JP2018054369A - 圧力検知素子搭載用パッケージ、圧力検知装置および電子モジュール - Google Patents
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Abstract
Description
知する圧力検知装置となる。
れている場合であれば、酸化アルミニウム,酸化珪素,酸化マグネシウムおよび酸化カルシウム等の原料粉末に適当な有機バインダーおよび溶剤等を添加混合して泥漿状とし、これをドクターブレード法やカレンダーロール法等によってシート状に成形してセラミックグリーンシートを得て、しかる後、セラミックグリーンシートに適当な打ち抜き加工を施すとともにこれを複数枚積層し、高温(約1600℃)で焼成することによって製作される。また、所定の形状に成形できるような金型を用いて、セラミックグリーンシートを加圧することによって成形し、上述と同様に高温で焼成することによって製作してもよい。
ール用基板5とを電気的に接続するためのものである。配線導体12は、基体1の表面または内部に設けられた配線導体と、基体1を構成する絶縁層を貫通して上下に位置する配線導体同士を電気的に接続する貫通導体とを含んでいる。
力検知素子搭載用パッケージに搭載された圧力検知素子4と、圧力検知素子搭載用パッケージの基体1と蓋体2とを接合する接合材3とを有していることによって、良好に圧力を検知する圧力検知装置となる。
2・・・・蓋体
21・・・・切欠き
22・・・・溝
22a・・・分岐部
22b・・・連結部
3・・・・接合材
4・・・・圧力検知素子
5・・・・モジュール用基板
51・・・・接続パッド
6・・・・ろう材
Claims (6)
- 圧力検知素子が搭載される凹部を有する基体と、
主面から相対する側面にかけて設けられ、前記基体と接合するように接合材が設けられる切欠き、および主面から他の相対する側面にかけて設けられた溝を有する蓋体とを含んでいることを特徴とする圧力検知素子搭載用パッケージ。 - 前記溝は、両端部の間に分岐部を有していることを特徴とする請求項1に記載の圧力検知素子搭載用パッケージ。
- 前記溝は、互いに連結するように連結部を有していることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の圧力検知素子搭載用パッケージ。
- 前記溝の端部の数は、前記蓋体の外縁側よりも内側が多いことを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれかに記載の圧力検知素子搭載用パッケージ。
- 請求項1乃至請求項4のいずれかに記載の圧力検知素子搭載用パッケージと、
該圧力検知素子搭載用パッケージに搭載された圧力検知素子と、
前記圧力検知素子搭載用パッケージの前記基体と前記蓋体とを接合する接合材とを有していることを特徴とする圧力検知装置。 - 接続パッドを有するモジュール用基板と、
前記接続パッドにろう材を介して接続された請求項5に記載の圧力検知装置とを有することを特徴とする電子モジュール。
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