ステップと、
    該保持テーブルが上昇した状態で保持テーブルの加熱を止め、該大気圧開放弁から大気圧を挿入し、樹脂を冷却して硬化させる樹脂冷却ステップと、
    該保持テーブルで被加工物を吸引保持し該保持テーブルを降下させる保持テーブル降下ステップと、
    該保持テーブル降下ステップの実施後に、該蓋部を開け樹脂が被覆された被加工物を該保持テーブルから搬出する搬出ステップと、
    を備えることを特徴とする樹脂の被覆方法。
  2. 該樹脂被覆装置は、
    被加工物を保持テーブルに対して搬出する搬送アームを更に備え、
    該搬送アームは、
    被加工物を吸着する吸着パッドと、
    該吸着パッドを駆動させるパッド駆動部と、を含み、
    該保持テーブルは、
    被加工物を保持する保持面と、
    該保持面に形成された吸引溝と、
    該吸引溝と吸引源とを連通させる連通路と、を含み、
    該保持面には、
    突き上げピンと該突き上げピンを上下動させるピン駆動部が３箇所以上形成され、
    該突き上げピンは、
    被加工物を保持する際は、該保持面以下の高さになり、被加工物を保持テーブルに対して搬出する際は、該保持面より高くなるように駆動され、該突き上げピンによって形成された被加工物と該保持テーブルの間に搬送アームが差し込まれ被加工物を搬送することを特徴とする請求項１に記載の樹脂の被覆方法。
  3. 被加工物の一方の面に樹脂を被覆する樹脂被覆装置であって、
    該樹脂被覆装置は、
    被加工物を吸引保持する保持テーブルと、該保持テーブルを上下方向に駆動させる保持テーブル駆動部と、を含む収容部と、
    該収容部の開口を覆い、密閉された加工空間を形成する蓋部と、
    該収容部と該蓋部とを連結するとともに該蓋部を該収容部に対して開閉可能に駆動させる蓋部駆動部と、
    該保持テーブルに保持された被加工物に固形の樹脂を供給する樹脂供給部と、
    該収容部と該蓋部とで密閉される該加工空間を真空にする真空ポンプと、
    該加工空間に大気圧を供給するとともに被加工物に被覆された樹脂を冷却する大気圧開放弁と、を備え、
    該蓋部は、
    該保持テーブルと対向し該保持テーブルと相対的に近づけることで被加工物の上に供給された樹脂を押し広げ被加工物に被覆する上テーブルを含み、
    該保持テーブルまたは該上テーブルの少なくともいずれかに樹脂を溶かす加熱手段が備えられており、
    該蓋部駆動部は、
    該収容部に対して相対的に移動する該蓋部の軌道を制限する移動軌道制限部と、
    該移動軌道制限部に対して駆動力を加えることで、該収容部に対して該蓋部を相対的に移動させる駆動制御部と、を備え、
    該移動軌道制限部は、
    該収容部側に固定された固定アームと、
    該蓋部側に固定され、該蓋部と共に移動する移動アームと、
    該固定アームと該移動アームとを互いに相対的に回転可能に連結する支点部と、を備え、
    該駆動制御部は、
    一軸方向に伸縮して駆動力を加えるシリンダーを備え、
    該シリンダーは、一方の端部が該収容部側に回転可能に連結され、他方の端部が該移動アームに回転可能に連結され、
    該シリンダーが伸縮することで、該支点部において該固定アームと該移動アームとの間で形成される角度を変更して、該収容部に対して該蓋部を相対的に移動させることを特徴とする樹脂被覆装置。
  4. 該樹脂被覆装置は、
    被加工物を保持テーブルに対して搬出する搬送アームを更に備え、
    該搬送アームは、
    被加工物を吸着する吸着パッドと、
    該吸着パッドを駆動させるパッド駆動部と、を含み、
    該保持テーブルは、
    被加工物を保持する保持面と、
    該保持面に形成された吸引溝と、
    該吸引溝と吸引源とを連通させる連通路と、を含み、
    該保持面には、
    突き上げピンと該突き上げピンを上下動させるピン駆動部が３箇所以上形成され、
    該突き上げピンは、
    被加工物を保持する際は、該保持面以下の高さになり、被加工物を保持テーブルに対して搬出する際は、該保持面より高くなるように駆動され、該突き上げピンによって形成された被加工物と該保持テーブルの間に搬送アームが差し込まれ被加工物を搬送することを特徴とする請求項３に記載の樹脂被覆装置。
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