JP6886357B2 - 圧電薄膜共振器、フィルタおよびマルチプレクサ - Google Patents
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Description
図4(a)から図5(b)は、実施例1の直列共振器の製造方法を示す断面図である。図4(a)に示すように、平坦主面を有する基板10上に空隙を形成するための犠牲層38を形成する。犠牲層38の膜厚は、例えば10〜100nmであり、MgO(酸化マグネシウム)、ZnO、Ge(ゲルマニウム)またはSiO2(酸化シリコン)等のエッチング液またはエッチングガスに容易に溶解できる材料から選択される。その後、犠牲層38を、フォトリソグラフィ法およびエッチング法を用い所望の形状にパターニングする。犠牲層38の形状は、空隙30の平面形状に相当する形状であり、例えば共振領域50となる領域を含む。次に、犠牲層38および基板10上に下部電極12として下層12aおよび上層12bを形成する。犠牲層38および下部電極12は、例えば、スパッタリング法、真空蒸着法またはCVD(Chemical Vapor Deposition)法を用い成膜される。その後、下部電極12を、フォトリソグラフィ法およびエッチング法を用い所望の形状にパターニングする。下部電極12は、リフトオフ法により形成してもよい。
圧電薄膜共振器は、共振周波数を高くしようとすると積層膜18が薄くなる。このため積層膜18の強度が小さくなる。特に、図5(b)において説明したように、積層膜18の応力が大きい場合、積層膜18が劣化しやすくなる。そこで、共振周波数が5GHzの圧電薄膜共振器について、下部電極12の変位量をシミュレーションした。
下部電極12の下層12a:膜厚が25nmのCr膜
下部電極12の上層12b:膜厚が80nmのRu膜
下部圧電膜14a:膜厚が245nmのAlN膜
上部圧電膜14b:膜厚が245nmのAlN膜
挿入膜28:膜厚が50nmの酸化シリコン膜
上部電極16の下層16a:膜厚が100nmのRu膜
上部電極16の上層16b:膜厚が15nmのCr膜
周波数調整膜24:膜厚が20nmの酸化シリコン膜
端面15aの角度θ1:70°
端面15bの角度θ2:50°
幅W1:8μm
幅W2:5μm
共振領域50の幅:42μm
挿入膜28の挿入幅W2:11μm
圧電膜14の内部応力:−500MPa
上部電極16の内部応力:−1000MPa
内部応力は負が圧縮応力である。
図5(b)において、犠牲層38が除去される前後の下部電極12の下面の変位量を2次元の有限要素法を用いシミュレーションした。
次に、上部圧電膜14bの端面15bと下面とのなす角度θ2が50°のサンプルDと角度θ2が90°のサンプルEについて、積層膜18内の応力をシミュレーションした。サンプルDは実施例1に相当し、サンプルEは比較例2に相当する。角度θ2以外のシミュレーション条件はシミュレーション1と同じである。
実施例1によれば、下部電極12の引き出し領域72において、下部圧電膜14aの端面15a(第1端面)の下端68は空隙30の外周64と略一致または外周64より外側に位置する。これにより、図7(a)および図7(b)のように、積層膜18が基板10側に変位し積層膜18が劣化することを抑制できる。
実施例1の変形例1は、空隙の構成を変えた例である。図9は、実施例1の変形例1の圧電薄膜共振器の断面図である。図9に示すように、基板10の上面に窪みが形成されている。下部電極12は、基板10上に平坦に形成されている。これにより、空隙30が、基板10の窪みに形成されている。空隙30は共振領域50を含むように形成されている。その他の構成は、実施例1と同じであり説明を省略する。空隙30は、基板10を貫通するように形成されていてもよい。なお、下部電極12の下面に絶縁膜が接して形成されていてもよい。すなわち、空隙30は、基板10と下部電極12に接する絶縁膜との間に形成されていてもよい。絶縁膜としては、例えば窒化アルミニウム膜を用いることができる。
12 下部電極
14 圧電膜
14a 下部圧電膜
14b 上部圧電膜
15a、15b 端面
16 上部電極
28 挿入膜
30 空隙
40 送信フィルタ
42 受信フィルタ
50 共振領域
52 外周領域
54 中央領域
60 共振領域の外周
62 挿入膜の内周
64 空隙の外周
66 端面15bの上端
68 端面15aの下端
70、72 引き出し領域
Claims (8)
- 基板と、
前記基板上に空隙を介し設けられた下部電極と、
前記下部電極上に設けられた上部電極と、
前記下部電極上に設けられた下部圧電膜と、前記下部圧電膜と前記上部電極との間に設けられた上部圧電膜と、を有し、前記下部電極が共振領域から引き出される引き出し領域において、前記下部圧電膜の第1端面の下端は前記空隙の外周と略一致または前記外周より外側に位置し、前記上部圧電膜の第2端面は前記下部電極に向かうに従い前記上部圧電膜が広がるように傾斜し、前記第2端面の上端は前記空隙の前記外周と略一致または前記外周より内側に位置し、前記下部圧電膜は前記第1端面の上端と前記第2端面の下端との間に膜厚が略均一な領域を有する圧電膜と、
を具備し、
前記引き出し領域において、前記上部圧電膜を挟み前記基板の上面と前記上部圧電膜の端面とのなす角度は、70°以下かつ20°以上であり、
前記共振領域は、前記下部圧電膜と前記上部圧電膜とが設けられた領域の少なくとも一部の領域を挟み前記下部電極と前記上部電極とが対向する領域であり、
前記空隙の上面は中央が上方に膨らみ、
前記下部電極、前記圧電膜および前記上部電極の合計の内部応力は圧縮応力である圧電薄膜共振器。 - 前記引き出し領域において、前記下部圧電膜の第1端面の下端は前記空隙の前記外周より外側に位置する請求項1に記載の圧電薄膜共振器。
- 前記引き出し領域において、前記第2端面の上端は前記上部電極の外周と略一致または前記外周の内側に位置し、前記第2端面の下端は前記空隙の前記外周と略一致または前記外周より内側に位置する請求項1に記載の圧電薄膜共振器。
- 前記引き出し領域において、前記第1端面は前記下部電極に向かうに従い前記下部圧電膜が広がるように傾斜する請求項1から3のいずれか一項に記載の圧電薄膜共振器。
- 前記共振領域の外周領域の前記下部圧電膜と前記上部圧電膜との間に設けられ、前記共振領域の中央領域に設けられていない挿入膜を具備する請求項1から4のいずれか一項に記載の圧電薄膜共振器。
- 前記圧電膜は窒化アルミニウムを主成分とし、前記下部圧電膜と前記上部圧電膜とが設けられた領域における前記圧電膜の膜厚は700nm以下であり、前記下部電極、前記圧電膜および前記上部電極の合計の内部応力は−100MPa以下である請求項1から5のいずれか一項に記載の圧電薄膜共振器。
- 請求項1から6のいずれか一項に記載の圧電薄膜共振器を含むフィルタ。
- 請求項7に記載のフィルタを含むマルチプレクサ。
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