JP2018120156A - アライメント装置 - Google Patents

Abstract

【課題】表示パネルが載置されるパネルステージと、パネルステージを移動させる移動機構と、表示パネルのエッジを検知するカメラとを備えるアライメント装置において、装置を小型化しつつ、表示パネルのエッジを正確に検知して、表示パネルを精度良く位置合わせすることが可能なアライメント装置を提供する。
【解決手段】アライメント装置１０は、表示パネル２が載置されるパネルステージ３９と、パネルステージ３９を移動させて表示パネル２の位置合わせを行う移動機構４０と、表示パネル２のエッジを検知するカメラ４１とを備えている。アライメント装置１０では、パネルステージ３９は、透光性材料で形成されるとともに表示パネル２が載置されるステージ本体４２と、ステージ本体４２を光らせる発光体４３とを備えており、ステージ本体４２は、カメラ４１が表示パネル２のエッジを検知するときに光っている。
【選択図】図５

Description

本発明は、液晶パネル等の表示パネルの位置合わせを行うためのアライメント装置に関する。

従来、液晶パネルの検査および修正を行うパネル処理システムが知られている（たとえば、特許文献１参照）。特許文献１に記載のパネル処理システムは、複数のコンベヤユニットと、液晶パネルを検査する検査装置と、液晶パネルを修正するリペヤ装置と、検査装置で不良と判定された液晶パネルをコンベヤユニットからリペヤ装置に向かって送出するパネル送出装置とを備えている。パネル送出装置は、コンベヤユニットから液晶パネルを持ち上げるリフターと、リフターで持ち上げられた液晶パネルの位置合わせを行うアライメント機構と、アライメント機構で位置合わせされた液晶パネルをリペヤ装置に向かって搬送するスライド機構とから構成されている。

特許文献１に記載のパネル処理システムでは、アライメント機構は、Ｘ軸アライメント機構部とＹ軸アライメント機構部とから構成されている。Ｘ軸アライメント機構部は、第１位置決めピンと第２位置決めピンとを備えており、第１位置決めピンおよび第２位置決めピンは、液晶パネルの端部に当接する当接部と、当接部を支持する支柱と、支柱をＸ軸方向へスライドさせるスライド機構とを備えている。Ｙ軸アライメント機構部も、Ｘ軸アライメント機構部と同様に、第１位置決めピンと第２位置決めピンとを備えており、第１位置決めピンおよび第２位置決めピンは、液晶パネルの端部に当接する当接部と、当接部を支持する支柱と、支柱をＹ軸方向へスライドさせるスライド機構とを備えている。

特許文献１に記載のパネル処理システムでは、Ｘ軸アライメント機構部の２個の当接部をスライド機構でスライドさせてＸ軸方向における液晶パネルの両端部のそれぞれに当接させるとともに、Ｙ軸アライメント機構部の２個の当接部をスライド機構でスライドさせてＹ軸方向における液晶パネルの両端部のそれぞれに当接させることで、アライメント機構によって液晶パネルの位置合わせが行われている。

特開２０１１−２３７５３０号公報

本願発明者は、液晶パネル等の表示パネルの位置合わせを行うためのアライメント装置の構成を検討している。特許文献１に記載のパネル処理システムのアライメント機構では、スライドする当接部が液晶パネルの端部に当接するため、液晶パネルに過剰な力が作用して液晶パネルが破損するおそれがある。そこで、本願発明者は、表示パネルが載置されるパネルステージと、パネルステージを移動させる移動機構と、表示パネルのエッジを検知するカメラとを備えるアライメント装置の採用を検討している。このアライメント装置では、カメラでの検知結果に基づいて移動機構によってパネルステージを所定方向へ移動させて表示パネルの位置合わせを行えば良いが、従来、このようなアライメント装置の具体的な構成は提案されていない。

そこで、本発明の課題は、表示パネルが載置されるパネルステージと、パネルステージを移動させる移動機構と、表示パネルのエッジを検知するカメラとを備えるアライメント装置において、装置を小型化しつつ、表示パネルのエッジを正確に検知して、表示パネルを精度良く位置合わせすることが可能なアライメント装置を提供することにある。

上記の課題を解決するため、本発明のアライメント装置は、表示パネルの位置合わせを行うためのアライメント装置において、表示パネルが載置されるパネルステージと、パネルステージを移動させて表示パネルの位置合わせを行う移動機構と、パネルステージよりも上側に配置され表示パネルのエッジを検知するカメラとを備え、パネルステージは、透光性材料で形成されるとともに表示パネルが載置されるステージ本体と、ステージ本体を光らせる発光体とを備え、ステージ本体は、カメラが表示パネルのエッジを検知するときに光っており、移動機構は、カメラでの検知結果に基づいて表示パネルの位置合わせを行うことを特徴とする。

本発明のアライメント装置では、パネルステージは、ステージ本体を光らせる発光体を備えており、表示パネルが載置されるステージ本体は、カメラが表示パネルのエッジを検知するときに光っている。そのため、本発明では、パネルステージに載置された表示パネルに光を照射する照明が不要になり、照明の設置スペースを確保する必要がない。したがって、本発明では、アライメント装置を小型化することが可能になる。また、本発明では、表示パネルが載置されるステージ本体自体が光るため、カメラに写る表示パネルのエッジとステージ本体の上面とのコントラストを高めることが可能になる。したがって、カメラによって表示パネルのエッジを正確に検知することが可能になり、その結果、表示パネルを精度良く位置合わせすることが可能になる。さらに、本発明では、パネルステージに載置された表示パネルに光を照射する照明が不要になるため、パネルステージに表示パネルを供給するロボット等と照明とが干渉することはない。

本発明において、発光体は、たとえば、ＬＥＤチップである。この場合には、発光体のコストを低減することが可能になるとともに、発光体の寿命を延ばすことが可能になる。

本発明において、発光体は、ステージ本体に埋め込まれていることが好ましい。このように構成すると、発光体がステージ本体の外部に配置されている場合と比較して、パネルステージを小型化することが可能になる。

本発明において、鉛直方向から見たときのステージ本体の外形は、表示パネルの外形よりも大きくなっており、カメラは、偏光フィルタを備え、ステージ本体の上面には、平板状またはフィルム状の偏光部材が取り付けられ、偏光フィルタの位相と偏光部材の位相とが９０°ずれていることが好ましい。このように構成すると、カメラに写る表示パネルのエッジとステージ本体の上面とのコントラストを効果的に高めることが可能になる。したがって、カメラによって表示パネルのエッジをより正確に検知することが可能になる。

以上のように、本発明では、表示パネルが載置されるパネルステージと、パネルステージを移動させる移動機構と、表示パネルのエッジを検知するカメラとを備えるアライメント装置において、装置を小型化しつつ、表示パネルのエッジを正確に検知して、表示パネルを精度良く位置合わせすることが可能になる。

本発明の実施の形態にかかるアライメント装置が組み込まれる搬送システムの側面図である。 図１のＥ−Ｅ方向から搬送システムを示す平面図である。 図１に示す供給ユニットの斜視図である。 図３に示す供給ユニットの平面図である。 図３に示すアライメント装置の斜視図である。 図３に示すパネルステージの構成を説明するための部分断面図である。 本発明の他の実施の形態にかかるパネルステージの構成を説明するための側面図である。

以下、図面を参照しながら、本発明の実施の形態を説明する。

（搬送システムの全体構成）
図１は、本発明の実施の形態にかかるアライメント装置１０が組み込まれる搬送システム１の側面図である。図２は、図１のＥ−Ｅ方向から搬送システム１を示す平面図である。

本形態のアライメント装置１０は、表示パネルである液晶パネル２の位置合わせを行うための装置である。このアライメント装置１０は、搬送システム１に組み込まれて使用される。搬送システム１は、携帯機器等で使用される小型の液晶ディスプレイの製造ラインに組み込まれている。この搬送システム１は、液晶パネル２を搬送して、液晶パネル２に対して所定の処理を行う処理装置１４（図２参照）に液晶パネル２を供給する。また、搬送システム１は、小型の液晶パネル２（たとえば、４インチ〜１０インチの液晶パネル２）を搬送する。なお、搬送システム１で搬送される液晶パネル２は、中型の液晶パネル（たとえば、１５インチの液晶パネル）であっても良い。

液晶パネル２は、長方形の平板状に形成されている。液晶パネル２の、表示領域から外れた箇所には、液晶パネル２の検査データ等のデータが記録されている。具体的には、液晶パネル２の、表示領域から外れた箇所に、検査データ等のデータが二次元コードや一次元コードとして記録されている。すなわち、液晶パネル２の、表示領域から外れた箇所には、光学的に読取可能なデータが記録されている。なお、本形態の搬送システム１で搬送される液晶パネル２には、偏光板（偏光フィルム）が貼り付けられていても良いし、偏光板が貼り付けられていなくても良い。また、液晶パネル２には、ＦＰＣやチップが実装されていても良いし、ＦＰＣやチップが実装されていなくても良い。

搬送システム１は、液晶パネル２を収容可能なトレイ３を搬送する２個のコンベヤ４、５を備えている。コンベヤ４、５は、複数段に積み重なったトレイ３（すなわち、段積みされたトレイ３）を水平方向へ直線的に搬送する。以下の説明では、コンベヤ４、５によるトレイ３の搬送方向（図１等のＸ方向）を「前後方向」とし、上下方向（鉛直方向）と前後方向とに直交する方向（図１等のＹ方向）を「左右方向」とする。また、前後方向の一方側（図１等のＸ１方向側）を「前」側とし、その反対側（図１等のＸ２方向側）を「後（後ろ）側」とし、左右方向の一方側（図２等のＹ１方向側）を「右」側とし、その反対側（図２等のＹ２方向側）を「左」側とする。本形態では、搬送システム１の後ろ側に処理装置１４が配置されている。

また、搬送システム１は、トレイ３が載置される２個のトレイステージ６、７と、コンベヤ４、５とトレイステージ６、７との間でトレイ３を搬送するロボット８と、トレイステージ６、７に載置されたトレイ３から液晶パネル２を搬出するロボット９と、ロボット９から液晶パネル２を受け取って処理装置１４に供給する供給ユニット１１とを備えている。アライメント装置１０は、供給ユニット１１に組み込まれている。トレイステージ６、７は、コンベヤ４、５よりも後ろ側に配置されている。供給ユニット１１は、トレイステージ６、７よりも後ろ側に配置されている。

また、搬送システム１は、コンベヤ４、５とトレイステージ６、７とロボット８と供給ユニット１１とが設置される本体フレーム１２と、ロボット９が設置される本体フレーム１３とを備えている。本体フレーム１２の上面には、コンベヤ４、５とトレイステージ６、７とロボット８と供給ユニット１１とが設置されている。本体フレーム１３は、略門型に形成された門型フレームであり、左右方向で本体フレーム１２の後端側部分を跨ぐように設置されている。ロボット９は、本体フレーム１３の上面部に設置されている。

コンベヤ４、５は、複数のローラを備えるローラコンベヤである。コンベヤ４とコンベヤ５とは、左右方向で隣接配置されている。コンベヤ４は、段積みされたトレイ３を後ろ側へ向かって搬送し、コンベヤ５は、段積みされたトレイ３を前側に向かって搬送する。コンベヤ４で搬送されるトレイ３には、複数枚の液晶パネル２が収容されている。一方、コンベヤ５で搬送されるトレイ３には、液晶パネル２は収容されておらず、コンベヤ５で搬送されるトレイ３は空トレイとなっている。

コンベヤ４の前端側には、仮置き用の棚（図示省略）から作業者によって運ばれてきた段積み状態のトレイ３が載置される。コンベヤ４の前端側に載置された段積み状態のトレイ３は、後ろ側へ搬送され、コンベヤ４の後端側まで搬送された段積み状態のトレイ３は、後述のようにロボット８によって段ばらしされる。また、コンベヤ５の後端側には、後述のようにロボット８によって空のトレイ３が段積みされる。所定の段数までトレイ３が段積みされると、段積み状態のトレイ３は、前側に搬送される。コンベヤ５の前端側まで搬送された段積み状態のトレイ３は、作業者によって空トレイ用の棚まで運ばれる。

トレイステージ６、７には、１個のトレイ３が載置される。トレイステージ６とトレイステージ７とは、左右方向において所定の間隔をあけた状態で配置されている。トレイステージ６は、左右方向においてコンベヤ４と略同じ位置に配置され、トレイステージ７は、左右方向においてコンベヤ５と略同じ位置に配置されている。トレイステージ６、７の上面は、上下方向に直交する平面状に形成されている。

ロボット８は、いわゆる３軸直交ロボットである。このロボット８は、門型に形成される本体フレーム１５と、本体フレーム１５に対して左右方向へのスライドが可能となるように本体フレーム１５に保持される可動フレーム１６と、可動フレーム１６に対して前後方向へスライドが可能となるように可動フレーム１６に保持される可動フレーム１７と、可動フレーム１７に対して上下方向へのスライドが可能となるように可動フレーム１７に保持される可動フレーム１８と、可動フレーム１８に取り付けられるトレイ把持部１９とを備えている。また、ロボット８は、可動フレーム１６を左右方向へスライドさせる駆動機構と、可動フレーム１７を前後方向へスライドさせる駆動機構と、可動フレーム１８を上下方向へスライドさせる駆動機構とを備えている。

本体フレーム１５の高さは、コンベヤ４、５の高さよりも高くなっており、本体フレーム１５は、左右方向でコンベヤ４、５を跨ぐように設置されている。可動フレーム１６は、本体フレーム１５の上面側に取り付けられている。この可動フレーム１６は、コンベヤ４、５に載置される段積み状態のトレイ３よりも上側に配置されている。可動フレーム１７は、可動フレーム１６の右側に取り付けられている。可動フレーム１８は、可動フレーム１７の後端側に取り付けられている。トレイ把持部１９は、可動フレーム１８の下端に取り付けられている。このトレイ把持部１９は、トレイ３を吸着して把持する複数の吸着部を備えている。この吸着部は、ロボット８がトレイ３を搬送するときにトレイ３の上面に接触してトレイ３を真空吸着する。

ロボット８は、コンベヤ４からトレイステージ６、７へのトレイ３の搬送と、トレイステージ６、７からコンベヤ５へのトレイ３の搬送とを行う。具体的には、ロボット８は、コンベヤ４の後端側まで搬送された段積み状態のトレイ３をトレイステージ６またはトレイステージ７に１個ずつ搬送して、コンベヤ４上の段積み状態のトレイ３を段ばらしする。また、ロボット８は、空になった１個のトレイ３をトレイステージ６またはトレイステージ７からコンベヤ５の後端側に搬送して、コンベヤ５にトレイ３を段積みする。

ロボット９は、いわゆるパラレルリンクロボットである。このロボット９は、本体部２０と、本体部２０に連結される３本のレバー２１と、３本のレバー２１のそれぞれに連結される３個のアーム部２２と、３個のアーム部２２に連結されるヘッドユニット２３と、ヘッドユニット２３に取り付けられるパネル把持部２４とを備えている。ロボット９は、本体フレーム１３の上面部にぶら下がるように設置されている。また、本体部２０は、トレイステージ６、７の上方に配置されるとともに、ロボット８の本体フレーム１５よりも後ろ側に配置されている。

３本のレバー２１は、本体部２０の外周側へ略等角度ピッチで略放射状に伸びるように本体部２０に連結されている。すなわち、３本のレバー２１は、本体部２０の外周側へ略１２０°ピッチで略放射状に伸びるように本体部２０に連結されている。また、３本のレバー２１の基端側は、本体部２０に回動可能に連結されている。本体部２０とレバー２１との連結部には、レバー２１を回動させる減速機付きのモータ２５が配置されている。本形態のロボット９は、３本のレバー２１のそれぞれを回動させる３個のモータ２５を備えている。モータ２５の出力軸は、レバー２１の基端側に固定されている。

アーム部２２の基端側は、レバー２１の先端側に回動可能に連結されている。具体的には、アーム部２２は、互いに平行な直線状の２本のアームによって構成されており、２本のアームのそれぞれの基端側がレバー２１の先端側に回動可能に連結されている。ヘッドユニット２３は、３個のアーム部２２の先端側に回動可能に連結されている。パネル把持部２４は、ヘッドユニット２３の下端に取り付けられている。このパネル把持部２４は、液晶パネル２を真空吸着する複数の吸着部を備えており、この吸着部によって液晶パネル２の上面を吸着することで液晶パネル２を把持する。ヘッドユニット２３の上端には、モータが取り付けられている。パネル把持部２４は、このモータに連結されており、このモータの動力によって上下方向を回転の軸方向とする回転が可能になっている。

ロボット９では、３個のモータ２５を個別に駆動することで、所定のエリア内において、上下方向、左右方向および前後方向の任意の位置へ、かつ、ヘッドユニット２３が一定の姿勢を保ったままの状態で（具体的には、パネル把持部２４が下側を向いたままの状態で）、ヘッドユニット２３を移動させることが可能になっている。ロボット９は、トレイステージ６、７に載置されたトレイ３から液晶パネル２を１枚ずつ搬出する。具体的には、ロボット９は、トレイステージ６、７に載置されたトレイ３が空になるまでトレイ３から液晶パネル２を１枚ずつ搬出する。また、ロボット９は、トレイ３から搬出した液晶パネル２を後述のパネルステージ３９へ搬送する。

（供給ユニットの構成および動作）
図３は、図１に示す供給ユニット１１の斜視図である。図４は、図３に示す供給ユニット１１の平面図である。図５は、図３に示すアライメント装置１０の斜視図である。図６は、図３に示すパネルステージ３９の構成を説明するための部分断面図である。

供給ユニット１１は、アライメント装置１０に加えて、液晶パネル２に記録されたデータを読み取るデータ読取装置３１を備えている。アライメント装置１０は、データ読取装置３１で液晶パネル２のデータが読み取られる前に液晶パネル２の位置合わせをする。また、供給ユニット１１は、データ読取装置３１でデータが読み取られた後の液晶パネル２を処理装置１４へ搬送するロボット３３と、処理装置１４へ搬送される液晶パネル２から静電気を除去するイオナイザー（静電気除去装置）３４と、アライメント装置１０で位置合わせされた後の液晶パネル２をロボット３３に向かって搬送する搬送装置３５と、アライメント装置１０で位置合わせされた液晶パネル２を搬送装置３５に搬送するロボット３６と、これらの構成が載置されて固定されるベース板３７とを備えている。

アライメント装置１０は、ベース板３７の右前端側に載置されている。ロボット３３は、ベース板３７の左後端側に載置されている。データ読取装置３１は、ベース板３７の左前端側に載置されている。ロボット３６は、アライメント装置１０の後ろ側に隣接配置されている。搬送装置３５は、左右方向において、データ読取装置３１およびロボット３３と、アライメント装置１０との間に配置されている。イオナイザー３４は、搬送装置３５の上方に配置されている。ベース板３７は、本体フレーム１２の上面の後端側部分に載置されて固定されている。

アライメント装置１０は、トレイステージ６、７上のトレイ３からロボット９によって搬出された液晶パネル２が載置されるパネルステージ３９と、パネルステージ３９を移動させて液晶パネル２の位置合わせを行う移動機構４０とを備えている。移動機構４０は、上下方向を回動の軸方向としてパネルステージ３９を回動させるとともに左右方向と前後方向とにパネルステージ３９を移動させる。また、アライメント装置１０は、パネルステージ３９よりも上側に配置されるカメラ４１を備えている。

図５、図６に示すように、パネルステージ３９は、液晶パネル２が載置されるステージ本体４２と、ステージ本体４２を光らせる発光体４３とを備えている。本形態の発光体４３は、ＬＥＤチップであり、パネルステージ３９は、複数の発光体４３を備えている。また、パネルステージ３９は、複数の発光体４３が実装される回路基板４４を備えている。

ステージ本体４２は、透光性材料で形成されている。具体的には、ステージ本体４２は、透光性を有する樹脂材料で形成されている。また、ステージ本体４２は、導電性を有する樹脂材料で形成されている。また、ステージ本体４２は、長方形の平板状に形成されており、ステージ本体４２の厚さ方向と上下方向とが一致するように配置されている。ステージ本体４２の上面は、上下方向に直交する平面となっている。上下方向から見たときのステージ本体４２の外形は、液晶パネル２の外形よりも大きくなっている。液晶パネル２は、上下方向から見たときに液晶パネル２の中心とステージ本体４２の中心とが略一致するように、かつ、液晶パネル２の長辺の方向とステージ本体４２の長辺の方向とが略一致するように、ステージ本体４２に載置される。

ステージ本体４２は、ステージ本体４２の上面に載置された液晶パネル２を真空吸着する複数の吸着部を備えている。複数の吸着部は、ステージ本体４２の中心部分に配置されている。また、ステージ本体４２の上面には、平板状またはフィルム状に形成される偏光部材（偏光板または偏光フィルム）４５が取り付けられている。具体的には、ステージ本体４２の上面の、吸着部が配置されていない位置に偏光部材４５が貼り付けられている。

発光体４３は、上側に向かって光を射出するように、ステージ本体４２に埋め込まれている。たとえば、発光体４３は、図６に示すように、ステージ本体４２の下面に形成される凹部の中に埋め込まれている。すなわち、ステージ本体４２の下面には、複数の発光体４３のそれぞれが配置される複数の凹部が上側に向かって窪むように形成されており、複数の発光体４３のそれぞれは複数の凹部のそれぞれの中に配置されている。

発光体４３は、ステージ本体４２の、吸着部が配置されていない箇所に配置されている。また、本形態では、吸着部が配置された箇所を除くステージ本体４２の全体が均一に光るように、複数の発光体４３が配置されている。たとえば、複数の発光体４３は、吸着部が配置された箇所を除くステージ本体４２の全域に亘って配置されている。また、発光体４３は、回路基板４４の上面に実装されている。回路基板４４は、ステージ本体４２の下側に配置されている。

移動機構４０は、パネルステージ３９を回動可能に保持する可動フレーム４６と、前後方向へのスライドが可能となるように可動フレーム４６を保持する可動フレーム４７と、左右方向へのスライドが可能となるように可動フレーム４６を保持する固定フレーム４８と、可動フレーム４６に対してパネルステージ３９を回動させる回動機構と、可動フレーム４７に対して可動フレーム４６を前後方向へスライドさせる駆動機構と、固定フレーム４８に対して可動フレーム４７を左右方向へスライドさせる駆動機構とを備えている。固定フレーム４８は、ベース板３７に固定されている。

本形態では、可動フレーム４６を前後方向へスライドさせる駆動機構は、パネルステージ３９に載置された液晶パネル２の位置合わせを行うために設けられている。一方、可動フレーム４７を左右方向へスライドさせる駆動機構は、パネルステージ３９に載置された液晶パネル２の位置合わせを行うとともに、後述のエッジ検知位置３９Ａとパネル搬出位置３９Ｂとの間で液晶パネル２を搬送するために設けられている。

そのため、移動機構４０によって移動するパネルステージ３９の左右方向への移動可能量（最大移動量）は、移動機構４０によって移動するパネルステージ３９の前後方向への移動可能量（最大移動量）よりも大きくなっている。たとえば、パネルステージ３９の左右方向への移動可能量は、２５０ｍｍ程度となっており、パネルステージ３９の前後方向への移動可能量は、１０ｍｍ程度となっている。なお、パネルステージ３９を回動させる回動機構は、パネルステージ３９に載置された液晶パネル２の位置合わせを行うために設けられており、移動機構４０によって回動するパネルステージ３９の回動可能量（最大回動量）は、たとえば、±１０°程度となっている。

カメラ４１は、前後方向におけるステージ本体４２の中心とカメラ４１の光軸とが前後方向において略一致するように、パネルステージ３９の上方に配置されている。このカメラ４１は、パネルステージ３９に載置された液晶パネル２のエッジを上側から検知する。具体的には、カメラ４１は、長方形状に形成される液晶パネル２の４個の角部の位置を検知する。カメラ４１は、偏光フィルタ５０を備えている。偏光フィルタ５０は、上下方向を回動の軸方向とする回動が可能となるようにカメラ４１のレンズの先端に取り付けられている。カメラ４１の偏光フィルタ５０の位相とステージ本体４２の偏光部材４５の位相とは９０°ずれている。すなわち、偏光フィルタ５０の偏光方向と偏光部材４５の偏光方向とは９０°ずれている。そのため、カメラ４１に写る液晶パネル２は黒くなる。

パネルステージ３９は、左右方向において、液晶パネル２がカメラ４１の下側に配置される（具体的には、液晶パネル２がカメラ４１の真下に配置される）エッジ検知位置３９Ａ（図３〜図５の実線で示す位置）と、ロボット３６によってパネルステージ３９から液晶パネル２が搬出されるパネル搬出位置３９Ｂ（図４、図５の二点鎖線で示す位置）との間で移動可能となっている。本形態では、パネルステージ３９が固定フレーム４８の右端側まで移動すると、パネルステージ３９がエッジ検知位置３９Ａに到達し、パネルステージ３９が固定フレーム４８の左端側まで移動すると、パネルステージ３９がパネル搬出位置３９Ｂに到達する。また、本形態では、トレイステージ６、７上のトレイ３からロボット９によって搬出された液晶パネル２は、エッジ検知位置３９Ａに配置されるパネルステージ３９に供給される。

エッジ検知位置３９Ａに配置されたパネルステージ３９に、ロボット９によって搬出された液晶パネル２が載置されると、発光体４３が発光してステージ本体４２が光る。この状態で、カメラ４１は、液晶パネル２のエッジを検知する。すなわち、ステージ本体４２は、カメラ４１が液晶パネル２のエッジを検知するときに光っている。

その後、移動機構４０は、カメラ４１での液晶パネル２のエッジの検知結果に基づいて液晶パネル２の位置合わせを行いながらエッジ検知位置３９Ａからパネル搬出位置３９Ｂまでパネルステージ３９を移動させる。具体的は、移動機構４０は、カメラ４１での液晶パネル２のエッジの検知結果に基づいて、パネルステージ３９の回動動作および前後方向への可動フレーム４６のスライド動作の少なくともいずれか一方の動作を行いながら、左方向へ可動フレーム４７をスライドさせて、パネルステージ３９をパネル搬出位置３９Ｂまで移動させる。

なお、左右方向における液晶パネル２の位置合わせを行うため、エッジ検知位置３９Ａから左方向へのパネルステージ３９の移動量は必ずしも一定にならない。すなわち、パネルステージ３９に対する液晶パネル２の載置位置に応じて、パネル搬出位置３９Ｂは左右方向においてわずかに変動する。

搬送装置３５は、液晶パネル２が載置される４個のスライドステージ５２と、４個のスライドステージ５２が固定される可動フレーム５３と、前後方向へのスライドが可能となるように可動フレーム５３を保持する固定フレーム５４と、固定フレーム５４に対して可動フレーム５３を前後方向へスライドさせる駆動機構とを備えている。４個のスライドステージ５２は、前後方向で隣接配置されている。スライドステージ５２は、スライドステージ５２の上面に載置された液晶パネル２を真空吸着する複数の吸着部を備えている。固定フレーム５４は、ベース板３７に固定されている。

ロボット３６は、液晶パネル２を真空吸着して把持するパネル把持部５５と、上下方向へのスライドが可能となるようにパネル把持部５５を保持する可動フレーム５６と、左右方向へのスライドが可能となるように可動フレーム５６を保持する固定フレーム５７と、可動フレーム５６に対してパネル把持部５５を昇降させる昇降機構と、固定フレーム５７に対して可動フレーム５６を左右方向へスライドさせる駆動機構とを備えている。固定フレーム５７は、ベース板３７に固定されている。パネル把持部５５は、前後方向においてパネルステージ３９と同じ位置に配置されている。

ロボット３６は、パネル搬出位置３９Ｂに配置されるパネルステージ３９上の液晶パネル２（すなわち、アライメント装置１０で位置合わせされた後の液晶パネル２）をスライドステージ５２に搬送する。具体的には、ロボット３６は、パネル搬出位置３９Ｂに配置されるパネルステージ３９上の液晶パネル２の上面をパネル把持部５５で真空吸着して把持し、前端側まで移動して停止している４個のスライドステージ５２のそれぞれにパネルステージ３９から液晶パネル２を順次、搬送する。また、４個のスライドステージ５２のそれぞれに液晶パネル２が載置されると、搬送装置３５は、後ろ方向へスライドステージ５２を移動させて、液晶パネル２を搬送装置３５の後端側まで搬送する。

ロボット３３は、液晶パネル２を真空吸着して把持する４個のパネル把持部５８と、上下方向へのスライドが可能となるようにパネル把持部５８を保持する可動フレーム５９と、左右方向へのスライドが可能となるように可動フレーム５９を保持する固定フレーム６０と、可動フレーム５９に対してパネル把持部５８を昇降させる昇降機構と、固定フレーム６０に対して可動フレーム５９を左右方向へスライドさせる駆動機構とを備えている。４個のパネル把持部５８は、前後方向で隣接配置されている。前後方向における４個のパネル把持部５８のピッチは、前後方向における４個のスライドステージ５２のピッチと等しくなっている。固定フレーム６０は、ベース板３７に固定されている。

ロボット３３は、搬送装置３５によって搬送装置３５の後端側まで搬送された液晶パネル２を処理装置１４に搬入する。具体的には、ロボット３３は、４個のスライドステージ５２のそれぞれに載置される４個の液晶パネル２のそれぞれの上面を４個のパネル把持部５８のそれぞれで真空吸着して把持し、スライドステージ５２から４個の液晶パネル２を一緒に処理装置１４に搬入する。

データ読取装置３１は、二次元コードや一次元コード等の光学的に読取可能なデータを読み取るカメラ６２と、カメラ６２が取り付けられる可動フレーム６３と、上下方向へのスライドが可能となるように可動フレーム６３を保持する可動フレーム６４と、前後方向へのスライドが可能となるように可動フレーム６４を保持する可動フレーム６５と、左右方向へのスライドが可能となるように可動フレーム６５を保持する固定フレーム６６と、可動フレーム６４に対して可動フレーム６３を昇降させる昇降機構と、可動フレーム６５に対して可動フレーム６４を前後方向へスライドさせる駆動機構と、固定フレーム６６に対して可動フレーム６５を左右方向へスライドさせる駆動機構とを備えている。固定フレーム６６は、ベース板３７に固定されている。また、データ読取装置３１は、液晶パネル２に光を照射する照明を備えている。

データ読取装置３１は、アライメント装置１０での位置調整後に搬送装置３５のスライドステージ５２に載置された液晶パネル２のデータを読み取る。データ読取装置３１で読み取られた液晶パネル２のデータは、データが読み取られた液晶パネル２の個別データとして、データが読み取られた液晶パネル２に紐付けされる。上述のように、イオナイザー３４は、搬送装置３５の上方に配置されている。また、イオナイザー３４は、データ読取装置３１よりも後ろ側に配置されており、データ読取装置３１でデータが読み取られた後の液晶パネル２の静電気を除去する。

（本形態の主な効果）
以上説明したように、本形態では、パネルステージ３９は、ステージ本体４２を光らせる発光体４３を備えており、液晶パネル２が載置されるステージ本体４２は、カメラ４１が液晶パネル２のエッジを検知するときに光っている。そのため、本形態では、パネルステージ３９に載置された液晶パネル２に光を照射する照明が不要になり、照明の設置スペースを確保する必要がない。したがって、本形態では、アライメント装置１０を小型化することが可能になる。また、本形態では、パネルステージ３９に載置された液晶パネル２に光を照射する照明が不要になるため、パネルステージ３９に液晶パネル２を供給するロボット９等と照明とが干渉することがない。

また、本形態では、液晶パネル２が載置されるステージ本体４２自体が光るため、カメラ４１に写る液晶パネル２のエッジとステージ本体４２の上面とのコントラストを高めることが可能になる。したがって、本形態では、カメラ４１によって液晶パネル２のエッジを正確に検知することが可能になり、その結果、液晶パネル２を精度良く位置合わせすることが可能になる。

特に本形態では、カメラ４１の偏光フィルタ５０の位相とパネルステージ３９の偏光部材４５の位相とが９０°ずれているため、カメラ４１に写る液晶パネル２のエッジとステージ本体４２の上面とのコントラストを効果的に高めることが可能になる。したがって、本形態では、カメラ４１によって液晶パネル２のエッジをより正確に検知することが可能になり、その結果、液晶パネル２をより精度良く位置合わせすることが可能になる。

本形態では、発光体４３は、ステージ本体４２に埋め込まれている。そのため、本形態では、発光体４３がステージ本体４２の外部に配置されている場合と比較して、パネルステージ３９を小型化することが可能になる。

（他の実施の形態）
上述した形態は、本発明の好適な形態の一例ではあるが、これに限定されるものではなく本発明の要旨を変更しない範囲において種々変形実施が可能である。

上述した形態では、発光体４３は、ステージ本体４２の下面に形成される凹部の中に埋め込まれているが、発光体４３は、ステージ本体４２の上面に形成される凹部の中に埋め込まれていても良いし、ステージ本体４２の前後の側面や左右の側面に形成される凹部の中に埋め込まれていても良い。また、上述した形態において、発光体４３は、ステージ本体４２に埋め込まれていなくても良い。すなわち、発光体４３は、ステージ本体４２の外部に配置されていても良い。

上述した形態において、パネルステージ３９は、図７に示すように、導光板７０を備えていても良い。この場合には、たとえば、導光板７０は、導光板７０の厚さ方向と上下方向とが一致するようにステージ本体４２の下側に配置されている。また、複数の発光体４３は、導光板７０の端面に臨むように配置されており、導光板７０の端面に向かって光を射出する。

上述した形態では、吸着部が配置された箇所を除くステージ本体４２の全体が均一に光るように複数の発光体４３が配置されているが、カメラ４１に写る液晶パネル２のエッジとステージ本体４２の上面とのコントラストを高めることができるのであれば、吸着部が配置された箇所を除くステージ本体４２の全体が均一に光っていなくても良い。この場合には、たとえば、複数の発光体４３は、ステージ本体４２の外周側部分の輝度が高くなるように、ステージ本体４２の外周側部分に配置されている。

上述した形態において、ステージ本体４２の上面に偏光部材４５が貼り付けられていなくても良い。この場合には、ステージ本体４２は、ポリアセタール等の白色の板によって形成されており、ステージ本体４２の上面は、白色となっている。この場合であっても、カメラ４１に写る液晶パネル２のエッジとステージ本体４２の上面とのコントラストを効果的に高めることが可能になるため、カメラ４１によって液晶パネル２のエッジをより正確に検知することが可能になる。

上述した形態において、可動フレーム４７を左右方向へスライドさせる駆動機構は、パネルステージ３９に載置された液晶パネル２の位置合わせを行うために設けられていても良い。この場合には、移動機構４０は、カメラ４１での液晶パネル２のエッジの検知結果に基づいてエッジ検知位置３９Ａで液晶パネル２の位置合わせを行う。また、ロボット３６は、エッジ検知位置３９Ａに配置されるパネルステージ３９上の、位置合わせ後の液晶パネル２をスライドステージ５２に搬送する。

上述した形態では、アライメント装置１０で位置合わせされる表示パネルは、液晶パネル２であるが、アライメント装置１０で位置合わせされる表示パネルは、液晶パネル２以外の表示パネルであっても良い。たとえば、アライメント装置１０で位置合わせされる表示パネルは、有機ＥＬパネルであっても良い。

２ 液晶パネル（表示パネル）
１０ アライメント装置
３９ パネルステージ
４０ 移動機構
４１ カメラ
４２ ステージ本体
４３ 発光体
４５ 偏光部材
５０ 偏光フィルタ

Claims (4)

1. 表示パネルの位置合わせを行うためのアライメント装置において、
   前記表示パネルが載置されるパネルステージと、前記パネルステージを移動させて前記表示パネルの位置合わせを行う移動機構と、前記パネルステージよりも上側に配置され前記表示パネルのエッジを検知するカメラとを備え、
   前記パネルステージは、透光性材料で形成されるとともに前記表示パネルが載置されるステージ本体と、前記ステージ本体を光らせる発光体とを備え、
   前記ステージ本体は、前記カメラが前記表示パネルのエッジを検知するときに光っており、
   前記移動機構は、前記カメラでの検知結果に基づいて前記表示パネルの位置合わせを行うことを特徴とするアライメント装置。
2. 前記発光体は、ＬＥＤチップであることを特徴とする請求項１記載のアライメント装置。
3. 前記発光体は、前記ステージ本体に埋め込まれていることを特徴とする請求項１または２記載のアライメント装置。
4. 鉛直方向から見たときの前記ステージ本体の外形は、前記表示パネルの外形よりも大きくなっており、
   前記カメラは、偏光フィルタを備え、
   前記ステージ本体の上面には、平板状またはフィルム状の偏光部材が取り付けられ、
   前記偏光フィルタの位相と前記偏光部材の位相とが９０°ずれていることを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載のアライメント装置。

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