JP2018060971A - 熱電変換装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
複数の貫通孔(32)が形成された複数枚の絶縁フィルム(30)を用意することと、
複数枚の絶縁フィルムのそれぞれにおいて、複数の熱電材料粒子を含む充填材(36)を、複数の貫通孔のそれぞれに充填することと、
充填材の充填後に、複数枚の絶縁フィルム同士を積層するとともに、複数枚の絶縁フィルムの全部に対する積層方向の一方側に第1導体膜(16)を積層し、複数枚の絶縁フィルムの全部に対する積層方向の他方側に第2導体膜(18)を積層して、積層体(40)を形成することと、
積層体の積層方向に積層体を加熱加圧して、複数の熱電材料粒子同士を焼結させて、第1導体膜から第2導体膜まで連続した形状の熱電部材(12、14)を形成するとともに、熱電部材を第1導体膜と第2導体膜の両方に接続させることとを備え、
充填することにおいては、複数の貫通孔のそれぞれにおいて、貫通孔の外部に充填材の一部(361a、362a)がはみ出し、貫通孔の内部に充填材の他の一部(361b、362b)が配置された状態とし、
積層体を形成することにおいては、充填材の一部がはみ出した状態で、複数枚の絶縁フィルム同士を積層する。
本実施形態では、熱電変換装置としての熱流束センサおよびその製造方法について説明する。
(1)第1実施形態では、積層体を形成することにおいて、積層方向で連なる充填材36のそれぞれが、貫通孔32からはみ出した充填材36の一部361a、362aと、貫通孔32の内部に配置された充填材36の他の一部361b、362bとが接触する。この状態となるように、複数枚の樹脂フィルム30同士が積層されたが、これに限定されない。貫通孔32からはみ出した充填材36の一部361a、362a同士が接触するように、複数枚の樹脂フィルム30同士が積層されてもよい。この場合であっても、充填材36を加熱加圧することで、図3に示す熱電部材12、14を形成することができる。
(まとめ)
上記各実施形態の一部または全部で示された第1の観点によれば、熱電変換装置の製造方法は、複数枚の絶縁フィルムを用意することと、充填材を複数の貫通孔のそれぞれに充填することと、積層体を形成することと、積層体を加熱加圧することとを備える。充填することにおいては、複数の貫通孔のそれぞれにおいて、貫通孔の外部に充填材の一部がはみ出し、貫通孔の内部に充填材の他の一部が配置された状態とする。積層体を形成することにおいては、充填材の一部がはみ出した状態で、複数枚の絶縁フィルム同士を積層する。
10 絶縁部材
16 表面導体パターン
18 裏面導体パターン
30 樹脂フィルム
32 貫通孔
36 充填材
40 積層体
Claims (2)
- 熱電変換装置の製造方法であって、
複数の貫通孔(32)が形成された複数枚の絶縁フィルム(30)を用意することと、
前記複数枚の絶縁フィルムのそれぞれにおいて、複数の熱電材料粒子を含む充填材(36)を、前記複数の貫通孔のそれぞれに充填することと、
前記充填材の充填後に、前記複数枚の絶縁フィルム同士を積層するとともに、前記複数枚の絶縁フィルムの全部に対する積層方向の一方側に第1導体膜(16)を積層し、前記複数枚の絶縁フィルムの全部に対する積層方向の他方側に第2導体膜(18)を積層して、積層体(40)を形成することと、
前記積層体の積層方向に前記積層体を加熱加圧して、前記複数の熱電材料粒子同士を焼結させて、前記第1導体膜から前記第2導体膜まで連続した形状の熱電部材(12、14)を形成するとともに、前記熱電部材を前記第1導体膜と前記第2導体膜の両方に接続させることとを備え、
前記充填することにおいては、前記複数の貫通孔のそれぞれにおいて、前記貫通孔の外部に前記充填材の一部(361a、362a)がはみ出し、前記貫通孔の内部に前記充填材の他の一部(361b、362b)が配置された状態とし、
前記積層体を形成することにおいては、前記充填材の前記一部がはみ出した状態で、前記複数枚の絶縁フィルム同士を積層する熱電変換装置の製造方法。 - 前記充填することにおいては、前記絶縁フィルムが有する一面(30a)と前記一面の反対側の他面(30b)のうち前記一面に、前記一面を覆う第1マスク(341)を配置し、前記他面に、前記他面を覆う第2マスク(342)を配置し、
前記第1マスクは、前記複数の貫通孔のうち第1貫通孔(321)に対応する第1開口部(351)を有し、
前記第2マスクは、前記複数の貫通孔のうち第2貫通孔(322)に対応する第2開口部(352)を有し、
前記第2マスクで前記第1貫通孔を塞いだ状態で、前記第1マスクの第1開口部から前記第1貫通孔に前記充填材としての第1充填材(361)を充填し、前記第1充填材の表面(361s)の位置を、前記絶縁フィルムの厚さ方向における前記一面と前記第1マスクの外面(341a)との間の位置とすることで、前記第1貫通孔の外部に前記第1充填材の一部(361a)がはみ出し、前記第1貫通孔の内部に前記第1充填材の他の一部(361b)が配置された状態とし、
前記第1マスクで前記第2貫通孔を塞いだ状態で、前記第2マスクの第2開口部から前記第2貫通孔に前記充填材としての第2充填材(362)を充填し、前記第2充填材の表面(362s)の位置を、前記絶縁フィルムの厚さ方向における前記他面と前記第2マスクの外面(342a)との間の位置とすることで、前記第2貫通孔の外部に前記第2充填材の一部(362a)がはみ出し、前記第2貫通孔の内部に前記第2充填材の他の一部(362b)が配置された状態とする請求項1に記載の熱電変換装置の製造方法。
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