JP2018067592A - 半導体装置およびモジュール型半導体装置 - Google Patents
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Abstract
Description
実施の形態にかかる半導体装置の構造について、図1〜3,13を参照して説明する。図1は、実施の形態にかかる半導体装置を実装したモジュールの一例を示す断面図である。図1には、図2の切断線A−A’を通る断面を含む部分における断面構造を示す。図2は、実施の形態にかかる半導体装置の電極パッドの平面レイアウトを示す平面図である。平面レイアウトとは、炭化珪素(SiC)基板10のおもて面(p型炭化珪素層4側の面)側から見た各部の平面形状および配置構成である。図3は、実施の形態にかかる半導体装置の配線構造付近の構造を示す断面図である。
次に、第2保護膜31のめっき膜13側の側面31aの下面側角度θ1と、第2保護膜31と第1保護膜16との密着性と、の関係について検証した。図5は、第2保護膜のめっき膜側の側面の下面側角度の使用範囲を示す特性図である。図5の横軸には、第2保護膜31のめっき膜13側の側面31aの下面側角度θ1を示す。図5の縦軸は、第2保護膜31とめっき膜13との密着性であり、基準値(原点)と比較した密着性の高さを示している(図6,7の縦軸も同様)。図5の縦軸の基準値は、第2保護膜31のめっき膜13側の側面31aの下面側角度θ1が90°である場合である。
次に、第2保護膜31の厚さt3と、第2保護膜31と第1保護膜16との密着性と、の関係について検証した。図6は、第2保護膜の厚さの使用範囲を示す特性図である。図6の横軸には、第2保護膜31の厚さt3を示す。図6の縦軸の基準値は、第2保護膜31の厚さt3が1mmである場合における、第2保護膜31とめっき膜13との密着性である。
次に、第2保護膜31の上面31cのめっき膜13側の幅w11と、第2保護膜31と第1保護膜16との密着性と、の関係について検証した。図7は、第2保護膜の上面のめっき膜側の幅の使用範囲を示す特性図である。図7の横軸は、第2保護膜31の上面31cのめっき膜13側の幅w11である。図7の縦軸の基準値は、第2保護膜31の上面31cのめっき膜13側の幅w11=0[mm]である場合における、第2保護膜31とめっき膜13との密着性である。
次に、上述した実施例1〜3の結果を受けて、第2保護膜31のめっき膜13側の側面31aの下面側角度θ1と、第2保護膜31の厚さ(膜厚)t3と、P/C耐量と、の関係について検証した。図8は、実施の形態にかかる半導体装置のP/C耐量を示す図表である。図9は、第2保護膜の寸法の使用範囲を示す特性図である。まず、上述した実施の形態にかかる半導体装置の製造方法にしたがって、第2保護膜31のめっき膜13側の側面31aの下面側角度θ1と、第2保護膜31の厚さt3と、を種々変更した複数の試料を作製した(以下、実施例4とする)。
2 n-型炭化珪素層
3 p型ベース領域
4 p型炭化珪素層
4a p型ベース領域
5 n+型ソース領域
6 p+型コンタクト領域
7 n型JFET領域
8 ゲート絶縁膜
9 ゲート電極
10 炭化珪素基板
11 層間絶縁膜
12 ソース電極
12a ソースパッド
12b ゲートパッド
13 めっき膜
14 はんだ層
15 端子ピン
16 第1保護膜
17 第2保護膜
18 ドレイン電極
19 封止樹脂
20 めっき膜と第1保護膜との境界
31,32 第2保護膜
31a,31a' 第2保護膜のめっき膜側の側面
31b 第2保護膜の下面
31c 第2保護膜の上面
31d 第2保護膜の第1保護膜側の側面
41 積層基板
42 絶縁基板
43 導電性板
44 銅箔
45 はんだ層
46 プリント基板
47 ベース基板
48,49 導電性板
51 レジストマスク
60 第2保護膜の寸法の使用範囲
61〜64 第2保護膜の寸法の使用しない範囲
w1 第2保護膜の上面の幅
w2 第2保護膜の下面の幅
w10 めっき膜と第1保護膜との境界から、めっき膜と端子ピンとの接合部までの幅
w11 第2保護膜の上面のめっき膜側の幅
w12 第2保護膜の上面の第1保護膜側の幅
θ1 第2保護膜のめっき膜側の側面の下面側角度
θ2 第2保護膜のめっき膜側の側面の上面側角度
Claims (15)
- 半導体基板に配置された半導体素子と、
前記半導体基板のおもて面上に設けられ、前記半導体素子に電気的に接続された電極層と、
前記電極層の表面上に選択的に設けられた電極膜と、
前記電極膜にはんだ接合され、前記電極層の電位を外部に取り出す外部接続用端子と、
前記電極層の表面上の前記電極膜以外の部分に、前記電極膜に接して設けられた第1保護膜と、
前記電極膜と前記第1保護膜との境界を覆う第2保護膜と、
を備え、
前記第2保護膜の前記電極膜側の側面は、前記第2保護膜と前記電極膜とが接触する第1面に対して、前記第2保護膜の内部で鋭角となる第1角度をなしていることを特徴とする半導体装置。 - 前記第1角度は、10°以上80°以下であることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。
- 前記第2保護膜は、前記第1面に平行で、かつ前記第1面よりも幅の狭い第2面を有する台形状の断面形状であり、
前記第2保護膜の前記電極膜側の側面は、前記第2面に対して、前記第2保護膜の内部で鈍角となる第2角度をなしていることを特徴とする請求項1または2に記載の半導体装置。 - 前記第2角度は、120°以上150°以下であることを特徴とする請求項3に記載の半導体装置。
- 前記第2保護膜の前記第2面は、前記電極膜と前記第1保護膜との境界から前記第2保護膜の前記電極膜側の側面までの幅が0.05mm以上0.5mm以下であることを特徴とする請求項3または4に記載の半導体装置。
- 前記第2保護膜の厚さは、2μm以上0.8mm以下であることを特徴とする請求項1〜5のいずれか一つに記載の半導体装置。
- 前記第2保護膜の厚さは、5μm以上であることを特徴とする請求項6に記載の半導体装置。
- 前記第2保護膜は、ポリイミドまたはポリアミドで構成されていることを特徴とする請求項1〜7のいずれか一つに記載の半導体装置。
- 前記第1保護膜は、ポリイミドまたはポリアミドで構成されていることを特徴とする請求項1〜8のいずれか一つに記載の半導体装置。
- 前記電極膜は、ニッケルめっき膜および金めっき膜を順に積層してなることを特徴とする請求項1〜9のいずれか一つに記載の半導体装置。
- 前記第2保護膜の前記第2面および側面は、芳香族ポリアミド樹脂で覆われていることを特徴とする請求項3〜5のいずれか一つに記載の半導体装置。
- 前記第2保護膜の前記第2面および側面の表面層の分子に官能基が接合されていることを特徴とする請求項3〜5のいずれか一つに記載の半導体装置。
- 前記半導体基板は、シリコンよりもバンドギャップの広い半導体からなることを特徴とする請求項1〜12のいずれか一つに記載の半導体装置。
- 前記半導体基板は、炭化珪素からなることを特徴とする請求項13に記載の半導体装置。
- 請求項1〜14のいずれか一つに記載の半導体装置を実装したモジュール型半導体装置であって、
積層基板の表面上に設けられた導電性板と、
前記導電性板に、裏面が接合された前記半導体基板と、
前記積層基板の周囲を囲む樹脂ケースと、
前記樹脂ケースの内部に充填され、前記半導体基板のおもて面を覆う封止樹脂と、
を備えることを特徴とするモジュール型半導体装置。
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