JP2018137270A - アライメント方法及びアライメント装置 - Google Patents
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Abstract
Description
実施形態1に係るアライメント装置及びアライメント方法を説明する。図1は、実施形態1に係るアライメント装置の概要を例示した図である。図1に示すように、本実施形態に係るアライメント装置1は、テーブル10及び光学系20を備えている。アライメント装置1は、テーブル10に支持したウェハ40の位置決めを行う装置である。
図3は、実施形態1に係るアライメント方法を例示したフローチャート図である。図3のステップS11に示すように、まず、回転軸14を有するテーブル10上にウェハ40を支持させる。例えば、テーブル10の上面上にウェハ40を吸着させてウェハ40を支持させる。
アライメント装置1は、ウェハ40の端部45に形成されたノッチ49の内面49aを照明した照明光が、ノッチ49の内面49aによって反射された反射光を用いてウェハ40の位置決めを行っている。よって、ウェハ40の位置を精度よく決定することができる。特に、ノッチ49の内面49aの形状は、中心部を中心にした対称形に高精度に形成されているので、ウェハ40の位置を精度よく決定することができる。
次に、実施形態2に係るアライメント装置2及びアライメント方法を説明する。本実施形態は、実施形態1に比べて、ウェハ40の偏芯量を測定し、測定した偏芯量に基づいて、ウェハ40の位置を補正する機能が付加されている。まず、本実施形態のアライメント装置2の構成を説明する。図9は、実施形態2に係るアライメント装置2の構成を例示した図である。図9に示すように、本実施形態に係るアライメント装置2は、テーブル10、θ軸モータ15、光学系20、Z軸モータ25、制御部30を備えている。
図12のステップS27に示すように、制御部30は、アライメント装置2で算出した偏芯量に基づいて、テーブル10を移動させることにより偏芯量を補正する。具体的には、制御部30の軸制御処理部31は、データ処理部34に保存してある回転角度θに対応した端部45の位置における偏芯量を打ち消すように、すなわち、回転角度θに対応した端部45の位置における偏芯量と逆方向の移動量となるように、R軸テーブル13を光軸64方向に移動させる。例えば、90°の回転角度に対応した端部45が撮像する位置にきたときには、R軸テーブル13を−Z軸方向に移動させる。また、270°の回転角度に対応した端部45が撮像する位置にきたときには、R軸テーブル13を+Z軸方向に移動させる。R軸テーブル13の駆動は、モータドライバ19を介して制御部30により制御される。なお、フィードバック制御においては、R軸テーブルの駆動及びZ軸方向への対物レンズ60の駆動における応答の遅れが生じる場合には、その遅れ分を考慮した付加データを使用することができる。
アライメント装置2は、オートフォーカスにより導いた対物レンズ60の位置から、ウェハ40の偏芯量を算出している。これにより、ウェハ40の偏芯量を精度よくかつ低コストで測定することができる。
10 テーブル
11 上面
12 R軸モータ
13 R軸テーブル
14 回転軸
15 θ軸モータ(第1駆動部)
16a、16b ガイド
17 θ軸テーブル
18 真空チャック
19 モータドライバ
20 光学系
21 フォーカス移動軸
22a、22b、22c ハーフミラー
23a、23b、23c レンズ
24a、24b フォトダイオード
25 Z軸モータ(第2駆動部)
29 モータドライバ
30 制御部
31 軸制御処理部
32 カメラ制御部
33 オートフォーカス制御部
34 データ処理部
40 ウェハ
41 表面
42 裏面
43 中心
44 中心軸
45 端部
46 回転中心
47 基準線
48 側面
49 ノッチ
49a 内面
50 光源
60 対物レンズ
64 光軸
70 撮像部
71 画素
80 オートフォーカス光学系
Claims (11)
- ウェハの端部に形成されたノッチの内面であって、前記ウェハの周縁に沿った方向において前記ウェハの側面に挟まれた前記内面を照明した照明光が、前記内面によって反射された反射光を用いて前記ウェハの位置決めを行う、
アライメント方法。 - 前記内面によって前記反射光が線状に集光された線状像の画像を撮像した前記端部の位置に基づいて、前記ウェハを回転させることにより、前記ウェハの位置決めを行う、
請求項1に記載のアライメント方法。 - 回転軸を有するテーブル上に前記ウェハを支持し、
前記回転軸を中心に前記テーブルを回転させ、
前記端部を前記照明光で照明し、
前記照明光が前記端部によって反射した前記反射光を対物レンズで集光し、
前記対物レンズにより集光した前記反射光を検出することによって前記端部の画像を撮像し、
オートフォーカス光学系により、前記画像の焦点が合う前記対物レンズの位置であって、前記対物レンズの光軸方向における位置を導き、
前記オートフォーカス光学系が導いた前記位置に前記対物レンズを移動させ、
前記画像のデータに、所定の付加データを付加し、
前記ウェハを一回転させたときの前記光軸方向における前記対物レンズの位置に基づいて、前記回転軸と前記ウェハとの偏芯量を算出し、
前記偏芯量に基づいて前記テーブルを移動させることにより、前記ウェハの位置決めを行う、
請求項1または2に記載のアライメント方法。 - 前記付加データを、
前記画像を撮像したときの前記ノッチの位置、前記画像を撮像したときの前記端部の位置、及び、前記光軸方向における前記対物レンズの位置を含むようにする、
請求項3に記載のアライメント方法。 - 一方向に並んだ複数の画素によって、前記端部を前記回転軸の方向に沿って撮像する、
請求項3または4に記載のアライメント方法。 - ウェハの端部に形成されたノッチの内面であって、前記ウェハの周縁に沿った方向において前記ウェハの側面に挟まれた前記内面を照明した照明光が、前記内面によって反射された反射光を用いて前記ウェハの位置決めを行う、
アライメント装置。 - 前記内面によって前記反射光が線状に集光された線状像の画像を撮像した前記端部の位置に基づいて、前記ウェハを回転させることにより、前記ウェハの位置決めを行う、
請求項6に記載のアライメント装置。 - 回転軸を有し、前記ウェハを支持するテーブルと、
前記回転軸を中心に前記テーブルを回転させる第1駆動部と、
前記ウェハの端部を照明する前記照明光を生成する光源と、
前記照明光が前記端部によって反射した前記反射光を集光する対物レンズと、
前記対物レンズを前記対物レンズの光軸方向に移動させる第2駆動部と、
前記対物レンズにより集光した前記反射光を検出することによって前記端部の画像を撮像する撮像部と、
前記撮像部において前記画像の焦点が合う前記光軸方向における前記対物レンズの位置を導くオートフォーカス光学系と、
前記テーブルを移動させる移動手段と、
前記第1駆動部及び前記第2駆動部を制御する制御部と、
を備え、
前記制御部は、
前記オートフォーカス光学系が導いた前記位置に前記対物レンズを移動させ、
前記画像のデータに、所定の付加データを付加させ、
前記ウェハを一回転させたときの前記光軸方向における前記対物レンズの位置に基づいて、前記回転軸と前記ウェハとの偏芯量を算出し、
前記偏芯量に基づいて前記テーブルを移動させることにより、前記ウェハの位置決めを行う、
請求項6または7に記載のアライメント装置。 - 前記付加データは、
前記画像を撮像したときの前記ノッチの位置、前記画像を撮像したときの前記端部の位置、及び、前記光軸方向における前記対物レンズの位置を含む、
請求項8に記載のアライメント装置。 - 前記撮像部は、一方向に並んだ複数の画素を含み、
前記複数の画素は、前記端部を前記回転軸の方向に沿って撮像する、
請求項8または9に記載のアライメント装置。 - 前記撮像部は、2次元に並んだ複数の画素を含む2次元COMSカメラであり、
前記複数の画素は、前記端部を、回転軸の方向及び周方向を辺とした領域ごとに撮像する、
請求項8または9に記載のアライメント装置。
Priority Applications (1)
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JP2017028921A JP6210525B1 (ja) | 2017-02-20 | 2017-02-20 | アライメント方法及びアライメント装置 |
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JP6210525B1 JP6210525B1 (ja) | 2017-10-11 |
JP2018137270A true JP2018137270A (ja) | 2018-08-30 |
Family
ID=60040378
Family Applications (1)
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Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000068360A (ja) * | 1998-08-20 | 2000-03-03 | Assist Kk | ウェハ検出装置 |
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-
2017
- 2017-02-20 JP JP2017028921A patent/JP6210525B1/ja active Active
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