JP2018133429A - 基板処理装置 - Google Patents
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Abstract
Description
1 基板処理システム
60 ノズルバス
61 第1受液槽
62 第2受液槽
80 側壁
81〜84 第1壁部〜第4壁部
90 洗浄液供給部
91〜94 第1供給部〜第4供給部
812 第1溝部
821 第2溝部
831 第3溝部
842 第4溝部
911 第1吐出口
921 第2吐出口
931 第3吐出口
941 第4吐出口
Claims (8)
- 基板を保持する保持部と、
前記保持部に保持された前記基板の上方から該基板に処理液を吐出するノズルと、
前記ノズルを前記基板の上方から退避させた退避位置に配置され、前記退避位置に退避させた前記ノズルから吐出された前記処理液を受けて外部へ排出するノズルバスと、
前記基板の上方における処理位置と前記退避位置との間で前記ノズルを水平移動させる移動機構と
を備え、
前記ノズルは、
前記水平移動時と同一の高さ位置から前記ノズルバスに対して前記処理液を吐出し、
前記ノズルバスは、
前記高さ位置よりも高い位置まで延在する側壁と、
前記側壁に洗浄液を供給する洗浄液供給部と
を備えることを特徴とする基板処理装置。 - 前記側壁は、
該側壁を厚み方向に窪ませた溝部
を備え、
前記溝部は、
前記側壁の一端側から他端側へ横方向に延在する部分を有し、
前記洗浄液供給は、
前記溝部における前記一端側の端部に設けられ、前記一端側から前記他端側へ向けて前記洗浄液を吐出する吐出口
を備えることを特徴とする請求項1に記載の基板処理装置。 - 前記溝部の底部は、
前記側壁の壁面に向かって下る傾斜面を有すること
を特徴とする請求項2に記載の基板処理装置。 - 前記ノズルバスは、
前記ノズルから吐出された前記洗浄液を受ける受液槽
を備え、
前記溝部は、
前記一端側から前記他端側へ向かう第1の部分と、
前記第1の部分の前記他端側の端部から前記受液槽側へ向かう第2の部分と
を有することを特徴とする請求項3に記載の基板処理装置。 - 前記側壁は、
前記移動機構による前記ノズルの移動軌跡と交わる部分に、前記ノズルを通過させる通過部
を備えることを特徴とする請求項1〜4のいずれか一つに記載の基板処理装置。 - 前記保持部、前記ノズルおよび前記ノズルバスを収容する処理室
を備え、
前記側壁は、
前記退避位置に退避させた前記ノズルと前記処理室の内壁との間に配置される部分を有すること
を特徴とする請求項1〜5のいずれか一つに記載の基板処理装置。 - 前記洗浄液供給部から前記側壁に供給される前記洗浄液の流量を変更する流量調整機構と、
前記流量調整機構を制御する制御部と
を備え、
前記制御部は、
前記流量調整機構を制御することにより、前記洗浄液供給部から前記側壁に供給される前記洗浄液の流量を変化させながら、前記洗浄液供給部から前記側壁に前記洗浄液を供給すること
を特徴とする請求項1〜6のいずれか一つに記載の基板処理装置。 - 前記制御部は、
前記流量調整機構を制御することにより、前記洗浄液供給部から前記側壁に供給される前記洗浄液の流量を、前記洗浄液供給部から前記側壁への前記洗浄液の供給を開始する場合における流量よりも少なくした状態で、前記洗浄液供給部から前記側壁への前記洗浄液の供給を停止すること
を特徴とする請求項7に記載の基板処理装置。
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