JP6668201B2 - 圧電薄膜共振器、フィルタおよびマルチプレクサ。 - Google Patents
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Description
配線層20の低抵抗層20b :膜厚がT1のAu
配線層20の密着層20a :膜厚が100nmのTi
保護膜24 :膜厚が70nmのSiO2
上部電極16の上層16b :膜厚が40nmのCr
上部電極16の下層16a :膜厚が300nmのRu
圧電膜14 :膜厚が1100nmのAlN
下部電極12の上層12b :膜厚が200nmのRu
下部電極12の下層12a :膜厚が100nmのCr
共振領域50の長さL2 :110μm
引き出し領域58の長さL3 :30μm
下部電極12端面の角度θ1 :35°
低抵抗層20b端面の角度θ2:37°
T1=0.6μm:−0.00132dB/μm
T1=1.0μm:−0.00112dB/μm
T1=2.5μm:−0.00088dB/μm
T1が大きくなると損失が小さくなる。
図9(a)は、実施例1の変形例1に係る圧電薄膜共振器の断面図である。図9(a)に示すように、圧電膜14は、下部圧電膜14aと下部圧電膜14a上に設けられた上部圧電膜14bとを備える。下部圧電膜14aと上部圧電膜14bとの間に挿入膜28が挿入されている。その他の構成は実施例1と同じであり説明を省略する。
実施例1の変形例2は、空隙の構成を変えた例である。図9(b)は、実施例1の変形例2に係る圧電薄膜共振器の断面図である。図9(b)に示すように、基板10の上面に窪みが形成されている。下部電極12は、基板10上に平坦に形成されている。これにより、空隙30が、基板10の窪みに形成されている。空隙30は共振領域50を含むように形成されている。その他の構成は、実施例1と同じであり説明を省略する。なお、下部電極12の下面に絶縁膜が接して形成されていてもよい。すなわち、空隙30は、基板10と下部電極12に接する絶縁膜との間に形成されていてもよい。絶縁膜としては、例えば窒化アルミニウム膜を用いることができる。
実施例1の変形例3は空隙の代わりに音響反射膜を用いる例である。図9(c)は、実施例1の変形例3に係る圧電薄膜共振器の断面図である。図9(c)に示すように、共振領域50の下部電極12下に音響反射膜31が形成されている。音響反射膜31は、音響インピーダンスの低い膜31aと音響インピーダンスの高い膜31bとが交互に設けられている。膜31aおよび31bの膜厚は例えばそれぞれ略λ/4(λは弾性波の波長)である。膜31aと膜31bの積層数は任意に設定できる。例えば、音響反射膜31は、基板10中に音響インピーダンスの異なる膜が一層設けられている構成でもよい。その他の構成は、実施例1と同じであり説明を省略する。
図10(b)は、実施例2の変形例1に係るデュプレクサの回路図である。図10(b)に示すように、共通端子Antと送信端子Txとの間に送信フィルタ44が接続されている。共通端子Antと受信端子Rxとの間に受信フィルタ46が接続されている。送信フィルタ44は、送信端子Txから入力された信号のうち送信帯域の信号を送信信号として共通端子Antに通過させ、他の周波数の信号を抑圧する。受信フィルタ46は、共通端子Antから入力された信号のうち受信帯域の信号を受信信号として受信端子Rxに通過させ、他の周波数の信号を抑圧する。送信フィルタ44および受信フィルタ46の少なくとも一方を実施例2のフィルタとすることができる。
12 下部電極
14 圧電膜
16 上部電極
18 積層膜
20 配線層
28 挿入膜
30 空隙
31 音響反射膜
50 共振領域
52 外周領域
54 中央領域
57、58 引き出し領域
Claims (5)
- 基板と、
前記基板上に設けられ、窒化アルミニウム膜である圧電膜と、
前記圧電膜の少なくとも一部を挟んで対向した下部電極および上部電極と、
前記上部電極上に0.8μm以上かつ3.0μm以下の厚さで設けられ、前記圧電膜を挟み前記下部電極と前記上部電極とが対向する共振領域と平面視において少なくとも一部が重なり、前記共振領域の輪郭と、前記共振領域内に位置し前記輪郭から最も離れた下面の端部と、の距離は0μmより大きくかつ2μmより小さい配線層と、
を具備し、
前記配線層は、前記上部電極上に設けられた密着層と、前記密着層上に設けられ、前記密着層より抵抗率の小さく、金層からなる低抵抗層と、を備え、
前記低抵抗層の厚さは0.8μm以上かつ2.5μm以下であり、
前記配線層は、前記上部電極が前記共振領域から引き出される引き出し領域から前記共振領域にかけて設けられ、
前記配線層は、前記輪郭と前記下面の端部との距離が略均一になるように前記共振領域と重なる領域を有し、
前記共振領域のうち前記配線層が設けられていない領域の大きさは、前記圧電膜に励振される弾性波の波長以上である圧電薄膜共振器。 - 前記低抵抗層の厚さは1.0μm以上かつ2.5μm以下であり、前記距離は0.5μm以上かつ2.0μmより小さい請求項1記載の圧電薄膜共振器。
- 前記共振領域の平面形状は楕円形状または多角形状である請求項1または2に記載の圧電薄膜共振器。
- 請求項1から3のいずれか一項記載の圧電薄膜共振器を含むフィルタ。
- 請求項4記載のフィルタを含むマルチプレクサ。
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