JP2018142680A5 - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
JP2018142680A5
JP2018142680A5 JP2017037712A JP2017037712A JP2018142680A5 JP 2018142680 A5 JP2018142680 A5 JP 2018142680A5 JP 2017037712 A JP2017037712 A JP 2017037712A JP 2017037712 A JP2017037712 A JP 2017037712A JP 2018142680 A5 JP2018142680 A5 JP 2018142680A5
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
electronic device
substrate
electronic component
electronic
component according
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2017037712A
Other languages
English (en)
Other versions
JP6884595B2 (ja
JP2018142680A (ja
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to JP2017037712A priority Critical patent/JP6884595B2/ja
Priority claimed from JP2017037712A external-priority patent/JP6884595B2/ja
Priority to US15/905,660 priority patent/US10529869B2/en
Publication of JP2018142680A publication Critical patent/JP2018142680A/ja
Publication of JP2018142680A5 publication Critical patent/JP2018142680A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP6884595B2 publication Critical patent/JP6884595B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Description

上記課題を解決するための手段は、基板と、前記基板の上に配された電子デバイスと、前記基板と前記電子デバイスとの間に配された結合部材と、を備える電子部品であって、前記電子デバイスは、前記電子デバイスの中心を含む第1領域、および、前記第1領域と前記電子デバイスの縁との間の第2領域を有し、前記結合部材は、前記電子デバイスの前記第1領域と前記基板との間に配置された第1部分と、前記電子デバイスの前記第2領域と前記基板との間に配置された第2部分と、を含み前記電子デバイスと前記基板との間であって、前記第1部分と前記第2部分との間には空隙が設けられており、前記基板には、前記空隙に連通する貫通孔が、前記電子デバイスの前記中心に重ならないように設けられていることを特徴とする電子部品である。

Claims (20)

  1. 基板と、
    前記基板の上に配された電子デバイスと、
    前記基板と前記電子デバイスとの間に配された結合部材と、を備える電子部品であって、
    前記電子デバイスは、前記電子デバイスの中心を含む第1領域、および、前記第1領域と前記電子デバイスの縁との間の第2領域を有し、
    前記結合部材は、前記電子デバイスの前記第1領域と前記基板との間に配置された第1部分と、前記電子デバイスの前記第2領域と前記基板との間に配置された第2部分と、を含み
    前記電子デバイスと前記基板との間であって、前記第1部分と前記第2部分との間には空隙が設けられており、
    前記基板には、前記空隙に連通する貫通孔が、前記電子デバイスの前記中心に重ならないように設けられていることを特徴とする電子部品。
  2. 前記空隙が前記第2部分で囲まれていることを特徴とする請求項1に記載の電子部品。
  3. 前記中心と前記縁とを結ぶ線分に重なる位置において、前記空隙が前記第1部分と前記第2部分との間に設けられている請求項1または2に記載の電子部品。
  4. 前記第1領域と前記第2領域の境界は、前記中心と前記縁の各点を結ぶ複数の線分の各々中点を結んだ線で定義されることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の電子部品。
  5. 基板と、
    前記基板の上に配された電子デバイスと、
    前記基板と前記電子デバイスとの間に配された結合部材と、を備える電子部品であって、
    前記結合部材は、前記電子デバイスの中心に重なるように配置されており、
    前記電子デバイスと前記基板との間には空隙が設けられており、
    前記基板には、前記空隙に連通する貫通孔が設けられていることを特徴とする電子部品。
  6. 前記結合部材が前記空隙で囲まれていることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の電子部品。
  7. 前記電子デバイスと前記基板との間には、前記空隙を含む複数の空隙が設けられており、前記基板には、前記複数の空隙の各々に対応して、複数の貫通孔が設けられていることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の電子部品。
  8. 前記基板と前記電子デバイスとの間には、前記貫通孔を覆う膜が設けられており、前記膜には前記貫通孔と前記空隙とを連通する穴が設けられていることを特徴とする請求項1乃至7のいずれか1項に記載の電子部品。
  9. 前記膜には前記結合部材が接触していないことを特徴とする請求項8に記載の電子部品。
  10. 前記膜の厚さが50μm以下であることを特徴とする請求項7または8に記載の電子部品。
  11. 前記電子デバイスに対向する透光部材を更に備え、前記電子デバイスは前記透光部材と前記基板との間に配されていることを特徴とする請求項1乃至10のいずれか1項に記載の電子部品。
  12. 前記基板および前記電子デバイスを覆う樹脂部材を更に備えることを特徴とする請求項1乃至11のいずれか1項に記載の電子部品。
  13. 前記電子デバイスに対向する透光部材と、
    前記基板および前記透光部材に接触する樹脂部材を更に備え、
    前記樹脂部材は、前記透光部材と前記電子デバイスとの間に位置する部分を有することを特徴とする請求項1乃至12のいずれか1項に記載の電子部品。
  14. 前記電子デバイスが光学デバイスであることを特徴とする請求項1乃至13のいずれか1項に記載の電子部品。
  15. 請求項1乃至13のいずれか1項に記載の電子部品と、
    前記電子部品を搭載する配線板と、
    前記電子部品の前記基板と前記配線板との間に配された半田部材と、
    を備える電子機器。
  16. 基板を用意する工程と、
    電子デバイスであって、前記電子デバイスの中心を含む第1領域、および、前記第1領域と前記電子デバイスの縁との間の第2領域を有する電子デバイスを用意する工程と、
    前記基板と前記電子デバイスとを、前記基板と前記電子デバイスの前記第1領域との間に配された結合部材を介して接合する工程と、
    前記接合する工程の後に、前記基板と前記電子デバイスとの間の空隙を、前記基板に対して前記電子デバイスとは反対側の空間に連通させる工程を有することを特徴とする電子部品の製造方法。
  17. 前記接合する工程では、前記基板には膜で覆われた貫通孔が設けられており、
    前記連通させる工程では、前記膜を加工することにより前記空隙と前記空間を連通せることを特徴とする請求項16に記載の電子部品の製造方法。
  18. 前記接合する工程では、前記膜が前記基板と前記電子デバイスとの間に配されていることを特徴とする請求項17に記載の電子部品の製造方法。
  19. 前記加工を、前記膜へのレーザー光の照射、または、前記基板の加熱により行うこと特徴とする請求項16乃至18のいずれか1項に記載の電子部品の製造方法。
  20. 前記接合する工程において、前記基板の上には前記電子デバイスを含む複数の電子デバイスが設けられており、
    前記接合する工程と前記連通させる工程との間に、前記複数の電子デバイスごとに、前記基板を切断する工程を有することを特徴とする請求項16乃至19のいずれか1項に記載の電子部品の製造方法。
JP2017037712A 2017-02-28 2017-02-28 電子部品、電子機器及び電子部品の製造方法 Active JP6884595B2 (ja)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2017037712A JP6884595B2 (ja) 2017-02-28 2017-02-28 電子部品、電子機器及び電子部品の製造方法
US15/905,660 US10529869B2 (en) 2017-02-28 2018-02-26 Electronic component, electronic equipment, and method for manufacturing electronic component

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2017037712A JP6884595B2 (ja) 2017-02-28 2017-02-28 電子部品、電子機器及び電子部品の製造方法

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2018142680A JP2018142680A (ja) 2018-09-13
JP2018142680A5 true JP2018142680A5 (ja) 2020-04-09
JP6884595B2 JP6884595B2 (ja) 2021-06-09

Family

ID=63246972

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2017037712A Active JP6884595B2 (ja) 2017-02-28 2017-02-28 電子部品、電子機器及び電子部品の製造方法

Country Status (2)

Country Link
US (1) US10529869B2 (ja)
JP (1) JP6884595B2 (ja)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114365267A (zh) * 2019-10-10 2022-04-15 索尼半导体解决方案公司 半导体装置

Family Cites Families (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3394875B2 (ja) * 1996-11-29 2003-04-07 日立化成工業株式会社 半導体装置用チップ支持基板
JP3661822B2 (ja) * 1997-01-31 2005-06-22 日立化成工業株式会社 半導体パッケ−ジ用チップ支持基板
JPH11186294A (ja) * 1997-10-14 1999-07-09 Sumitomo Metal Smi Electron Devices Inc 半導体パッケージ及びその製造方法
JP2003303923A (ja) * 2002-04-11 2003-10-24 Hitachi Ltd 半導体装置およびその製造方法
JP3782406B2 (ja) 2003-07-01 2006-06-07 松下電器産業株式会社 固体撮像装置およびその製造方法
JP4049176B2 (ja) 2005-08-29 2008-02-20 ヤマハ株式会社 半導体装置及びその製造方法
JP5082542B2 (ja) 2007-03-29 2012-11-28 ソニー株式会社 固体撮像装置
JP2008283004A (ja) 2007-05-11 2008-11-20 Matsushita Electric Ind Co Ltd 半導体装置
JP4609476B2 (ja) 2007-10-12 2011-01-12 ヤマハ株式会社 半導体装置の封止樹脂層及び半導体装置の封止樹脂層の形成方法
JP4609477B2 (ja) 2007-10-12 2011-01-12 ヤマハ株式会社 半導体装置
JP2009188191A (ja) * 2008-02-06 2009-08-20 Fujitsu Microelectronics Ltd 半導体装置及び半導体装置の製造方法
JP5590814B2 (ja) 2009-03-30 2014-09-17 ピーエスフォー ルクスコ エスエイアールエル 半導体装置及びその製造方法
JP2010245337A (ja) 2009-04-07 2010-10-28 Elpida Memory Inc 半導体装置及びその製造方法
JP6478449B2 (ja) * 2013-08-21 2019-03-06 キヤノン株式会社 装置の製造方法及び機器の製造方法
JP6377510B2 (ja) 2014-12-09 2018-08-22 シャープ株式会社 半導体装置、および半導体装置の製造方法
JP2016169952A (ja) 2015-03-11 2016-09-23 セイコーエプソン株式会社 物理量センサー、物理量センサーの製造方法、電子機器および移動体

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US9295158B2 (en) Method of manufacturing printed circuit board having electronic component embedded
US20170372980A1 (en) Method for manufacturing wiring board
US9832878B2 (en) Wiring board with cavity for built-in electronic component and method for manufacturing the same
JP2016066699A (ja) 複合配線基板およびその実装構造体
US9820381B2 (en) Semi-finished product for the production of a printed circuit board and method for producing the same
US20160143137A1 (en) Printed circuit board and method of manufacturing the same, and electronic component module
KR20170067472A (ko) 인쇄회로기판 및 이를 구비한 전자소자 패키지
JP2015195272A5 (ja)
JP2018142680A5 (ja)
US20160353585A1 (en) Method for forming a via structure using a double-side laser process
JP2015156471A5 (ja)
JP2016207743A5 (ja)
JP2016127148A (ja) 配線基板の製造方法
JP5189672B2 (ja) 部品内蔵基板およびその製造方法
JP7103030B2 (ja) 電子部品内蔵パッケージ及びその製造方法
TWI567909B (zh) 半導體封裝件的製造方法
TW201316871A (zh) 製造電路板的方法和電路板總成
JP2013041926A (ja) 部品内蔵基板の製造方法
US8987871B2 (en) Cap for a microelectromechanical system device with electromagnetic shielding, and method of manufacture
KR102559345B1 (ko) 인쇄회로기판
US9370107B2 (en) Embedded component structure and process thereof
TW201616928A (zh) 內埋式元件封裝結構的製作方法
JP2017108033A (ja) 配線基板及びその製造方法
TW201801586A (zh) 具有段差結構的多層電路板及其製作方法
KR20160116484A (ko) 인쇄회로기판