JP2018125759A - 圧電薄膜共振器、フィルタおよびマルチプレクサ - Google Patents
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Abstract
Description
下部電極12の下層12a:膜厚が100nmのCr膜
下部電極12の上層12b:膜厚が200nmのRu膜
圧電膜14:膜厚が1260nmのAlN膜
下部圧電膜14a:膜厚が630nmのAlN膜
上部圧電膜14b:膜厚が630nmのAlN膜
挿入膜28:酸化シリコン膜
上部電極16:膜厚が230nmのRu膜
共振領域50の幅W5:42μm
共振領域50より外側の空隙30の幅W6:13μm
共振領域50より外側の下部圧電膜14aの幅W7:8μm
挿入膜28の膜厚d0:150nm
挿入膜28の挿入幅W0:2200nm
比較例2
挿入膜28の膜厚d0:300nm
挿入膜28の挿入幅W0:2800nm
サンプルd1=200nm
挿入膜28aの膜厚d1:200nm
挿入膜28aの挿入幅W1:3400nm
挿入膜28bの膜厚d2:300nm
挿入膜28bの挿入幅W2:4000nm
サンプルd1=205nm
挿入膜28aの膜厚d1:205nm
挿入膜28aの挿入幅W1:3400nm
挿入膜28bの膜厚d2:300nm
挿入膜28bの挿入幅W2:3800nm
サンプルd1=210nm
挿入膜28aの膜厚d1:210nm
挿入膜28aの挿入幅W1:4400nm
挿入膜28bの膜厚d2:300nm
挿入膜28bの挿入幅W2:2800nm
図14(b)に示すように、下部電極12上において下部圧電膜14aおよび挿入膜28bが空隙30の外側まで延伸している。上部圧電膜14bの外輪郭が空隙30の外輪郭66の内側に位置するため、領域54の外輪郭64は空隙30の外輪郭66より内側に位置する。その他の構成は実施例1と同じであり説明を省略する。
図14(c)に示すように、下部圧電膜14aおよび挿入膜28bが空隙30の外側まで延伸している。上部圧電膜14bの外輪郭は空隙30の外輪郭66に略一致している。このため、領域54の外輪郭64は空隙30の外輪郭66と略一致する。その他の構成は実施例1と同じであり説明を省略する。
図14(d)に示すように、下部圧電膜14a、挿入膜28bおよび上部圧電膜14bが空隙30の外側まで延伸している。このため、領域54の外輪郭64は空隙30の外輪郭66と略一致する。その他の構成は実施例1と同じであり説明を省略する。
図15(a)から図15(c)は、それぞれ実施例1の変形例4から6の断面図である。図15(a)に示すように、挿入膜28bの外輪郭は空隙30の外輪郭66より外側に位置する。このため、領域54の外輪郭64は空隙30の外輪郭66と略一致する。その他の構成は実施例1の変形例3と同じであり説明を省略する。
図15(b)に示すように、領域52および54における上部圧電膜14b上に空隙32を介し上部電極16が設けられている。上部圧電膜14bの外輪郭は空隙30の外輪郭66の外側に位置する。その他の構成は実施例1と同じであり説明を省略する。
図15(c)に示すように、領域52および54における下部圧電膜14a下に空隙32を介し下部電極12が設けられている。上部圧電膜14bの外輪郭は空隙30の外輪郭66の外側に位置する。その他の構成は実施例1と同じであり説明を省略する。
図16(a)から図16(d)は、実施例1の変形例7の断面図である。図16(a)から図16(d)に示すように、領域52の内輪郭61は共振領域50の外輪郭60より外側に位置する。共振領域50と領域52との間には挿入膜は設けられてない。その他の構成は、それぞれ実施例1、実施例1の変形例5、6および3と同じであり説明を省略する。
図17(a)から図17(d)は、実施例1の変形例8の断面図である。図17(a)から図17(d)に示すように、領域54の内輪郭63は領域52の外輪郭62より外側に位置する。領域52と領域54との間には挿入膜は設けられてない。その他の構成は、それぞれ実施例1およびその変形例1から3と同じであり説明を省略する。
12 下部電極
14 圧電膜
14a 下部圧電膜
14b 上部圧電膜
16 上部電極
28、28a、28b 挿入膜
30 空隙
31 音響反射膜
40 送信フィルタ
42 受信フィルタ
50 共振領域
52、54 領域
Claims (10)
- 基板と、
前記基板上に設けられた圧電膜と、
前記圧電膜の少なくとも一部を挟み対向する下部電極および上部電極と、
前記圧電膜に挿入され、前記圧電膜を挟み前記下部電極と前記上部電極とが対向する共振領域を囲む少なくとも一部において前記共振領域より外側に設けられ、前記共振領域内に設けられておらず、前記共振領域より外側の第1領域における第1膜厚は、前記第1領域より外側の第2領域における第2膜厚より小さい挿入膜と、
を具備する圧電薄膜共振器。 - 前記基板内または上に設けられ、空隙、または音響特性の異なる少なくとも2種類の層が積層された音響反射膜、を含む音響反射層を具備し、
平面視において、前記共振領域と前記第1領域と前記第2領域の少なくとも一部とは前記音響反射層に重なる請求項1記載の圧電薄膜共振器。 - 前記共振領域の反共振周波数における前記第2領域の横モードの波数は、前記共振領域の反共振周波数における前記共振領域の横モードの波数より大きい請求項1または2記載の圧電薄膜共振器。
- 前記第1領域の横モードの波数が0となる周波数は前記第2領域の横モードの波数が0となる周波数より高い請求項1から3のいずれか一項記載の圧電薄膜共振器。
- 前記第1領域の内輪郭は前記共振領域の外輪郭に略一致する請求項1から4のいずれか一項記載の圧電薄膜共振器。
- 前記第1領域の内輪郭は前記共振領域の外輪郭より外側に位置し、前記圧電膜と前記第1領域との間には前記挿入膜は設けられていない請求項1から4のいずれか一項記載の圧電薄膜共振器。
- 前記第1領域の外輪郭と前記第2領域の内輪郭は略一致する請求項1から6のいずれか一項記載の圧電薄膜共振器。
- 前記挿入膜の音響インピーダンスは前記圧電膜より小さい請求項1から7のいずれか一項記載の圧電薄膜共振器。
- 請求項1から8のいずれか一項記載の圧電薄膜共振器を含むフィルタ。
- 請求項9記載のフィルタを含むマルチプレクサ。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2020057991A (ja) * | 2018-10-04 | 2020-04-09 | 太陽誘電株式会社 | 圧電薄膜共振器、フィルタおよびマルチプレクサ |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007295307A (ja) * | 2006-04-25 | 2007-11-08 | Matsushita Electric Works Ltd | バルク弾性波共振器、フィルタ回路、及びバルク弾性波共振器の製造方法 |
JP2015139167A (ja) * | 2014-01-23 | 2015-07-30 | 太陽誘電株式会社 | 圧電薄膜共振器、フィルタおよびデュプレクサ |
JP2016225746A (ja) * | 2015-05-28 | 2016-12-28 | 太陽誘電株式会社 | 圧電薄膜共振器およびその製造方法 |
JP2018007230A (ja) * | 2016-07-07 | 2018-01-11 | サムソン エレクトロ−メカニックス カンパニーリミテッド. | 音響共振器及びその製造方法 |
-
2017
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Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007295307A (ja) * | 2006-04-25 | 2007-11-08 | Matsushita Electric Works Ltd | バルク弾性波共振器、フィルタ回路、及びバルク弾性波共振器の製造方法 |
JP2015139167A (ja) * | 2014-01-23 | 2015-07-30 | 太陽誘電株式会社 | 圧電薄膜共振器、フィルタおよびデュプレクサ |
JP2016225746A (ja) * | 2015-05-28 | 2016-12-28 | 太陽誘電株式会社 | 圧電薄膜共振器およびその製造方法 |
JP2018007230A (ja) * | 2016-07-07 | 2018-01-11 | サムソン エレクトロ−メカニックス カンパニーリミテッド. | 音響共振器及びその製造方法 |
Cited By (2)
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JP2020057991A (ja) * | 2018-10-04 | 2020-04-09 | 太陽誘電株式会社 | 圧電薄膜共振器、フィルタおよびマルチプレクサ |
JP7190313B2 (ja) | 2018-10-04 | 2022-12-15 | 太陽誘電株式会社 | 圧電薄膜共振器、フィルタおよびマルチプレクサ |
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